JPH07130525A - 酸化物磁性材料の製造方法及びチップインダクターの製造方法 - Google Patents
酸化物磁性材料の製造方法及びチップインダクターの製造方法Info
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- JPH07130525A JPH07130525A JP5274031A JP27403193A JPH07130525A JP H07130525 A JPH07130525 A JP H07130525A JP 5274031 A JP5274031 A JP 5274031A JP 27403193 A JP27403193 A JP 27403193A JP H07130525 A JPH07130525 A JP H07130525A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 低温度でも充分に緻密化ししかも導体として
Ａｇが使用でき，インダクター特性として優れた性能を
発揮できるチップインダクターの製造方法とそれに用い
る酸化物磁性材料の製造方法とを提供すること。 【構成】 酸化物磁性材料は，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｎ
の硝酸塩とアミノ酸との錯体を含む溶液を，当該溶液の
溶媒の沸点〜４００℃の温度で加熱することで，製造さ
れる粉末である。この酸化物磁性粉末とＡｇ及びＡｇ−
Ｐｄ合金のいずれか一方とを印刷法により交互に印刷し
て成形体を得，この成形体を６５０〜９００℃で焼成し
てチップインダクターを製造する。
Ａｇが使用でき，インダクター特性として優れた性能を
発揮できるチップインダクターの製造方法とそれに用い
る酸化物磁性材料の製造方法とを提供すること。 【構成】 酸化物磁性材料は，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｎ
の硝酸塩とアミノ酸との錯体を含む溶液を，当該溶液の
溶媒の沸点〜４００℃の温度で加熱することで，製造さ
れる粉末である。この酸化物磁性粉末とＡｇ及びＡｇ−
Ｐｄ合金のいずれか一方とを印刷法により交互に印刷し
て成形体を得，この成形体を６５０〜９００℃で焼成し
てチップインダクターを製造する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，表面実装部品として用
いられるチップインダクターの製造方法に関するもので
ある。
いられるチップインダクターの製造方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】近年，各種電子機器の小型，軽量化技術
の伸展はめざましいものがあり，それに伴い各部品の表
面実装化が急進度で進められている。インダクター素子
としても磁性体とコイルを一体化したいわゆるチップイ
ンダクターを用いることが多くその性能向上が望まれて
いる。
の伸展はめざましいものがあり，それに伴い各部品の表
面実装化が急進度で進められている。インダクター素子
としても磁性体とコイルを一体化したいわゆるチップイ
ンダクターを用いることが多くその性能向上が望まれて
いる。
【０００３】このチップインダクターの構成としては，
一般に酸化物磁性材料としてＮｉ−Ｃｕ−Ｚｎ−フェラ
イトを用いるのが通例であり，コイルとなる導体として
ＡｇもしくはＡｇ−Ｐｄの合金を用いる。
一般に酸化物磁性材料としてＮｉ−Ｃｕ−Ｚｎ−フェラ
イトを用いるのが通例であり，コイルとなる導体として
ＡｇもしくはＡｇ−Ｐｄの合金を用いる。
【０００４】磁性材料粉末は従来のフェライトの製法と
同様にＮｉ，Ｃｕ，Ｚｎ，Ｆｅの各酸化物粉末をボール
ミル等で混合し，仮焼し，さらに微粉砕した粉末を用い
る。一方，導体は，Ａｇ又は，Ａｇ−Ｐｄ合金の金属粉
末を用い，これら磁性材，導体をおのおのバインダーを
含んだペースト状として印刷をくりかえし，積層させた
後，焼成する方法をとっている。
同様にＮｉ，Ｃｕ，Ｚｎ，Ｆｅの各酸化物粉末をボール
ミル等で混合し，仮焼し，さらに微粉砕した粉末を用い
る。一方，導体は，Ａｇ又は，Ａｇ−Ｐｄ合金の金属粉
末を用い，これら磁性材，導体をおのおのバインダーを
含んだペースト状として印刷をくりかえし，積層させた
後，焼成する方法をとっている。
【０００５】ところで，チップインダクターとして高特
性化を図るためには磁性材が充分に緻密化し，しかもこ
の時，Ａｇ又はＡｇ−Ｐｄ合金の導体との反応がなく導
体が断線等の不具合がないことが必須となる。また導体
としてはＡｇ単成分の方が電気抵抗が小さくより一層好
ましい。
性化を図るためには磁性材が充分に緻密化し，しかもこ
の時，Ａｇ又はＡｇ−Ｐｄ合金の導体との反応がなく導
体が断線等の不具合がないことが必須となる。また導体
としてはＡｇ単成分の方が電気抵抗が小さくより一層好
ましい。
【０００６】このＡｇの融点は９６０℃と低く，コイル
とフェライトとの反応，断線，剥離等を生ぜず高性能化
を図るためにはこの融点以下のできるだけ低い温度，例
えば８００℃程度，で焼成することが必須となる。
とフェライトとの反応，断線，剥離等を生ぜず高性能化
を図るためにはこの融点以下のできるだけ低い温度，例
えば８００℃程度，で焼成することが必須となる。
【０００７】しかしながら，８００℃付近の温度での焼
成では，フェライトの緻密化が進行せずフェライトの磁
気特性の劣化，又は水分の吸入によるショート等が発生
し高性能なチップインダクターを得ることが困難となっ
ていた。
成では，フェライトの緻密化が進行せずフェライトの磁
気特性の劣化，又は水分の吸入によるショート等が発生
し高性能なチップインダクターを得ることが困難となっ
ていた。
【０００８】この解決策として，Ａｇより融点の高いＡ
ｇ−Ｐｄ合金をコイル材として使用したり逆にフェライ
トの焼結性を向上させる方法としてフェライト粉を長時
間粉砕して微粉としたりＣｕＯの量と増加させることで
焼成温度の低下を図ることを行っている。
ｇ−Ｐｄ合金をコイル材として使用したり逆にフェライ
トの焼結性を向上させる方法としてフェライト粉を長時
間粉砕して微粉としたりＣｕＯの量と増加させることで
焼成温度の低下を図ることを行っている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら，前者の
Ａｇより融点の高いＡｇ−Ｐｄ合金をコイル材として使
用する方法では，Ａｇに比べＡｇ−Ｐｄ合金では電気抵
抗が高く銅損を大きくするという欠点がある。
Ａｇより融点の高いＡｇ−Ｐｄ合金をコイル材として使
用する方法では，Ａｇに比べＡｇ−Ｐｄ合金では電気抵
抗が高く銅損を大きくするという欠点がある。
【００１０】また，後者のフェライトの焼結を向上させ
る方法では，長時間の粉砕に伴うコストＵＰのみなら
ず，長時間粉砕により粒度分布がかえってブロードとな
り，焼成体組織が不均一となり磁気特性を劣化させると
いう欠点を有している。さらに，後者の方法は，ＣｕＯ
を多量に含有せしめることで，焼成温度を低下させるこ
とはある程度可能であるが，磁気特性が低下するため所
望の磁気特性を自由にコントロールすることができない
という欠点を有していた。
る方法では，長時間の粉砕に伴うコストＵＰのみなら
ず，長時間粉砕により粒度分布がかえってブロードとな
り，焼成体組織が不均一となり磁気特性を劣化させると
いう欠点を有している。さらに，後者の方法は，ＣｕＯ
を多量に含有せしめることで，焼成温度を低下させるこ
とはある程度可能であるが，磁気特性が低下するため所
望の磁気特性を自由にコントロールすることができない
という欠点を有していた。
【００１１】また，前述した従来の酸化物磁性材料粉末
の製法では，各酸化物を混合，予焼の工程より製造する
が故に，予焼時の固相反応が原子レベルで均一にするこ
とが困難であり，さらに焼成温度自身が極めて低いため
この各成分の均一拡散ができないが故に優れた磁気特性
が得難いという欠点を有していた。
の製法では，各酸化物を混合，予焼の工程より製造する
が故に，予焼時の固相反応が原子レベルで均一にするこ
とが困難であり，さらに焼成温度自身が極めて低いため
この各成分の均一拡散ができないが故に優れた磁気特性
が得難いという欠点を有していた。
【００１２】そこで，本発明の技術的課題は，前述の欠
点を解決し，低温度でも充分に緻密化ししかも導体とし
てＡｇが使用でき，インダクター特性として優れた性能
を発揮できるチップインダクターの製造方法とそれに用
いる酸化物磁性材料の製造方法とを提供することにあ
る。
点を解決し，低温度でも充分に緻密化ししかも導体とし
てＡｇが使用でき，インダクター特性として優れた性能
を発揮できるチップインダクターの製造方法とそれに用
いる酸化物磁性材料の製造方法とを提供することにあ
る。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明者らは，種々の検
討を行った結果，Ｆｅ，Ｃｕ，Ｚｎ，Ｎｉの各硝酸塩と
アミノ酸との錯体を含む溶液を加熱することで，溶媒の
除去後残留物が自己発火し，フェライトの複合酸化物粉
末が得られることを見い出しさらにこの粉末をチップイ
ンダクター用の粉末として用い，Ａｇ又はＡｇ−Ｐｄの
合金をコイル材として用いて印刷を繰返し，積層させる
ことで，従来より低温で焼成できかつ充分な緻密化が均
一な組織で導体との反応，剥離，等のない優れた磁気特
性を有するチップインダクターが製造できることを見い
出したものである。
討を行った結果，Ｆｅ，Ｃｕ，Ｚｎ，Ｎｉの各硝酸塩と
アミノ酸との錯体を含む溶液を加熱することで，溶媒の
除去後残留物が自己発火し，フェライトの複合酸化物粉
末が得られることを見い出しさらにこの粉末をチップイ
ンダクター用の粉末として用い，Ａｇ又はＡｇ−Ｐｄの
合金をコイル材として用いて印刷を繰返し，積層させる
ことで，従来より低温で焼成できかつ充分な緻密化が均
一な組織で導体との反応，剥離，等のない優れた磁気特
性を有するチップインダクターが製造できることを見い
出したものである。
【００１４】本発明によれば，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｎ
の硝酸塩とアミノ酸との錯体を含む溶液を，当該溶液の
溶媒の沸点〜４００℃の温度で加熱することを特徴とす
る酸化物磁性材料の製造方法が得られる。
の硝酸塩とアミノ酸との錯体を含む溶液を，当該溶液の
溶媒の沸点〜４００℃の温度で加熱することを特徴とす
る酸化物磁性材料の製造方法が得られる。
【００１５】本発明によれば，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｎ
の硝酸塩とアミノ酸との錯体を含む溶液を，当該溶液の
溶媒の沸点〜４００℃の温度で加熱し，酸化物磁性粉末
を得，この酸化物磁性粉末とＡｇ及びＡｇ−Ｐｄ合金の
いずれか一方とを印刷法により交互に印刷して成形体を
得，この成形体を焼成することを特徴とするチップイン
ダクターの製造方法が得られる。
の硝酸塩とアミノ酸との錯体を含む溶液を，当該溶液の
溶媒の沸点〜４００℃の温度で加熱し，酸化物磁性粉末
を得，この酸化物磁性粉末とＡｇ及びＡｇ−Ｐｄ合金の
いずれか一方とを印刷法により交互に印刷して成形体を
得，この成形体を焼成することを特徴とするチップイン
ダクターの製造方法が得られる。
【００１６】本発明によれば，前記チップインダクター
の製造方法において，前記成形体の焼成温度は，６５０
〜９００℃であることを特徴とするチップインダクター
の製造方法が得られる。
の製造方法において，前記成形体の焼成温度は，６５０
〜９００℃であることを特徴とするチップインダクター
の製造方法が得られる。
【００１７】ここで，本発明において，硝酸塩とアミノ
酸との錯体を溶解している溶媒としては，有機溶媒を含
めると様々な種類があるが，コスト的，取扱い易さを考
慮すると水が好ましい。
酸との錯体を溶解している溶媒としては，有機溶媒を含
めると様々な種類があるが，コスト的，取扱い易さを考
慮すると水が好ましい。
【００１８】また，本発明において，使用できるアミノ
酸としては，下記化１式で示されるα−アミノ酢酸（グ
リシン），下記化２式で示されるアラニン，下記化３式
で示されるプロリン，下記化４式で示されるアルギニ
ン，下記化５式で示されるトレオニン等が使用できる
が，硝酸塩に含有される金属と錯体を形成するアミノ酸
であれば良く，これらに限定されるものではない。
酸としては，下記化１式で示されるα−アミノ酢酸（グ
リシン），下記化２式で示されるアラニン，下記化３式
で示されるプロリン，下記化４式で示されるアルギニ
ン，下記化５式で示されるトレオニン等が使用できる
が，硝酸塩に含有される金属と錯体を形成するアミノ酸
であれば良く，これらに限定されるものではない。
【００１９】
【化１】
【００２０】
【化２】
【００２１】
【化３】
【００２２】
【化４】
【００２３】
【化５】
【００２４】また，本発明において，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃ
ｕ，Ｚｎの硝酸塩とアミノ酸との錯体を含む溶液を加熱
する温度をこの溶液の溶媒の沸点温度以上４００℃以下
とした理由は，この程度の温度で加熱は充分であり，こ
れを越える温度であっても何ら利点もなく設備コスト，
ランニングコストがかえって高くなり好ましくなく，さ
らに得られる粉末粒径が大きくなってしまうために低温
焼成に適さなくなるからである。
ｕ，Ｚｎの硝酸塩とアミノ酸との錯体を含む溶液を加熱
する温度をこの溶液の溶媒の沸点温度以上４００℃以下
とした理由は，この程度の温度で加熱は充分であり，こ
れを越える温度であっても何ら利点もなく設備コスト，
ランニングコストがかえって高くなり好ましくなく，さ
らに得られる粉末粒径が大きくなってしまうために低温
焼成に適さなくなるからである。
【００２５】また，本発明のチップインダクターの製造
方法において，成形体の焼成温度を６５０〜９００℃と
限定したのは，６５０℃未満の温度では，フェライト及
びＡｇ，Ａｇ−Ｐｄの緻密化があまり進行せず好ましく
なく，また，９００℃を越える温度では導体とフェライ
トの反応が進んで，磁気特性が劣化したり，断線等の不
具合を生ずるためである。
方法において，成形体の焼成温度を６５０〜９００℃と
限定したのは，６５０℃未満の温度では，フェライト及
びＡｇ，Ａｇ−Ｐｄの緻密化があまり進行せず好ましく
なく，また，９００℃を越える温度では導体とフェライ
トの反応が進んで，磁気特性が劣化したり，断線等の不
具合を生ずるためである。
【００２６】更に詳細に，本発明を説明する。本発明で
は，主成分であるＦｅ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｎの元素が溶液
状態で混合されるため，従来の固相粉末の混合よりも均
一混合でしかも原子レベルでの混合が可能となる。この
溶液を加熱し溶媒を蒸発させることで残留する残留物が
自己発火し極めて均一組成の酸化物粉末を得ることが可
能となる。さらにこの自己発火での酸化反応は高温短時
間でありかつ極所的な反応なのでスピネル単相の極めて
微細でかつ均一な粒径の粉末が得られる。それが故に，
本発明では，従来のチップインダクタの製法に比べ，低
温で充分に緻密化した焼成体が得られるものと思われ
る。それが故に，本発明においては，インダクターの導
体としても低融点のＡｇを用いて容易に優れた特性を有
するチップインダクターを製造することが可能となる。
は，主成分であるＦｅ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｎの元素が溶液
状態で混合されるため，従来の固相粉末の混合よりも均
一混合でしかも原子レベルでの混合が可能となる。この
溶液を加熱し溶媒を蒸発させることで残留する残留物が
自己発火し極めて均一組成の酸化物粉末を得ることが可
能となる。さらにこの自己発火での酸化反応は高温短時
間でありかつ極所的な反応なのでスピネル単相の極めて
微細でかつ均一な粒径の粉末が得られる。それが故に，
本発明では，従来のチップインダクタの製法に比べ，低
温で充分に緻密化した焼成体が得られるものと思われ
る。それが故に，本発明においては，インダクターの導
体としても低融点のＡｇを用いて容易に優れた特性を有
するチップインダクターを製造することが可能となる。
【００２７】さらに，本発明においては，粉末物性のみ
で焼成温度を低下せしめることができるため用途に適し
た磁気特性を組成を変化させることで自由に変化させる
ことができるため，各用途に適したインダクターを容易
に製造できる。
で焼成温度を低下せしめることができるため用途に適し
た磁気特性を組成を変化させることで自由に変化させる
ことができるため，各用途に適したインダクターを容易
に製造できる。
【００２８】また，本発明においては，粉末の一次粒子
径の分布も極めてシャープとなるため，焼成体組織も均
一となり磁気特性を向上させることができる。
径の分布も極めてシャープとなるため，焼成体組織も均
一となり磁気特性を向上させることができる。
【００２９】
【実施例】以下，本発明の実施例について説明する。
【００３０】＜実施例−１＞高純度の硝酸鉄（III ），
硝酸Ｎｉ，硝酸Ｃｕ，硝酸Ｚｎを酸化物換算組成で，１
６ＮｉＯ・５ＣｕＯ・３０ＺｎＯ・４９Ｆｅ2 Ｏ3 （ｍ
ｏｌ％）となるよう秤量し，純水中に溶解した。この溶
液にα−アミノ酢酸を２０ｗｔ％添加し，よく混合し
た。次にこの溶液を１００〜７００℃で加熱し水分を蒸
発させた。水分蒸発後，残留物が自己発火し粉末をえ
た。
硝酸Ｎｉ，硝酸Ｃｕ，硝酸Ｚｎを酸化物換算組成で，１
６ＮｉＯ・５ＣｕＯ・３０ＺｎＯ・４９Ｆｅ2 Ｏ3 （ｍ
ｏｌ％）となるよう秤量し，純水中に溶解した。この溶
液にα−アミノ酢酸を２０ｗｔ％添加し，よく混合し
た。次にこの溶液を１００〜７００℃で加熱し水分を蒸
発させた。水分蒸発後，残留物が自己発火し粉末をえ
た。
【００３１】この粉末をＸ線ライフラクトメーターで生
成相を確認したところいずれもＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェラ
イトスピネル単相となっていた。
成相を確認したところいずれもＮｉ−Ｚｎ−Ｃｕフェラ
イトスピネル単相となっていた。
【００３２】比較材として上記と同組成となるように酸
化鉄，酸化ニッケル，酸化銅，酸化亜鉛を秤量しボール
ミルにて混合した。この粉末を大気中８００℃で予焼し
た。さらにこの粉末をボールミルにて微粉砕した。この
微粉末をＸ線回折により生成相を調べたところスピネル
単相となっていた。次にこれら粉末を成形圧２ｔａｎ／
ｃｍ2 でφ１５×φ１０×ｔ５に成形し８００℃で焼成
した。下記表１に焼成体の密度と１００ｋＨｚでのμi
と直流抵抗を示す。本発明による製法での粉末を用いた
試料が密度が高く優れた磁気特性を示す。
化鉄，酸化ニッケル，酸化銅，酸化亜鉛を秤量しボール
ミルにて混合した。この粉末を大気中８００℃で予焼し
た。さらにこの粉末をボールミルにて微粉砕した。この
微粉末をＸ線回折により生成相を調べたところスピネル
単相となっていた。次にこれら粉末を成形圧２ｔａｎ／
ｃｍ2 でφ１５×φ１０×ｔ５に成形し８００℃で焼成
した。下記表１に焼成体の密度と１００ｋＨｚでのμi
と直流抵抗を示す。本発明による製法での粉末を用いた
試料が密度が高く優れた磁気特性を示す。
【００３３】
【表１】
【００３４】＜実施例−２＞実施例−１で得た溶液の加
熱温度が３００℃の粉末と比較例の粉末を，実施例−１
と同様に成形し６５０〜１０００℃で焼成した。図１に
焼成温度と磁気特性（１００ｋＨｚでのμi ）及び焼成
体密度との関係を示す。本発明品は６５０〜９００℃の
間においても高い密度とμｉを示すことがわかる。
熱温度が３００℃の粉末と比較例の粉末を，実施例−１
と同様に成形し６５０〜１０００℃で焼成した。図１に
焼成温度と磁気特性（１００ｋＨｚでのμi ）及び焼成
体密度との関係を示す。本発明品は６５０〜９００℃の
間においても高い密度とμｉを示すことがわかる。
【００３５】＜実施例３＞実施例−２で使用した粉末及
びＡｇペーストを用いて印刷法によるチップインダクタ
ー成形体を得た。次にこの成形体を大気中８００℃で焼
成した。下記表２にインダクターの５００ｋＨｚにおけ
るインダクタンスを示す。本発明品は，従来法に比べ優
れたインダクタンスを示すことがわかる。また両試料を
切断しＳＥＭにて観測したところ比較例の試料はお大き
なポアが残留するばかりか電極層の断裂が確認された。
びＡｇペーストを用いて印刷法によるチップインダクタ
ー成形体を得た。次にこの成形体を大気中８００℃で焼
成した。下記表２にインダクターの５００ｋＨｚにおけ
るインダクタンスを示す。本発明品は，従来法に比べ優
れたインダクタンスを示すことがわかる。また両試料を
切断しＳＥＭにて観測したところ比較例の試料はお大き
なポアが残留するばかりか電極層の断裂が確認された。
【００３６】
【表２】
【００３７】
【発明の効果】以上，述べた如く，本発明においては，
Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｎの硝酸塩とアミノ酸との錯体を
含む溶液をこの溶液の溶媒の沸点〜４００℃の温度で加
熱して得られる粉末を用いることで，７００〜９００℃
の焼成温度で充分に緻密化した。しかもＡｇ又はＡｇ−
Ｐｄの導体との反応，ハクリ等の生じない優れた特性を
有するチップインダクターの製造が可能となるチップイ
ンダクターの製造方法と，それに用いる酸化物磁性材料
を製造する方法を提供することができる。
Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｎの硝酸塩とアミノ酸との錯体を
含む溶液をこの溶液の溶媒の沸点〜４００℃の温度で加
熱して得られる粉末を用いることで，７００〜９００℃
の焼成温度で充分に緻密化した。しかもＡｇ又はＡｇ−
Ｐｄの導体との反応，ハクリ等の生じない優れた特性を
有するチップインダクターの製造が可能となるチップイ
ンダクターの製造方法と，それに用いる酸化物磁性材料
を製造する方法を提供することができる。
【００３８】これは，本発明によって製造される粉末が
極めて微細でかつ均一な粒度を有するために従来の粉末
に比べて焼成時の反応性がよく低温での焼成が可能とな
り，インダクター構成機能を破壊することなく製造でき
るためと思われる。
極めて微細でかつ均一な粒度を有するために従来の粉末
に比べて焼成時の反応性がよく低温での焼成が可能とな
り，インダクター構成機能を破壊することなく製造でき
るためと思われる。
【図１】本発明の実施例−２に係るチップインダクター
の磁気特性と，焼成温度との関係を示す図である。
の磁気特性と，焼成温度との関係を示す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安田 吉孝 宮城県仙台市太白区郡山六丁目７番１号 株式会社トーキン内
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｎの硝酸塩とアミ
ノ酸との錯体を含む溶液を，当該溶液の溶媒の沸点〜４
００℃の温度で加熱することを特徴とする酸化物磁性材
料の製造方法。 - 【請求項２】 Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｎの硝酸塩とアミ
ノ酸との錯体を含む溶液を，当該溶液の溶媒の沸点〜４
００℃の温度で加熱し，酸化物磁性粉末を得，この酸化
物磁性粉末とＡｇ及びＡｇ−Ｐｄ合金のいずれか一方と
を印刷法により交互に印刷して成形体を得，この成形体
を焼成することを特徴とするチップインダクターの製造
方法。 - 【請求項３】 請求項２記載のチップインダクターの製
造方法において，前記成形体の焼成温度は，６５０〜９
００℃であることを特徴とするチップインダクターの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5274031A JPH07130525A (ja) | 1993-11-02 | 1993-11-02 | 酸化物磁性材料の製造方法及びチップインダクターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5274031A JPH07130525A (ja) | 1993-11-02 | 1993-11-02 | 酸化物磁性材料の製造方法及びチップインダクターの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07130525A true JPH07130525A (ja) | 1995-05-19 |
Family
ID=17535999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5274031A Withdrawn JPH07130525A (ja) | 1993-11-02 | 1993-11-02 | 酸化物磁性材料の製造方法及びチップインダクターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07130525A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019176968A1 (ja) * | 2018-03-16 | 2019-09-19 | 戸田工業株式会社 | Ｎｉ－Ｚｎ－Ｃｕ系フェライト粉末、焼結体、フェライトシート |
-
1993
- 1993-11-02 JP JP5274031A patent/JPH07130525A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019176968A1 (ja) * | 2018-03-16 | 2019-09-19 | 戸田工業株式会社 | Ｎｉ－Ｚｎ－Ｃｕ系フェライト粉末、焼結体、フェライトシート |
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