JPH07139936A - 座標測定機 - Google Patents
座標測定機Info
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- JPH07139936A JPH07139936A JP28496393A JP28496393A JPH07139936A JP H07139936 A JPH07139936 A JP H07139936A JP 28496393 A JP28496393 A JP 28496393A JP 28496393 A JP28496393 A JP 28496393A JP H07139936 A JPH07139936 A JP H07139936A
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- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims abstract description 31
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 1
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電子プローブの座標位置を高精度に読み取
り、座標測定機の設置スペースを小さくし、更に、後方
からのワーク搬入やワーク測定を容易に行う。 【構成】 駆動キャリッジ２６がＹキャリッジ１２に併
設され、駆動キャリッジ２６を基台１４に沿ってＹ軸方
向に移動自在に支持した。また、継手２８を移動体２５
のＸ軸方向重心位置に配置し、継手２８で移動体２５と
駆動キャリッジ２６とを係合した。従って、駆動機構３
０で駆動キャリッジ２６をＹ軸方向に移動すると、駆動
力が継手２８を介して移動体２５のＸ軸方向重心位置に
伝達されて、Ｙキャリッジ１２の脚部１２Ａ、１２Ｂが
均等にＹ軸方向に移動し、この場合、従来技術で説明し
たスッタドが基台１４の後端部から外側に突出すること
がなく、さらに、基台１４の後端部中央付近に十分な空
間が確保される。
り、座標測定機の設置スペースを小さくし、更に、後方
からのワーク搬入やワーク測定を容易に行う。 【構成】 駆動キャリッジ２６がＹキャリッジ１２に併
設され、駆動キャリッジ２６を基台１４に沿ってＹ軸方
向に移動自在に支持した。また、継手２８を移動体２５
のＸ軸方向重心位置に配置し、継手２８で移動体２５と
駆動キャリッジ２６とを係合した。従って、駆動機構３
０で駆動キャリッジ２６をＹ軸方向に移動すると、駆動
力が継手２８を介して移動体２５のＸ軸方向重心位置に
伝達されて、Ｙキャリッジ１２の脚部１２Ａ、１２Ｂが
均等にＹ軸方向に移動し、この場合、従来技術で説明し
たスッタドが基台１４の後端部から外側に突出すること
がなく、さらに、基台１４の後端部中央付近に十分な空
間が確保される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は座標測定機に係り、特
にＹ軸方向に移動自在な門型構造のＹキャリッジと、Ｙ
キャリッジのＸガイドに沿ってＸ軸方向に移動自在なＸ
キャリッジと、Ｘキャリッジに設けられた測定子とを有
する座標測定機に関する。
にＹ軸方向に移動自在な門型構造のＹキャリッジと、Ｙ
キャリッジのＸガイドに沿ってＸ軸方向に移動自在なＸ
キャリッジと、Ｘキャリッジに設けられた測定子とを有
する座標測定機に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、座標測定機は一対の脚部と一対
の脚部の上端部を連結するＸガイドでＹキャリッジが門
型構造に構成されていて、この門型構造のＹキャリッジ
は、一対の脚部が基台の両側にＹ軸方向に移動自在に支
持されている。ＸガイドにはＸキャリッジがＸ軸方向に
移動自在に支持されている。そして、Ｘキャリッジに測
定子が直接設けられて、測定子がＸ、Ｙの２方向に移動
自在となる２次元座標測定機や、ＸキャリッジにＺ軸方
向に移動自在に支持されたＺキャリッジの下端部に測定
子が設けられて、測定子がＸ、Ｙ、Ｚの３軸方向に移動
自在となる３次元座標測定機等がある。
の脚部の上端部を連結するＸガイドでＹキャリッジが門
型構造に構成されていて、この門型構造のＹキャリッジ
は、一対の脚部が基台の両側にＹ軸方向に移動自在に支
持されている。ＸガイドにはＸキャリッジがＸ軸方向に
移動自在に支持されている。そして、Ｘキャリッジに測
定子が直接設けられて、測定子がＸ、Ｙの２方向に移動
自在となる２次元座標測定機や、ＸキャリッジにＺ軸方
向に移動自在に支持されたＺキャリッジの下端部に測定
子が設けられて、測定子がＸ、Ｙ、Ｚの３軸方向に移動
自在となる３次元座標測定機等がある。
【０００３】また、ＹキャリッジをＹ方向に移動するた
めの駆動部は、一方の脚部に設けられていて、この駆動
部で一方の脚部を移動して門型構造のＹキャリッジをＹ
軸方向に移動する。そして、測定子のＹ軸方向の座標位
置を読み取るＹ軸スケールは、一般に駆動部が設けられ
ている片方の脚部の近傍の基台に設けられている。
めの駆動部は、一方の脚部に設けられていて、この駆動
部で一方の脚部を移動して門型構造のＹキャリッジをＹ
軸方向に移動する。そして、測定子のＹ軸方向の座標位
置を読み取るＹ軸スケールは、一般に駆動部が設けられ
ている片方の脚部の近傍の基台に設けられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従って、駆動部で門型
構造のＹキャリッジをＹ軸方向に移動する場合、先ず一
方の脚部がＹ軸方向に移動し、次に他方の脚部が慣性力
等によって一方の脚部に遅れながらＹ軸方向に移動す
る。この場合、測定子は一対の脚部間に位置しているの
で、測定子のＹ軸座標位置をＹ軸スケールで読み取る
と、測定子のＹ座標位置に誤差が生じるという問題があ
る。
構造のＹキャリッジをＹ軸方向に移動する場合、先ず一
方の脚部がＹ軸方向に移動し、次に他方の脚部が慣性力
等によって一方の脚部に遅れながらＹ軸方向に移動す
る。この場合、測定子は一対の脚部間に位置しているの
で、測定子のＹ軸座標位置をＹ軸スケールで読み取る
と、測定子のＹ座標位置に誤差が生じるという問題があ
る。
【０００５】この問題を解決すべく、門型構造のＹキャ
リッジ及びＸキャリッジを含んだ移動体のＸ軸方向重心
位置に駆動手段が連結された測定機が開示されている
（特公昭58-53846号公報）。この測定機によれば、駆動
手段を駆動して門型構造のＹキャリッジをＹ軸方向に移
動すると、一対の脚部が均等にＹ軸方向に移動するの
で、測定子のＹ座標位置を高精度に読み取ることができ
る。
リッジ及びＸキャリッジを含んだ移動体のＸ軸方向重心
位置に駆動手段が連結された測定機が開示されている
（特公昭58-53846号公報）。この測定機によれば、駆動
手段を駆動して門型構造のＹキャリッジをＹ軸方向に移
動すると、一対の脚部が均等にＹ軸方向に移動するの
で、測定子のＹ座標位置を高精度に読み取ることができ
る。
【０００６】しかしながら、特公昭58-53846号公報に開
示した測定機の駆動手段はスタンドに設けられていて、
スタンドは基台の後端部中央付近に固定されている。従
って、基台の後方からワークを搬入する場合や、基台の
後方からワークを測定する場合にスタンドが障害になっ
て、夫々の作業が困難になるという問題がある。また、
このスタンドはＹキャリッジの移動量分の長さが必要に
なるので、測定機の設置スペースが大きくなるという問
題がある。
示した測定機の駆動手段はスタンドに設けられていて、
スタンドは基台の後端部中央付近に固定されている。従
って、基台の後方からワークを搬入する場合や、基台の
後方からワークを測定する場合にスタンドが障害になっ
て、夫々の作業が困難になるという問題がある。また、
このスタンドはＹキャリッジの移動量分の長さが必要に
なるので、測定機の設置スペースが大きくなるという問
題がある。
【０００７】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、測定子のＹ座標位置を高精度に読み取ることが
でき、また、測定機の設置スペースを小さくすることが
でき、さらに、基台の後方からのワーク搬入やワーク測
定を容易に行うことができる座標測定機を提供すること
を目的とする。
もので、測定子のＹ座標位置を高精度に読み取ることが
でき、また、測定機の設置スペースを小さくすることが
でき、さらに、基台の後方からのワーク搬入やワーク測
定を容易に行うことができる座標測定機を提供すること
を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、基台に設けられた案内に沿ってＹ軸方向に
移動自在な門型構造のＹキャリッジと、該Ｙキャリッジ
上部のＸガイドに沿ってＸ軸方向に移動自在なＸキャリ
ッジと、該Ｘキャリッジと一体的に又はＸキャリッジに
対してＺ軸方向に移動自在なＺキャリッジを介して配設
された測定子とを有する座標測定機において、前記Ｙキ
ャリッジに併設されると共に前記基台に設けられた案内
に沿ってＹ軸方向に移動自在に支持された駆動キャリッ
ジと、前記Ｙキャリッジ及びＸキャリッジを含む移動体
のＸ軸方向重心位置にあって前記移動体及び前記駆動キ
ャリッジを係合する継手と、前記駆動キャリッジを前記
Ｙ軸方向に移動する駆動機構と、から構成したことを特
徴とする。
成する為に、基台に設けられた案内に沿ってＹ軸方向に
移動自在な門型構造のＹキャリッジと、該Ｙキャリッジ
上部のＸガイドに沿ってＸ軸方向に移動自在なＸキャリ
ッジと、該Ｘキャリッジと一体的に又はＸキャリッジに
対してＺ軸方向に移動自在なＺキャリッジを介して配設
された測定子とを有する座標測定機において、前記Ｙキ
ャリッジに併設されると共に前記基台に設けられた案内
に沿ってＹ軸方向に移動自在に支持された駆動キャリッ
ジと、前記Ｙキャリッジ及びＸキャリッジを含む移動体
のＸ軸方向重心位置にあって前記移動体及び前記駆動キ
ャリッジを係合する継手と、前記駆動キャリッジを前記
Ｙ軸方向に移動する駆動機構と、から構成したことを特
徴とする。
【０００９】また、本発明は、前記目的を達成する為
に、前記Ｙキャリッジの上部に設けられ、前記Ｘキャリ
ッジの移動量に比例し、前記Ｘキャリッジと同一方向に
移動して、前記Ｙキャリッジ及びＸキャリッジを含む移
動体のＸ軸方向重心に常に位置する重心追従ブロック
と、前記Ｙキャリッジに併設されて前記基台に設けられ
た案内に沿ってＹ軸方向に移動自在に支持され、かつ、
前記重心追従ブロックと係合された駆動キャリッジと、
該駆動キャリッジを前記Ｙ軸方向に移動する駆動機構
と、から構成したことを特徴とする。
に、前記Ｙキャリッジの上部に設けられ、前記Ｘキャリ
ッジの移動量に比例し、前記Ｘキャリッジと同一方向に
移動して、前記Ｙキャリッジ及びＸキャリッジを含む移
動体のＸ軸方向重心に常に位置する重心追従ブロック
と、前記Ｙキャリッジに併設されて前記基台に設けられ
た案内に沿ってＹ軸方向に移動自在に支持され、かつ、
前記重心追従ブロックと係合された駆動キャリッジと、
該駆動キャリッジを前記Ｙ軸方向に移動する駆動機構
と、から構成したことを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明によれば、駆動キャリッジがＹキャリッ
ジに併設され、この駆動キャリッジを基台の案内に沿っ
てＹ軸方向に移動自在に支持した。また、継手を移動体
のＸ軸方向重心位置に配置して、この継手で移動体と駆
動キャリッジとを係合した。従って、駆動機構で駆動キ
ャリッジをＹ軸方向に移動すると、駆動力が継手を介し
て移動体のＸ軸方向重心位置に伝達されて、門型構造の
Ｙキャリッジの一対の脚部が各々均等にＹ軸方向に移動
し、この場合、従来技術で説明したようにスタンドが基
台の後端部から外側に突出することがなく、さらに、基
台の後端部中央付近に十分な空間を確保することができ
る。
ジに併設され、この駆動キャリッジを基台の案内に沿っ
てＹ軸方向に移動自在に支持した。また、継手を移動体
のＸ軸方向重心位置に配置して、この継手で移動体と駆
動キャリッジとを係合した。従って、駆動機構で駆動キ
ャリッジをＹ軸方向に移動すると、駆動力が継手を介し
て移動体のＸ軸方向重心位置に伝達されて、門型構造の
Ｙキャリッジの一対の脚部が各々均等にＹ軸方向に移動
し、この場合、従来技術で説明したようにスタンドが基
台の後端部から外側に突出することがなく、さらに、基
台の後端部中央付近に十分な空間を確保することができ
る。
【００１１】また、本発明によれば、重心追従ブロック
（継手）をＹキャリッジの上部に設け、この継手をＸキ
ャリッジの移動量に比例させて、Ｘキャリッジと同一方
向に移動して、移動体のＸ軸方向重心に常に継手を位置
させる。従って、移動体のＸ軸方向の重心位置が変化し
た場合に、継手を移動体のＸ軸方向の重心位置の変化に
追従させて移動することができるので、駆動キャリッジ
をＹ軸方向に移動すると、駆動力が継手を介して常に移
動体のＸ軸方向重心位置に伝達される。
（継手）をＹキャリッジの上部に設け、この継手をＸキ
ャリッジの移動量に比例させて、Ｘキャリッジと同一方
向に移動して、移動体のＸ軸方向重心に常に継手を位置
させる。従って、移動体のＸ軸方向の重心位置が変化し
た場合に、継手を移動体のＸ軸方向の重心位置の変化に
追従させて移動することができるので、駆動キャリッジ
をＹ軸方向に移動すると、駆動力が継手を介して常に移
動体のＸ軸方向重心位置に伝達される。
【００１２】
【実施例】以下添付図面に従って本発明を３次元座標測
定機に適用した実施例１の３次元座標測定機について詳
説する。図１は本発明に係る実施例１の３次元座標測定
機の斜視図、図２はその平面図、図３はその背面図を示
している。３次元座標測定機１０はＹキャリッジ１２を
有していて、Ｙキャリッジ１２は一対の脚部１２Ａ、１
２Ｂと、脚部１２Ａ、１２Ｂの上端部を連結しているＸ
ガイド１２Ｃとで門型構造に構成されている。脚部１２
Ａ、１２Ｂは基台１４の両側に配置されていて、案内面
１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄに沿って、対向するエ
アパッド３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃ、３１ＤによりＹ軸方
向に移動自在に支持されている（図３参照）。Ｘガイド
１２ＣにはＸキャリッジ１８がＸガイド１２Ｃに沿って
Ｘ軸方向に移動自在に支持されている。
定機に適用した実施例１の３次元座標測定機について詳
説する。図１は本発明に係る実施例１の３次元座標測定
機の斜視図、図２はその平面図、図３はその背面図を示
している。３次元座標測定機１０はＹキャリッジ１２を
有していて、Ｙキャリッジ１２は一対の脚部１２Ａ、１
２Ｂと、脚部１２Ａ、１２Ｂの上端部を連結しているＸ
ガイド１２Ｃとで門型構造に構成されている。脚部１２
Ａ、１２Ｂは基台１４の両側に配置されていて、案内面
１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｄに沿って、対向するエ
アパッド３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃ、３１ＤによりＹ軸方
向に移動自在に支持されている（図３参照）。Ｘガイド
１２ＣにはＸキャリッジ１８がＸガイド１２Ｃに沿って
Ｘ軸方向に移動自在に支持されている。
【００１３】すなわち、図２、図３に示すようにボール
ねじ４６がＸガイド１２Ｃに平行に配設された状態で、
その両端部が軸受４８Ａ、４８Ｂに回動自在に支持され
ていて、軸受４８Ａ、４８Ｂは脚部１２Ａ、１２Ｂの上
端部に固定されている。ボールねじ４６の略中央にはナ
ット部材４９がねじ結合されていて、ナット部材４９は
Ｘキャリッジ１８に固定さられている。また、ボールね
じ４６の左端部には駆動モータ５０のシャフト５０Ａが
同軸上に連結されている。従って、駆動モータ５０を駆
動してボールねじ４６を回動すると、ナット部材４９を
介してＸキャリッジ１８がＸ軸方向に移動する。
ねじ４６がＸガイド１２Ｃに平行に配設された状態で、
その両端部が軸受４８Ａ、４８Ｂに回動自在に支持され
ていて、軸受４８Ａ、４８Ｂは脚部１２Ａ、１２Ｂの上
端部に固定されている。ボールねじ４６の略中央にはナ
ット部材４９がねじ結合されていて、ナット部材４９は
Ｘキャリッジ１８に固定さられている。また、ボールね
じ４６の左端部には駆動モータ５０のシャフト５０Ａが
同軸上に連結されている。従って、駆動モータ５０を駆
動してボールねじ４６を回動すると、ナット部材４９を
介してＸキャリッジ１８がＸ軸方向に移動する。
【００１４】Ｘキャリッジ１８のＺ軸ガイド２０にはＺ
キャリッジ２２がＺ軸方向に移動自在に支持されてい
る。Ｚキャリッジ２２の下端部には電子プローブ（測定
子）２４が設けられていて、電子プローブ２４をＸ、
Ｙ、Ｚ軸の３方向に移動して、基台１４上に載置された
ワーク（図示せず）の測定点を検出することによりワー
ク形状等を測定する。尚、Ｙキャリッジ１２、Ｘキャリ
ッジ１８、Ｚキャリッジ２２及び電子プローブ２４は移
動体２５を構成する。
キャリッジ２２がＺ軸方向に移動自在に支持されてい
る。Ｚキャリッジ２２の下端部には電子プローブ（測定
子）２４が設けられていて、電子プローブ２４をＸ、
Ｙ、Ｚ軸の３方向に移動して、基台１４上に載置された
ワーク（図示せず）の測定点を検出することによりワー
ク形状等を測定する。尚、Ｙキャリッジ１２、Ｘキャリ
ッジ１８、Ｚキャリッジ２２及び電子プローブ２４は移
動体２５を構成する。
【００１５】また、３次元座標測定機１０は駆動キャリ
ッジ２６、継手２８及び駆動機構３０を備えている。駆
動キャリッジ２６は脚部２６Ａと、脚部２６Ａに連結さ
れた梁部２６Ｂとで略Ｌ字形に構成されている。駆動キ
ャリッジ２６はＹキャリッジ１２に併設されていてい
る。この駆動キャリッジ２６は、基台１４に設けられた
案内面１４Ａ、１４Ｂに沿ってＹ軸方向に移動自在に支
持されている。図３上で梁部２６Ｂの右端部にはエアパ
ッド２９が設けられていて、エアパッド２９はＹキャリ
ッジ１２の脚部１２Ｂの段部１２Ｂ′上に載置されてい
る。さらに、脚部２６Ａの下端部は脚部１２Ａの下端部
を収納するように形成されていて、脚部２６Ａの下端部
にエアパッド３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｄが設けられてい
る。エアパッド３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｄは夫々案内面１
４Ａ、１４Ｂ、１４Ｄに対向するように配置されている
（図４参照）。
ッジ２６、継手２８及び駆動機構３０を備えている。駆
動キャリッジ２６は脚部２６Ａと、脚部２６Ａに連結さ
れた梁部２６Ｂとで略Ｌ字形に構成されている。駆動キ
ャリッジ２６はＹキャリッジ１２に併設されていてい
る。この駆動キャリッジ２６は、基台１４に設けられた
案内面１４Ａ、１４Ｂに沿ってＹ軸方向に移動自在に支
持されている。図３上で梁部２６Ｂの右端部にはエアパ
ッド２９が設けられていて、エアパッド２９はＹキャリ
ッジ１２の脚部１２Ｂの段部１２Ｂ′上に載置されてい
る。さらに、脚部２６Ａの下端部は脚部１２Ａの下端部
を収納するように形成されていて、脚部２６Ａの下端部
にエアパッド３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｄが設けられてい
る。エアパッド３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｄは夫々案内面１
４Ａ、１４Ｂ、１４Ｄに対向するように配置されている
（図４参照）。
【００１６】脚部２６Ａの下端部内には駆動機構３０の
駆動モータ３２が配設されている。駆動機構３０は駆動
モータを含む駆動ユニット３２、駆動ローラ３４及びガ
イドレール３６から構成されていて、駆動ユニット３２
から駆動ローラ３４が出ている。また、駆動ローラ３４
の外周はガイドレール３６の側面に当接していて、ガイ
ドレール３６はＹ軸方向に平行に配置された状態で基台
１４に固定されている。従って、駆動ユニット３２が内
蔵されたモータで駆動されると駆動ローラ３４が回転し
て、駆動キャリッジ２６はガイドレール３６に沿ってＹ
軸方向に移動する。
駆動モータ３２が配設されている。駆動機構３０は駆動
モータを含む駆動ユニット３２、駆動ローラ３４及びガ
イドレール３６から構成されていて、駆動ユニット３２
から駆動ローラ３４が出ている。また、駆動ローラ３４
の外周はガイドレール３６の側面に当接していて、ガイ
ドレール３６はＹ軸方向に平行に配置された状態で基台
１４に固定されている。従って、駆動ユニット３２が内
蔵されたモータで駆動されると駆動ローラ３４が回転し
て、駆動キャリッジ２６はガイドレール３６に沿ってＹ
軸方向に移動する。
【００１７】図２に示すように、脚部１２Ａ、１２Ｂに
は横板３５の両端部が固定されていて、横板３５には継
手２８の球体３８が固定されている。球体３８は、移動
体２５のＸ軸方向重心位置Ｇに位置決めされている。移
動体２５のＸ軸方向重心位置Ｇは、電子プローブ２４が
Ｘ座標の略中央に配置されたときの重心位置である。球
体３８はブロック４０の凹部内に回動自在に嵌入されて
いて、ブロック４０は梁部２６Ｂに固定されている。従
って、駆動ユニット３２が駆動されて駆動キャリッジ２
６はガイドレール３６に沿ってＹ軸方向に移動すると、
駆動ユニット３２の駆動力が継手２８を介して移動体２
５のＸ軸方向重心位置Ｇに伝達されるので、門型構造の
Ｙキャリッジ１２の脚部１２Ａ、１２Ｂが均等にＹ軸方
向に移動する。
は横板３５の両端部が固定されていて、横板３５には継
手２８の球体３８が固定されている。球体３８は、移動
体２５のＸ軸方向重心位置Ｇに位置決めされている。移
動体２５のＸ軸方向重心位置Ｇは、電子プローブ２４が
Ｘ座標の略中央に配置されたときの重心位置である。球
体３８はブロック４０の凹部内に回動自在に嵌入されて
いて、ブロック４０は梁部２６Ｂに固定されている。従
って、駆動ユニット３２が駆動されて駆動キャリッジ２
６はガイドレール３６に沿ってＹ軸方向に移動すると、
駆動ユニット３２の駆動力が継手２８を介して移動体２
５のＸ軸方向重心位置Ｇに伝達されるので、門型構造の
Ｙキャリッジ１２の脚部１２Ａ、１２Ｂが均等にＹ軸方
向に移動する。
【００１８】前記の如く構成された実施例１の３次元座
標測定機の作用について説明する。先ず、駆動ユニット
３２を駆動して駆動ローラ３４を回転し、駆動キャリッ
ジ２６をガイドレール３６に沿ってＹ軸方向に移動す
る。駆動キャリッジ２６がガイドレール３６に沿ってＹ
軸方向に移動すると、駆動ユニット３２の駆動力が継手
２８を介して移動体２５のＸ軸方向重心位置Ｇに伝達さ
れて、門型構造のＹキャリッジ１２の脚部１２Ａ、１２
Ｂが均等にＹ軸方向に移動する。従って、電子プローブ
のＹ軸方向の座標位置をＹ軸スケールで高精度に読み取
ることができる。
標測定機の作用について説明する。先ず、駆動ユニット
３２を駆動して駆動ローラ３４を回転し、駆動キャリッ
ジ２６をガイドレール３６に沿ってＹ軸方向に移動す
る。駆動キャリッジ２６がガイドレール３６に沿ってＹ
軸方向に移動すると、駆動ユニット３２の駆動力が継手
２８を介して移動体２５のＸ軸方向重心位置Ｇに伝達さ
れて、門型構造のＹキャリッジ１２の脚部１２Ａ、１２
Ｂが均等にＹ軸方向に移動する。従って、電子プローブ
のＹ軸方向の座標位置をＹ軸スケールで高精度に読み取
ることができる。
【００１９】また、駆動キャリッジ２６をＹキャリッジ
１２に併設したので、駆動キャリッジ２６が基台１４の
後端部から外側に突出することがなく、さらに、基台１
４の後端部中央に十分な空間を確保することができる。
従って、３次元座標測定機１０の設置スペースを小さく
することができ、さらに、基台１４の後方からのワーク
搬入やワーク測定を容易に行うことができる。
１２に併設したので、駆動キャリッジ２６が基台１４の
後端部から外側に突出することがなく、さらに、基台１
４の後端部中央に十分な空間を確保することができる。
従って、３次元座標測定機１０の設置スペースを小さく
することができ、さらに、基台１４の後方からのワーク
搬入やワーク測定を容易に行うことができる。
【００２０】実施例１ではボールねじ４６を駆動してＸ
キャリッジ１８を駆動する場合について説明したが、こ
れに限らず、ベルト駆動やローラ駆動等のその他の方法
でＸキャリッジ１８をＸ軸方向に移動してもよい。ま
た、実施例１では移動体２５のＸ軸方向重心位置Ｇと駆
動キャリッジ２６とを継手２８を介して係合する場合に
ついて説明したが、これに限らず、図５及び図６に示す
実施例２のように、移動体２５と駆動キャリッジ２６と
の係合位置を、移動体２５のＸ軸方向重心位置の変化に
追従させてもよい。これにより、電子プローブ２４がＸ
軸方向に移動して移動体２５のＸ軸方向重心位置が変化
した場合でも、駆動キャリッジ２６は常に移動体２５の
Ｘ軸方向重心位置に係合されるので、実施例１と比較し
てさらに高精度に電子プローブ２４のＸ軸方向の座標位
置を得ることができる。以下、図５及び図６に基づいて
実施例２の３次元座標測定機５１を詳説する。尚、図５
及び図６上で実施例１と同一類似部材については同一符
号を付して説明を省略する。
キャリッジ１８を駆動する場合について説明したが、こ
れに限らず、ベルト駆動やローラ駆動等のその他の方法
でＸキャリッジ１８をＸ軸方向に移動してもよい。ま
た、実施例１では移動体２５のＸ軸方向重心位置Ｇと駆
動キャリッジ２６とを継手２８を介して係合する場合に
ついて説明したが、これに限らず、図５及び図６に示す
実施例２のように、移動体２５と駆動キャリッジ２６と
の係合位置を、移動体２５のＸ軸方向重心位置の変化に
追従させてもよい。これにより、電子プローブ２４がＸ
軸方向に移動して移動体２５のＸ軸方向重心位置が変化
した場合でも、駆動キャリッジ２６は常に移動体２５の
Ｘ軸方向重心位置に係合されるので、実施例１と比較し
てさらに高精度に電子プローブ２４のＸ軸方向の座標位
置を得ることができる。以下、図５及び図６に基づいて
実施例２の３次元座標測定機５１を詳説する。尚、図５
及び図６上で実施例１と同一類似部材については同一符
号を付して説明を省略する。
【００２１】図５に示すように、座標測定機５１は重心
追従ブロック５３を備えていて、重心追従ブロック５３
の前端部はガイドレール３２に移動自在に支持されてい
る。ガイドレール３２はＸガイド１２Ｃに沿ってＸ軸方
向に延長した状態で固定ブロック３４に固定されてい
る。固定ブロック３４は横板３５に固定されていて、横
板３５の両端部は脚部１２Ａ、１２Ｂに固定されてい
る。さらに、重心追従ブロック５３の後端部はガイドレ
ール３６に移動自在に支持されている。ガイドレール３
６は駆動キャリッジ２６の梁部２６Ｂに固定されてい
て、ガイドレール３６はガイドレール３２と平行に配設
されている。従って、重心追従ブロック５３はガイドレ
ール３２及びガイドレール３６に沿ってＸ軸方向に移動
する。
追従ブロック５３を備えていて、重心追従ブロック５３
の前端部はガイドレール３２に移動自在に支持されてい
る。ガイドレール３２はＸガイド１２Ｃに沿ってＸ軸方
向に延長した状態で固定ブロック３４に固定されてい
る。固定ブロック３４は横板３５に固定されていて、横
板３５の両端部は脚部１２Ａ、１２Ｂに固定されてい
る。さらに、重心追従ブロック５３の後端部はガイドレ
ール３６に移動自在に支持されている。ガイドレール３
６は駆動キャリッジ２６の梁部２６Ｂに固定されてい
て、ガイドレール３６はガイドレール３２と平行に配設
されている。従って、重心追従ブロック５３はガイドレ
ール３２及びガイドレール３６に沿ってＸ軸方向に移動
する。
【００２２】また、重心追従ブロック５３はボールねじ
３９にねじ結合されている。ボールねじ３９はＸ軸方向
と平行に配置された状態で、ボールねじ３９の両端部が
軸受５８Ａ、５８Ｂに回動自在に支持されている。軸受
５８Ａ、５８Ｂは固定ブロック３４に固定されている。
さらに、ボールねじ３９の左端部にはプーリ５４が同軸
上に固定されていて、プーリ５４とプーリ５２とには無
端状ベルト５６が張設されている。プーリ５２は、上述
したボールねじ４６の左端部に同軸上に固定されてい
る。従って、上述した駆動モータ５０を駆動してボール
ねじ４６を回転すると、無端状ベルト５６等を介してボ
ールねじ３９が同方向に回動し、重心追従ブロック５３
がＸキャリッジ１８と同方向に移動する。
３９にねじ結合されている。ボールねじ３９はＸ軸方向
と平行に配置された状態で、ボールねじ３９の両端部が
軸受５８Ａ、５８Ｂに回動自在に支持されている。軸受
５８Ａ、５８Ｂは固定ブロック３４に固定されている。
さらに、ボールねじ３９の左端部にはプーリ５４が同軸
上に固定されていて、プーリ５４とプーリ５２とには無
端状ベルト５６が張設されている。プーリ５２は、上述
したボールねじ４６の左端部に同軸上に固定されてい
る。従って、上述した駆動モータ５０を駆動してボール
ねじ４６を回転すると、無端状ベルト５６等を介してボ
ールねじ３９が同方向に回動し、重心追従ブロック５３
がＸキャリッジ１８と同方向に移動する。
【００２３】ボールねじ４６、３９のリード比及びプー
リ５２、５４の直径比は、Ｘキャリッジ１８の移動量に
比例して重心追従ブロック５３が移動するように設定さ
れている。そして、Ｘキャリッジ１８がＸ軸方向に移動
した場合、重心追従ブロック５３はＸキャリッジ１８に
同期してＸ軸方向に移動して移動体２５のＸ軸方向の重
心位置に位置決めされる。
リ５２、５４の直径比は、Ｘキャリッジ１８の移動量に
比例して重心追従ブロック５３が移動するように設定さ
れている。そして、Ｘキャリッジ１８がＸ軸方向に移動
した場合、重心追従ブロック５３はＸキャリッジ１８に
同期してＸ軸方向に移動して移動体２５のＸ軸方向の重
心位置に位置決めされる。
【００２４】前記の如く構成された実施例２の３次元座
標測定機の作用について説明する。先ず、基台１４上に
ワークを載置して、電子プローブ２４をＸ、Ｙ、Ｚ軸方
向に移動してワークの測定点に電子プローブ２４を当接
する。ここで、電子プローブ２４をＸ軸方向に移動する
場合、駆動モータ５０を駆動してボールねじ４６を回動
する。ボールねじ４６が回動すると、ナット部材４９を
介してＸキャリッジ１８がＸ軸方向に移動し、同時にボ
ールねじ３９がボールねじ４６と同方向に回動する。
標測定機の作用について説明する。先ず、基台１４上に
ワークを載置して、電子プローブ２４をＸ、Ｙ、Ｚ軸方
向に移動してワークの測定点に電子プローブ２４を当接
する。ここで、電子プローブ２４をＸ軸方向に移動する
場合、駆動モータ５０を駆動してボールねじ４６を回動
する。ボールねじ４６が回動すると、ナット部材４９を
介してＸキャリッジ１８がＸ軸方向に移動し、同時にボ
ールねじ３９がボールねじ４６と同方向に回動する。
【００２５】ボールねじ４６によるＸキャリッジ１８の
移動量とボールねじ３９による重心追従ブロック５３の
移動量との比は、Ｘキャリッジ１８がＸ軸方向に移動し
た場合、重心追従ブロック５３が移動体２５のＸ軸方向
の重心位置に移動するように設定されている。従って、
電子プローブ２４を移動してワークの測定点に当接する
場合でも、電子プローブ２４に追従して重心追従ブロッ
ク５３が移動して、移動体２５のＸ軸方向の重心位置に
常に移動する。この状態で、駆動ユニット３２を駆動し
て駆動ローラ３４を回転し、駆動キャリッジ２６をガイ
ドレール３６に沿ってＹ軸方向に移動する。駆動キャリ
ッジ２６がガイドレール３６に沿ってＹ軸方向に移動す
ると、駆動ユニット３２の駆動力が重心追従ブロック５
３を介して移動体２５のＸ軸方向重心位置に伝達され
て、門型構造のＹキャリッジ１２の脚部１２Ａ、１２Ｂ
が均等にＹ軸方向に移動する。
移動量とボールねじ３９による重心追従ブロック５３の
移動量との比は、Ｘキャリッジ１８がＸ軸方向に移動し
た場合、重心追従ブロック５３が移動体２５のＸ軸方向
の重心位置に移動するように設定されている。従って、
電子プローブ２４を移動してワークの測定点に当接する
場合でも、電子プローブ２４に追従して重心追従ブロッ
ク５３が移動して、移動体２５のＸ軸方向の重心位置に
常に移動する。この状態で、駆動ユニット３２を駆動し
て駆動ローラ３４を回転し、駆動キャリッジ２６をガイ
ドレール３６に沿ってＹ軸方向に移動する。駆動キャリ
ッジ２６がガイドレール３６に沿ってＹ軸方向に移動す
ると、駆動ユニット３２の駆動力が重心追従ブロック５
３を介して移動体２５のＸ軸方向重心位置に伝達され
て、門型構造のＹキャリッジ１２の脚部１２Ａ、１２Ｂ
が均等にＹ軸方向に移動する。
【００２６】このように、電子プローブ２４を移動して
移動体２５のＸ軸方向の重心位置が変化した場合に、重
心追従ブロック５３を移動体２５のＸ軸方向の重心位置
の変化に追従させて移動することができるので、前記実
施例１と比較して電子プローブ２４のＹ軸方向の座標位
置を、さらに高精度に読み取ることができる。前記実施
例２ではボールねじ３９に重心追従ブロック５３をねじ
結合して、ボールねじ４６によるＸキャリッジ１８の移
動量と、ボールねじ３９による重心追従ブロック５３と
移動量との比を、Ｘキャリッジ１８がＸ軸方向に移動し
た場合、重心追従ブロック５３が移動体２５のＸ軸方向
の重心位置に移動されるように設定したが、これに限ら
ず、Ｘキャリッジ１８と重心追従ブロック５３をベルト
駆動やローラ駆動等別の手段で駆動したり、また比例動
作を別の機械的方法を用いたり電気的に比例動作させる
等の方法で、重心追従ブロック５３を移動体２５のＸ軸
方向の重心位置に移動するようにしてもよい。
移動体２５のＸ軸方向の重心位置が変化した場合に、重
心追従ブロック５３を移動体２５のＸ軸方向の重心位置
の変化に追従させて移動することができるので、前記実
施例１と比較して電子プローブ２４のＹ軸方向の座標位
置を、さらに高精度に読み取ることができる。前記実施
例２ではボールねじ３９に重心追従ブロック５３をねじ
結合して、ボールねじ４６によるＸキャリッジ１８の移
動量と、ボールねじ３９による重心追従ブロック５３と
移動量との比を、Ｘキャリッジ１８がＸ軸方向に移動し
た場合、重心追従ブロック５３が移動体２５のＸ軸方向
の重心位置に移動されるように設定したが、これに限ら
ず、Ｘキャリッジ１８と重心追従ブロック５３をベルト
駆動やローラ駆動等別の手段で駆動したり、また比例動
作を別の機械的方法を用いたり電気的に比例動作させる
等の方法で、重心追従ブロック５３を移動体２５のＸ軸
方向の重心位置に移動するようにしてもよい。
【００２７】尚、Ｘキャリッジ１８と重心追従ブロック
５３を電気的に比例動作させる場合は、Ｘキャリッジ１
８及び重心追従ブロック５３に夫々独立してモータを設
け、各々のモータをオープンループ又はクローズドルー
プで制御して、Ｘキャリッジ１８がＸ軸方向に移動した
場合、重心追従ブロック５３が移動体２５のＸ軸方向の
重心位置に移動するようにするので、Ｘキャリッジ１
８、重心追従ブロック５３はボールねじ駆動でなく、ベ
ルト駆動やローラ駆動でもよい。
５３を電気的に比例動作させる場合は、Ｘキャリッジ１
８及び重心追従ブロック５３に夫々独立してモータを設
け、各々のモータをオープンループ又はクローズドルー
プで制御して、Ｘキャリッジ１８がＸ軸方向に移動した
場合、重心追従ブロック５３が移動体２５のＸ軸方向の
重心位置に移動するようにするので、Ｘキャリッジ１
８、重心追従ブロック５３はボールねじ駆動でなく、ベ
ルト駆動やローラ駆動でもよい。
【００２８】前記実施例１、２では本発明を３次元座標
測定機に適用する場合について説明したが、これに限ら
ず、Ｙキャリッジが門型に構成されている座標測定機で
あれば、本実施例に示したＹキャリッジのＹ軸方向の水
平方向のガイドは、基台の両側を用いる方式や、基台の
上又は下に基台と別にガイドを設ける方式もしくは基台
の上又は下に角溝を設ける方式等、いずれの方式でもよ
く、３次元以外の多次元座標測定機に適用することがで
きる。
測定機に適用する場合について説明したが、これに限ら
ず、Ｙキャリッジが門型に構成されている座標測定機で
あれば、本実施例に示したＹキャリッジのＹ軸方向の水
平方向のガイドは、基台の両側を用いる方式や、基台の
上又は下に基台と別にガイドを設ける方式もしくは基台
の上又は下に角溝を設ける方式等、いずれの方式でもよ
く、３次元以外の多次元座標測定機に適用することがで
きる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る座標測
定機によれば、駆動機構で駆動キャリッジをＹ軸方向に
移動すると、駆動力が継手を介して移動体のＸ軸方向重
心位置に伝達されて、門型構造のＹキャリッジの一対の
脚部が各々均等にＹ軸方向に移動する。これにより、測
定子のＹ軸方向の座標位置をＹ軸スケールで高精度に読
み取ることができる。
定機によれば、駆動機構で駆動キャリッジをＹ軸方向に
移動すると、駆動力が継手を介して移動体のＸ軸方向重
心位置に伝達されて、門型構造のＹキャリッジの一対の
脚部が各々均等にＹ軸方向に移動する。これにより、測
定子のＹ軸方向の座標位置をＹ軸スケールで高精度に読
み取ることができる。
【００３０】また、駆動キャリッジをＹキャリッジに併
設したので、駆動キャリッジが基台１４の後端部から外
側に突出することがなく、さらに、基台の後端部中央に
十分な空間を確保することができる。従って、座標測定
機の設置スペースを小さくすることができ、さらに、基
台の後方からのワーク搬入やワーク測定を容易に行うこ
とができる。
設したので、駆動キャリッジが基台１４の後端部から外
側に突出することがなく、さらに、基台の後端部中央に
十分な空間を確保することができる。従って、座標測定
機の設置スペースを小さくすることができ、さらに、基
台の後方からのワーク搬入やワーク測定を容易に行うこ
とができる。
【００３１】また、本発明に係る座標測定機によれば、
移動体のＸ軸方向の重心位置が変化した場合に、重心追
従ブロックを移動体のＸ軸方向の重心位置の変化に追従
させて移動することができるので、駆動キャリッジをＹ
軸方向に移動すると、駆動力が重心追従ブロックを介し
て常に移動体のＸ軸方向重心位置に伝達される。これに
より、測定子がＸ軸方向に移動した場合でも、測定子の
Ｙ軸方向の座標位置をＹ軸スケールで高精度に読み取る
ことができる。
移動体のＸ軸方向の重心位置が変化した場合に、重心追
従ブロックを移動体のＸ軸方向の重心位置の変化に追従
させて移動することができるので、駆動キャリッジをＹ
軸方向に移動すると、駆動力が重心追従ブロックを介し
て常に移動体のＸ軸方向重心位置に伝達される。これに
より、測定子がＸ軸方向に移動した場合でも、測定子の
Ｙ軸方向の座標位置をＹ軸スケールで高精度に読み取る
ことができる。
【図１】本発明に係る座標測定機の実施例１の斜視図
【図２】本発明に係る座標測定機の実施例１の平面図
【図３】本発明に係る座標測定機の実施例１の背面図
【図４】図３のＡ−Ａ断面図
【図５】本発明に係る座標測定機の実施例２の平面図
【図６】本発明に係る座標測定機の実施例２の背面図
１０、５１…座標測定機 １２…Ｙキャリッジ １２Ｃ…Ｘガイド １４…基台 １８…Ｘキャリッジ ２４…電子プローブ（測定子） ２５…移動体 ２６…駆動キャリッジ ２８…継手 ３０…駆動機構 ５３…重心追従ブロック
Claims (2)
- 【請求項１】 基台に設けられた案内に沿ってＹ軸方向
に移動自在な門型構造のＹキャリッジと、該Ｙキャリッ
ジ上部のＸガイドに沿ってＸ軸方向に移動自在なＸキャ
リッジと、該Ｘキャリッジと一体的に又はＸキャリッジ
に対してＺ軸方向に移動自在なＺキャリッジを介して配
設された測定子とを有する座標測定機において、 前記Ｙキャリッジに併設されると共に前記基台に設けら
れた案内に沿ってＹ軸方向に移動自在に支持された駆動
キャリッジと、 前記Ｙキャリッジ及びＸキャリッジを含む移動体のＸ軸
方向重心位置にあって前記移動体及び前記駆動キャリッ
ジを係合する継手と、 前記駆動キャリッジを前記Ｙ軸方向に移動する駆動機構
と、 から構成したことを特徴とする座標測定機。 - 【請求項２】 基台に設けられた案内に沿ってＹ軸方向
に移動自在な門型構造のＹキャリッジと、該Ｙキャリッ
ジ上部のＸガイドに沿ってＸ軸方向に移動自在なＸキャ
リッジと、該Ｘキャリッジと一体的に又はＸキャリッジ
に対してＺ軸方向に移動自在なＺキャリッジを介して配
設された測定子とを有する座標測定機において、 前記Ｙキャリッジの上部に設けられ、前記Ｘキャリッジ
の移動量に比例し、前記Ｘキャリッジと同一方向に移動
して、前記Ｙキャリッジ及びＸキャリッジを含む移動体
のＸ軸方向重心に常に位置する重心追従ブロックと、 前記Ｙキャリッジに併設されて前記基台に設けられた案
内に沿ってＹ軸方向に移動自在に支持され、かつ、前記
重心追従ブロックと係合された駆動キャリッジと、 該駆動キャリッジを前記Ｙ軸方向に移動する駆動機構
と、 から構成したことを特徴とする座標測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28496393A JPH07139936A (ja) | 1993-11-15 | 1993-11-15 | 座標測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28496393A JPH07139936A (ja) | 1993-11-15 | 1993-11-15 | 座標測定機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07139936A true JPH07139936A (ja) | 1995-06-02 |
Family
ID=17685350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28496393A Pending JPH07139936A (ja) | 1993-11-15 | 1993-11-15 | 座標測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07139936A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017075962A (ja) * | 2015-01-30 | 2017-04-20 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2017134025A (ja) * | 2016-01-29 | 2017-08-03 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2018197761A (ja) * | 2018-08-20 | 2018-12-13 | 株式会社東京精密 | 三次元測定機 |
| JP2019015746A (ja) * | 2015-01-30 | 2019-01-31 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2019035764A (ja) * | 2015-01-30 | 2019-03-07 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2019060894A (ja) * | 2018-12-12 | 2019-04-18 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2019105660A (ja) * | 2019-04-08 | 2019-06-27 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2021092590A (ja) * | 2021-03-16 | 2021-06-17 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
-
1993
- 1993-11-15 JP JP28496393A patent/JPH07139936A/ja active Pending
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019056713A (ja) * | 2015-01-30 | 2019-04-11 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| US11067382B2 (en) | 2015-01-30 | 2021-07-20 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Three-dimensional coordinate measurement apparatus |
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| EP3239649A4 (en) * | 2015-01-30 | 2017-12-06 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Three-dimensional coordinate measurement apparatus |
| JP2018017738A (ja) * | 2015-01-30 | 2018-02-01 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| US9921049B2 (en) | 2015-01-30 | 2018-03-20 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Three-dimensional coordinate measurement apparatus |
| US20180149470A1 (en) * | 2015-01-30 | 2018-05-31 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Three-dimensional coordinate measurement apparatus |
| EP3527931A1 (en) | 2015-01-30 | 2019-08-21 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Three-dimensional coordinate measurement apparatus |
| JP2019035764A (ja) * | 2015-01-30 | 2019-03-07 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2019015746A (ja) * | 2015-01-30 | 2019-01-31 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2019070666A (ja) * | 2015-01-30 | 2019-05-09 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2021043219A (ja) * | 2015-01-30 | 2021-03-18 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2017075962A (ja) * | 2015-01-30 | 2017-04-20 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| US10663283B2 (en) | 2015-01-30 | 2020-05-26 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Three-dimensional coordinate measurement apparatus |
| JP2019124707A (ja) * | 2015-01-30 | 2019-07-25 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2017134025A (ja) * | 2016-01-29 | 2017-08-03 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2018197761A (ja) * | 2018-08-20 | 2018-12-13 | 株式会社東京精密 | 三次元測定機 |
| JP2019060894A (ja) * | 2018-12-12 | 2019-04-18 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2019105660A (ja) * | 2019-04-08 | 2019-06-27 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
| JP2021092590A (ja) * | 2021-03-16 | 2021-06-17 | 株式会社東京精密 | 三次元座標測定装置 |
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