JPH0714502A - 透過型光電面および光電管と透過型光電面の製造方法 - Google Patents
透過型光電面および光電管と透過型光電面の製造方法Info
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- JPH0714502A JPH0714502A JP15074393A JP15074393A JPH0714502A JP H0714502 A JPH0714502 A JP H0714502A JP 15074393 A JP15074393 A JP 15074393A JP 15074393 A JP15074393 A JP 15074393A JP H0714502 A JPH0714502 A JP H0714502A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J40/00—Photoelectric discharge tubes not involving the ionisation of a gas
- H01J40/02—Details
- H01J40/04—Electrodes
- H01J40/06—Photo-emissive cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/34—Photo-emissive cathodes
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- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 透過型光電面の高感度化を実現する。
【構成】 透過基板上に形成された粒径８０〜１５０ｎ
ｍのものを少なくとも一部に含む層と、この層上に形成
された酸化銀層とカリウムとセシウム層を備えることを
特徴とする。このような、粒径のばらついた粒状体から
なる銀層を用いることによって波長１．５μｍ近傍の赤
外域において、選択的に高い感度が達成される。
ｍのものを少なくとも一部に含む層と、この層上に形成
された酸化銀層とカリウムとセシウム層を備えることを
特徴とする。このような、粒径のばらついた粒状体から
なる銀層を用いることによって波長１．５μｍ近傍の赤
外域において、選択的に高い感度が達成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は透過型光電面およびこれ
を用いた光電管と、透過型光電面の製造方法に関するも
のである。
を用いた光電管と、透過型光電面の製造方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】赤外線領域に高い感度を有する透過型光
電面として、特公平３−５７５７２号のものが知られて
いる。この透過型光電面では、ガラス基板上に銀層、酸
化銀層、カリウム層、銀層、セシウム層および銀層が順
次に形成されている。また、この公報には、ガラス基板
上に銀層、酸化銀層、カリウム層、セシウム層および銀
層を順次に形成した透過型光電面も開示されている。な
お、上記公報記載の技術も含めて、従来のものでは、透
明基板上の銀層を構成する銀の粒状体の粒径は、全ての
粒状体について５０〜７０ｎｍの範囲内となっている。
ちなみに、従来品における銀層の粒径については、ＳＥ
Ｍ（走査型電子顕微鏡）を用いることにより判明した。
電面として、特公平３−５７５７２号のものが知られて
いる。この透過型光電面では、ガラス基板上に銀層、酸
化銀層、カリウム層、銀層、セシウム層および銀層が順
次に形成されている。また、この公報には、ガラス基板
上に銀層、酸化銀層、カリウム層、セシウム層および銀
層を順次に形成した透過型光電面も開示されている。な
お、上記公報記載の技術も含めて、従来のものでは、透
明基板上の銀層を構成する銀の粒状体の粒径は、全ての
粒状体について５０〜７０ｎｍの範囲内となっている。
ちなみに、従来品における銀層の粒径については、ＳＥ
Ｍ（走査型電子顕微鏡）を用いることにより判明した。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の透過型
光電面のうち、前者では波長１．４〜１．６μｍ程度、
後者では波長１．２μｍ程度までの感度が得られるもの
の、それ以上の長波長域では不感であり、量子効率も不
十分である。さらに、前者では１．５μｍ近傍において
感度が得られるものの、より短波長の近赤外や可視光に
対しても高感度を有し、このため例えば光通信システム
に適用すると外乱ノイズを招く。
光電面のうち、前者では波長１．４〜１．６μｍ程度、
後者では波長１．２μｍ程度までの感度が得られるもの
の、それ以上の長波長域では不感であり、量子効率も不
十分である。さらに、前者では１．５μｍ近傍において
感度が得られるものの、より短波長の近赤外や可視光に
対しても高感度を有し、このため例えば光通信システム
に適用すると外乱ノイズを招く。
【０００４】本発明は、かかる従来技術の欠点を克服す
るためになされたもので、特に銀層の構成を、粒状体の
粒径の観点から検討することにより完成されたものであ
る。
るためになされたもので、特に銀層の構成を、粒状体の
粒径の観点から検討することにより完成されたものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る透過型光電
面は、銀の粒状体によって透明基板上に形成され、これ
ら粒状体の少なくとも一部は粒径８０〜１５０ｎｍとな
っている銀層と、この銀層上に形成された酸化銀、カリ
ウムおよびセシウムからなる層とを備えることを特徴と
する。また、本発明は上記の透過型光電面の製造方法
と、これを適用した光電管を提供する。
面は、銀の粒状体によって透明基板上に形成され、これ
ら粒状体の少なくとも一部は粒径８０〜１５０ｎｍとな
っている銀層と、この銀層上に形成された酸化銀、カリ
ウムおよびセシウムからなる層とを備えることを特徴と
する。また、本発明は上記の透過型光電面の製造方法
と、これを適用した光電管を提供する。
【０００６】
【作用】本発明によれば、ガラス基板上に銀層が形成さ
れ、これの上に酸化銀とカリウムとセシウムからなる層
が形成されるが、上記の銀層については銀の粒状体から
構成され、従来は全ての粒状体の粒径が５０〜７０ｎｍ
の範囲内であったのに対し、本発明においては、従来と
同程度の粒径のものを含むこともありながら、更にこれ
より大きい８０〜１５０ｎｍとされる。このような粒径
のばらついた粒状体で銀層を構成することによって、波
長１．５μｍ帯の赤外域において高い感度が達成され、
かつ可視域あるいはより短波長の近赤外域で低い感度が
得られる。
れ、これの上に酸化銀とカリウムとセシウムからなる層
が形成されるが、上記の銀層については銀の粒状体から
構成され、従来は全ての粒状体の粒径が５０〜７０ｎｍ
の範囲内であったのに対し、本発明においては、従来と
同程度の粒径のものを含むこともありながら、更にこれ
より大きい８０〜１５０ｎｍとされる。このような粒径
のばらついた粒状体で銀層を構成することによって、波
長１．５μｍ帯の赤外域において高い感度が達成され、
かつ可視域あるいはより短波長の近赤外域で低い感度が
得られる。
【０００７】
【実施例】以下、添付図面により、本発明の透過型光電
面および光電管を更に詳しく説明する。
面および光電管を更に詳しく説明する。
【０００８】図１は本発明の透過型光電面の断面構造を
示す図である。図示の通り、ガラス基板２１上には少な
くとも一部に粒径８０〜１５０ｎｍのものを含む粒径６
０〜１５０ｎｍの粒状体からなる銀層２２、酸化銀層２
３、カリウム層２４およびセシウム層２５が順次に堆積
されている。このような透過型光電面において、光がガ
ラス基板２１から入射されると、光電子が生成されてセ
シウム層２５から真空中に放出される。光電管１は有底
円筒状の気密容器２を有しており、この気密容器２はガ
ラスから形成されている。そして、この気密容器２の受
光面部分が図１のガラス基板２１を構成している。
示す図である。図示の通り、ガラス基板２１上には少な
くとも一部に粒径８０〜１５０ｎｍのものを含む粒径６
０〜１５０ｎｍの粒状体からなる銀層２２、酸化銀層２
３、カリウム層２４およびセシウム層２５が順次に堆積
されている。このような透過型光電面において、光がガ
ラス基板２１から入射されると、光電子が生成されてセ
シウム層２５から真空中に放出される。光電管１は有底
円筒状の気密容器２を有しており、この気密容器２はガ
ラスから形成されている。そして、この気密容器２の受
光面部分が図１のガラス基板２１を構成している。
【０００９】気密容器２の第１の底面３の内壁には光電
面４を形成してある。光電面４に対応して板状の陽極５
を設けてあり、気密容器２の側壁の内壁で第１の底面
（以下フェースプレートという）３から陽極５に至る部
分には、クロムからなる薄層６を形成してある。このク
ロム層６は光電面４に電流を供給するための導体である
と共に、フェースプレート３を通して入射する光以外の
光を遮蔽する働きをする。陽極５の光電面４と対向する
面には、タングステン線に固定した銀粒７が取付けてあ
る。この銀粒７を取付けたニクロム線の一端は導入線１
２に、他端は陽極５に接続されている。
面４を形成してある。光電面４に対応して板状の陽極５
を設けてあり、気密容器２の側壁の内壁で第１の底面
（以下フェースプレートという）３から陽極５に至る部
分には、クロムからなる薄層６を形成してある。このク
ロム層６は光電面４に電流を供給するための導体である
と共に、フェースプレート３を通して入射する光以外の
光を遮蔽する働きをする。陽極５の光電面４と対向する
面には、タングステン線に固定した銀粒７が取付けてあ
る。この銀粒７を取付けたニクロム線の一端は導入線１
２に、他端は陽極５に接続されている。
【００１０】第２の底面（以下ステムという）８と陽極
５との間には、カリウム容器９とセシウム容器１０を設
置してある。ステム８には環状に導線１１，１２，１
３，１４，１５，１６および１７が植設してあり、中心
に排気管１８を設けてある。光電面４はクロム層６を経
て導入線１１に電気的に接続されている。陽極５は導入
線１７に電気的に接続されている。カリウム容器９であ
るタンタル箔の円筒の中には、クロム酸カリウム，ジル
コニウムおよびタングステンが含まれている。カリウム
容器９の一端は導入線１３に、他端は導入線１４に接続
されている。タンタル箔の円筒の中には、クロム酸セシ
ウム，ジルコニウムおよびタングステンが含まれてい
る。セシウム容器１０の一端は導入線１５に、他端は導
入線１６に接続されている。
５との間には、カリウム容器９とセシウム容器１０を設
置してある。ステム８には環状に導線１１，１２，１
３，１４，１５，１６および１７が植設してあり、中心
に排気管１８を設けてある。光電面４はクロム層６を経
て導入線１１に電気的に接続されている。陽極５は導入
線１７に電気的に接続されている。カリウム容器９であ
るタンタル箔の円筒の中には、クロム酸カリウム，ジル
コニウムおよびタングステンが含まれている。カリウム
容器９の一端は導入線１３に、他端は導入線１４に接続
されている。タンタル箔の円筒の中には、クロム酸セシ
ウム，ジルコニウムおよびタングステンが含まれてい
る。セシウム容器１０の一端は導入線１５に、他端は導
入線１６に接続されている。
【００１１】次に、図２および図３を参照して、実施例
の光電面を形成するための工程を説明する。ここで、光
電面４を形成する工程中の光電面の光感度は、光電面４
に対して陽極５に５０ないし１５０ボルトの電圧を印加
しておき、導入線１７から送出する電流を検知して求め
る。第３図はこの製造工程における光電面の感度と、こ
の工程における管内温度の変化を示すグラフである。
の光電面を形成するための工程を説明する。ここで、光
電面４を形成する工程中の光電面の光感度は、光電面４
に対して陽極５に５０ないし１５０ボルトの電圧を印加
しておき、導入線１７から送出する電流を検知して求め
る。第３図はこの製造工程における光電面の感度と、こ
の工程における管内温度の変化を示すグラフである。
【００１２】まず、図２に示す排気管１８を介して気密
容器２内から排気し、その中を１０-6Ｔｏｒｒの真空度
に保つ。そして、光電管１内の浄化のために、光電管１
を高温に加熱する。例えば、この温度は４５０℃、時間
は約１時間である。
容器２内から排気し、その中を１０-6Ｔｏｒｒの真空度
に保つ。そして、光電管１内の浄化のために、光電管１
を高温に加熱する。例えば、この温度は４５０℃、時間
は約１時間である。
【００１３】次に、光電管１を室温まで冷却後、銀の粒
径をコントロールする（大きさがほぼ一定の粒状体とす
るのでなく、大きさがばらついた粒状体を混在させる）
ために１×１０-4Ｔｏｒｒ以上の酸素を導入する。次
に、銀粒７からフェースプレート３の内壁に銀を蒸着す
る。この蒸着は、薄膜が灰色を呈するまで続けるが、こ
れによって粒径が８０〜１５０ｎｍのものを少なくとも
一部に含む銀の粒状体からなる銀薄膜が形成される。そ
して、次に管１内へ純粋の酸素を導入し、酸素ガスを高
周波電界で放電させることにより、銀薄膜の表面を酸化
する。このとき、酸素ガス圧は約１Ｔｏｒｒである。高
周波電界の生成は図示してない高周波電圧発生器の出力
端の一つを陽極５に接続し、他の出力端をフェースプレ
ート３の外壁に近づけた電極に接続することによって行
う。しかる後、光電管１より酸素を排気する。
径をコントロールする（大きさがほぼ一定の粒状体とす
るのでなく、大きさがばらついた粒状体を混在させる）
ために１×１０-4Ｔｏｒｒ以上の酸素を導入する。次
に、銀粒７からフェースプレート３の内壁に銀を蒸着す
る。この蒸着は、薄膜が灰色を呈するまで続けるが、こ
れによって粒径が８０〜１５０ｎｍのものを少なくとも
一部に含む銀の粒状体からなる銀薄膜が形成される。そ
して、次に管１内へ純粋の酸素を導入し、酸素ガスを高
周波電界で放電させることにより、銀薄膜の表面を酸化
する。このとき、酸素ガス圧は約１Ｔｏｒｒである。高
周波電界の生成は図示してない高周波電圧発生器の出力
端の一つを陽極５に接続し、他の出力端をフェースプレ
ート３の外壁に近づけた電極に接続することによって行
う。しかる後、光電管１より酸素を排気する。
【００１４】次に、光電管１を１５０℃に加熱する。こ
の温度は７０℃から２００℃の範囲であればよい。そし
て、基板および銀層を７０℃ないし２００℃に加熱した
状態で、光電面の感度を測定しながら、カリウムの容器
１０に電流を流して加熱し、カリウムを放出させること
により、上記の銀層にカリウム吸着を開始する。
の温度は７０℃から２００℃の範囲であればよい。そし
て、基板および銀層を７０℃ないし２００℃に加熱した
状態で、光電面の感度を測定しながら、カリウムの容器
１０に電流を流して加熱し、カリウムを放出させること
により、上記の銀層にカリウム吸着を開始する。
【００１５】この放出は図３に示すように、光電面の感
度が最高値に達し（Ａ点）た後も続け、光電面の最高感
度の約１／２になった時点（Ｂ点）で上記カリウムの放
出を終了し、カリウム層形成工程を終了する。
度が最高値に達し（Ａ点）た後も続け、光電面の最高感
度の約１／２になった時点（Ｂ点）で上記カリウムの放
出を終了し、カリウム層形成工程を終了する。
【００１６】次に、光電面の感度を測定しながらセシウ
ム容器１０からセシウムを放出させ、セシウムを吸着さ
せる。図３に示すように、光電面の感度が最高値に達し
た（Ｃ点）後も吸着のための放出を続け、光電面の最高
感度の約１／２になった時点（Ｄ点）で上記セシウムの
蒸着を終了し、セシウム層形成工程を終了する。
ム容器１０からセシウムを放出させ、セシウムを吸着さ
せる。図３に示すように、光電面の感度が最高値に達し
た（Ｃ点）後も吸着のための放出を続け、光電面の最高
感度の約１／２になった時点（Ｄ点）で上記セシウムの
蒸着を終了し、セシウム層形成工程を終了する。
【００１７】次に、光電管１を２００℃で６０分加熱す
る。この温度は１７０℃から２２０℃の間であればよ
い。この間は暗電流が増加して、光電感度の測定が困難
である。そして、管１を１５分程かけて室温に冷却す
る。その後、光電管１を排気装置から封じて切り取る。
る。この温度は１７０℃から２２０℃の間であればよ
い。この間は暗電流が増加して、光電感度の測定が困難
である。そして、管１を１５分程かけて室温に冷却す
る。その後、光電管１を排気装置から封じて切り取る。
【００１８】以上のようにして、透明な基板の上に形成
した透過型光電面、すなわち粒径８０〜１５０ｎｍのも
のを少なくとも一部に含む銀層と、その層の表面に形成
した酸化銀層と、この上に形成したカリウム層と、カリ
ウム層の上に形成したセシウム層とからなる光電面が形
成される。ちなみに、銀粒状体の粒径については、ＳＥ
Ｍ（走査型電子顕微鏡）により観測できた。この点をよ
り詳しく説明すると、従来の光電面を構成する銀の粒状
体は粒径５０〜７０ｎｍの範囲で大きさがほぼ揃ってお
り、特に大きな粒状体は見出し得なかった。ところが、
本発明の光電面によると、従来と同程度の大きさの粒状
体を含みながらも、これよりはるかに大きい粒径のも
の、特に粒径８０〜１５０ｎｍのものも含んでいること
が判明した。換言すれば、本発明では粒状体の大きさが
種々であり、様々な大きさの粒状体が混在しているこ
と、つまり粒径６０〜８０ｎｍのものも、粒径８０〜１
００ｎｍのものも、粒径１００〜１５０ｎｍのものも、
共に混在するように含みながら、光電面が構成されるて
いることがわかった。本発明における波長感度の大幅な
改善は、この大きさの異なる粒状体が混在しているこ
と、特に粒径８０〜１５０ｎｍの大きな粒状体が一部に
含まれていることにより、実現可能になったと推測され
る。
した透過型光電面、すなわち粒径８０〜１５０ｎｍのも
のを少なくとも一部に含む銀層と、その層の表面に形成
した酸化銀層と、この上に形成したカリウム層と、カリ
ウム層の上に形成したセシウム層とからなる光電面が形
成される。ちなみに、銀粒状体の粒径については、ＳＥ
Ｍ（走査型電子顕微鏡）により観測できた。この点をよ
り詳しく説明すると、従来の光電面を構成する銀の粒状
体は粒径５０〜７０ｎｍの範囲で大きさがほぼ揃ってお
り、特に大きな粒状体は見出し得なかった。ところが、
本発明の光電面によると、従来と同程度の大きさの粒状
体を含みながらも、これよりはるかに大きい粒径のも
の、特に粒径８０〜１５０ｎｍのものも含んでいること
が判明した。換言すれば、本発明では粒状体の大きさが
種々であり、様々な大きさの粒状体が混在しているこ
と、つまり粒径６０〜８０ｎｍのものも、粒径８０〜１
００ｎｍのものも、粒径１００〜１５０ｎｍのものも、
共に混在するように含みながら、光電面が構成されるて
いることがわかった。本発明における波長感度の大幅な
改善は、この大きさの異なる粒状体が混在しているこ
と、特に粒径８０〜１５０ｎｍの大きな粒状体が一部に
含まれていることにより、実現可能になったと推測され
る。
【００１９】上記各工程により製造された実施例の光電
面の分光特性を、銀層の粒径が５０〜７０ｎｍの範囲内
でほぼ揃っている従来の光電面と比較して図４に示す。
波長１．３〜１．８μｍ帯の比較的長波長の赤外域にお
いて、感度が大幅に向上している。また、従来の光電面
の感度は白色光に対して２０〜３０μＡ／ｌｍあるいは
４０〜４５μＡ／ｌｍであり、８０００オングストロー
ム波長の光を透過するＩＲＤＩフィルタを介して測る比
較的短波長の近赤外感度は４〜５μＡ／ｌｍあるいは７
〜８μＡ／ｌｍであるのに対して、上記工程で製造した
光電面の感度は白色光に対して１０〜２０μＡ／ｌｍで
あって低く抑えられており、赤外感度についても、１．
５〜２．０μＡ／ｌｍと低くされている。
面の分光特性を、銀層の粒径が５０〜７０ｎｍの範囲内
でほぼ揃っている従来の光電面と比較して図４に示す。
波長１．３〜１．８μｍ帯の比較的長波長の赤外域にお
いて、感度が大幅に向上している。また、従来の光電面
の感度は白色光に対して２０〜３０μＡ／ｌｍあるいは
４０〜４５μＡ／ｌｍであり、８０００オングストロー
ム波長の光を透過するＩＲＤＩフィルタを介して測る比
較的短波長の近赤外感度は４〜５μＡ／ｌｍあるいは７
〜８μＡ／ｌｍであるのに対して、上記工程で製造した
光電面の感度は白色光に対して１０〜２０μＡ／ｌｍで
あって低く抑えられており、赤外感度についても、１．
５〜２．０μＡ／ｌｍと低くされている。
【００２０】このように、本発明による光電面は、光通
信などに広く利用される波長１．５μｍ近傍において感
度を高めながら、これより短波長の近赤外域および可視
域での感度を高めることが少ないという、極めて優れた
効果がある。このため、赤外検出用の光電管、あるいは
ダイノードやマイクロチャンネルプレートのような二次
電子増倍部を有する光電子増倍管に利用できる。
信などに広く利用される波長１．５μｍ近傍において感
度を高めながら、これより短波長の近赤外域および可視
域での感度を高めることが少ないという、極めて優れた
効果がある。このため、赤外検出用の光電管、あるいは
ダイノードやマイクロチャンネルプレートのような二次
電子増倍部を有する光電子増倍管に利用できる。
【００２１】
【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、ガラス基
板上に粒径６０〜１５０ｎｍの範囲の粒状体であって、
少なくとも一部に粒径８０〜１５０ｎｍのものを含む銀
層が形成され、この上に酸化銀とカリウムとセシウムと
からなる層が形成されることによって、波長１．５μｍ
近傍の赤外域において、選択的に高い感度が達成される
ので、光通信システムの検査などに広く利用できる。
板上に粒径６０〜１５０ｎｍの範囲の粒状体であって、
少なくとも一部に粒径８０〜１５０ｎｍのものを含む銀
層が形成され、この上に酸化銀とカリウムとセシウムと
からなる層が形成されることによって、波長１．５μｍ
近傍の赤外域において、選択的に高い感度が達成される
ので、光通信システムの検査などに広く利用できる。
【図１】実施例に係る透過型光電面の断面図である。
【図２】図１の透過型光電面を適用した光電管の製造過
程における断面図である。
程における断面図である。
【図３】実施例の製造方法を示すグラフである。
【図４】実施例の透過型光電面の分光感度を従来例と対
比するグラフである。
比するグラフである。
２１…ガラス基板、２２…粒径８０〜１５０ｎｍのもの
を少なくとも一部に銀層、２３…酸化銀層、２４…カリ
ウム層、２５…セシウム層。
を少なくとも一部に銀層、２３…酸化銀層、２４…カリ
ウム層、２５…セシウム層。
Claims (4)
- 【請求項１】 銀の粒状体によって透明基板上に形成さ
れ、前記粒状体の少なくとも一部は粒径８０〜１５０ｎ
ｍとなっている銀層と、この銀層上に形成された酸化
銀、カリウムおよびセシウムからなる層とを備えること
を特徴とする透過型光電面。 - 【請求項２】 真空容器の内部に、請求項１記載の透過
型光電面と、この透過型光電面からの放出電子が入射さ
れる陽極とが設けられている光電管。 - 【請求項３】 前記透過型光電面と前記陽極との間に、
前記放出電子を増倍する電子増倍手段が更に設けられて
いる請求項２記載の光電管。 - 【請求項４】 １×１０-4Ｔｏｒｒ以上の酸素を含む雰
囲気で銀を真空蒸着することにより、透明基板上に粒径
８０〜１５０ｎｍの粒状体を少なくとも一部に含む銀の
粒状体からなる銀層を形成する第１の工程と、この銀層
の表面を酸化する第２の工程と、カリウムおよびセシウ
ムを導入して活性化する第３の工程とを備える透過型光
電面の製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15074393A JP2719297B2 (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | 透過型光電面および光電管と透過型光電面の製造方法 |
| GB9412472A GB2279497B (en) | 1993-06-22 | 1994-06-22 | A photocathode and a photoelectric tube comprising the same |
| US08/547,990 US5598062A (en) | 1993-06-22 | 1995-10-25 | Transparent photocathode |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15074393A JP2719297B2 (ja) | 1993-06-22 | 1993-06-22 | 透過型光電面および光電管と透過型光電面の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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