JPH0712590A - 光学式変位センサ - Google Patents
光学式変位センサInfo
- Publication number
- JPH0712590A JPH0712590A JP15361893A JP15361893A JPH0712590A JP H0712590 A JPH0712590 A JP H0712590A JP 15361893 A JP15361893 A JP 15361893A JP 15361893 A JP15361893 A JP 15361893A JP H0712590 A JPH0712590 A JP H0712590A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- mounting
- displacement sensor
- optical displacement
- objects
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 特にスケールの形成面に平行な面内における
傾きに対応可能な構成を有する光学式変位センサを提供
する。 【構成】 相対変位する２物体の一方に設けられ且つ該
２物体の他方側のスケール２１の変位情報を光学的に検
出する読み取りヘッド部５と、前記読み取りヘッド部を
スケールの設けられた面に対して実質的に平行な面内で
回転可能とする取付調整機構１、３ａ、３ｂとを備えて
いる。
傾きに対応可能な構成を有する光学式変位センサを提供
する。 【構成】 相対変位する２物体の一方に設けられ且つ該
２物体の他方側のスケール２１の変位情報を光学的に検
出する読み取りヘッド部５と、前記読み取りヘッド部を
スケールの設けられた面に対して実質的に平行な面内で
回転可能とする取付調整機構１、３ａ、３ｂとを備えて
いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光学式変位センサに関
し、特に読み取りヘッド部によりスケールを読み取って
変位を検出する装置に関する。
し、特に読み取りヘッド部によりスケールを読み取って
変位を検出する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、工作機械等の直線方向の移動
ステージの位置検出のために、光学式や磁気式のリニア
エンコーダーが、広く用いられている。一般に光学式リ
ニアエンコーダーは、目盛りの設けられたスケールと、
発光手段、受光手段、及び信号処理回路等を備えた検出
ヘッドとから構成される。図１に従来の光学式リニアエ
ンコーダの構成図を示す。図１に示すように、スケール
２１が設けられたスケール板１１を移動ステージ１３に
取り付け検出ヘッド１５を定盤等の固定部材側の取付基
準平面１４に取り付けて使用し、検出ヘッド１５から出
力される電気信号を計数することにより移動ステージ１
３の移動距離を計測する。検出ヘッド１５より正確な出
力信号を得るためには、検出ヘッド１５とスケール板１
１との傾きをできるだけ小さくし、かつ、両者の距離
（間隔）ｄが決められた寸法となるように取り付ける必
要がある。図２は検出ヘッド１５とスケール板１１との
傾き状態を示す図で（Ａ）は上面図、（Ｂ）は正面図、
（Ｃ）は側面図である。例えば、図２に示すようにスケ
ール板１１と検出ヘッド１５との相対的な傾きα、β、
γのそれぞれの値が規格値以下で、且つ、スケール２１
と検出ヘッド１５との距離ｄ、及びスケール板１１の高
さｈとが規定値内となるように、スケール板１１と検出
ヘッド１５とが取り付けられなればならない。
ステージの位置検出のために、光学式や磁気式のリニア
エンコーダーが、広く用いられている。一般に光学式リ
ニアエンコーダーは、目盛りの設けられたスケールと、
発光手段、受光手段、及び信号処理回路等を備えた検出
ヘッドとから構成される。図１に従来の光学式リニアエ
ンコーダの構成図を示す。図１に示すように、スケール
２１が設けられたスケール板１１を移動ステージ１３に
取り付け検出ヘッド１５を定盤等の固定部材側の取付基
準平面１４に取り付けて使用し、検出ヘッド１５から出
力される電気信号を計数することにより移動ステージ１
３の移動距離を計測する。検出ヘッド１５より正確な出
力信号を得るためには、検出ヘッド１５とスケール板１
１との傾きをできるだけ小さくし、かつ、両者の距離
（間隔）ｄが決められた寸法となるように取り付ける必
要がある。図２は検出ヘッド１５とスケール板１１との
傾き状態を示す図で（Ａ）は上面図、（Ｂ）は正面図、
（Ｃ）は側面図である。例えば、図２に示すようにスケ
ール板１１と検出ヘッド１５との相対的な傾きα、β、
γのそれぞれの値が規格値以下で、且つ、スケール２１
と検出ヘッド１５との距離ｄ、及びスケール板１１の高
さｈとが規定値内となるように、スケール板１１と検出
ヘッド１５とが取り付けられなればならない。
【０００３】光学式変位センサを小型化する場合、全体
の構成として、取付基準平面１４の平面度を保証し、検
出ヘッド基準面１５ａを光学系に対し高精度に設定する
ことで、β、γの角度は許容値内にする事ができるが、
α、つまりスケール形成面に平行な面内回転に関して
は、これだけでは不十分となる可能性があった。
の構成として、取付基準平面１４の平面度を保証し、検
出ヘッド基準面１５ａを光学系に対し高精度に設定する
ことで、β、γの角度は許容値内にする事ができるが、
α、つまりスケール形成面に平行な面内回転に関して
は、これだけでは不十分となる可能性があった。
【０００４】本発明は上述従来例に鑑み、特にスケール
の形成面に平行な面内における傾きに対応可能な構成を
有する光学式変位センサを提供することを目的とする。
の形成面に平行な面内における傾きに対応可能な構成を
有する光学式変位センサを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述目的を達成するため
の本発明によれば、相対変位する２物体の一方に設けら
れ且つ該２物体の他方側のスケールの変位情報を光学的
に検出する読み取りヘッド部と、前記読み取りヘッド部
をスケールの設けられた面に対して実質的に平行な面内
で回転可能とする取付調整機構とを備えている。
の本発明によれば、相対変位する２物体の一方に設けら
れ且つ該２物体の他方側のスケールの変位情報を光学的
に検出する読み取りヘッド部と、前記読み取りヘッド部
をスケールの設けられた面に対して実質的に平行な面内
で回転可能とする取付調整機構とを備えている。
【０００６】
【実施例】本発明の実施例１を図３に示す。図は左上が
上面断面図、左下が正面図、右が側面図である。図中前
述と同様の部材には同じ符番を冠してある。１は回動可
能に本体を支持する支持部、２は定盤等の固定部材側の
取付基準平面１４に固定された支持部、３ａ、３ｂはヘ
ッド本体に設けられた調整ボルト、５はスケールを光学
的に読み取るための検出ヘッドの本体である。検出ヘッ
ドの本体５が、取付面１４に固定された支持部１を中心
に、取付面に固定された支持部２を本体付属の調整ボル
ト３ａ、３ｂで相対的に押し引きすることで、ヘッド本
体５のスケール１１上スケール形成面に平行な面内での
回転及び保持を行う。
上面断面図、左下が正面図、右が側面図である。図中前
述と同様の部材には同じ符番を冠してある。１は回動可
能に本体を支持する支持部、２は定盤等の固定部材側の
取付基準平面１４に固定された支持部、３ａ、３ｂはヘ
ッド本体に設けられた調整ボルト、５はスケールを光学
的に読み取るための検出ヘッドの本体である。検出ヘッ
ドの本体５が、取付面１４に固定された支持部１を中心
に、取付面に固定された支持部２を本体付属の調整ボル
ト３ａ、３ｂで相対的に押し引きすることで、ヘッド本
体５のスケール１１上スケール形成面に平行な面内での
回転及び保持を行う。
【０００７】上記実施例は、２つの支持部を有するが、
構造が簡単で部品点数が少なく、加工が容易であり、ど
ちらも検出ヘッド本体に収まるため、調整機構の小型化
には有利である。またヘッド部本体５と取付部材２との
間を、ボルト３ａ、３ｂを介して保持しているため、調
整が容易である。各部品において検出ヘッド本体の取付
面への当たり面以外は精度が要求されない構造なので、
ローコストに造ることができる。更に取付け構造が丈夫
なため、調整式でも狂いが生じにくい。
構造が簡単で部品点数が少なく、加工が容易であり、ど
ちらも検出ヘッド本体に収まるため、調整機構の小型化
には有利である。またヘッド部本体５と取付部材２との
間を、ボルト３ａ、３ｂを介して保持しているため、調
整が容易である。各部品において検出ヘッド本体の取付
面への当たり面以外は精度が要求されない構造なので、
ローコストに造ることができる。更に取付け構造が丈夫
なため、調整式でも狂いが生じにくい。
【０００８】本発明の実施例２を図４に示す。図３同様
左上が上面断面図、左下が正面図、右が側面図である。
図中前述と同様の部材には同じ符番を冠してある。本実
施例は支持部１の代わりに支持部２と同様に固定部材側
の取付基準平面１４に固定された支持部１ａを設け、調
整ボルト３ａと同様の調整ボルト３ｃ、検出ヘッド本体
５に設けられた弾性部材（例えば、バネ部材）４ａ、４
ｂを設けた点が前述実施例と異なる。すなわち検出ヘッ
ドの本体５が、本体内臓の調整用ボルト３ａ、３ｃで、
取付面に固定された支持部１ａ、２に保持されている。
左上が上面断面図、左下が正面図、右が側面図である。
図中前述と同様の部材には同じ符番を冠してある。本実
施例は支持部１の代わりに支持部２と同様に固定部材側
の取付基準平面１４に固定された支持部１ａを設け、調
整ボルト３ａと同様の調整ボルト３ｃ、検出ヘッド本体
５に設けられた弾性部材（例えば、バネ部材）４ａ、４
ｂを設けた点が前述実施例と異なる。すなわち検出ヘッ
ドの本体５が、本体内臓の調整用ボルト３ａ、３ｃで、
取付面に固定された支持部１ａ、２に保持されている。
【０００９】上記実施例は、２つの支持部１ａ、２に対
応して調整機構を持つため、面内回転ばかりでなく、面
内での１軸方向の平行移動調整も可能である。また２つ
の支持部１ａ、２が同一形状のため、ローコストに造る
ことが可能である。更に支持部１ａ、２を調整ボルト３
ａ、３ｂ及び弾性部材（例えば、バネ部材）４ａ、４ｂ
で保持しているため、調整が容易でも遊びが生じない。
応して調整機構を持つため、面内回転ばかりでなく、面
内での１軸方向の平行移動調整も可能である。また２つ
の支持部１ａ、２が同一形状のため、ローコストに造る
ことが可能である。更に支持部１ａ、２を調整ボルト３
ａ、３ｂ及び弾性部材（例えば、バネ部材）４ａ、４ｂ
で保持しているため、調整が容易でも遊びが生じない。
【００１０】以上の実施例の変形例として、次のような
ものが考えられる。 １） 保持部材１、１ａ、２は、実施例１のような両ボ
ルト当たり面がテーパーのものの他、実施例２のような
片面のみテーパーの場合もある。 ２） 保持部材１、１ａ、２は、円錐系のものでもよ
い。
ものが考えられる。 １） 保持部材１、１ａ、２は、実施例１のような両ボ
ルト当たり面がテーパーのものの他、実施例２のような
片面のみテーパーの場合もある。 ２） 保持部材１、１ａ、２は、円錐系のものでもよ
い。
【００１１】
【発明の効果】以上、本発明により、簡易な構成でスケ
ールの形成面に平行な面内における傾きに対応可能な光
学式変位センサが実現した。
ールの形成面に平行な面内における傾きに対応可能な光
学式変位センサが実現した。
【図１】従来例の説明図である。
【図２】ヘッドとスケール板との傾きを示す図である。
【図３】本発明の第１実施例である。
【図４】本発明の第２実施例である。
１、１ａ、２ 支持部 ３ａ、３ｂ、３ｃ 調整ネジ ５ 検出ヘッド本体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石井 哲 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノ ン株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 相対変位する２物体の一方に設けられ且
つ該２物体の他方側のスケールの変位情報を光学的に検
出する読み取りヘッド部と、前記読み取りヘッド部をス
ケールの設けられた面に対して実質的に平行な面内で回
転可能とする取付調整機構とを備えることを特徴とする
光学式変位センサ。 - 【請求項２】 前記取付調整機構は前記読み取りヘッド
部の取付面に対して少なくとも２つの取付部材を有し、
各取付部材の少なくとも１カ所が回転中心となり、他方
の取付部材が少なくとも１本のボルトで読み取りヘッド
部を保持しながら調整できることを特徴とする請求項１
記載の光学式変位センサ。 - 【請求項３】 前記取付調整機構は前記読み取りヘッド
部の取付面に対して少なくとも２つの取付部材を有し、
各取付部材が少なくとも１本のボルトで読み取りヘッド
部を保持しながら調整できることを特徴とする請求項１
記載の光学式変位センサ。 - 【請求項４】 前記ボルトの先端のあたり面がテーパー
状となっていることを特徴とする請求項２又は３記載の
光学式変位センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15361893A JPH0712590A (ja) | 1993-06-24 | 1993-06-24 | 光学式変位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15361893A JPH0712590A (ja) | 1993-06-24 | 1993-06-24 | 光学式変位センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0712590A true JPH0712590A (ja) | 1995-01-17 |
Family
ID=15566435
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15361893A Withdrawn JPH0712590A (ja) | 1993-06-24 | 1993-06-24 | 光学式変位センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0712590A (ja) |
-
1993
- 1993-06-24 JP JP15361893A patent/JPH0712590A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5832416A (en) | Calibration system for coordinate measuring machine | |
| US5982494A (en) | Non-contact position sensor | |
| US6459492B1 (en) | Non-contact position sensor | |
| JP3256124B2 (ja) | 形状測定機 | |
| JPS644252B2 (ja) | ||
| JPH0712590A (ja) | 光学式変位センサ | |
| US4870272A (en) | Transducer adjustment apparatus for shaft encoder | |
| EP0884564B1 (en) | Displacement sensor and method for producing target feature thereof | |
| JP3260452B2 (ja) | 画像読取装置における固体撮像素子の取付装置 | |
| JP4072265B2 (ja) | 回転軸の傾き測定方法 | |
| JPH0861917A (ja) | 位置検知装置 | |
| JP2558149Y2 (ja) | 自動整準装置 | |
| JP3166464B2 (ja) | 測尺装置 | |
| JPH07253335A (ja) | 光学式変位センサ | |
| JPH0216253Y2 (ja) | ||
| JP3509313B2 (ja) | 変位検出装置 | |
| JPH0642281Y2 (ja) | ２トラツク式情報読取装置におけるセンサ取付構造 | |
| JPH06347290A (ja) | エンコーダ | |
| JP2526365Y2 (ja) | 光ピックアップのホトダイオード支持台 | |
| KR100498192B1 (ko) | 비-접촉 위치 센서 | |
| JPH0744128Y2 (ja) | リニアセンサ取付装置 | |
| US20020036502A1 (en) | Angle detector | |
| JP2001147175A (ja) | 非球面レンズの偏心測定装置 | |
| JPH02128111A (ja) | 精密移動装置 | |
| JPH0416847B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000905 |