JPH07118074A - セラミックスと金属との接合方法 - Google Patents
セラミックスと金属との接合方法Info
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- JPH07118074A JPH07118074A JP28755493A JP28755493A JPH07118074A JP H07118074 A JPH07118074 A JP H07118074A JP 28755493 A JP28755493 A JP 28755493A JP 28755493 A JP28755493 A JP 28755493A JP H07118074 A JPH07118074 A JP H07118074A
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 31
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 接合されたセラミックスと金属とが、接合後
に両者間に発生する熱応によりセラミックスの接合界面
側が破壊することのない耐久性に優れたセラミックスと
金属との接合方法を提供する。 【構成】 セラミックス1と金属6とを接合するに当た
り、同セラミックス1の接合面にTi あるいはZr イオ
ンを注入し、一方、上記セラミックス1と同一成分のセ
ラミックス粉末3であってTi あるいはZr イオンが注
入された粉末4とろう材粉末とを混合して作ったろう材
5を上記Ti あるいはZr イオンが注入されたセラミッ
クスの接合面2と、上記金属6との間に挿入し、両者を
接合すること。
に両者間に発生する熱応によりセラミックスの接合界面
側が破壊することのない耐久性に優れたセラミックスと
金属との接合方法を提供する。 【構成】 セラミックス1と金属6とを接合するに当た
り、同セラミックス1の接合面にTi あるいはZr イオ
ンを注入し、一方、上記セラミックス1と同一成分のセ
ラミックス粉末3であってTi あるいはZr イオンが注
入された粉末4とろう材粉末とを混合して作ったろう材
5を上記Ti あるいはZr イオンが注入されたセラミッ
クスの接合面2と、上記金属6との間に挿入し、両者を
接合すること。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックスと金属と
の接合方法に関する。
の接合方法に関する。
【0002】
【従来の技術】セラミックス7と金属9との接合方法と
しては、従来、図2断面図(A)に示すように、セラミ
ックス7の表面をメタライズ8して接合する方法と、同
図(B)に示すように、Ti 箔10とろう材5を挿入し
て接合する方法とが使用されている。
しては、従来、図2断面図(A)に示すように、セラミ
ックス7の表面をメタライズ8して接合する方法と、同
図(B)に示すように、Ti 箔10とろう材5を挿入し
て接合する方法とが使用されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の従来の接合方法においては、セラミックスへのろう材
のぬれ性の改善のみを考慮した接合方法であるため、接
合後にセラミックスと金属間に発生する熱応力により、
セラミックスの接合界面側が破壊する場合がある。
の従来の接合方法においては、セラミックスへのろう材
のぬれ性の改善のみを考慮した接合方法であるため、接
合後にセラミックスと金属間に発生する熱応力により、
セラミックスの接合界面側が破壊する場合がある。
【0004】本発明はこのような事情に鑑みて提案され
たもので、接合されたセラミックスと金属とが、接合後
に両者間に発生する熱応力によりセラミックスの接合界
面側が破壊することのない耐久性に優れたセラミックス
と金属との接合方法を提供することを目的とする。
たもので、接合されたセラミックスと金属とが、接合後
に両者間に発生する熱応力によりセラミックスの接合界
面側が破壊することのない耐久性に優れたセラミックス
と金属との接合方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】そのために本発明は、セ
ラミックスと金属とを接合するに当たり、同セラミック
スの接合面にTi あるいはZr イオンを注入し、一方、
上記セラミックスと同一成分のセラミックス粉末であっ
てTi あるいはZr イオンが注入された粉末とろう材粉
末とを混合して作ったろう材を上記Ti あるいはZr イ
オンが注入されたセラミックスの接合面と、上記金属と
の間に挿入し、両者を接合することを特徴とする。
ラミックスと金属とを接合するに当たり、同セラミック
スの接合面にTi あるいはZr イオンを注入し、一方、
上記セラミックスと同一成分のセラミックス粉末であっ
てTi あるいはZr イオンが注入された粉末とろう材粉
末とを混合して作ったろう材を上記Ti あるいはZr イ
オンが注入されたセラミックスの接合面と、上記金属と
の間に挿入し、両者を接合することを特徴とする。
【0006】
【作用】このような構成によれば、セラミックスの接合
面にTi あるいはZr イオンを注入することによりセラ
ミックスへのろうのぬれ性が改善され、セラミックス自
体の強度が向上するため、接合後破壊しにくくなる。ま
た、イオン注入したセラミックス粉末とろう材を混合し
たろう材を用いることにより、セラミックスと金属の接
合層にもセラミックスを分散存在させることができ、セ
ラミックスと金属との中間の性質を持たすことができる
ため、接合後の熱応力を緩和させることができる。
面にTi あるいはZr イオンを注入することによりセラ
ミックスへのろうのぬれ性が改善され、セラミックス自
体の強度が向上するため、接合後破壊しにくくなる。ま
た、イオン注入したセラミックス粉末とろう材を混合し
たろう材を用いることにより、セラミックスと金属の接
合層にもセラミックスを分散存在させることができ、セ
ラミックスと金属との中間の性質を持たすことができる
ため、接合後の熱応力を緩和させることができる。
【0007】
【実施例】本発明の一実施例を図面について説明する
と、図1はその断面図である。すなわち、上図におい
て、Al2 O3 1の接合面にイオン注入により、Ti 注
入層2を形成する。また、Al2 O3 粉末3にも、同様
にTi 注入層4を形成し、銀ろう粉末と1:1に混合し
たろう材を作る。そして、この混合ろう材をAl2 O3
1とCu6の間に挿入し、真空中800℃で30分間保
持する。そうすると、銀ろう5のみが溶解してAl2 O
3 粉末3の間に充填されると同時に、Al2 O3 1とC
u6を接合することができる。
と、図1はその断面図である。すなわち、上図におい
て、Al2 O3 1の接合面にイオン注入により、Ti 注
入層2を形成する。また、Al2 O3 粉末3にも、同様
にTi 注入層4を形成し、銀ろう粉末と1:1に混合し
たろう材を作る。そして、この混合ろう材をAl2 O3
1とCu6の間に挿入し、真空中800℃で30分間保
持する。そうすると、銀ろう5のみが溶解してAl2 O
3 粉末3の間に充填されると同時に、Al2 O3 1とC
u6を接合することができる。
【0008】
【発明の効果】本発明によれば、セラミックスへのろう
のぬれ性を向上させると同時にイオン注入したセラミッ
クス粉とろう材粉を混合したろう材を用いることによ
り、接合層がセラミックスと金属との中間の性質を有
し、接合後の熱応力を緩和することができ、接合材の信
頼性を向上させることができる。ちなみに、従来は、セ
ラミックスへのろうのぬれ性を改善することに重点がお
かれていたために、接合後の熱応力による破壊が起こる
場合があった。
のぬれ性を向上させると同時にイオン注入したセラミッ
クス粉とろう材粉を混合したろう材を用いることによ
り、接合層がセラミックスと金属との中間の性質を有
し、接合後の熱応力を緩和することができ、接合材の信
頼性を向上させることができる。ちなみに、従来は、セ
ラミックスへのろうのぬれ性を改善することに重点がお
かれていたために、接合後の熱応力による破壊が起こる
場合があった。
【0009】要するに本発明によれば、セラミックスと
金属とを接合するに当たり、同セラミックスの接合面に
Ti あるいはZr イオンを注入し、一方、上記セラミッ
クスと同一成分のセラミックス粉末であってTi あるい
はZr イオンが注入された粉末とろう材粉末とを混合し
て作ったろう材を上記Ti あるいはZr イオンが注入さ
れたセラミックスの接合面と、上記金属との間に挿入
し、両者を接合することにより、接合されたセラミック
スと金属とが、接合後に両者間に発生する熱応力により
セラミックスの接合界面側が破壊することのない耐久性
に優れたセラミックスと金属との接合方法を得るから、
本発明は産業上極めて有益なものである。
金属とを接合するに当たり、同セラミックスの接合面に
Ti あるいはZr イオンを注入し、一方、上記セラミッ
クスと同一成分のセラミックス粉末であってTi あるい
はZr イオンが注入された粉末とろう材粉末とを混合し
て作ったろう材を上記Ti あるいはZr イオンが注入さ
れたセラミックスの接合面と、上記金属との間に挿入
し、両者を接合することにより、接合されたセラミック
スと金属とが、接合後に両者間に発生する熱応力により
セラミックスの接合界面側が破壊することのない耐久性
に優れたセラミックスと金属との接合方法を得るから、
本発明は産業上極めて有益なものである。
【図1】本発明の一実施例を示す接合体の断面である。
【図2】従来の接合体を示す断面図である。
1 Al2 O3 2 Al2 O3 (Ti 注入層) 3 Al2 O3 粉末 4 Al2 O3 粉末(Ti 注入層) 5 銀ろう 6 Cu 7 セラミックス 8 メタライズ層 9 金属 10 Ti 箔
Claims (1)
- 【請求項1】 セラミックスと金属とを接合するに当た
り、同セラミックスの接合面にTi あるいはZr イオン
を注入し、一方、上記セラミックスと同一成分のセラミ
ックス粉末であってTi あるいはZr イオンが注入され
た粉末とろう材粉末とを混合して作ったろう材を上記T
i あるいはZr イオンが注入されたセラミックスの接合
面と、上記金属との間に挿入し、両者を接合することを
特徴とするセラミックスと金属との接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28755493A JPH07118074A (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | セラミックスと金属との接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28755493A JPH07118074A (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | セラミックスと金属との接合方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07118074A true JPH07118074A (ja) | 1995-05-09 |
Family
ID=17718852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28755493A Withdrawn JPH07118074A (ja) | 1993-10-22 | 1993-10-22 | セラミックスと金属との接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07118074A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016184606A (ja) * | 2015-03-25 | 2016-10-20 | 京セラ株式会社 | 放熱基板 |
| CN112391601A (zh) * | 2019-08-14 | 2021-02-23 | 中国航发商用航空发动机有限责任公司 | 热障涂层及其制备方法 |
-
1993
- 1993-10-22 JP JP28755493A patent/JPH07118074A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016184606A (ja) * | 2015-03-25 | 2016-10-20 | 京セラ株式会社 | 放熱基板 |
| CN112391601A (zh) * | 2019-08-14 | 2021-02-23 | 中国航发商用航空发动机有限责任公司 | 热障涂层及其制备方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001226 |