JPH07142417A - 炉内温度監視装置 - Google Patents
炉内温度監視装置Info
- Publication number
- JPH07142417A JPH07142417A JP5292132A JP29213293A JPH07142417A JP H07142417 A JPH07142417 A JP H07142417A JP 5292132 A JP5292132 A JP 5292132A JP 29213293 A JP29213293 A JP 29213293A JP H07142417 A JPH07142417 A JP H07142417A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- furnace
- allowable
- profile
- detector
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- Pending
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- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 炉内温度が基本温度プロファイルの許容温度
範囲から外れたことを直ちに知ることができると共に、
実際の炉内温度の履歴を知ることのできる炉内温度監視
装置を提案する。 【構成】 炉内温度プロファイルが記憶された第１の記
憶手段８Ｍ３と、炉内温度検出器２と、その炉内温度検
出器２よりの検出温度を、第１の記憶手段８Ｍ３に記憶
されている炉内温度プロファイルと比較し、その温度差
が許容温度範囲外か否かを判別する温度比較手段８Ｃ
と、その温度比較手段８Ｃの比較結果が許容温度範囲外
のとき警報を発生する警報発生手段６と、炉内温度検出
器２によって検出された検出温度の履歴を記憶する第２
記憶手段８Ｍ３とを有する。
範囲から外れたことを直ちに知ることができると共に、
実際の炉内温度の履歴を知ることのできる炉内温度監視
装置を提案する。 【構成】 炉内温度プロファイルが記憶された第１の記
憶手段８Ｍ３と、炉内温度検出器２と、その炉内温度検
出器２よりの検出温度を、第１の記憶手段８Ｍ３に記憶
されている炉内温度プロファイルと比較し、その温度差
が許容温度範囲外か否かを判別する温度比較手段８Ｃ
と、その温度比較手段８Ｃの比較結果が許容温度範囲外
のとき警報を発生する警報発生手段６と、炉内温度検出
器２によって検出された検出温度の履歴を記憶する第２
記憶手段８Ｍ３とを有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体装置の拡散設備等
に用いられる炉内温度の監視装置に関する。
に用いられる炉内温度の監視装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４を参照して説明して、拡散設備の拡
散炉の炉内温度プロファイルについて説明する。図４の
太い実線は、ある製品（半導体ウェハー）を拡散処理す
るときの炉内温度プロファイル（基本温度プロファイ
ル）を示す。この温度プロファイルは、例えば、炉内温
度が一定温度Ｔ1 °Ｃ に成ったてから、時点ｔ1 から
ｔ 2 まで一定の温度勾配で温度が上昇し（ランピングア
ップ）、時点ｔ2 からｔ3まで一定の温度（拡散温度）
Ｔ2 °Ｃを保ち、時点3 からｔ4 まで一定の温度勾配で
下降し（ランピングダウン）、時点ｔ4 以降一定温度Ｔ
2 °Ｃに保たれる。尚、時点ｔ2 の温度をランピングア
ップポイントと称する。又、温度がＴ1 °Ｃで、時点ｔ
1 の前の時点ｔA で拡散炉内に製品を投入し、温度がＴ
1 °Ｃで時点ｔ4 の後の時点ＴB で拡散炉内から製品を
取り出す。Ｔ1 °Ｃは、例えば、９５０°、Ｔ2 °Ｃ
は、例えば、１１００°である。そして、実際の炉内温
度がこの温度プロファイルに従って変化するように、ヒ
ーター制御回路基板によって炉内温度が制御される。
尚、この温度プロファイルに対し、所定幅の許容温度範
囲がある。その許容温度範囲は、Ｔ1 °Ｃ＝９５０°
Ｃ、Ｔ2 °Ｃ＝１１００°Ｃに対し、それぞれ、例え
ば、±１°Ｃである。
散炉の炉内温度プロファイルについて説明する。図４の
太い実線は、ある製品（半導体ウェハー）を拡散処理す
るときの炉内温度プロファイル（基本温度プロファイ
ル）を示す。この温度プロファイルは、例えば、炉内温
度が一定温度Ｔ1 °Ｃ に成ったてから、時点ｔ1 から
ｔ 2 まで一定の温度勾配で温度が上昇し（ランピングア
ップ）、時点ｔ2 からｔ3まで一定の温度（拡散温度）
Ｔ2 °Ｃを保ち、時点3 からｔ4 まで一定の温度勾配で
下降し（ランピングダウン）、時点ｔ4 以降一定温度Ｔ
2 °Ｃに保たれる。尚、時点ｔ2 の温度をランピングア
ップポイントと称する。又、温度がＴ1 °Ｃで、時点ｔ
1 の前の時点ｔA で拡散炉内に製品を投入し、温度がＴ
1 °Ｃで時点ｔ4 の後の時点ＴB で拡散炉内から製品を
取り出す。Ｔ1 °Ｃは、例えば、９５０°、Ｔ2 °Ｃ
は、例えば、１１００°である。そして、実際の炉内温
度がこの温度プロファイルに従って変化するように、ヒ
ーター制御回路基板によって炉内温度が制御される。
尚、この温度プロファイルに対し、所定幅の許容温度範
囲がある。その許容温度範囲は、Ｔ1 °Ｃ＝９５０°
Ｃ、Ｔ2 °Ｃ＝１１００°Ｃに対し、それぞれ、例え
ば、±１°Ｃである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、拡散炉内の
温度をヒーター制御回路基板によって制御して、炉内の
時間軸上の温度プロファイルを実現しようとする場合、
実際の温度変化がこの基本温度プロファイルの許容温度
範囲から外れた場合、即ち、温度異常が発生した場合、
拡散処理された製品が不良品となる可能性が高い。
温度をヒーター制御回路基板によって制御して、炉内の
時間軸上の温度プロファイルを実現しようとする場合、
実際の温度変化がこの基本温度プロファイルの許容温度
範囲から外れた場合、即ち、温度異常が発生した場合、
拡散処理された製品が不良品となる可能性が高い。
【０００４】しかし、炉内に製品を投入してから取り出
すまでの時間ｔにおいて、温度異常が発生したときに、
直ちに、製品を炉から取り出せば、不良品の発生を未然
にくい止め得る場合もある。又、不良品が発生した場
合、拡散処理中のどの時点で温度異常が生じたかが分か
れば、不良品発生の原因究明、拡散炉自体の故障の発見
等が可能となる。
すまでの時間ｔにおいて、温度異常が発生したときに、
直ちに、製品を炉から取り出せば、不良品の発生を未然
にくい止め得る場合もある。又、不良品が発生した場
合、拡散処理中のどの時点で温度異常が生じたかが分か
れば、不良品発生の原因究明、拡散炉自体の故障の発見
等が可能となる。
【０００５】かかる点に鑑み、本発明は、炉内温度が基
本温度プロファイルの許容温度範囲から外れたことを直
ちに知ることができると共に、実際の炉内温度の履歴を
知ることのできる炉内温度監視装置を提案しようとする
ものである。
本温度プロファイルの許容温度範囲から外れたことを直
ちに知ることができると共に、実際の炉内温度の履歴を
知ることのできる炉内温度監視装置を提案しようとする
ものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、炉内温度プロ
ファイルが記憶された第１の記憶手段８Ｍ３と、炉内温
度検出器２と、その炉内温度検出器２よりの検出温度
を、第１の記憶手段８Ｍ３に記憶されている炉内温度プ
ロファイルと比較し、その温度差が許容温度範囲外か否
かを判別する温度比較手段８Ｃと、その温度比較手段８
Ｃの比較結果が許容温度範囲外のとき警報を発生する警
報発生手段６と、炉内温度検出器２によって検出された
検出温度の履歴を記憶する第２記憶手段８Ｍ３とを有す
ることを特徴とする炉内温度監視装置である。
ファイルが記憶された第１の記憶手段８Ｍ３と、炉内温
度検出器２と、その炉内温度検出器２よりの検出温度
を、第１の記憶手段８Ｍ３に記憶されている炉内温度プ
ロファイルと比較し、その温度差が許容温度範囲外か否
かを判別する温度比較手段８Ｃと、その温度比較手段８
Ｃの比較結果が許容温度範囲外のとき警報を発生する警
報発生手段６と、炉内温度検出器２によって検出された
検出温度の履歴を記憶する第２記憶手段８Ｍ３とを有す
ることを特徴とする炉内温度監視装置である。
【０００７】
【作用】上述せる本発明によれば、温度比較手段８Ｃに
よって、炉内温度検出器２よりの検出温度を、第１の記
憶手段８Ｍ３に記憶されている炉内温度プロファイルと
比較し、その温度差が許容温度範囲外か否かを判別し、
その比較結果が許容温度範囲外のときは、警報発生手段
６によって警報を発生し、又、第２記憶手段８Ｍ３によ
って、炉内温度検出器２によって検出された検出温度の
履歴を記憶する。
よって、炉内温度検出器２よりの検出温度を、第１の記
憶手段８Ｍ３に記憶されている炉内温度プロファイルと
比較し、その温度差が許容温度範囲外か否かを判別し、
その比較結果が許容温度範囲外のときは、警報発生手段
６によって警報を発生し、又、第２記憶手段８Ｍ３によ
って、炉内温度検出器２によって検出された検出温度の
履歴を記憶する。
【０００８】
【実施例】以下に、図１を参照して、本発明の実施例で
ある炉内温度監視装置を詳細に説明する。１は拡散設備
を全体として示す。２は、その拡散設備１内の拡散炉内
の温度を検出す検出器としての熱電対である。この熱電
対２、上部（TOP)炉の中の前方部、中央部及び後方部の
温度を検出する熱電対２ＴＦ、２ＴＣ、２ＴＲ、中部
（MIDDLE) 炉の中の前方部、中央部及び後方部の温度を
検出する熱電対２ＭＦ、２ＭＣ、２ＭＲ及び下部（BOTT
OM) 炉の中の前方部、中央部及び後方部の温度を検出す
る熱電対２ＢＦ、２ＢＣ、２ＢＲの集合から構成されて
いる。３は、拡散設備１内の設備インターフェース（Ｉ
／Ｆ）で、炉内への製品の投入タイミング及び炉内から
の製品の取り出しタイミングを外部に出力する。
ある炉内温度監視装置を詳細に説明する。１は拡散設備
を全体として示す。２は、その拡散設備１内の拡散炉内
の温度を検出す検出器としての熱電対である。この熱電
対２、上部（TOP)炉の中の前方部、中央部及び後方部の
温度を検出する熱電対２ＴＦ、２ＴＣ、２ＴＲ、中部
（MIDDLE) 炉の中の前方部、中央部及び後方部の温度を
検出する熱電対２ＭＦ、２ＭＣ、２ＭＲ及び下部（BOTT
OM) 炉の中の前方部、中央部及び後方部の温度を検出す
る熱電対２ＢＦ、２ＢＣ、２ＢＲの集合から構成されて
いる。３は、拡散設備１内の設備インターフェース（Ｉ
／Ｆ）で、炉内への製品の投入タイミング及び炉内から
の製品の取り出しタイミングを外部に出力する。
【０００９】熱電対２（２ＴＦ〜２ＢＲ）よりの炉内温
度検出出力は、熱電対用増幅器ユニット４によって増幅
された後、Ａ／Ｄ変換器５によってデジタル信号に変換
された後、ＲＳ−２３２Ｃ方式の直列伝送によって、制
御装置（パーソナルコンピュータ）８に伝送（通信）さ
れる。
度検出出力は、熱電対用増幅器ユニット４によって増幅
された後、Ａ／Ｄ変換器５によってデジタル信号に変換
された後、ＲＳ−２３２Ｃ方式の直列伝送によって、制
御装置（パーソナルコンピュータ）８に伝送（通信）さ
れる。
【００１０】パーソナルコンピュータ８は、通常の如
く、ＣＰＵ８Ｃ、ＲＯＭ８Ｍ１、ＲＡＭ８Ｍ２、外部記
憶装置（フロッピーディスク装置）８Ｍ３、表示器（液
晶表示装置、ＣＲＴ等）８Ｄ、キーボード（Ｋ−Ｂ）８
Ｋ等を備え、バスＢＳを介して互いに接続されている。
く、ＣＰＵ８Ｃ、ＲＯＭ８Ｍ１、ＲＡＭ８Ｍ２、外部記
憶装置（フロッピーディスク装置）８Ｍ３、表示器（液
晶表示装置、ＣＲＴ等）８Ｄ、キーボード（Ｋ−Ｂ）８
Ｋ等を備え、バスＢＳを介して互いに接続されている。
【００１１】６は警報装置で、警報表示器（ＬＥＤ）
６、警報ブザー６Ｂ、ブザー停止スイッチ６Ｓを備えて
いる。そして、設備Ｉ／Ｆ３及び警報装置６が、Ｉ／Ｏ
ポートユニット７を介して制御装置８に接続されてい
る。
６、警報ブザー６Ｂ、ブザー停止スイッチ６Ｓを備えて
いる。そして、設備Ｉ／Ｆ３及び警報装置６が、Ｉ／Ｏ
ポートユニット７を介して制御装置８に接続されてい
る。
【００１２】次に、異常検出フローチャートを参照し
て、図１の炉内監視装置の制御装置８の制御による動作
を説明する。ある製品（半導体ウェハー）を拡散処理す
るための上部（TOP)炉の中の前方部、中央部及び後方部
の各温度、中部（MIDDLE) 炉の中の前方部、中央部及び
後方部の各温度並びに下部（BOTTOM) 炉の中の前方部、
中央部及び後方部の各温度の図４に太い実線にて示す如
き各温度プロファイル（基本温度プロファイル）（例え
ば、半導体ウェハーのテストピースの拡散処理によりプ
ロットした６０秒毎の温度）がそれぞれ制御装置８の外
部記憶装置８Ｍ３のフロッピーに記憶されているものと
する。
て、図１の炉内監視装置の制御装置８の制御による動作
を説明する。ある製品（半導体ウェハー）を拡散処理す
るための上部（TOP)炉の中の前方部、中央部及び後方部
の各温度、中部（MIDDLE) 炉の中の前方部、中央部及び
後方部の各温度並びに下部（BOTTOM) 炉の中の前方部、
中央部及び後方部の各温度の図４に太い実線にて示す如
き各温度プロファイル（基本温度プロファイル）（例え
ば、半導体ウェハーのテストピースの拡散処理によりプ
ロットした６０秒毎の温度）がそれぞれ制御装置８の外
部記憶装置８Ｍ３のフロッピーに記憶されているものと
する。
【００１３】ステップＳＴ−１で、システムスタートス
イッチ（ＳＷ）がオンになったか否かが判断され、ＮＯ
であればステップＳＴ−１に戻り、ＹＥＳであればステ
ップＳＴ−２で拡散設備１が稼働する。ステップＳＴ−
３で、設備Ｉ／Ｆ３からの炉内に製品（半導体ウェハ
ー）が投入されたことを示すタイミング信号がＩ／Ｏユ
ニット７を通じて、制御装置８に供給されると、Ａ／Ｄ
変換器５及び制御装置８間の通信が開始されると共に、
６０秒タイマーがスタートし、ステップＳＴ−４で、６
０秒経過したか否かが判断され、ＮＯであればステップ
ＳＴ−４に戻り、ＹＥＳであればステップＳＴ−５に移
行する。
イッチ（ＳＷ）がオンになったか否かが判断され、ＮＯ
であればステップＳＴ−１に戻り、ＹＥＳであればステ
ップＳＴ−２で拡散設備１が稼働する。ステップＳＴ−
３で、設備Ｉ／Ｆ３からの炉内に製品（半導体ウェハ
ー）が投入されたことを示すタイミング信号がＩ／Ｏユ
ニット７を通じて、制御装置８に供給されると、Ａ／Ｄ
変換器５及び制御装置８間の通信が開始されると共に、
６０秒タイマーがスタートし、ステップＳＴ−４で、６
０秒経過したか否かが判断され、ＮＯであればステップ
ＳＴ−４に戻り、ＹＥＳであればステップＳＴ−５に移
行する。
【００１４】ステップＳＴ−５で、熱電対２（２ＴＦ、
２ＴＣ、２ＴＲ、２ＭＦ、２ＭＣ、２ＭＲ、２ＢＦ、２
ＢＣ、２ＢＲ）によって、上部（TOP)炉の中の前方部、
中央部及び後方部の各温度、中部（MIDDLE) 炉の中の前
方部、中央部及び後方部の各温度並びに下部（BOTTOM)
炉の中の前方部、中央部及び後方部の各温度が検出され
て、ステップＳＴ−６でその各温度データが、Ａ／Ｄ変
換器５から制御装置８に伝送され、そのＲＡＭ８Ｍ２に
記憶されると共に、ステップＳＴ−７で外部記憶装置８
Ｍ３のフロッピーに記憶されている各温度プロファイル
（基本温度プロファイル）と比較される。ステップＳＴ
−８で、ＣＰＵ８Ｃによって、その各検出された温度が
各基本温度プロファイルに対し、許容温度範囲内にある
か否かが判断され、ＹＥＳであればステップＳＴ−９に
移行し、ＮＯであればステップＳＴ−１０に移行する。
２ＴＣ、２ＴＲ、２ＭＦ、２ＭＣ、２ＭＲ、２ＢＦ、２
ＢＣ、２ＢＲ）によって、上部（TOP)炉の中の前方部、
中央部及び後方部の各温度、中部（MIDDLE) 炉の中の前
方部、中央部及び後方部の各温度並びに下部（BOTTOM)
炉の中の前方部、中央部及び後方部の各温度が検出され
て、ステップＳＴ−６でその各温度データが、Ａ／Ｄ変
換器５から制御装置８に伝送され、そのＲＡＭ８Ｍ２に
記憶されると共に、ステップＳＴ−７で外部記憶装置８
Ｍ３のフロッピーに記憶されている各温度プロファイル
（基本温度プロファイル）と比較される。ステップＳＴ
−８で、ＣＰＵ８Ｃによって、その各検出された温度が
各基本温度プロファイルに対し、許容温度範囲内にある
か否かが判断され、ＹＥＳであればステップＳＴ−９に
移行し、ＮＯであればステップＳＴ−１０に移行する。
【００１５】ステップＳＴ−９で、システムストップか
否かが判断され、ＮＯであればステップＳＴ−２に戻っ
て、ステップＳＴ−２以降の工程が繰り返され、ＹＥ
Ｓ、即ち、炉内より製品を取り出して、設備Ｉ／Ｆ３よ
りストップタイミング信号がＩ／Ｏユニット７を通じて
制御装置８に供給されたときは、ステップＳＴ−１３で
ＲＡＭ８Ｍ２に記憶されている各検出温度の履歴を外部
記憶装置８Ｍ３のフロッピーに登録して終りとなる。
否かが判断され、ＮＯであればステップＳＴ−２に戻っ
て、ステップＳＴ−２以降の工程が繰り返され、ＹＥ
Ｓ、即ち、炉内より製品を取り出して、設備Ｉ／Ｆ３よ
りストップタイミング信号がＩ／Ｏユニット７を通じて
制御装置８に供給されたときは、ステップＳＴ−１３で
ＲＡＭ８Ｍ２に記憶されている各検出温度の履歴を外部
記憶装置８Ｍ３のフロッピーに登録して終りとなる。
【００１６】ステップＳＴ−１０では、ステップＳＴ−
８で許容温度範囲外であると判断された回数を計数し、
その回数が予め設定されたリトライ回数（例えば５回）
に達したか否かを判断し、ＮＯであればステップＳＰ−
１２でリトライ回数をクリアしてから、ステップＳＴ−
９に戻り、ＹＥＳであれば連続的に許容範囲から外れた
ものと判断して、ステップＳＴ−１１で警報装置６によ
って、温度異常が発生したことの警報を発生した後、ス
テップＳＴ−９に戻る。具体的には、警報ブザー６Ｂが
鳴り、表示器６Ｐの上部、中部及び下部炉に対応する表
示器（Ｔ炉、Ｍ炉、Ｂ炉）のいずれか及びそれぞれの前
方部、中間部、後方部に対応する表示器（Ｆ、Ｃ、Ｒ）
のいずれかが点灯する。図示の場合には、表示器（Ｍ
炉）と表示器（Ｃ）とが点灯状態にある。尚、警報ブザ
ー６Ｂはスイッチ６Ｓを操作することにより止めること
ができる。
８で許容温度範囲外であると判断された回数を計数し、
その回数が予め設定されたリトライ回数（例えば５回）
に達したか否かを判断し、ＮＯであればステップＳＰ−
１２でリトライ回数をクリアしてから、ステップＳＴ−
９に戻り、ＹＥＳであれば連続的に許容範囲から外れた
ものと判断して、ステップＳＴ−１１で警報装置６によ
って、温度異常が発生したことの警報を発生した後、ス
テップＳＴ−９に戻る。具体的には、警報ブザー６Ｂが
鳴り、表示器６Ｐの上部、中部及び下部炉に対応する表
示器（Ｔ炉、Ｍ炉、Ｂ炉）のいずれか及びそれぞれの前
方部、中間部、後方部に対応する表示器（Ｆ、Ｃ、Ｒ）
のいずれかが点灯する。図示の場合には、表示器（Ｍ
炉）と表示器（Ｃ）とが点灯状態にある。尚、警報ブザ
ー６Ｂはスイッチ６Ｓを操作することにより止めること
ができる。
【００１７】次に、図３を参照して、制御装置８の表示
器８Ｄの表示例を説明する。メインメニュー（ＭＡＩＮ
ＭＥＮＵ）の選択は、制御装置８のキーボード８Ｋの
いずれかのキーを選択的に押すことによって、表示器８
Ｄの表示が炉内温度表示（図３に示す場合）、又は、基
本温度表示（図示せず）、又は、パラメーター設定表示
（図示せず）となる。
器８Ｄの表示例を説明する。メインメニュー（ＭＡＩＮ
ＭＥＮＵ）の選択は、制御装置８のキーボード８Ｋの
いずれかのキーを選択的に押すことによって、表示器８
Ｄの表示が炉内温度表示（図３に示す場合）、又は、基
本温度表示（図示せず）、又は、パラメーター設定表示
（図示せず）となる。
【００１８】図３の炉内温度表示では、キーボード８Ｋ
のいずれかのキーを選択的に押すことによって、上部
炉、中部炉、又は、下部炉内の前方部、中間部、後方部
の各温度の６０秒毎のグラフ並びに対応する基本温度を
伴うそれぞれの温度の数字、製品の炉内への投入時より
の経過時間の数字等がリアルタイムで表示される。
のいずれかのキーを選択的に押すことによって、上部
炉、中部炉、又は、下部炉内の前方部、中間部、後方部
の各温度の６０秒毎のグラフ並びに対応する基本温度を
伴うそれぞれの温度の数字、製品の炉内への投入時より
の経過時間の数字等がリアルタイムで表示される。
【００１９】基本温度表示のときは、図示を省略する
も、キーボード８Ｋのいずれかのキーを選択的に押すこ
とによって、上部炉、中部炉、又は、下部炉内の前方
部、中間部、後方部の各基本温度プロファイルのグラフ
が表示される。
も、キーボード８Ｋのいずれかのキーを選択的に押すこ
とによって、上部炉、中部炉、又は、下部炉内の前方
部、中間部、後方部の各基本温度プロファイルのグラフ
が表示される。
【００２０】パラメータ設定表示のときは、図示を省略
するも、キーボード８Ｋのいずれかのキーを押すことに
よって、温度許容値と温度異常時のリトライ回数を設定
できる。尚、その設定値は外部記憶装置８Ｍ３のフロッ
ピーに登録される。
するも、キーボード８Ｋのいずれかのキーを押すことに
よって、温度許容値と温度異常時のリトライ回数を設定
できる。尚、その設定値は外部記憶装置８Ｍ３のフロッ
ピーに登録される。
【００２１】上述の実施例では、３つの炉内のそれぞれ
の３か所の温度を検出するようにした、炉の数及び炉内
の温度検出箇所の数は任意である。又、炉は拡散炉に限
られるものではない。
の３か所の温度を検出するようにした、炉の数及び炉内
の温度検出箇所の数は任意である。又、炉は拡散炉に限
られるものではない。
【００２２】
【発明の効果】上述せる本発明によれば、炉内温度プロ
ファイルが記憶された第１の記憶手段と、炉内温度検出
器と、その炉内温度検出器よりの検出温度を、第１の記
憶手段に記憶されている炉内温度プロファイルと比較
し、その温度差が許容温度範囲外か否かを判別する温度
比較手段と、その温度比較手段の比較結果が許容温度範
囲外のとき警報を発生する警報発生手段と、炉内温度検
出器によって検出された検出温度の履歴を記憶する第２
記憶手段とを有するので、炉内温度が基本温度プロファ
イルの許容温度範囲から外れたことを直ちに知ることが
できると共に、実際の炉内温度の履歴を知ることのでき
る炉内温度監視装置を得ることができる。
ファイルが記憶された第１の記憶手段と、炉内温度検出
器と、その炉内温度検出器よりの検出温度を、第１の記
憶手段に記憶されている炉内温度プロファイルと比較
し、その温度差が許容温度範囲外か否かを判別する温度
比較手段と、その温度比較手段の比較結果が許容温度範
囲外のとき警報を発生する警報発生手段と、炉内温度検
出器によって検出された検出温度の履歴を記憶する第２
記憶手段とを有するので、炉内温度が基本温度プロファ
イルの許容温度範囲から外れたことを直ちに知ることが
できると共に、実際の炉内温度の履歴を知ることのでき
る炉内温度監視装置を得ることができる。
【図１】本発明炉内温度監視装置の実施例を示すブロッ
ク線図
ク線図
【図２】その実施例の動作説明に供する異常検出を示す
フローチャート
フローチャート
【図３】表示器の表示例を示す略線図
【図４】炉内温度プロファイルを示すグラフ
１ 拡散設備 ２ 熱電対 ３ 設備Ｉ／Ｆ ４ 増幅器ユニット ５ Ａ／Ｄ変換器 ６ 警報装置 ７ Ｉ／Ｏユニット ８ 制御装置（パーソナルコンピュータ）
Claims (1)
- 【請求項１】 炉内温度プロファイルが記憶された第１
の記憶手段と、 炉内温度検出器と、 該炉内温度検出器よりの検出温度を、上記第１の記憶手
段に記憶されている上記炉内温度プロファイルと比較
し、その温度差が許容温度範囲外か否かを判別する温度
比較手段と、 該温度比較手段の比較結果が上記許容温度範囲外のとき
警報を発生する警報発生手段と、 上記炉内温度検出器によって検出された検出温度の履歴
を記憶する第２記憶手段とを有することを特徴とする炉
内温度監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5292132A JPH07142417A (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | 炉内温度監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5292132A JPH07142417A (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | 炉内温度監視装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07142417A true JPH07142417A (ja) | 1995-06-02 |
Family
ID=17777955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5292132A Pending JPH07142417A (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | 炉内温度監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07142417A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1004863A1 (de) * | 1998-11-21 | 2000-05-31 | Beteiligungen Sorg GmbH & Co. KG | Verfahren und Messanordnung zum Bestimmen von Veränderungen des Betriebszustandes in Glasschmelze führenden Behältern |
| JP2017083163A (ja) * | 2016-12-26 | 2017-05-18 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
| CN109028934A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-12-18 | 四川合电气科技有限公司 | 一种电弧炉炉盖烘烤系统 |
-
1993
- 1993-11-22 JP JP5292132A patent/JPH07142417A/ja active Pending
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| EP1004863A1 (de) * | 1998-11-21 | 2000-05-31 | Beteiligungen Sorg GmbH & Co. KG | Verfahren und Messanordnung zum Bestimmen von Veränderungen des Betriebszustandes in Glasschmelze führenden Behältern |
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