JPH0829475A - 実装基板検査装置のコンタクトプローブ - Google Patents
実装基板検査装置のコンタクトプローブInfo
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- JPH0829475A JPH0829475A JP6159754A JP15975494A JPH0829475A JP H0829475 A JPH0829475 A JP H0829475A JP 6159754 A JP6159754 A JP 6159754A JP 15975494 A JP15975494 A JP 15975494A JP H0829475 A JPH0829475 A JP H0829475A
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Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 2本のコンタクトプローブにて、4端子法に
よる足浮き検査を可能とする。 【構成】 1本のコンタクトプローブ30には、第1の
プランジャ31及び第2のプランジャ35が絶縁材32
を介して一体に備えられている。そしてリード20に1
本のコンタクトプローブ30を立て、ランド21に1本
のコンタクトプローブ30を立てることにより、リード
20上のプランジャ31,35及びランド21上のプラ
ンジャ31,31により4つの端子が確保でき、プラン
ジャ31,31間に電流計22を接続しプランジャ3
5,35間に安定化電源23を接続することにより、リ
ード20とランド21間のハンダ付状態を検査できる。
よる足浮き検査を可能とする。 【構成】 1本のコンタクトプローブ30には、第1の
プランジャ31及び第2のプランジャ35が絶縁材32
を介して一体に備えられている。そしてリード20に1
本のコンタクトプローブ30を立て、ランド21に1本
のコンタクトプローブ30を立てることにより、リード
20上のプランジャ31,35及びランド21上のプラ
ンジャ31,31により4つの端子が確保でき、プラン
ジャ31,31間に電流計22を接続しプランジャ3
5,35間に安定化電源23を接続することにより、リ
ード20とランド21間のハンダ付状態を検査できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は実装基板検査装置のコン
タクトプローブに関し、高密度実装基板に対して少ない
本数のコンタクトプローブを用いて、ICやコネクタの
足浮き検査を全てのリードについて行うことができるよ
うにしたものである。
タクトプローブに関し、高密度実装基板に対して少ない
本数のコンタクトプローブを用いて、ICやコネクタの
足浮き検査を全てのリードについて行うことができるよ
うにしたものである。
【0002】
【従来の技術】プリント基板にIC等の電子部品を実装
した実装基板に対しては、実装後に、インサーキットテ
ストやファンクションテストが行なわれる。インサーキ
ットテストとは各電子部品が所要の特性、例えば抵抗や
インダクタンスやキャパシタンスを有しているかどうか
を調べるテストであり、ファンクションテストとは実装
基板に形成された電気回路が所要の入出力特性を有して
いるかどうかを調べるテストである。
した実装基板に対しては、実装後に、インサーキットテ
ストやファンクションテストが行なわれる。インサーキ
ットテストとは各電子部品が所要の特性、例えば抵抗や
インダクタンスやキャパシタンスを有しているかどうか
を調べるテストであり、ファンクションテストとは実装
基板に形成された電気回路が所要の入出力特性を有して
いるかどうかを調べるテストである。
【0003】インサーキットテストやファンクションテ
ストを行うためには、フィクスチャータイプの検査装置
が用いられる。このタイプの検査装置は図4に示すよう
に、上フィクスチャー1と下フィクスチャー2を備えて
いる。上フィクスチャー1は、四隅に位置決め孔3を有
するとともに下面に多数(1000〜2000本程度)
のコンタクトプローブ4を有しており、図示しない昇降
機構により上下動する。下フィクスチャー2は、四隅に
位置決めピン5を有するとともに、上面に多数(100
0〜2000本程度)のコンタクトプローブ6及び2本
の基板位置決めピン7を有しており、装置のベース8に
固定されている。
ストを行うためには、フィクスチャータイプの検査装置
が用いられる。このタイプの検査装置は図4に示すよう
に、上フィクスチャー1と下フィクスチャー2を備えて
いる。上フィクスチャー1は、四隅に位置決め孔3を有
するとともに下面に多数(1000〜2000本程度)
のコンタクトプローブ4を有しており、図示しない昇降
機構により上下動する。下フィクスチャー2は、四隅に
位置決めピン5を有するとともに、上面に多数(100
0〜2000本程度)のコンタクトプローブ6及び2本
の基板位置決めピン7を有しており、装置のベース8に
固定されている。
【0004】図5は検査状態を示している。図5に示す
ように、実装基板10は、クリームはんだやはんだ槽を
使用して、基板11に電子部品(IC等)12を実装し
たものであり、基板11には2個の基準孔13が形成さ
れている。そこでまず基板位置決めピン7が基準孔13
を貫通する状態にして実装基板10の位置を決める。次
に位置決めピン5が位置決め孔3に嵌入するよう位置合
せをしつつ、上フィクスチャー1を降下させていく。こ
うすると、実装基板10の上面の検査点にコンタクトプ
ローブ4の先端(下端)が接触し、実装基板10の下面
の検査点にコンタクトプローブ6の先端(上端)が接触
する。逆に言うとコンタクトプローブ4,6の先端が検
査点に接するように、コンタクトプローブ4,6の設置
位置を選んでコンタクトプローブ4,6を備えているの
である。このように接触状態にして、各コンタクトプロ
ーブ4,6を介して、電圧をかけたり電流を通したりし
て各種テストを行う。テスト終了後は上フィクスチャー
1が上昇し、実装基板10が取り外される。
ように、実装基板10は、クリームはんだやはんだ槽を
使用して、基板11に電子部品(IC等)12を実装し
たものであり、基板11には2個の基準孔13が形成さ
れている。そこでまず基板位置決めピン7が基準孔13
を貫通する状態にして実装基板10の位置を決める。次
に位置決めピン5が位置決め孔3に嵌入するよう位置合
せをしつつ、上フィクスチャー1を降下させていく。こ
うすると、実装基板10の上面の検査点にコンタクトプ
ローブ4の先端(下端)が接触し、実装基板10の下面
の検査点にコンタクトプローブ6の先端(上端)が接触
する。逆に言うとコンタクトプローブ4,6の先端が検
査点に接するように、コンタクトプローブ4,6の設置
位置を選んでコンタクトプローブ4,6を備えているの
である。このように接触状態にして、各コンタクトプロ
ーブ4,6を介して、電圧をかけたり電流を通したりし
て各種テストを行う。テスト終了後は上フィクスチャー
1が上昇し、実装基板10が取り外される。
【0005】次に図6及び図7を参照して、電子部品1
2のリード20と、基板11上のランド21とのハンダ
付状態を検査する手法を説明する。ハンダ付状態を検査
をするときにはリード20に2本のコンタクトプローブ
4a,4bを当てると共にランド21に2本のコンタク
トプローブ4c,4dを当てる。そしてコンタクトプロ
ーブ4a,4dに安定化電源23を接続し、コンタクト
プローブ4b,4c間に電流計22を接続する。
2のリード20と、基板11上のランド21とのハンダ
付状態を検査する手法を説明する。ハンダ付状態を検査
をするときにはリード20に2本のコンタクトプローブ
4a,4bを当てると共にランド21に2本のコンタク
トプローブ4c,4dを当てる。そしてコンタクトプロ
ーブ4a,4dに安定化電源23を接続し、コンタクト
プローブ4b,4c間に電流計22を接続する。
【0006】良好なハンダ付が行なわれているときに
は、リード20とランド21間の抵抗Rは数mΩときわ
めて小さく、電流計22には電流が流れない。ハンダ付
が不良でいわゆる「足浮き」が生じているときには抵抗
Rは数Ωとなり、良好なハンダ付が行なわれているとき
の抵抗値に対して103 倍のオーダになり、電流計22
に電流が流れる。よって電流計22に電流が流れたこと
を検出することにより、ハンダ付の不良を発見すること
ができる。
は、リード20とランド21間の抵抗Rは数mΩときわ
めて小さく、電流計22には電流が流れない。ハンダ付
が不良でいわゆる「足浮き」が生じているときには抵抗
Rは数Ωとなり、良好なハンダ付が行なわれているとき
の抵抗値に対して103 倍のオーダになり、電流計22
に電流が流れる。よって電流計22に電流が流れたこと
を検出することにより、ハンダ付の不良を発見すること
ができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上述したように電子部
品の足浮きを検査するには一箇所につき4本のコンタク
トプローブが必要になる。ところが実装基板に実装する
電子部品の実装密度が高くなってくると、一箇所に4本
のコンタクトプローブを立てることは物理的に不可能に
なってくる。
品の足浮きを検査するには一箇所につき4本のコンタク
トプローブが必要になる。ところが実装基板に実装する
電子部品の実装密度が高くなってくると、一箇所に4本
のコンタクトプローブを立てることは物理的に不可能に
なってくる。
【0008】本発明は、上記従来技術に鑑み、従来に比
べ少ない本数のコンタクトプローブにより電子部品の足
浮き検査のできる実装基板検査装置のコンタクトプロー
ブを提供することを目的とする。
べ少ない本数のコンタクトプローブにより電子部品の足
浮き検査のできる実装基板検査装置のコンタクトプロー
ブを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の構成は、電子部品が実装された実装基板を、コンタ
クトプローブを有するフィクスチャーで挟み、コンタク
トプローブの先端を実装基板の検査点に接触させた状態
で前記実装基板の電気的特性を検査する検査装置におい
て、前記コンタクトプローブは、導電材で形成した棒状
をなし先端が尖鋭となっている第1のプランジャと、導
電材で形成したリング状をなし先端が尖鋭となると共に
先端位置が第1のプランジャの先端位置と合っておりし
かも第1のプランジャに対し同心配置された第2のプラ
ンジャと、第1のプランジャと第2のプランジャとの間
に備えた絶縁材とで構成されていることを特徴とする。
明の構成は、電子部品が実装された実装基板を、コンタ
クトプローブを有するフィクスチャーで挟み、コンタク
トプローブの先端を実装基板の検査点に接触させた状態
で前記実装基板の電気的特性を検査する検査装置におい
て、前記コンタクトプローブは、導電材で形成した棒状
をなし先端が尖鋭となっている第1のプランジャと、導
電材で形成したリング状をなし先端が尖鋭となると共に
先端位置が第1のプランジャの先端位置と合っておりし
かも第1のプランジャに対し同心配置された第2のプラ
ンジャと、第1のプランジャと第2のプランジャとの間
に備えた絶縁材とで構成されていることを特徴とする。
【0010】
【作用】本発明では、1本のコンタクトプローブに、2
本のプランジャを一体に備えているため、本発明の1本
のコンタクトプローブにより、従来のコンタクトプロー
ブの2本分の機能を発揮することができる。
本のプランジャを一体に備えているため、本発明の1本
のコンタクトプローブにより、従来のコンタクトプロー
ブの2本分の機能を発揮することができる。
【0011】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づき詳細に
説明する。
説明する。
【0012】図1は本発明の実施例に係る実装基板検査
装置のコンタクトプローブ30を示す。このコンタクト
プローブ30では中央に第1のプランジャ31を備えて
いる。プランジャ31は、弾性のある線状の導電性材料
で形成しており、先端(下端)は尖鋭となっている。プ
ランジャ31の外周全面には絶縁材32がコーティング
され、絶縁材32の外周全面には導電材33がコーティ
ングされている。更に導電材33の外周のうち上部及び
下部を除く面には絶縁材34がコーティングされてい
る。
装置のコンタクトプローブ30を示す。このコンタクト
プローブ30では中央に第1のプランジャ31を備えて
いる。プランジャ31は、弾性のある線状の導電性材料
で形成しており、先端(下端)は尖鋭となっている。プ
ランジャ31の外周全面には絶縁材32がコーティング
され、絶縁材32の外周全面には導電材33がコーティ
ングされている。更に導電材33の外周のうち上部及び
下部を除く面には絶縁材34がコーティングされてい
る。
【0013】第1のプランジャ31の下部には、絶縁材
32及び導電材33を介して第2のプランジャ35が同
心状に配置されている。このプランジャ35は導電材で
形成れており、先端が尖鋭となった冠型パイプ形状とな
っている(図2参照)。また第1のプランジャ35の上
部には、絶縁材32及び導電材33を介して電源用端子
リング36が備えられている。
32及び導電材33を介して第2のプランジャ35が同
心状に配置されている。このプランジャ35は導電材で
形成れており、先端が尖鋭となった冠型パイプ形状とな
っている(図2参照)。また第1のプランジャ35の上
部には、絶縁材32及び導電材33を介して電源用端子
リング36が備えられている。
【0014】第1のプランジャ31には、電流計に接続
されたリード線37が接続されている。一方、第2のプ
ランジャ35には、導電材33及び電源用端子リング3
6を経て、安定化電源に接続されたリード線38が接続
されている。
されたリード線37が接続されている。一方、第2のプ
ランジャ35には、導電材33及び電源用端子リング3
6を経て、安定化電源に接続されたリード線38が接続
されている。
【0015】次に図3を参照して足浮き検査の状態を示
す。本実施例ではリード20に1本のコンタクトプロー
ブ30を立て、ランド21に1本のコンタクトプローブ
30を立て、リード線38には安定化電源23を接続
し、リード線37には電流計22を接続する。しかもプ
ランジャ31が弾性を有するため2本のコンタクトプロ
ーブ30が撓むまで押しつける。このときの撓みにより
プランジャ31,35が良好な接触圧で押されてプラン
ジャ先端がリード20やランド21に接触する。
す。本実施例ではリード20に1本のコンタクトプロー
ブ30を立て、ランド21に1本のコンタクトプローブ
30を立て、リード線38には安定化電源23を接続
し、リード線37には電流計22を接続する。しかもプ
ランジャ31が弾性を有するため2本のコンタクトプロ
ーブ30が撓むまで押しつける。このときの撓みにより
プランジャ31,35が良好な接触圧で押されてプラン
ジャ先端がリード20やランド21に接触する。
【0016】図3の状態で安定化電源23から電圧を印
加したとき、電流計22が電流検出をしなければリード
20とランド21とのハンダ付が良好であると判定で
き、電流計22が電流検出をしたときにはハンダ付が不
良で足浮きがあると判定できる。結局、一箇所につき2
本のコンタクトプローブ30を用いるだけで足浮き検査
をすることができる。
加したとき、電流計22が電流検出をしなければリード
20とランド21とのハンダ付が良好であると判定で
き、電流計22が電流検出をしたときにはハンダ付が不
良で足浮きがあると判定できる。結局、一箇所につき2
本のコンタクトプローブ30を用いるだけで足浮き検査
をすることができる。
【0017】
【発明の効果】以上実施例と共に具体的に説明したよう
に本発明によれば、1本のコンタクトプローブに、相互
絶縁を確保しつつ2本のプランジャを一体に備えたた
め、2本のコンタクトプローブを用いるだけで、いわゆ
る足浮き検査ができる。よって、足浮き検査をするため
従来では4本のコンタクトプローブが必要であったが、
本発明では2本のコンタクトプローブだけで済むため、
高密度実装した実装基板の足浮き検査が可能となる。
に本発明によれば、1本のコンタクトプローブに、相互
絶縁を確保しつつ2本のプランジャを一体に備えたた
め、2本のコンタクトプローブを用いるだけで、いわゆ
る足浮き検査ができる。よって、足浮き検査をするため
従来では4本のコンタクトプローブが必要であったが、
本発明では2本のコンタクトプローブだけで済むため、
高密度実装した実装基板の足浮き検査が可能となる。
【図1】本発明の実施例に係るコンタクトプローブを示
す断面図。
す断面図。
【図2】実施例のコンタクトプローブに備えるプランジ
ャを示す斜視図。
ャを示す斜視図。
【図3】実施例のコンタクトプローブを用いて足浮き検
査をする検査装置を示す構成図。
査をする検査装置を示す構成図。
【図4】実装基板検査装置を示す斜視図。
【図5】実装基板検査装置を示す斜視図。
【図6】従来のコンタクトプローブ及び足浮き検査箇所
を示す構成図。
を示す構成図。
【図7】足浮き検査をする検査回路を示す回路図。
1 上フィクスチャー 2 下フィクスチャー 3 位置決め孔 4,4a,4b,4c,4d コンタクトプローブ 5 位置決めピン 6 コンタクトプローブ 7 基板位置決めピン 8 ベース 10 実装基板 11 基板 12 電子部品 13 基準孔 20 リード 21 ランド 22 電流計 23 安定化電源 30 コンタクトプローブ 31,35 プランジャ 32,34 絶縁材 33 導電材 36 電源用端子リング 37,38 リード線
Claims (1)
- 【請求項1】 電子部品が実装された実装基板を、コン
タクトプローブを有するフィクスチャーで挟み、コンタ
クトプローブの先端を実装基板の検査点に接触させた状
態で前記実装基板の電気的特性を検査する検査装置にお
いて、 前記コンタクトプローブは、導電材で形成した棒状をな
し先端が尖鋭となっている第1のプランジャと、導電材
で形成したリング状をなし先端が尖鋭となると共に先端
位置が第1のプランジャの先端位置と合っておりしかも
第1のプランジャに対し同心配置された第2のプランジ
ャと、第1のプランジャと第2のプランジャとの間に備
えた絶縁材とで構成されていることを特徴とする実装基
板検査装置のコンタクトプローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6159754A JPH0829475A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 実装基板検査装置のコンタクトプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6159754A JPH0829475A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 実装基板検査装置のコンタクトプローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0829475A true JPH0829475A (ja) | 1996-02-02 |
Family
ID=15700536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6159754A Withdrawn JPH0829475A (ja) | 1994-07-12 | 1994-07-12 | 実装基板検査装置のコンタクトプローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0829475A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003093840A1 (fr) * | 2002-05-01 | 2003-11-13 | Jsr Corporation | Connecteur pour mesurer la resistance electrique, appareil et procede pour mesurer la resistance electrique d'une carte a circuit |
| JP2004152536A (ja) * | 2002-10-29 | 2004-05-27 | Otax Co Ltd | 電子部品用ソケット |
| WO2007116963A1 (ja) * | 2006-04-07 | 2007-10-18 | Nidec-Read Corporation | 基板検査用接触子及びその製造方法 |
| WO2008117343A1 (ja) * | 2007-02-23 | 2008-10-02 | Nidec-Read Corporation | 基板検査用接触子 |
| JP2008256361A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Nidec-Read Corp | プローブ及び基板検査装置 |
| JP2009008579A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Nidec-Read Corp | 基板検査用接触子及び基板検査用治具 |
| TWI422829B (zh) * | 2008-09-29 | 2014-01-11 | Nidec Read Corp | 檢查治具、電極構造及電極構造之製造方法 |
| CN117310562A (zh) * | 2023-08-31 | 2023-12-29 | 南京航空航天大学 | 一种焊接金属接引线电气接触检测装置及方法 |
-
1994
- 1994-07-12 JP JP6159754A patent/JPH0829475A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003093840A1 (fr) * | 2002-05-01 | 2003-11-13 | Jsr Corporation | Connecteur pour mesurer la resistance electrique, appareil et procede pour mesurer la resistance electrique d'une carte a circuit |
| US7038471B2 (en) | 2002-05-01 | 2006-05-02 | Jsr Corporation | Connector for measuring electric resistance, apparatus and method for measuring electric resistance of circuit board |
| CN100359328C (zh) * | 2002-05-01 | 2008-01-02 | Jsr株式会社 | 测量电阻用的连接件、电路板的电阻测量设备和测量方法 |
| JP2004152536A (ja) * | 2002-10-29 | 2004-05-27 | Otax Co Ltd | 電子部品用ソケット |
| WO2007116963A1 (ja) * | 2006-04-07 | 2007-10-18 | Nidec-Read Corporation | 基板検査用接触子及びその製造方法 |
| WO2008117343A1 (ja) * | 2007-02-23 | 2008-10-02 | Nidec-Read Corporation | 基板検査用接触子 |
| JP2008256361A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Nidec-Read Corp | プローブ及び基板検査装置 |
| JP2009008579A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Nidec-Read Corp | 基板検査用接触子及び基板検査用治具 |
| TWI422829B (zh) * | 2008-09-29 | 2014-01-11 | Nidec Read Corp | 檢查治具、電極構造及電極構造之製造方法 |
| CN117310562A (zh) * | 2023-08-31 | 2023-12-29 | 南京航空航天大学 | 一种焊接金属接引线电气接触检测装置及方法 |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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