JPH071294A - 数値制御工作機械における光学式被加工物形状測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 加工された被加工物を数値制御工作機械に取
付けたままの状態でその被加工物形状を測定するに際
し、複雑な形状を持つ被加工物についてもその形状測定
が可能でかつ精度良く行うことができる装置を得る。 【構成】 投光部と、この投光部から照射されて数値制
御工作機械に取付けられた被加工物を通過後の光の明暗
を感知して電気信号とする受光部とを有し、前記投光部
と前記受光部との間に位置された前記被加工物により前
記投光部からの光が遮られることによる影の部分に基づ
いて前記被加工物の形状を測定するようにした光学式被
加工物形状測定装置において、前記受光部を、集光素子
と、光入射側からみて前記集光素子の後側焦点に微小孔
を位置させて配置したピンホール板と、このピンホール
板の後側に配置したイメージセンサとにより構成して、
数値制御工作機械の工具取付け台に取付ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、加工された被加工物
を数値制御工作機械に取付けたままの状態でその被加工
物の形状を光学式に測定するようにした、数値制御工作
機械における光学式被加工物形状測定装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、数値化した情報によって
機械動作を指令して被加工物を自動加工するようにした
数値制御工作機械（ＮＣ工作機械）が広く使用されてい
る。数値制御工作機械により被加工物の加工を行う場
合、工具の摩耗、あるいは工具と被加工物の接触に伴う
変形などが原因となって、被加工物が所望の形状どおり
に加工されない場合がある。そのため、例えば、テーパ
形エンドミルやホブのような複雑な形状の工具を研削加
工して製作する際には、一般に、数値制御工作機械（こ
の場合にはＮＣ工具研削盤が使用される）から被加工物
を取外し、万能投影機、あるいは、接触式形状測定器の
ような測定器を用いて加工後の被加工物形状を測定する
方法がとられている。そして、研削量等の加工量不足を
生じている場合、再加工するという作業が行われてい
る。

【０００３】ところで、被加工物を数値制御工作機械か
ら取外して測定する上記方法では、測定後に再び被加工
物を数値制御工作機械に取付ける際に取付け誤差が発生
し易く、また、取付けに手間がかかって作業能率が悪
い。

【０００４】そこで従来、加工後の被加工物を数値制御
工作機械に取付けたままの状態でその被加工物の形状を
光学式に測定する試みがなされており、例えば、そのた
めの装置として被加工物の外径寸法を測る非接触オンラ
イン計測装置が、特開平１−２８９６０６号公報に開示
されている。図７は数値制御旋盤に備えられた従来の非
接触オンライン計測装置の構成を示す図である。

【０００５】図７において、１００は数値制御旋盤本体
であり、ベット１０２上には主軸台１０１が支持されて
おり、主軸台１０１には、主軸１０３が回転可能に支承
されている。１０４は主軸１０３の先端に装着されて被
加工物Ｗを把持するためのチャックである。１０５は工
具台であり、工具台１０５は、主軸軸線方向に進退動可
能な縦工具送り台１０６と、主軸軸線方向と直交する方
向に進退動可能な横工具送り台１０７とにより構成され
ており、ボールネジ１０８とサーボモータ１０９の駆動
により送りがなされるようになっている。１１０は横工
具送り台１０７に回動可能に支承されて、複数のバイト
（工具）１１２や、後述する連結棒２３５を保持するタ
レットである。１４０はＮＣ装置であって、入力される
指令情報に従って上記工具台１０５などを移動させるた
めに、上記サーボモータ１０９などに駆動用信号を与え
るものである。

【０００６】非接触オンライン計測装置２００は、加工
領域上に位置する主軸軸線に対して横方向より進入・退
避が可能なように装備されている。図に示すように、２
本の支柱２１６ａ，２１６ｂによって両端を支持されて
主軸軸線方向に延びる第１軌道２１７が設けられ、この
第１軌道２１７上にこれに沿って進退動可能な第１スラ
イダ２１８が設けられている。第１スライダ２１８に
は、主軸軸線に対して横方向に延びる第２軌道２１９が
設けられている。この第２軌道２１９の先端部に固定さ
れた流体シリンダ２２１のピストンロッド先端に、第２
軌道２１９に沿って図における上下方向に移動可能な第
２スライダ２２２が固定されている。そして、この第２
スライダ２２２に、後述する光学式外径計測器２２３が
取付けられている。また、旋盤本体カバー１１５の上部
には、光学式外径計測器２２３が被加工物Ｗに対して接
近・離間可能なように開口が設けられるとともに、液体
シリンダ２３３の作動によって前記開口を塞いだり解放
したりするための開閉カバー２３４が設けられている。
２３８は外径検出用制御装置であって、光学式外径計測
器２２３を退避位置から旋盤本体カバー１１５内の所定
位置に移動させたり、被加工物Ｗの外径測定値に基づく
バイト位置補正用データをＮＣ装置１４０に与えたりす
るためのものである。

【０００７】図８は図７に示す光学式外径計測器の外観
図、図９は図７に示す光学式外径計測器の構成説明図で
ある。上記光学式外径計測器２２３は、投光部と受光部
とを有するレーザ光走査型のものであり、図９に示すよ
うに、半導体レーザ２２４からのレーザ光をポリゴンミ
ラー２２５及び反射ミラー２２６によって偏向走査し、
さらにコリメータレンズ２２７によって平行走査光とし
た後、その平行走査光を、被加工物Ｗの影の部分を検出
するために、集光レンズ（受光レンズ）２２８で集光し
て光検出器（受光素子）２２９で電気信号に変換するよ
うにしたものである。半導体レーザ２２４、ポリゴンミ
ラー２２５、反射ミラー２２６、およびコリメータレン
ズ２２７は投光部を構成し、集光レンズ２２８および光
検出器２２９は受光部を構成している。コリメータレン
ズ２２７と集光レンズ２２８の間に被加工物Ｗが位置さ
れて平行走査光が被加工物Ｗを走査している間は、光が
被加工物Ｗによって遮断されて光検出器２２９に達しな
い。この光が検出されない遮断時間と走査速度の積を図
示しない演算器で演算して、被加工物Ｗの外径寸法を測
定するようにしている。

【０００８】上記非接触オンライン計測装置２００の動
作を説明する。試し削り又は仕上げ加工終了後、工具台
１０５を所定位置に後退させておく。液体シリンダ２３
３を作動させて開閉カバー２３４を移動し、次いで流体
シリンダ２２１を作動させて、第２スライダ２２２と共
に光学式外径計測器２２３を、退避位置から旋盤本体カ
バー１１５内の所定位置に移動させる。そして、工具台
１０５を主軸台１０１の方向に移動させて、光学式外径
計測器２２３（非接触オンライン計測装置２００の本体
部分）と工具台１０５とを連結棒２３５を介して連結
し、しかる後、工具台１０５を前進させて、光学式外径
計測器２２３を測定対象である被加工物Ｗの位置まで移
動させて位置決めし、被加工物Ｗの外径寸法測定を行う
ようになされている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし上記従来装置で
は、光学式外径計測器として、ポリゴンミラー回転用モ
ータのような機械的駆動部を持つレーザ光走査型のもの
を用いたことから、数値制御工作機械による加工時の機
械的振動に起因して上記機械的駆動部にガタが生じて測
定精度低下の恐れがあるため、上述した複雑な退避機構
を設けて加工時には光学式外径計測器を退避させてお
き、測定時に光学式外径計測器を工具取付け台（刃物
台）に連結し、その工具取付け台を前進させることで被
加工物に対して光学式外径計測器を位置決めするように
したものであるから、上記退避機構に制約されて工具取
付け台が持つ移動動作機能を最大限利用できず、測定時
における被加工物と光学式外径計測器との位置関係が制
限されて、測定対象被加工物の種類や測定対象部位が限
られるという問題点があった。

【００１０】この発明は、上記問題点を解消するために
なされたものであって、投光部と受光部とを有し、数値
制御工作機械に取付けられた被加工物が投光部と受光部
との間に位置されることで投光部からの光が遮られるこ
とによる影の部分に基づいて被加工物の形状を測定する
ようにした数値制御工作機械における光学式被加工物形
状測定装置において、ネジやホブ等の複雑な形状を持つ
被加工物の形状測定にも適用でき、かつその被加工物形
状測定を精度良く行うことができる、数値制御工作機械
における光学式被加工物形状測定装置の提供を目的とす
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明による数値制御工作機械における光学式
被加工物形状測定装置は、光を照射する投光部と、この
投光部から照射されて数値制御工作機械に取付けられた
被加工物を通過後の光の明暗を感知して電気信号とする
受光部とを有し、前記投光部と前記受光部との間に位置
された前記被加工物により前記投光部からの光が遮られ
ることによる影の部分に基づいて前記被加工物の形状を
測定するようにした数値制御工作機械における光学式被
加工物形状測定装置において、前記受光部を、集光素子
と、光入射側からみて前記集光素子の後側焦点に微小孔
を位置させて配置したピンホール板と、このピンホール
板の後側に配置したイメージセンサとにより構成して、
数値制御工作機械の工具取付け台に固設したことを特徴
とするものである。

【００１２】

【作用】この発明による光学式被加工物形状測定装置に
おいては、投光部から照射されて数値制御工作機械に取
付けられた被加工物を通過後の光の明暗を感知して電気
信号とする受光部が、集光素子と、光入射側からみて上
記集光素子の後側焦点に微小孔を位置させて配置したピ
ンホール板と、このピンホール板の後側に配置したイメ
ージセンサとによりテレセントリック光学系として構成
されているので、受光部光軸に平行をなして集光素子に
入射した光のみがピンホール板の微小孔を通過して取り
出される。これによりイメージセンサで検出される光
は、上記投光部で平行光を作り出さなくても、平行光が
投射されたのと等価なものになり、イメージセンサ上に
おける影の部分に基づいて上記被加工物の形状測定を行
うことができる。このように受光部がテレセントリック
光学系に構成されているので、投光部は、その発光領域
が受光部集光素子の口径以上であって光量分布に極端な
むらがなく、測定に際して被加工物を間にして受光部正
面に位置されておればよく、投光部が測定時の位置決め
用移動動作によって多少振動していても測定精度が低下
するようなことがない。したがって、投光部から照射さ
れて被加工物を通過後の光の明暗を感知して電気信号と
する受光部を、テレセントリック光学系に構成して数値
制御工作機械の工具取付け台に固設することで、外部か
らの振動に強い高精度測定が実現されることになる。そ
して上記受光部を数値制御工作機械の工具取付け台に固
設したので、測定に際して工具取付け台が持つ移動動作
機能を最大限利用でき、これにより被加工物がネジやホ
ブ等の複雑な形状を持つものであっても、その測定部位
に応じて上記受光部を位置決めできる。

【００１３】

【実施例】以下この発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１はこの発明の光学式被加工物形状測定装置を
装備した４軸数値制御研削盤の平面図、図２は図１の４
軸数値制御研削盤のＡ矢視側面図である。

【００１４】図１及び図２において、５０は４軸数値制
御研削盤本体であり、この本体５０の図示しないベッド
上には左右移動テーブル５１が図１の左右方向（Ｘ軸方
向）に摺動可能に設けられている。この左右移動テーブ
ル５１上に被加工物固定台５２が固定されており、被加
工物Ｗはアーバ５３を介して被加工物固定台５２に取付
けられるようになっている。また、上記図示しないベッ
ド上には前後移動テーブル５４が図１の上下方向（Ｙ軸
方向）に摺動可能に設けられている。

【００１５】上記前後移動テーブル５４上には上下移動
台５５が図２の上下方向（Ｚ軸方向）に上下動可能に設
けられており、さらにこの上下移動台５５上には、工具
取付け台５６を支持してＺ軸回りに旋回可能な旋回台５
７が設けられている。工具取付け台５６には支持部材を
介して工具としての回転砥石Ｔが取付けられている。上
記左右移動テーブル５１はモータＭＸによってＸ軸方向
に移動され、前後移動テーブル５４はモータＭＹによっ
てＹ軸方向に移動され、上下移動台５５はモータＭＺに
よってＺ軸方向に移動されるようになっており、また、
旋回台５７はモータＭＣによってＺ軸回りに回転される
ようになっている。これらのモータＭＸ，ＭＹ，ＭＺ，
ＭＣは、図４に示すように、それぞれドライブユニット
ＤＵＸ，ＤＵＹ，ＤＵＺ，ＤＵＣを介して数値制御装置
５８に接続され、被加工物Ｗを加工する際には、被加工
物Ｗと回転砥石Ｔとの接触面が目的の方向となるように
予め与えられた加工データに従って数値制御装置５８か
ら出力される駆動用信号により回転駆動され、これによ
り回転砥石Ｔと被加工物Ｗとの相対位置が制御されるよ
うになっている。

【００１６】１は被加工物形状測定に際して光を照射す
る後述する投光部を収納した投光部ユニット、２は投光
部ユニット１から照射されて被加工物通過後の光の明暗
を感知して電気信号とする後述する受光部を収納した受
光部ユニットである。この受光部ユニット２が上記工具
取付け台５６に固定される一方、工具取付け台５６に固
定されたこの受光部ユニット２の側面に、退避用アーム
３が図示しないモータＭＬによってＹ軸方向に進退可能
に支持されており、この退避用アーム３先端部に上記投
光部ユニット１が受光部ユニット２正面に位置される状
態で固定されている。なお加工時には、退避用アーム３
を後退させて投光部ユニット１を受光部ユニット２に接
するように引き込むことで加工の邪魔にならないように
投光部ユニット１の退避が行われるようになっている。

【００１７】図３はこの発明による光学式被加工物形状
測定装置の投光部及び受光部の一構成例を説明するため
の図である。同図に示すように、上記投光部ユニット１
に収納された投光部は、ランプ（例えばハロゲンラン
プ）１ａとその前側に配置された拡散板１ｂとにより構
成されており、面的な広がりを持ち光量が一様な光源と
なされている。そして上記受光部ユニット２に収納され
た受光部は、集光素子としての集光レンズ２ａと、光入
射側からみて集光レンズ２ａの後側の焦点に微小孔を位
置させて配置したピンホール板２ｂと、このピンホール
板２ｂの後側に配置したイメージセンサとしての１次元
のＣＣＤラインセンサ２ｃとにより構成されている。な
お、受光部ユニット２に収納される上記受光部は、その
全体をコンパクトに一体化することが容易であって外部
からの振動に対しても強いものとなされる。

【００１８】このようにして受光部の光学系をテレセン
トリック光学系に構成してあるので、受光部光軸に平行
をなして集光レンズ２ａに入射した光のみがピンホール
板２ｂの微小孔を通過してＣＣＤラインセンサ２ｃにて
検出される。したがって、投光部ユニット１と受光部ユ
ニット２との間に測定すべき被加工物Ｗが位置された場
合、その被加工物Ｗにより形成される影のうち受光部光
軸に平行な成分だけによる影像がＣＣＤラインセンサ２
ｃによって捉えられることになる。ここで図３に示すよ
うに、被加工物Ｗの外径をＤ、ＣＣＤラインセンサ２ｃ
上の影の長さをｄ、集光レンズ２ａの焦点距離をｆ、ピ
ンホール板２ｂとＣＣＤラインセンサ２ｃ間の距離をＬ
とすると、これらの間には、Ｄ＝（ｄ×Ｌ）／ｆの関係
式が成立する。そこで図３に示す外径測定の例では、Ｃ
ＣＤラインセンサ２ｃ上の影長さをＣＣＤラインセンサ
２ｃからの出力信号に基づき検出し、上記関係式に従っ
て演算器４にて演算を行うことにより、被加工物Ｗの外
径Ｄが求められる。なお、現在入手可能な１画素サイズ
が７μｍであって５０００〜１００００画素程度の１次
元のＣＣＤラインセンサを用いた場合、ＣＣＤラインセ
ンサからの出力信号に補完演算等の信号処理を施すこと
で、測定分解能１μｍを得ることができる。

【００１９】図４は図１の４軸数値制御研削盤に適用し
た場合におけるこの発明の光学式被加工物形状測定装置
の電気的構成を示すブロック図である。図４において、
４は先に述べた演算器であり、演算器４は、受光部ユニ
ット２に収納された受光部のＣＣＤラインセンサ２ｃに
接続され、ＣＣＤラインセンサ２ｃからの出力信号に基
づいて被加工物Ｗの形状を求めるものである。５は形状
測定用制御装置である。

【００２０】上記形状測定用制御装置５は、測定に際し
て被加工物固定台５２に取付け固定された被加工物Ｗに
対してその測定部位に合わせて受光部ユニット２を位置
決めするための測定器位置決め指令信号を先に述べた数
値制御装置５８に与えるものである。この測定器位置決
め指令信号は、数値制御装置５８から読み込む被加工物
Ｗについての加工データと、工具取付け台５６における
回転砥石Ｔと受光部ユニット２との位置関係を示す予め
既知の位置データとから算出されるようになっている。
また、形状測定用制御装置５は、各測定部位の測定ごと
に演算器４に演算指令信号を与える一方、演算器４から
入力された形状測定データを記憶格納しておくメモリを
有し、その形状測定データと上記加工データとから被加
工物Ｗの修正加工に必要なデータを作成し、この修正加
工データを数値制御装置５８に与えるものである。さら
に、形状測定用制御装置５からドライブユニットＤＵＬ
に与えられる駆動信号によってモータＭＬが回転される
ことで、投光部ユニット１の加工時における上述した退
避動作が行われるようになっている。なお、６は上記形
状測定データを表示するための液晶式測定データ表示器
である。上記のようにしてこの実施例による光学式被加
工物形状測定装置は、投光部ユニット１、受光部ユニッ
ト２、退避用アーム３等を含む投光部ユニット用退避機
構、演算器４、形状測定用制御装置５、及び液晶式測定
データ表示器６により構成されている。

【００２１】次に動作を説明する。まず、外部からの測
定開始信号を受けて形状測定用制御装置５は、ドライブ
ユニットＤＵＬに駆動信号を出力する。これにより、投
光部ユニット１が受光部ユニット２に接する退避位置か
ら引き出されて測定位置に位置決めされる。そして形状
測定用制御装置５から上記測定器位置決め指令信号が数
値制御装置５８に与えられることで上記各モータＭＸ，
ＭＹ，ＭＺ，ＭＣが駆動されて、被加工物固定台５２に
取付け固定された被加工物Ｗに対してその測定部位に合
わせて、受光部ユニット２とこれに追従して移動される
投光部ユニット１とが位置決めされる。この位置決めに
際しては、受光部ユニット２を工具取付け台５６に固設
してあるので、工具取付け台５６が持つ移動動作機能を
最大限利用でき、これにより、被加工物Ｗがネジやホブ
等の複雑な形状を持つものであってもその測定部位に応
じて位置決めを行うことができ、種々の被加工物への適
用が可能となる。なお、ネジやホブにおける歯厚に際し
ては、旋回台５７を作動させて歯に沿う平面視で斜め方
向から測定する必要がある。

【００２２】そして演算器４により、ＣＣＤラインセン
サ２ｃからの出力信号と光学倍率に基づいて被加工物Ｗ
のその測定部位における寸法、例えば工具であるホブの
歯厚が求められる。この場合、受光部がテレセントリッ
ク光学系に構成されているので、投光部ユニット１が測
定時の位置決め用移動動作によって多少振動していても
測定精度の低下を招くことがなく、振動に強い高精度測
定を実現できる。演算器４によって求められた形状測定
データは形状測定用制御装置５に記憶格納される。そし
て同様にして、次の測定を行うためにその測定部位に合
わせて受光部ユニット２及び投光部ユニット１が位置決
めされ、測定が行われることになる。

【００２３】なお、被加工物の２次元形状を測定する場
合には、受光部のＣＣＤラインセンサ２ｃの素子並び方
向と直角をなす方向（図１のＺ軸方向）に被加工物の影
像が移動するように、工具取付け台５６（受光部ユニッ
ト２）あるいはその被加工物を微小移動ステップ間隔ご
とに移動させながら測定を繰り返すようにすればよい。
ＣＣＤラインセンサ２ｃにおいては、被加工物の影像に
よる影長さだけでなく影像のエッジ位置を検出するの
で、その影像のエッジ位置を微小移動ステップ間隔ごと
に並べる演算を行うようにすることで、被加工物の２次
元形状が求められる。この場合、イメージセンサとして
の２次元のＣＣＤセンサを用いることで、当然ながら、
上記の繰り返し測定動作を減らすことが可能となる。

【００２４】図５はこの発明による光学式被加工物形状
測定装置の受光部の他の構成例を説明するための図であ
る。図５に示すように、集光素子として図３の集光レン
ズ２ａに代えて非球面反射鏡２ａ′を用いて、テレセン
トリック光学系の受光部を構成するようにしてもよい。
２′は受光部ユニットである。

【００２５】図６はこの発明による光学式被加工物形状
測定装置の投光部の他の構成例を説明するための図であ
る。被加工物の種類が定められ、その測定部位について
の測定可能な方向が固定されている場合には、図６に示
すように、投光部を受光部から完全に切り離すようにし
た構成としてもよい。図６に示す例では、上記測定可能
な各方向であって４軸数値制御研削盤本体５０の外側位
置に、複数のランプ１ａ′と曲面拡散板１ｂ′とからな
る投光部を収納した投光部ユニット１′を配置したもの
である。このように投光部を切り離す構成とすること
で、加工時の退避機構をより簡単なものにすることが可
能となる。

【００２６】

【発明の効果】以上述べたように、この発明による数値
制御工作機械における光学式被加工物形状測定装置によ
ると、光を照射する投光部と、この投光部から照射され
て数値制御工作機械に取付けられた被加工物を通過後の
光の明暗を感知して電気信号とする受光部とを有し、前
記投光部と前記受光部との間に位置された前記被加工物
により前記投光部からの光が遮られることによる影の部
分に基づいて前記被加工物の形状を測定するようにした
光学式被加工物形状測定装置において、前記受光部をテ
レセントリック光学系に構成して数値制御工作機械の工
具取付け台に固設するようにしたものであるから、前記
投光部が測定時の位置決め用移動動作によって多少振動
していても測定精度の低下を招くことがなく、しかも工
具取付け台が持つ移動動作機能を最大限利用できるの
で、被加工物がネジやホブ等の複雑な形状を持つもので
あってもその測定部位に応じて前記受光部の位置決めを
行うことができ、これにより、加工された被加工物を数
値制御工作機械に取付けたままの状態でその被加工物形
状を測定するに際し、複雑な形状を持つ被加工物につい
てもその形状測定が可能でかつ精度良く行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の光学式被加工物形状測定装置を装備
した４軸数値制御研削盤の平面図である。

【図２】図１の４軸数値制御研削盤のＡ矢視側面図であ
る。

【図３】この発明による光学式被加工物形状測定装置の
投光部及び受光部の一構成例を説明するための図であ
る。

【図４】図１の４軸数値制御研削盤に適用した場合にお
けるこの発明の光学式被加工物形状測定装置の電気的構
成を示すブロック図である。

【図５】この発明による光学式被加工物形状測定装置の
受光部の他の構成例を説明するための図である。

【図６】この発明による光学式被加工物形状測定装置の
投光部の他の構成例を説明するための図である。

【図７】数値制御旋盤に備えられた従来の非接触オンラ
イン計測装置の構成を示す図である。

【図８】図７に示す光学式外径計測器の外観図である。

【図９】図７に示す光学式外径計測器の構成説明図であ
る。

【符号の説明】

１，１′…投光部ユニット １ａ，１ａ′…ランプ １
ｂ…拡散板 １ｂ′…曲面拡散板 ２，２′…受光部ユ
ニット ２ａ…集光レンズ ２ａ′…非球面反射鏡 ２
ｂ…微小孔を有するピンホール板 ２ｃ…ＣＣＤライン
センサ ３…退避用アーム ４…演算器 ５…形状測定
用制御装置 ６…液晶式測定データ表示器 ５０…４軸
数値制御研削盤本体 ５１…左右移動テーブル ５２…
被加工物固定台 ５３…アーバ ５４…前後移動テーブ
ル ５５…上下移動台 ５６…工具取付け台 ５７…旋
回台 ５８…数値制御装置 Ｗ…被加工物 Ｔ…回転砥
石ＭＸ，ＭＹ，ＭＺ，ＭＣ，ＭＬ…モータ ＤＵＸ，Ｄ
ＵＹ，ＤＵＺ，ＤＵＣ，ＤＵＬ…ドライブユニット

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山口 証 兵庫県神戸市西区高塚台１丁目５番５号 株式会社神戸製鋼所神戸総合技術研究所内 (72)発明者 日下部 祐次 兵庫県明石市魚住町金ケ崎西大池179番１ 株式会社神戸製鋼所明石工場内 (72)発明者 河本 憲二 兵庫県明石市魚住町金ケ崎西大池179番１ 株式会社神戸製鋼所明石工場内 (72)発明者 川淵 義行 兵庫県明石市魚住町金ケ崎西大池179番１ 株式会社神戸製鋼所明石工場内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光を照射する投光部と、この投光部から
   照射されて数値制御工作機械に取付けられた被加工物を
   通過後の光の明暗を感知して電気信号とする受光部とを
   有し、前記投光部と前記受光部との間に位置された前記
   被加工物により前記投光部からの光が遮られることによ
   る影の部分に基づいて前記被加工物の形状を測定するよ
   うにした数値制御工作機械における光学式被加工物形状
   測定装置において、前記受光部を、集光素子と、光入射
   側からみて前記集光素子の後側焦点に微小孔を位置させ
   て配置したピンホール板と、このピンホール板の後側に
   配置したイメージセンサとにより構成して、数値制御工
   作機械の工具取付け台に固設したことを特徴とする数値
   制御工作機械における光学式被加工物形状測定装置。