JPH07120401A - 透明物体内の気泡検出装置 - Google Patents
透明物体内の気泡検出装置Info
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- JPH07120401A JPH07120401A JP13833394A JP13833394A JPH07120401A JP H07120401 A JPH07120401 A JP H07120401A JP 13833394 A JP13833394 A JP 13833394A JP 13833394 A JP13833394 A JP 13833394A JP H07120401 A JPH07120401 A JP H07120401A
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 波長毎の色収差の発生による焦点距離の違い
を利用し、透明物体内の気泡の３次元的な分布を高速で
精度良く自動化により検査する。 【構成】 多波長光源１から出射された多波長の照射光
は色収差発生手段３により分散され、各々の波長毎に異
なる焦点距離で被検査物４の内部に集光する。被検査物
４の内部に気泡が存在すれば、その境界面で一部反射す
る。この反射光を光検出手段５で検出する。
を利用し、透明物体内の気泡の３次元的な分布を高速で
精度良く自動化により検査する。 【構成】 多波長光源１から出射された多波長の照射光
は色収差発生手段３により分散され、各々の波長毎に異
なる焦点距離で被検査物４の内部に集光する。被検査物
４の内部に気泡が存在すれば、その境界面で一部反射す
る。この反射光を光検出手段５で検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、透明物体内の気泡を検
出する装置に関する。
出する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、透明物体内の気泡を検出する装置
として、例えば特開平４−３５９１０６号公報に記載さ
れる発明がある。上記発明は、図１０に示す様に、被検
査物９１をＴＶカメラ９２で撮像できる位置にＸＹＺ移
動装置９４により移動させ、被検査物９１の表面に対し
て照明装置９３で上部斜め方向から光を照射し、その反
射光をＴＶカメラ９２にて撮像する。そして、得られた
画像信号を画像処理装置９５に送り、その検査画像に対
して各種の処理を行うことで気泡を検出し、その結果を
出力モニタ９６に表示するものである。
として、例えば特開平４−３５９１０６号公報に記載さ
れる発明がある。上記発明は、図１０に示す様に、被検
査物９１をＴＶカメラ９２で撮像できる位置にＸＹＺ移
動装置９４により移動させ、被検査物９１の表面に対し
て照明装置９３で上部斜め方向から光を照射し、その反
射光をＴＶカメラ９２にて撮像する。そして、得られた
画像信号を画像処理装置９５に送り、その検査画像に対
して各種の処理を行うことで気泡を検出し、その結果を
出力モニタ９６に表示するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、前記従来技
術においては、Ｚ方向に分布する気泡を検出する場合、
ＸＹＺ移動装置９４でＴＶカメラ９２の光軸方向（Ｚ方
向）に被検査物９１を走査しなければならず、高速な検
出ができないという欠点があった。
術においては、Ｚ方向に分布する気泡を検出する場合、
ＸＹＺ移動装置９４でＴＶカメラ９２の光軸方向（Ｚ方
向）に被検査物９１を走査しなければならず、高速な検
出ができないという欠点があった。
【０００４】請求項１〜３の目的は、気泡の３次元分布
状態を高速で検出できる透明物体内の気泡検出装置を提
供することにある。
状態を高速で検出できる透明物体内の気泡検出装置を提
供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段および作用】請求項１記載
の発明は、複数の波長からなる照射光を出射する多波長
光源と、前記照射光の光軸上又は／及び軸外での焦点距
離が異なるように色収差を発生させて被検査物に照射す
る色収差発生手段と、前記被検査物内の気泡からの反射
光を検出する光検出手段とから構成したものである。
の発明は、複数の波長からなる照射光を出射する多波長
光源と、前記照射光の光軸上又は／及び軸外での焦点距
離が異なるように色収差を発生させて被検査物に照射す
る色収差発生手段と、前記被検査物内の気泡からの反射
光を検出する光検出手段とから構成したものである。
【０００６】請求項２記載の発明は、複数の波長からな
る照射光を出射する多波長光源と、出射された照射光に
含まれる特定の波長を選択する波長選択手段と、照射光
の光軸上又は／及び軸外での焦点距離が異なるように色
収差を発生させて被検査物に照射する色収差発生手段
と、被検査物内の気泡からの反射光を検出する光検出手
段とから構成したものである。
る照射光を出射する多波長光源と、出射された照射光に
含まれる特定の波長を選択する波長選択手段と、照射光
の光軸上又は／及び軸外での焦点距離が異なるように色
収差を発生させて被検査物に照射する色収差発生手段
と、被検査物内の気泡からの反射光を検出する光検出手
段とから構成したものである。
【０００７】請求項３記載の発明は、多波長光源と被検
査物との間に光偏向手段を配置したものである。
査物との間に光偏向手段を配置したものである。
【０００８】図１および図２は本発明に係る気泡検出装
置の光学的原理を示す概念図である。被検査物４として
図２に示すような直方体の透明体を仮定し、その内部に
気泡ａが存在するものとする。多波長光源１から出射さ
れた多波長の照射光は色収差発生手段３により分散さ
れ、各々の波長（例えば、λ1 ，λ2 ）毎に異なる焦点
距離１1 ，１2 で集光する。この集光は被検査物４の少
なくとも内部において行われる様に設定する（図では内
部および裏面の下方に設定している）。
置の光学的原理を示す概念図である。被検査物４として
図２に示すような直方体の透明体を仮定し、その内部に
気泡ａが存在するものとする。多波長光源１から出射さ
れた多波長の照射光は色収差発生手段３により分散さ
れ、各々の波長（例えば、λ1 ，λ2 ）毎に異なる焦点
距離１1 ，１2 で集光する。この集光は被検査物４の少
なくとも内部において行われる様に設定する（図では内
部および裏面の下方に設定している）。
【０００９】この場合、色収差発生手段３による各波長
の色収差量を予め求めておけば、波長選択手段により多
波長光源１からの照射光の波長を選択的に変化させるこ
とによって気泡の存在する位置を３次元的（図中、矢印
Ｚで示す深さ方向）に検査することができる。
の色収差量を予め求めておけば、波長選択手段により多
波長光源１からの照射光の波長を選択的に変化させるこ
とによって気泡の存在する位置を３次元的（図中、矢印
Ｚで示す深さ方向）に検査することができる。
【００１０】被検査物４内の内部に気泡や異物等の混入
がなければ、被検査物４の表面あるいは裏面での反射光
以外はそのまま発散し、被検査物４の外部に抜けてしま
う。しかし、被検査物４の内部に気泡ａが存在している
と、被検査物４と気泡ａ内の気体とでは屈折率が異なる
ため、その境界面で多波長の照射光は一部反射を生じ
る。この気泡ａによって生じた反射光を光検出手段５で
検出する。この検出によって被検査物４内に気泡の存在
が確認される。
がなければ、被検査物４の表面あるいは裏面での反射光
以外はそのまま発散し、被検査物４の外部に抜けてしま
う。しかし、被検査物４の内部に気泡ａが存在している
と、被検査物４と気泡ａ内の気体とでは屈折率が異なる
ため、その境界面で多波長の照射光は一部反射を生じ
る。この気泡ａによって生じた反射光を光検出手段５で
検出する。この検出によって被検査物４内に気泡の存在
が確認される。
【００１１】図３は光検出手段５での被検査物４内の１
個の気泡による特定の波長と反射光の分光強度との関係
を示すグラフである。光強度にピークが生ずる波長に対
応して、その集光点付近に気泡の存在することが確認さ
れる。また、気泡が複数個の場合には、各ピーク付近に
も各気泡のあることが予想されることになる。
個の気泡による特定の波長と反射光の分光強度との関係
を示すグラフである。光強度にピークが生ずる波長に対
応して、その集光点付近に気泡の存在することが確認さ
れる。また、気泡が複数個の場合には、各ピーク付近に
も各気泡のあることが予想されることになる。
【００１２】請求項２記載の発明では、各波長毎に波長
選択手段（図１中、多波長光源１と被検査物４との間、
あるいは被検査物４と光検出手段５との間の光軸上に配
置する）で波長を選択することによって、図３に示す様
に、気泡の分布が波長毎の光強度分布として検出される
ことになり、Ｚ方向に存在する気泡が１個か複数個かの
判別と気泡の深さの分布とがわかるようになる。
選択手段（図１中、多波長光源１と被検査物４との間、
あるいは被検査物４と光検出手段５との間の光軸上に配
置する）で波長を選択することによって、図３に示す様
に、気泡の分布が波長毎の光強度分布として検出される
ことになり、Ｚ方向に存在する気泡が１個か複数個かの
判別と気泡の深さの分布とがわかるようになる。
【００１３】請求項３記載の発明では、多波長光源１と
被検査物４との間に光偏向手段を配置し、被検査物４へ
の照射光を走査できるようにしたものである。すなわ
ち、光偏向手段を配置したことにより、被検査物４への
照射光の入射位置を変化させることができ、被検査物４
に対する測定範囲（Ｚ方向だけでなくＸＹ方向も含む）
を広げられる。
被検査物４との間に光偏向手段を配置し、被検査物４へ
の照射光を走査できるようにしたものである。すなわ
ち、光偏向手段を配置したことにより、被検査物４への
照射光の入射位置を変化させることができ、被検査物４
に対する測定範囲（Ｚ方向だけでなくＸＹ方向も含む）
を広げられる。
【００１４】
【実施例１】図４〜図７は本実施例を示し、図４は概略
構成図、図５は回転フィルター板の斜視図、図６および
図７はグラフである。１０はハロゲンランプやキセノン
ランプ等から成る白色光源で、この白色光源１０から出
射された照射光３１はコリメートレンズ１１により平行
光束にされて回転フィルター板１２に入射される。回転
フィルター板１２は出射された照射光３１の波長の中で
特定の波長のみを選択的に透過する複数の干渉フィルタ
ーλ1〜λ5 にて形成されている。誘電体多層膜を蒸着
した干渉フィルターを用いれば、半値幅１０ｎｍ前後で
任意の波長のみを透過させることが可能である。そし
て、回転フィルター板１２はモータ２３で回転自在に保
持されており、モータ２３はその回転を駆動するモータ
ドライバー２２に接続されている。
構成図、図５は回転フィルター板の斜視図、図６および
図７はグラフである。１０はハロゲンランプやキセノン
ランプ等から成る白色光源で、この白色光源１０から出
射された照射光３１はコリメートレンズ１１により平行
光束にされて回転フィルター板１２に入射される。回転
フィルター板１２は出射された照射光３１の波長の中で
特定の波長のみを選択的に透過する複数の干渉フィルタ
ーλ1〜λ5 にて形成されている。誘電体多層膜を蒸着
した干渉フィルターを用いれば、半値幅１０ｎｍ前後で
任意の波長のみを透過させることが可能である。そし
て、回転フィルター板１２はモータ２３で回転自在に保
持されており、モータ２３はその回転を駆動するモータ
ドライバー２２に接続されている。
【００１５】回転フィルター板１２を透過した照射光３
１は、ハーフミラー１３で反射されて色収差を発生させ
る色出しレンズ１４に入射し、色出しレンズ１４を透過
して被検査物４に入射する。照射光３１は被検査物４の
内部に存在する気泡ａによって反射され、その反射光３
２はハーフミラー１３を透過して少なくとも異なる２つ
以上の波長について色収差を補正されたマクロマートや
アポクロマートのような集光レンズ１５に入射され、光
センサー１６の受光面に集光される。光センサー１６は
ホトダイオードやホトトランジスタ等で形成されてお
り、気泡ａによって反射された反射光３２を電気信号に
変換する。
１は、ハーフミラー１３で反射されて色収差を発生させ
る色出しレンズ１４に入射し、色出しレンズ１４を透過
して被検査物４に入射する。照射光３１は被検査物４の
内部に存在する気泡ａによって反射され、その反射光３
２はハーフミラー１３を透過して少なくとも異なる２つ
以上の波長について色収差を補正されたマクロマートや
アポクロマートのような集光レンズ１５に入射され、光
センサー１６の受光面に集光される。光センサー１６は
ホトダイオードやホトトランジスタ等で形成されてお
り、気泡ａによって反射された反射光３２を電気信号に
変換する。
【００１６】光センサー１６は、光センサー１６の動作
を制御する光センサーコントローラ１７に接続されてい
る。光センサーコントローラ１７はＩ／Ｆ１８に接続さ
れ、Ｉ／Ｆ１８は装置全体の演算制御を行うＭＰＵ２１
に接続されている。Ｉ／Ｆ１８は、モータドライバー２
２および光センサコントローラ１７とＭＰＵ２１との間
で制御信号の入出力を行う。さらに、光センサー１６
は、光センサー１６からの電気信号をＡ／Ｄ変換するＡ
／Ｄ変換器１９に接続されている。Ａ／Ｄ変換器１９は
測定データを記憶する記憶手段２０に接続され、記憶手
段２０はＭＰＵ２１に接続されている。
を制御する光センサーコントローラ１７に接続されてい
る。光センサーコントローラ１７はＩ／Ｆ１８に接続さ
れ、Ｉ／Ｆ１８は装置全体の演算制御を行うＭＰＵ２１
に接続されている。Ｉ／Ｆ１８は、モータドライバー２
２および光センサコントローラ１７とＭＰＵ２１との間
で制御信号の入出力を行う。さらに、光センサー１６
は、光センサー１６からの電気信号をＡ／Ｄ変換するＡ
／Ｄ変換器１９に接続されている。Ａ／Ｄ変換器１９は
測定データを記憶する記憶手段２０に接続され、記憶手
段２０はＭＰＵ２１に接続されている。
【００１７】以上の構成から成る装置は、白色光源１０
から出射された照射光３１がコリメートレンズ１１によ
り平行光束にされる。そして、回転フィルター板１２の
干渉フィルターにより選択されたある波長λ1 の照射光
がハーフミラー１３で反射されて色出しレンズ１４に入
射し、ある焦点距離ｌ1 で焦点を結ぶ。もし、この焦点
位置に気泡ａが存在すれば、照射光３１の一部は反射さ
れる。この反射された反射光３２は色出しレンズ１４を
透過して集光レンズ１５により光センサー１６の受光面
上に集光し、電気信号に変換されて光強度値として検出
される。
から出射された照射光３１がコリメートレンズ１１によ
り平行光束にされる。そして、回転フィルター板１２の
干渉フィルターにより選択されたある波長λ1 の照射光
がハーフミラー１３で反射されて色出しレンズ１４に入
射し、ある焦点距離ｌ1 で焦点を結ぶ。もし、この焦点
位置に気泡ａが存在すれば、照射光３１の一部は反射さ
れる。この反射された反射光３２は色出しレンズ１４を
透過して集光レンズ１５により光センサー１６の受光面
上に集光し、電気信号に変換されて光強度値として検出
される。
【００１８】ここで、回転フィルター板１２をモータド
ライバー２２で回転させて別の干渉フィルターに切換
え、波長λ2 の照射光３１を透過させる。この照射光３
１は色出しレンズ１４に入射して色収差により上記波長
λ1 の照射光３１とは異なる焦点距離ｌ2 で別の焦点位
置に焦点を結ぶ。もし、焦点距離ｌ2 の位置で気泡が存
在すると、上記と同様に照射光３１の一部は反射され、
光センサ１６を介して光強度が検出される。この様に、
回転フィルター板１２を回転させて照射光３１の波長を
選択し、異なる焦点距離で焦点を結ばせることにより、
図３で示される様な複数のピーク値が得られ、Ｚ方向に
存在する複数の気泡を検出する。
ライバー２２で回転させて別の干渉フィルターに切換
え、波長λ2 の照射光３１を透過させる。この照射光３
１は色出しレンズ１４に入射して色収差により上記波長
λ1 の照射光３１とは異なる焦点距離ｌ2 で別の焦点位
置に焦点を結ぶ。もし、焦点距離ｌ2 の位置で気泡が存
在すると、上記と同様に照射光３１の一部は反射され、
光センサ１６を介して光強度が検出される。この様に、
回転フィルター板１２を回転させて照射光３１の波長を
選択し、異なる焦点距離で焦点を結ばせることにより、
図３で示される様な複数のピーク値が得られ、Ｚ方向に
存在する複数の気泡を検出する。
【００１９】以上の一連の処理を高速で行うため、ＭＰ
Ｕ２１はＩ／Ｆ（インターフェイス）１８を介してモー
タドライバー２２と光センサーコントローラ１７とを制
御し、光センサー１６からの電気信号をＡ／Ｄ変換器１
９で変換して記憶手段２０にてデータとして取り込み、
演算処理を行って各波長毎の光強度値を求めることによ
り被検査物４のＸＹ面上の所定位置でのＺ方向の気泡の
検出を行う。
Ｕ２１はＩ／Ｆ（インターフェイス）１８を介してモー
タドライバー２２と光センサーコントローラ１７とを制
御し、光センサー１６からの電気信号をＡ／Ｄ変換器１
９で変換して記憶手段２０にてデータとして取り込み、
演算処理を行って各波長毎の光強度値を求めることによ
り被検査物４のＸＹ面上の所定位置でのＺ方向の気泡の
検出を行う。
【００２０】本実施例によれば、被検査物の内部に存在
する気泡へ照射光を集光させて入射方向と同じ方向に反
射してくる反射光を検出することにより、反射効率が向
上し、検出感度が高くなる。また、回転フィルター板を
高速で回転させて干渉フィルターを切り換えることによ
り、Ｚ方向に存在する気泡を高速に走査して検出するこ
とができる。
する気泡へ照射光を集光させて入射方向と同じ方向に反
射してくる反射光を検出することにより、反射効率が向
上し、検出感度が高くなる。また、回転フィルター板を
高速で回転させて干渉フィルターを切り換えることによ
り、Ｚ方向に存在する気泡を高速に走査して検出するこ
とができる。
【００２１】尚、白色光源１０であるハロゲンランプ３
３やキセノンランプ３４は図６に示す様な分光放射特性
を持っている。一方、ホトダイオードやホトトランジス
タ等の光センサ１６は図７に示す様な分光感度特性を持
っている。従って、これらの分光特性データを記憶手段
２０へ記憶しておき、光センサー１６から出力される光
強度値に演算処理を行い、白色光源１０および光センサ
ー１６の分光特性の影響を補正すればさらに検出精度が
向上する。
３やキセノンランプ３４は図６に示す様な分光放射特性
を持っている。一方、ホトダイオードやホトトランジス
タ等の光センサ１６は図７に示す様な分光感度特性を持
っている。従って、これらの分光特性データを記憶手段
２０へ記憶しておき、光センサー１６から出力される光
強度値に演算処理を行い、白色光源１０および光センサ
ー１６の分光特性の影響を補正すればさらに検出精度が
向上する。
【００２２】
【実施例２】図８は本実施例を示す概略構成図である。
本実施例は、前記実施例１と同一な構成部分に同一番号
を付してその説明を省略する。本実施例では、前記実施
例１における回転フィルター板１２に代わりフィルター
１２ａで構成したものである。このフィルター１２ａ
は、特定の範囲の波長λ（λ1 ＜λ＜λ2 ）のみを透過
させる広帯域バンドパスフィルターである。
本実施例は、前記実施例１と同一な構成部分に同一番号
を付してその説明を省略する。本実施例では、前記実施
例１における回転フィルター板１２に代わりフィルター
１２ａで構成したものである。このフィルター１２ａ
は、特定の範囲の波長λ（λ1 ＜λ＜λ2 ）のみを透過
させる広帯域バンドパスフィルターである。
【００２３】上記構成の装置は、波長λ1 での色出しレ
ンズ１４の焦点距離ｌ1 、波長λ2での色出しレンズ１
４の焦点距離をｌ2 とすると、フィルター１２ａを透過
した波長λ（λ1 ＜λ＜λ2 ）の光は色出しレンズ１４
により焦点距離ｌ（ｌ1 ＜ｌ＜ｌ2 ）で焦点を結ぶ。従
って、波長λ（λ1 ＜λ＜λ2 ）の光により、被検査物
４内のｌ1 ＜ｌ＜ｌ2 の深さ範囲４ａにある気泡のみを
選択的に検出できる。この場合、被検査物４の所定深さ
の範囲４ａ以外に気泡が存在しても、この被検査物４の
実用上の使用に障害が無い場合に有効な測定装置とな
る。
ンズ１４の焦点距離ｌ1 、波長λ2での色出しレンズ１
４の焦点距離をｌ2 とすると、フィルター１２ａを透過
した波長λ（λ1 ＜λ＜λ2 ）の光は色出しレンズ１４
により焦点距離ｌ（ｌ1 ＜ｌ＜ｌ2 ）で焦点を結ぶ。従
って、波長λ（λ1 ＜λ＜λ2 ）の光により、被検査物
４内のｌ1 ＜ｌ＜ｌ2 の深さ範囲４ａにある気泡のみを
選択的に検出できる。この場合、被検査物４の所定深さ
の範囲４ａ以外に気泡が存在しても、この被検査物４の
実用上の使用に障害が無い場合に有効な測定装置とな
る。
【００２４】本実施例によれば、フィルター１２ａに透
過波長帯域を持たせることにより、被検査物４内の特定
な範囲の気泡のみを選択的に検出できる。
過波長帯域を持たせることにより、被検査物４内の特定
な範囲の気泡のみを選択的に検出できる。
【００２５】
【実施例３】図９は本実施例を示す概略構成図である。
本実施例は、前記実施例１における白色光源１と被検査
物４との間に周波数制御装置４１が接続された音響光学
素子４０を配置して構成した点が異なり、他の構成は同
一な構成部分からなるもので、同一構成部分には同一番
号を付し、構成の説明を省略する。
本実施例は、前記実施例１における白色光源１と被検査
物４との間に周波数制御装置４１が接続された音響光学
素子４０を配置して構成した点が異なり、他の構成は同
一な構成部分からなるもので、同一構成部分には同一番
号を付し、構成の説明を省略する。
【００２６】上記構成の装置は、白色光源１０から出射
された照射光３１がコリメートレンズ１１により平行光
束にされ、回転フィルター板１２を透過し、光偏向手段
である音響光学素子４０に入射される。音響光学素子４
０を通過する際に射出方向が偏向され、ハーフミラー１
３を透過して被検査物４に入射する。照射光３１ａは被
検査物４の内部に存在する気泡ａによって反射され、そ
の反射光３２ａはハーフミラー１３を透過して十分に色
消しをされた集光レンズ１５に入射し、光検出手段であ
るＣＣＤカメラ１６ａの受光面上の点ａ’に結像する。
された照射光３１がコリメートレンズ１１により平行光
束にされ、回転フィルター板１２を透過し、光偏向手段
である音響光学素子４０に入射される。音響光学素子４
０を通過する際に射出方向が偏向され、ハーフミラー１
３を透過して被検査物４に入射する。照射光３１ａは被
検査物４の内部に存在する気泡ａによって反射され、そ
の反射光３２ａはハーフミラー１３を透過して十分に色
消しをされた集光レンズ１５に入射し、光検出手段であ
るＣＣＤカメラ１６ａの受光面上の点ａ’に結像する。
【００２７】音響光学素子４０は、透明媒質中の音波に
よって生ずる屈折率の空間的周期変化により、入射光を
１方向に回折して偏向させるものである。この音響光学
素子４０に加える音波の周波数を変化させることによ
り、出射光の偏向方向を変化させることができる。
よって生ずる屈折率の空間的周期変化により、入射光を
１方向に回折して偏向させるものである。この音響光学
素子４０に加える音波の周波数を変化させることによ
り、出射光の偏向方向を変化させることができる。
【００２８】音響光学素子４０に加える音波を変化させ
てその出射光３１ｂを図９中のｘ方向に偏向させ、色出
しレンズ１４によりその光軸外の１点に集光させる。こ
の集光点に被検査物４内の気泡ｂが存在すれば、その反
射光３２ｂはハーフミラー１３で反射され、集光レンズ
１５によりその光軸外でＣＣＤカメラ１６ａの受光面上
の点ｂ’に結像する。
てその出射光３１ｂを図９中のｘ方向に偏向させ、色出
しレンズ１４によりその光軸外の１点に集光させる。こ
の集光点に被検査物４内の気泡ｂが存在すれば、その反
射光３２ｂはハーフミラー１３で反射され、集光レンズ
１５によりその光軸外でＣＣＤカメラ１６ａの受光面上
の点ｂ’に結像する。
【００２９】従って、被検査物４を色出しレンズ１４の
光軸に対してＸＹ面上で動かす場合、あるいは被検査物
４と色出しレンズ１４とを固定するとともに照射光３１
の光路を被検査物４の表面上でＸＹ方向に動かすよう
に、回転するポリゴンミラーを使ったり、水平移動する
断面３角形状のプリズムによって光路を偏光させる等の
機械的な駆動手段を用いることなく、被検査物４への照
射光３１を走査できる。
光軸に対してＸＹ面上で動かす場合、あるいは被検査物
４と色出しレンズ１４とを固定するとともに照射光３１
の光路を被検査物４の表面上でＸＹ方向に動かすよう
に、回転するポリゴンミラーを使ったり、水平移動する
断面３角形状のプリズムによって光路を偏光させる等の
機械的な駆動手段を用いることなく、被検査物４への照
射光３１を走査できる。
【００３０】本実施例によれば、被検査物を機械的な駆
動手段を用いることなく、Ｚ方向およびｘ方向にスキャ
ンすることができ、高速な気泡検出ができる。また、偏
向方向の異なる音響光学素子を直列に配置することによ
りｙ方向にも光束をスキャンすることができ、さらに高
速で被検査物内の気泡の３次元的な分布を検出できる。
動手段を用いることなく、Ｚ方向およびｘ方向にスキャ
ンすることができ、高速な気泡検出ができる。また、偏
向方向の異なる音響光学素子を直列に配置することによ
りｙ方向にも光束をスキャンすることができ、さらに高
速で被検査物内の気泡の３次元的な分布を検出できる。
【００３１】
【発明の効果】請求項１〜３に係わる発明の効果は、波
長毎の色収差の発生による焦点距離の違いを利用し、透
明物体内に存在する気泡の３次元的な分布を高速で精度
良く検査することができるため、検査の自動化が図れ
る。
長毎の色収差の発生による焦点距離の違いを利用し、透
明物体内に存在する気泡の３次元的な分布を高速で精度
良く検査することができるため、検査の自動化が図れ
る。
【図１】本発明を示す概念図である。
【図２】本発明を示す概念図である。
【図３】本発明を示すグラフである。
【図４】実施例１を示す概略構成図である。
【図５】実施例１を示す斜視図である。
【図６】実施例１を示すグラフである。
【図７】実施例１を示すグラフである。
【図８】実施例２を示す概略構成図である。
【図９】実施例３を示す概略構成図である。
【図１０】従来例を示す概略構成図である。
１ 多波長光源 ３ 色収差発生手段 ４ 被検査物 ５ 光検出手段
Claims (3)
- 【請求項１】 複数の波長からなる照射光を出射する多
波長光源と、前記照射光の光軸上又は／及び軸外での焦
点距離が異なるように色収差を発生させて被検査物に照
射する色収差発生手段と、前記被検査物内の気泡からの
反射光を検出する光検出手段とから構成したことを特徴
とする透明物体内の気泡検出装置。 - 【請求項２】 複数の波長からなる照射光を出射する多
波長光源と、出射された前記照射光に含まれる特定波長
の光を選択する波長選択手段と、前記照射光の光軸上又
は／及び軸外での焦点距離が異なるように色収差を発生
させて被検査物に照射する色収差発生手段と、前記被検
査物内の気泡からの反射光を検出する光検出手段とから
構成したことを特徴とする透明物体内の気泡検出装置。 - 【請求項３】 前記多波長光源と被検査物との間に光偏
向手段を配置したことを特徴とする請求項１又は２記載
の透明物体内の気泡検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13833394A JPH07120401A (ja) | 1993-09-03 | 1994-05-27 | 透明物体内の気泡検出装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5-243757 | 1993-09-03 | ||
| JP24375793 | 1993-09-03 | ||
| JP13833394A JPH07120401A (ja) | 1993-09-03 | 1994-05-27 | 透明物体内の気泡検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07120401A true JPH07120401A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=26471391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13833394A Withdrawn JPH07120401A (ja) | 1993-09-03 | 1994-05-27 | 透明物体内の気泡検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07120401A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011503530A (ja) * | 2007-10-22 | 2011-01-27 | ヴィジョンゲイト，インコーポレーテッド | 光トモグラフィに対する被写界深度拡大 |
| KR101589447B1 (ko) * | 2015-03-13 | 2016-01-28 | 주식회사 이신우 | 기체 공급량 감지조절장치 및 이에 의한 감지조절방법 |
| EP3322975A4 (en) * | 2015-07-14 | 2019-03-13 | Synergx Technologies Inc. | OPTICAL INSPECTION SYSTEM FOR TRANSPARENT MATERIAL |
| CN109476079A (zh) * | 2016-07-20 | 2019-03-15 | 瓦克化学股份公司 | 3d打印机和用于制造物体的方法 |
| CN113658882A (zh) * | 2021-08-18 | 2021-11-16 | 颜鸿任 | 基于光干涉断层的半导体封装封胶内气泡瑕疵成像方法 |
-
1994
- 1994-05-27 JP JP13833394A patent/JPH07120401A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011503530A (ja) * | 2007-10-22 | 2011-01-27 | ヴィジョンゲイト，インコーポレーテッド | 光トモグラフィに対する被写界深度拡大 |
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| CN109476079A (zh) * | 2016-07-20 | 2019-03-15 | 瓦克化学股份公司 | 3d打印机和用于制造物体的方法 |
| CN109476079B (zh) * | 2016-07-20 | 2021-04-06 | 瓦克化学股份公司 | 3d打印机和用于制造物体的方法 |
| CN113658882A (zh) * | 2021-08-18 | 2021-11-16 | 颜鸿任 | 基于光干涉断层的半导体封装封胶内气泡瑕疵成像方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010731 |