JPH0712239B2 - 超音波トランスジユ−サの製造方法 - Google Patents
超音波トランスジユ−サの製造方法Info
- Publication number
- JPH0712239B2 JPH0712239B2 JP3220186A JP3220186A JPH0712239B2 JP H0712239 B2 JPH0712239 B2 JP H0712239B2 JP 3220186 A JP3220186 A JP 3220186A JP 3220186 A JP3220186 A JP 3220186A JP H0712239 B2 JPH0712239 B2 JP H0712239B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［概 要］ アレイ型の超音波トランスジューサの製造方法であっ
て、光硬化型樹脂とアレイ形状に相似な光学マスクとを
用いて、アレイ型トランスジューサの分割溝に音響絶縁
物質を封止し、圧電素子間に音響絶縁層を形成し、音響
結合を抑圧するものである。
て、光硬化型樹脂とアレイ形状に相似な光学マスクとを
用いて、アレイ型トランスジューサの分割溝に音響絶縁
物質を封止し、圧電素子間に音響絶縁層を形成し、音響
結合を抑圧するものである。
［産業上の利用分野］ 本発明は超音波診断装置に使用する超音波トランスジュ
ーサの製造方法に関する。
ーサの製造方法に関する。
超音波診断装置に使用される超音波トランスジューサ
は、圧電効果によって電気エネルギーを超音波エネルギ
ーに変換して発射すると共に、対象物からの反射波を再
び電気信号に変換して検出する働きを行い、超音波探触
子とも呼ばれる。
は、圧電効果によって電気エネルギーを超音波エネルギ
ーに変換して発射すると共に、対象物からの反射波を再
び電気信号に変換して検出する働きを行い、超音波探触
子とも呼ばれる。
超音波診断装置において、対象物内をリニア状またはセ
クタ状に、電子的に走査するための超音波トランスジュ
ーサは、多数の圧電素子をアレイ状に配列して一体とし
たものを使用する。
クタ状に、電子的に走査するための超音波トランスジュ
ーサは、多数の圧電素子をアレイ状に配列して一体とし
たものを使用する。
本発明は、アレイ型超音波トランスジューサの製造方法
に係わり、特にアレイ分割溝への音響的絶縁層の形成に
関するものである。
に係わり、特にアレイ分割溝への音響的絶縁層の形成に
関するものである。
［従来の技術］ 第４図はアレイ型超音波トランスジューサの構造を示す
断面図である。
断面図である。
第４図において、はバッキング（背面吸収層）であ
り、は圧電素子であり、は1/4波長の整合層であ
り、は音響レンズであって、で示したのが分割溝で
ある。
り、は圧電素子であり、は1/4波長の整合層であ
り、は音響レンズであって、で示したのが分割溝で
ある。
第４図において、（ａ）は整合層を１枚で構成したもの
であり、（ｂ）は整合層を圧電素子ごとに分割して構成
したものである。（ａ）の構成では整合層を通じて圧電
素子間の音響結合が起きるので、最近は（ｂ）の構成の
ものが多くなっている。
であり、（ｂ）は整合層を圧電素子ごとに分割して構成
したものである。（ａ）の構成では整合層を通じて圧電
素子間の音響結合が起きるので、最近は（ｂ）の構成の
ものが多くなっている。
アレイ型超音波トランスジューサにおいては、各圧電素
子間の音響結合を無くするため、音響的に絶縁されるこ
とが望ましい。
子間の音響結合を無くするため、音響的に絶縁されるこ
とが望ましい。
従来、アレイ分割溝に対して音響減衰物質を封入してい
たが、溝幅が非常に小さいこともあって、絶縁層として
の効果は殆ど無い状態であった。
たが、溝幅が非常に小さいこともあって、絶縁層として
の効果は殆ど無い状態であった。
最近、我々は、分割溝に対して、マイクロバルーンと称
する中空のガラス等による音響絶縁物を封止することが
提案し、期待通りの効果を得ている。
する中空のガラス等による音響絶縁物を封止することが
提案し、期待通りの効果を得ている。
しかしながら、マイクロバルーン等の音響絶縁材料は粉
体であり、構内に固定する手段が必要となる。
体であり、構内に固定する手段が必要となる。
接着剤を用いて、音響レンズ若しくは整合層と接着する
ことにより封止する方法をとるときは、接着剤が分割溝
内に流れ込み、分割溝の音響絶縁性を損なうものであっ
た。
ことにより封止する方法をとるときは、接着剤が分割溝
内に流れ込み、分割溝の音響絶縁性を損なうものであっ
た。
［発明が解決しようとする問題点］ 本発明は、上記のような従来技術の問題点を解消した新
規な超音波トランスジューサの製造方法を提供しようと
するものである。
規な超音波トランスジューサの製造方法を提供しようと
するものである。
［問題点を解決するための手段］ 第１図は、本発明の超音波トランスジューサの製造方法
の原理を示す工程ブロック図である。
の原理を示す工程ブロック図である。
第１図において、１は分割溝に音響絶縁物を埋め込み、
平の面とし、その上に光硬化樹脂を塗布する工程であ
る。
平の面とし、その上に光硬化樹脂を塗布する工程であ
る。
２は光硬化樹脂を塗布された面に、アレイと相似の光学
マスクをかけ、分割溝部の上の光硬化樹脂のみを露光す
る工程である。これにより、光硬化樹脂の分割溝部が硬
化される。
マスクをかけ、分割溝部の上の光硬化樹脂のみを露光す
る工程である。これにより、光硬化樹脂の分割溝部が硬
化される。
３は未露光の硬化されてない部分を洗浄し除去する工程
である。
である。
４はアレイの上に、整合層または音響レンズを形成する
工程である。
工程である。
［作用］ 上記のように、光硬化樹脂を塗布し、アレイ形状と相似
のマスクをかけて露光することにより、従来のように接
着剤が分割溝内に流れ込むことなく、音響絶縁物質を分
割溝内に安定して封止して、音響絶縁層を形成すること
ができる。
のマスクをかけて露光することにより、従来のように接
着剤が分割溝内に流れ込むことなく、音響絶縁物質を分
割溝内に安定して封止して、音響絶縁層を形成すること
ができる。
［実施例］ 以下第２図および第３図に示す実施例により、本発明を
さらに具体的に説明する。
さらに具体的に説明する。
第２図は、本発明を適用した実施例製品の構造を示す図
である。
である。
第２図において、第４図と同一の符号は同一の対象物を
示し、また図の（ａ）および（ｂ）は第４図と同じく、
整合層が一体のもの、および分割されたものを示す。
示し、また図の（ａ）および（ｂ）は第４図と同じく、
整合層が一体のもの、および分割されたものを示す。
は分割溝を示し、−１はこの分割溝に埋め込まれ
た、マイクロバルーンからなる音響絶縁物質であり、
は封止用の光硬化樹脂であって、硬化された状態であ
る。
た、マイクロバルーンからなる音響絶縁物質であり、
は封止用の光硬化樹脂であって、硬化された状態であ
る。
第３図は、本発明の実施例の工程を示す図である。
第１の工程は、加工済の分割溝にマイクロバルーン等の
音響絶縁物質を埋め込み、アレイ面と平にする。
音響絶縁物質を埋め込み、アレイ面と平にする。
このときのアレイ面は、第４図の（ａ）の一体型整合層
の場合は圧電素子であり、（ｂ）の分割型整合層の場合
は整合層である。
の場合は圧電素子であり、（ｂ）の分割型整合層の場合
は整合層である。
このアレイ面に光硬化樹脂を塗布し、薄い膜を形成す
る。
る。
第２の工程は、光硬化剤を塗布したアレイ面に、アレイ
形状と相似の形状の光学マスクをかけ、光を照射する工
程である。これによって、光硬化樹脂の分割溝部を硬化
させ音響絶縁物質を封止する。
形状と相似の形状の光学マスクをかけ、光を照射する工
程である。これによって、光硬化樹脂の分割溝部を硬化
させ音響絶縁物質を封止する。
マスクは直接法でも、光学的に結像させる方法でもよ
い。
い。
第３の工程は、未露光の硬化していない部分を洗浄によ
り除去する工程である。
り除去する工程である。
整合層は発射周波数の1/4波長の厚さを持ち、この周波
数を選択的に発射するが、この上に別の層があることは
整合を妨げるので除去する必要がある。
数を選択的に発射するが、この上に別の層があることは
整合を妨げるので除去する必要がある。
第４の工程は、上記工程を終ったアレイ面に整合層また
は音響レンズを形成する工程である。
は音響レンズを形成する工程である。
即ち、第４図（ａ）の一体型整合層の場合は整合層を形
成しその上に音響レンズを形成するものであり、（ｂ）
の分割型整合層の場合は音響レンズを形成するものであ
る。
成しその上に音響レンズを形成するものであり、（ｂ）
の分割型整合層の場合は音響レンズを形成するものであ
る。
上記工程を終了したトランスジューサは、ケースに収納
され、リードを接続されて完成品となる。
され、リードを接続されて完成品となる。
［発明の効果］ 以上説明のように本発明によれば、音響絶縁物質を分割
溝のみに安定して封止して、隣接圧電素子間の音響結合
を抑圧することができ、その実用上の効果は極めて大き
い。
溝のみに安定して封止して、隣接圧電素子間の音響結合
を抑圧することができ、その実用上の効果は極めて大き
い。
第１図は本発明の原理を示す工程ブロック図、 第２図は本発明を適用した実施例製品の構造を示す図、 第３図は本発明の実施例の工程を示す図、 第４図はアレイ型超音波トランスジューサの構造を示す
断面図である。 図面において、 １は光硬化樹脂塗布工程、 ２は露光工程、 ３は未露光部分除去工程、 ４は音響レンズまたは整合層形成工程、 は背面吸収層、は圧電素子、 は整合層、は音響レンズ、 は分割溝、−１は音響絶縁物質、 は封止用光硬化樹脂、 をそれぞれ示す。
断面図である。 図面において、 １は光硬化樹脂塗布工程、 ２は露光工程、 ３は未露光部分除去工程、 ４は音響レンズまたは整合層形成工程、 は背面吸収層、は圧電素子、 は整合層、は音響レンズ、 は分割溝、−１は音響絶縁物質、 は封止用光硬化樹脂、 をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【請求項１】多数の圧電素子をアレイ状に配列したアレ
イ型超音波トランスジューサの製造方法であって、 分割された溝部に音響絶縁物質を埋め込んで平とした面
に光硬化樹脂を塗布する工程と、 該光硬化樹脂を塗布した面に、アレイ形状と相似の形状
を有する光学的マスクをかけて、該溝部の上の光硬化樹
脂のみに光を照射する工程と、 未露光の部分を除去する工程とを含むことを特徴とする
超音波トランスジューサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3220186A JPH0712239B2 (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 | 超音波トランスジユ−サの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3220186A JPH0712239B2 (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 | 超音波トランスジユ−サの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62189900A JPS62189900A (ja) | 1987-08-19 |
| JPH0712239B2 true JPH0712239B2 (ja) | 1995-02-08 |
Family
ID=12352293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3220186A Expired - Fee Related JPH0712239B2 (ja) | 1986-02-17 | 1986-02-17 | 超音波トランスジユ−サの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0712239B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1296136A2 (en) | 2001-09-19 | 2003-03-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic search unit and method for producing the same |
-
1986
- 1986-02-17 JP JP3220186A patent/JPH0712239B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1296136A2 (en) | 2001-09-19 | 2003-03-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic search unit and method for producing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62189900A (ja) | 1987-08-19 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |