JPH07120418A - 局所的光電子検出装置及び検出方法 - Google Patents
局所的光電子検出装置及び検出方法Info
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- JPH07120418A JPH07120418A JP5263458A JP26345893A JPH07120418A JP H07120418 A JPH07120418 A JP H07120418A JP 5263458 A JP5263458 A JP 5263458A JP 26345893 A JP26345893 A JP 26345893A JP H07120418 A JPH07120418 A JP H07120418A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】高い空間分解能で局所的な光電子検出を行う。
【構成】試料からの光電子を受容する探針の内部、好ま
しくは中央部から試料へ光を照射する構成とし、探針自
体に試料への光の照射と試料からの光電子の捕獲という
二つの機能をもたせる構成とした。具体的には、試料か
らの光電子を受容する探針と、探針の内部から前記試料
へ光を照射する光照射手段と、探針を試料に対して相対
的に移動させる移動手段と、探針と試料との間に電圧を
印加する電圧印加手段と、探針の受容する光電子により
探針と試料との間に流れる電流を検出する電流検出手段
と、電流検出手段により検出された電流の情報を表示す
る表示手段とを有している。
しくは中央部から試料へ光を照射する構成とし、探針自
体に試料への光の照射と試料からの光電子の捕獲という
二つの機能をもたせる構成とした。具体的には、試料か
らの光電子を受容する探針と、探針の内部から前記試料
へ光を照射する光照射手段と、探針を試料に対して相対
的に移動させる移動手段と、探針と試料との間に電圧を
印加する電圧印加手段と、探針の受容する光電子により
探針と試料との間に流れる電流を検出する電流検出手段
と、電流検出手段により検出された電流の情報を表示す
る表示手段とを有している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光電子分析装置、特に局
所的な光電子を検出するための装置及び方法に関する。
所的な光電子を検出するための装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】物質表面にその物質の仕事関数よりも大
きなエネルギーを持つ光を照射すると、表面から光電子
が飛び出してくるという現象が知られている。この現象
を表面分析に利用することが知られており、例えば、Ob
servation of local Photoemission using a scanning
tunneling microscope J.K.Gimzewski 他 Ultramicro
scopy 42-44(1992)366-370に報告されている。すなわ
ち、超高真空中において光をスポットに絞って試料表面
に当て、出てくる光電子をＳＴＭ（走査型トンネル顕微
鏡）の探針により局所的に捕獲して表面の仕事関数の違
いに由来する像を得たという報告がなされている。この
報告においては、ＳＴＭ探針の周囲を先端部を除いて絶
縁体でコートすることにより、空間分解能を高める手法
が提案されている。
きなエネルギーを持つ光を照射すると、表面から光電子
が飛び出してくるという現象が知られている。この現象
を表面分析に利用することが知られており、例えば、Ob
servation of local Photoemission using a scanning
tunneling microscope J.K.Gimzewski 他 Ultramicro
scopy 42-44(1992)366-370に報告されている。すなわ
ち、超高真空中において光をスポットに絞って試料表面
に当て、出てくる光電子をＳＴＭ（走査型トンネル顕微
鏡）の探針により局所的に捕獲して表面の仕事関数の違
いに由来する像を得たという報告がなされている。この
報告においては、ＳＴＭ探針の周囲を先端部を除いて絶
縁体でコートすることにより、空間分解能を高める手法
が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た局所的光電子分析法にあっては、期待されるほど空間
分解能が得られないという問題があった。本発明は、こ
のような問題点に鑑みてなされたもので、高い空間分解
能で局所的な光電子検出を行うことのできる検出装置を
提供することを目的としている。
た局所的光電子分析法にあっては、期待されるほど空間
分解能が得られないという問題があった。本発明は、こ
のような問題点に鑑みてなされたもので、高い空間分解
能で局所的な光電子検出を行うことのできる検出装置を
提供することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的のために、本発
明では、試料からの光電子を受容する探針の内部、好ま
しくは中央部から試料へ光を照射する構成とし、探針自
体に試料への光の照射と試料からの光電子の捕獲という
二つの機能をもたせる構成としたものである。具体的に
は、本発明による局所的光電子検出装置は、試料からの
光電子を受容する探針と、探針の内部から前記試料へ光
を照射する光照射手段と、探針を試料に対して相対的に
移動させる移動手段と、探針と試料との間に電圧を印加
する電圧印加手段と、探針の受容する光電子により探針
と試料との間に流れる電流を検出する電流検出手段と、
電流検出手段により検出された電流の情報を表示する表
示手段とを有している。
明では、試料からの光電子を受容する探針の内部、好ま
しくは中央部から試料へ光を照射する構成とし、探針自
体に試料への光の照射と試料からの光電子の捕獲という
二つの機能をもたせる構成としたものである。具体的に
は、本発明による局所的光電子検出装置は、試料からの
光電子を受容する探針と、探針の内部から前記試料へ光
を照射する光照射手段と、探針を試料に対して相対的に
移動させる移動手段と、探針と試料との間に電圧を印加
する電圧印加手段と、探針の受容する光電子により探針
と試料との間に流れる電流を検出する電流検出手段と、
電流検出手段により検出された電流の情報を表示する表
示手段とを有している。
【０００５】また、本発明による局所的光電子検出方法
は、探針の内部から試料へ光を照射し、試料から生ずる
光電子を該探針により受容し、探針と試料との間に流れ
る電流量を検出し、電流量の情報を表示するものであ
る。
は、探針の内部から試料へ光を照射し、試料から生ずる
光電子を該探針により受容し、探針と試料との間に流れ
る電流量を検出し、電流量の情報を表示するものであ
る。
【０００６】
【作用】上記の如き本発明においては、試料に照射され
る光は探針の内部、より好ましくは中央部から供給され
るため、試料に対して光を垂直に照射できる。このた
め、光電子の発生を小さい領域に限定することができ、
実質的分解能を高めることができる。そして、探針を試
料に対して所謂近接場領域にまで接近させることとし、
探針先端に光の波長よりも小さな孔を設けてこの孔を通
して試料に光を照射すると、試料にはエバネッセント光
を照射することができる。このエバネッセント光の照射
領域は探針先端の孔と同程度の大きさであり、照射され
る高の波長よりも小さくできる。したがって、試料から
の光電子を探針で検出した時、検出される光電子はエバ
ネッセント光の照射領域からのみ生じたものであり、探
針先端の孔の大きさ程度の極めて高い空間分解能を得る
ことが可能となる。
る光は探針の内部、より好ましくは中央部から供給され
るため、試料に対して光を垂直に照射できる。このた
め、光電子の発生を小さい領域に限定することができ、
実質的分解能を高めることができる。そして、探針を試
料に対して所謂近接場領域にまで接近させることとし、
探針先端に光の波長よりも小さな孔を設けてこの孔を通
して試料に光を照射すると、試料にはエバネッセント光
を照射することができる。このエバネッセント光の照射
領域は探針先端の孔と同程度の大きさであり、照射され
る高の波長よりも小さくできる。したがって、試料から
の光電子を探針で検出した時、検出される光電子はエバ
ネッセント光の照射領域からのみ生じたものであり、探
針先端の孔の大きさ程度の極めて高い空間分解能を得る
ことが可能となる。
【０００７】このように、試料に対して探針を所謂近接
場領域にまで接近させて光電子を検出する場合には、光
電子による電流に加えてトンネル電流も発生するが、照
射光を変調してこの変調に同期させて探針と試料間の電
流を検出することにより、光電子による電流のみを検出
することができる。このためには、光照射手段において
探針の中央部から光の波長より小さい開口を通して試料
へ変調光を照射すると共に、電流検出手段において照射
光の変調に同期して探針と試料との間に流れる交流電流
を検出する構成とすることが有効である。
場領域にまで接近させて光電子を検出する場合には、光
電子による電流に加えてトンネル電流も発生するが、照
射光を変調してこの変調に同期させて探針と試料間の電
流を検出することにより、光電子による電流のみを検出
することができる。このためには、光照射手段において
探針の中央部から光の波長より小さい開口を通して試料
へ変調光を照射すると共に、電流検出手段において照射
光の変調に同期して探針と試料との間に流れる交流電流
を検出する構成とすることが有効である。
【０００８】
【実施例】図１は、本実施例の局所的光電子検出装置の
概略構成を示すブロック図である。前記装置は、先端の
尖ったガラス管１ａにアルミニウム膜１ｂを付けた探針
１、試料２と探針１との間に所定の電圧Ｖを印加する電
圧印加手段１０、探針１と試料２との間に流れる電流を
測定する電流測定手段１１、探針１に対して試料２を走
査するためのアクチュエータ５を駆動制御するための第
１の駆動制御手段１２、アクチュエータ５を探針１方向
に移動させる移動テーブル６を駆動制御するための第２
の駆動制御手段１３、探針保持具７をＸおよびＹ方向に
移動させる駆動制御するための第３の駆動制御手段１
４、探針１の試料２に対する位置情報と該位置において
電流測定手段１１で測定された電流値とに基づいて試料
表面より飛び出してくる光電子数の情報を記憶するコン
ピュータ１５、前記記憶情報を像として表示するＣＲＴ
１６を有する。
概略構成を示すブロック図である。前記装置は、先端の
尖ったガラス管１ａにアルミニウム膜１ｂを付けた探針
１、試料２と探針１との間に所定の電圧Ｖを印加する電
圧印加手段１０、探針１と試料２との間に流れる電流を
測定する電流測定手段１１、探針１に対して試料２を走
査するためのアクチュエータ５を駆動制御するための第
１の駆動制御手段１２、アクチュエータ５を探針１方向
に移動させる移動テーブル６を駆動制御するための第２
の駆動制御手段１３、探針保持具７をＸおよびＹ方向に
移動させる駆動制御するための第３の駆動制御手段１
４、探針１の試料２に対する位置情報と該位置において
電流測定手段１１で測定された電流値とに基づいて試料
表面より飛び出してくる光電子数の情報を記憶するコン
ピュータ１５、前記記憶情報を像として表示するＣＲＴ
１６を有する。
【０００９】第１の駆動制御手段１２、第２の駆動制御
手段１３および第３の駆動制御手段１４は、ＧＰＩＢケ
ーブルを通してコンピュータ１５によって制御される。
そして、探針１の試料２に対する位置は、アクチュエー
タ５および移動テーブル６の移動量をもとにコンピュー
タ１５によって算出される。また、本実施例では、アク
チュエータ５によって、探針１と試料２との間を所定の
間隔に維持した状態で試料２を探針１に対してＸＹ方向
に走査させるが、走査させる速度および走査範囲は、コ
ンピュータ１５から第１の駆動制御手段１２に指令を出
し、第１の駆動制御手段１２よりアクチュエータ５に送
られる走査信号（三角波）の周波数と振幅を変えること
で適宜設定できる。電流測定手段１１は、電流の交流成
分と直流成分をそれぞれ測定し、２つの独立する情報と
してコンピュータ１５にデータを送り出す機能を有して
いる。
手段１３および第３の駆動制御手段１４は、ＧＰＩＢケ
ーブルを通してコンピュータ１５によって制御される。
そして、探針１の試料２に対する位置は、アクチュエー
タ５および移動テーブル６の移動量をもとにコンピュー
タ１５によって算出される。また、本実施例では、アク
チュエータ５によって、探針１と試料２との間を所定の
間隔に維持した状態で試料２を探針１に対してＸＹ方向
に走査させるが、走査させる速度および走査範囲は、コ
ンピュータ１５から第１の駆動制御手段１２に指令を出
し、第１の駆動制御手段１２よりアクチュエータ５に送
られる走査信号（三角波）の周波数と振幅を変えること
で適宜設定できる。電流測定手段１１は、電流の交流成
分と直流成分をそれぞれ測定し、２つの独立する情報と
してコンピュータ１５にデータを送り出す機能を有して
いる。
【００１０】探針１は、先端の尖ったガラス管１ａにア
ルミニウム膜を付けた構造であるが、以下に探針１の製
作過程を説明する。 細いガラス管（外径1mm ）の一部を熱し、破断するま
で両側に引っ張り、尖った先端を形成する。 この後、所定の長さ（20mm）のなるようガラス管を切
断する。
ルミニウム膜を付けた構造であるが、以下に探針１の製
作過程を説明する。 細いガラス管（外径1mm ）の一部を熱し、破断するま
で両側に引っ張り、尖った先端を形成する。 この後、所定の長さ（20mm）のなるようガラス管を切
断する。
【００１１】次に、尖った先端側の極先端部分にアル
ミニウムを50nmの厚さ蒸着する。 さらに、側面からの光の漏れを防ぐために、ガラス管
の側面にアルミにニウムを先端よりも厚めに（200nm ）
蒸着する。 この手順により、先端に約50nm径の穴を有する探針を得
ることができる。図２は、本実施例の局所的光電子検出
装置の構成を示す概念図である。この装置は、先端の尖
ったガラス管１ａとアルミニウム膜１ｂとからなり先端
部に微小な穴を有する探針１、探針１を保持する探針保
持具７、探針保持具７をＸＹ方向に位置調整する駆動装
置２５、基台２０、探針保持具７を保持するための基台
２０に形成された支持台２０ａ、試料２、試料ホルダー
２６、試料ホルダー２６をＸＹＺ方向に移動させる３次
元アクチュエータ５、アクチュエータ５が設置された移
動テーブル６、光源２１と光源２１からの光３を探針１
に注入するための光ファイバー２２を備えている。 試
料２は、シリコン基板に金を200nm 蒸着し、さらにその
上にセシウムを0.2 μm 周期ライン／スペースのパター
ンで、50nm蒸着して作成した。試料２はアースに接続さ
れており、試料ホルダー２６には接着により取り付けら
れている。
ミニウムを50nmの厚さ蒸着する。 さらに、側面からの光の漏れを防ぐために、ガラス管
の側面にアルミにニウムを先端よりも厚めに（200nm ）
蒸着する。 この手順により、先端に約50nm径の穴を有する探針を得
ることができる。図２は、本実施例の局所的光電子検出
装置の構成を示す概念図である。この装置は、先端の尖
ったガラス管１ａとアルミニウム膜１ｂとからなり先端
部に微小な穴を有する探針１、探針１を保持する探針保
持具７、探針保持具７をＸＹ方向に位置調整する駆動装
置２５、基台２０、探針保持具７を保持するための基台
２０に形成された支持台２０ａ、試料２、試料ホルダー
２６、試料ホルダー２６をＸＹＺ方向に移動させる３次
元アクチュエータ５、アクチュエータ５が設置された移
動テーブル６、光源２１と光源２１からの光３を探針１
に注入するための光ファイバー２２を備えている。 試
料２は、シリコン基板に金を200nm 蒸着し、さらにその
上にセシウムを0.2 μm 周期ライン／スペースのパター
ンで、50nm蒸着して作成した。試料２はアースに接続さ
れており、試料ホルダー２６には接着により取り付けら
れている。
【００１２】アクチュエータ５は、ピエゾ素子を用いた
チューブスキャナ型と呼ばれるもので、ピエゾ素子に適
当な電圧を印加することで試料２を探針１に対してＸＹ
方向に走査させる。このアクチュエータ５は試料をＺ方
向に変位させる際に微動機構としても機能する。さら
に、アクチュエータ５は移動テーブル６に設置され、こ
の移動テーブル６はアクチュエータ５ごと試料２をＺ方
向に移動させる。移動テーブル６は、軸受２３およびね
じ２４を介してねじ部２４ａで支持されている。ねじ部
２４ａは、ねじ山のピッチが0.3mm に設定され、基台２
０に形成された支持部２０ｂに設けられためねじ２０ｃ
と螺合している。図示していない駆動機構によってねじ
２４を回転させると移動テーブル６はＺ方向に移動す
る。この移動テーブル６は、試料２を探針１に接近させ
る際に粗動機構として機能する。
チューブスキャナ型と呼ばれるもので、ピエゾ素子に適
当な電圧を印加することで試料２を探針１に対してＸＹ
方向に走査させる。このアクチュエータ５は試料をＺ方
向に変位させる際に微動機構としても機能する。さら
に、アクチュエータ５は移動テーブル６に設置され、こ
の移動テーブル６はアクチュエータ５ごと試料２をＺ方
向に移動させる。移動テーブル６は、軸受２３およびね
じ２４を介してねじ部２４ａで支持されている。ねじ部
２４ａは、ねじ山のピッチが0.3mm に設定され、基台２
０に形成された支持部２０ｂに設けられためねじ２０ｃ
と螺合している。図示していない駆動機構によってねじ
２４を回転させると移動テーブル６はＺ方向に移動す
る。この移動テーブル６は、試料２を探針１に接近させ
る際に粗動機構として機能する。
【００１３】探針保持具７は、支持台２０ａにより基台
２０に支持されている。駆動装置２５は、ＸおよびＹ方
向に取り付けられており、探針１および探針保持具７を
ＸおよびＹ方向に位置調整することができる。光源２１
は、633nm （Ｈｅ−Ｎｅレーザー）の光３を発し、この
光３を光ファイバー２２を通じて探針１に注入する。ま
た、光源２１は、光３にモジュレーションをかける手段
を有している。
２０に支持されている。駆動装置２５は、ＸおよびＹ方
向に取り付けられており、探針１および探針保持具７を
ＸおよびＹ方向に位置調整することができる。光源２１
は、633nm （Ｈｅ−Ｎｅレーザー）の光３を発し、この
光３を光ファイバー２２を通じて探針１に注入する。ま
た、光源２１は、光３にモジュレーションをかける手段
を有している。
【００１４】図３は、本実験例で用いたチューブスキャ
ナ型アクチュエータの概念斜視図である。アクチュエー
タ５は、円筒上の厚電セラミックス３０の外周面にＸ方
向走査用の厚電素子に対する電極３１ａ，３１ｂおよび
Ｙ方向走査用の厚電素子に対する電極３２ａ，３２ｂ
が、それぞれＸ方向同士、Ｙ方向同士で対向するように
設けられている。厚電セラミックス３０の内周面には、
各電極３１ａ、３１ｂ、３２ａ、３２ｂに対する共通電
極３３が設けられている。ＸＹ方向に走査するときは、
それぞれの方向の各電極間に大きさが同じで符号の異な
る電位を印加する。また、Ｚ方向に移動させるときは、
正負どちらか一方の電圧を設定して、この電圧をＸ、Ｙ
全ての外周面の各電極と共通電極３３との間にそれぞれ
等しく印加することで、素子をＺ方向に伸縮させる。
ナ型アクチュエータの概念斜視図である。アクチュエー
タ５は、円筒上の厚電セラミックス３０の外周面にＸ方
向走査用の厚電素子に対する電極３１ａ，３１ｂおよび
Ｙ方向走査用の厚電素子に対する電極３２ａ，３２ｂ
が、それぞれＸ方向同士、Ｙ方向同士で対向するように
設けられている。厚電セラミックス３０の内周面には、
各電極３１ａ、３１ｂ、３２ａ、３２ｂに対する共通電
極３３が設けられている。ＸＹ方向に走査するときは、
それぞれの方向の各電極間に大きさが同じで符号の異な
る電位を印加する。また、Ｚ方向に移動させるときは、
正負どちらか一方の電圧を設定して、この電圧をＸ、Ｙ
全ての外周面の各電極と共通電極３３との間にそれぞれ
等しく印加することで、素子をＺ方向に伸縮させる。
【００１５】以下、再び図１を用いて本実施例の局所的
光電子検出法について説明する。まず、光３を試料２に
照射しない状態で、電流測定手段１１により探針１と試
料２との間に流れる電流（直流）を測定しながら、コン
ピュータ１５によって第２の駆動制御手段１３を制御し
て移動テーブル６を探針１に向けて移動させる。この
時、探針１には電圧印加手段１０により試料２に対して
＋５Ｖのバイアス電圧を印加しておく。電流測定手段１
１によって探針１と試料２との間に電流（電界放射）が
検出されたら移動テーブル６を停止させる。
光電子検出法について説明する。まず、光３を試料２に
照射しない状態で、電流測定手段１１により探針１と試
料２との間に流れる電流（直流）を測定しながら、コン
ピュータ１５によって第２の駆動制御手段１３を制御し
て移動テーブル６を探針１に向けて移動させる。この
時、探針１には電圧印加手段１０により試料２に対して
＋５Ｖのバイアス電圧を印加しておく。電流測定手段１
１によって探針１と試料２との間に電流（電界放射）が
検出されたら移動テーブル６を停止させる。
【００１６】その後、探針１の電位を試料２に対して＋
１．０Ｖに設定し、第１の駆動制御手段１２を介してア
クチュエータ５を駆動して試料２を探針１に接近させ、
トンネル電流が検出されたら試料２を停止させる。以上
の操作により、探針１と試料２との距離が設定される
が、トンネル電流は探針１の先端部において最も突きだ
した突起部と試料との間で流れるため、探針１先端の穴
と試料との距離は数ナノメートル程度になっている。
１．０Ｖに設定し、第１の駆動制御手段１２を介してア
クチュエータ５を駆動して試料２を探針１に接近させ、
トンネル電流が検出されたら試料２を停止させる。以上
の操作により、探針１と試料２との距離が設定される
が、トンネル電流は探針１の先端部において最も突きだ
した突起部と試料との間で流れるため、探針１先端の穴
と試料との距離は数ナノメートル程度になっている。
【００１７】探針１と試料２の距離が設定されたら、光
３を探針１に注入する。ここで、光３には10kHz でモジ
ュレーションをかけておく。これは、電流測定手段１１
において、トンネル電流による電流（直流）と光電子に
よる電流（交流10kHz ）とに分離して、光電子による電
流値を測定するためである。この後、コンピュータ１５
により走査領域を設定し、アクチュエータ５で試料２を
ＸＹ方向に移動させることにより、探針１に対して試料
２を走査をさせる。
３を探針１に注入する。ここで、光３には10kHz でモジ
ュレーションをかけておく。これは、電流測定手段１１
において、トンネル電流による電流（直流）と光電子に
よる電流（交流10kHz ）とに分離して、光電子による電
流値を測定するためである。この後、コンピュータ１５
により走査領域を設定し、アクチュエータ５で試料２を
ＸＹ方向に移動させることにより、探針１に対して試料
２を走査をさせる。
【００１８】なお、探針１をＸＹ方向に走査する際は、
電流測定手段１１で測定される電流のトンネル電流（直
流）成分が一定値になるように、アクチュエータ５のＺ
方向の変位をフィードバック制御する。さらに走査中
は、電流測定手段１１によって探針１と試料２との間に
光電子４により流れる電流（交流）を測定する。コンピ
ュータ１５は、試料２上での探針１の位置（ＸＹ平面で
の位置）と、この位置での電流測定手段１１による測定
結果とを対応させて、試料２より発生した光電子４の数
のデータを取り込む。このデータはＣＲＴ１６に送ら
れ、試料像として画面上に表示される。
電流測定手段１１で測定される電流のトンネル電流（直
流）成分が一定値になるように、アクチュエータ５のＺ
方向の変位をフィードバック制御する。さらに走査中
は、電流測定手段１１によって探針１と試料２との間に
光電子４により流れる電流（交流）を測定する。コンピ
ュータ１５は、試料２上での探針１の位置（ＸＹ平面で
の位置）と、この位置での電流測定手段１１による測定
結果とを対応させて、試料２より発生した光電子４の数
のデータを取り込む。このデータはＣＲＴ１６に送ら
れ、試料像として画面上に表示される。
【００１９】以上の過程により試料２の分析を行ったと
ころ、高空間分解能の試料像が得られた。これは、試料
２上に光３が照射される領域が光の波長以下に狭められ
た為である。なお、上記の実施例は全て超高真空中にお
いて行った。また上記の実施例においては、探針１に対
してアクチュエータ５により試料２を移動する構成とし
たが、これとは逆に探針１をアクチュエータで動かすこ
ともできる。これにより、試料２を固定させることがで
き、大きな試料の測定も可能になる。
ころ、高空間分解能の試料像が得られた。これは、試料
２上に光３が照射される領域が光の波長以下に狭められ
た為である。なお、上記の実施例は全て超高真空中にお
いて行った。また上記の実施例においては、探針１に対
してアクチュエータ５により試料２を移動する構成とし
たが、これとは逆に探針１をアクチュエータで動かすこ
ともできる。これにより、試料２を固定させることがで
き、大きな試料の測定も可能になる。
【００２０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、光の波長
以下の大きさの穴を通して試料上に光を照射するため、
この領域のみから光電子が発生する。よって、穴の大き
さを小さくすることにより、高空間分解能の像を得るこ
とができる。
以下の大きさの穴を通して試料上に光を照射するため、
この領域のみから光電子が発生する。よって、穴の大き
さを小さくすることにより、高空間分解能の像を得るこ
とができる。
【図１】は、実施例の局所的光電子検出装置の構成を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図２】は、実施例の局所的光電子検出装置の構成を示
す概略図である。
す概略図である。
【図３】は、実施例の局所的光電子検出装置で用いたア
クチュエータを示す概略斜視図である。
クチュエータを示す概略斜視図である。
１・・・探針 １ａ・・先端の尖ったガラス管 １ｂ・・アルミニウム膜 ２・・・試料 ３・・・光 ４・・・光電子 ５・・・アクチュエータ ６・・・移動テーブル ７・・・探針保持具 １０・・・電圧印加手段 １１・・・電流測定手段 １２・・・第１の駆動制御手段 １３・・・第２の駆動制御手段 １４・・・第３の駆動制御手段 １５・・・コンピュータ １６・・・ＣＲＴ ２１・・・光源 ２２・・・光ファイバー ２５・・・駆動装置 ２６・・・試料ホルダー ３０・・・厚電セラミックス
Claims (3)
- 【請求項１】試料からの光電子を受容する探針と、該探
針の内部から前記試料へ光を照射する光照射手段と、前
記探針を試料に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記探針と前記試料との間に電圧を印加する電圧印加手
段と、前記探針の受容する光電子により該探針と前記試
料との間に流れる電流を検出する電流検出手段と、前記
電流検出手段により検出された電流の情報を表示する表
示手段とを有することを特徴とする局所的光電子検出装
置。 - 【請求項２】試料からの光電子を受容する探針と、該探
針の内部から光の波長より小さい開口を通して前記試料
へ変調光を照射する光照射手段と、前記探針を試料に対
して相対的に移動させる移動手段と、前記探針と前記試
料との間に電圧を印加する電圧印加手段と、前記探針の
受容する光電子により該探針と前記試料との間に流れる
交流電流を検出する電流検出手段と、前記電流検出手段
により検出された電流の情報を表示する表示手段とを有
することを特徴とする局所的光電子検出装置。 - 【請求項３】探針の内部から試料へ光を照射し、該試料
から生ずる光電子を該探針により受容し、該探針と試料
との間に流れる電流量を検出し、該電流量の情報を表示
することを特徴とする局所的光電子検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5263458A JPH07120418A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 局所的光電子検出装置及び検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5263458A JPH07120418A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 局所的光電子検出装置及び検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07120418A true JPH07120418A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=17389792
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5263458A Pending JPH07120418A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 局所的光電子検出装置及び検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07120418A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010243377A (ja) * | 2009-04-08 | 2010-10-28 | Mitsubishi Electric Corp | 走査型プローブ光電子収量分光顕微法および走査型プローブ光電子収量分光顕微鏡 |
-
1993
- 1993-10-21 JP JP5263458A patent/JPH07120418A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010243377A (ja) * | 2009-04-08 | 2010-10-28 | Mitsubishi Electric Corp | 走査型プローブ光電子収量分光顕微法および走査型プローブ光電子収量分光顕微鏡 |
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