JPH0714967Y2 - レーザ加工機のレーザ光線反射装置 - Google Patents
レーザ加工機のレーザ光線反射装置Info
- Publication number
- JPH0714967Y2 JPH0714967Y2 JP1985145931U JP14593185U JPH0714967Y2 JP H0714967 Y2 JPH0714967 Y2 JP H0714967Y2 JP 1985145931 U JP1985145931 U JP 1985145931U JP 14593185 U JP14593185 U JP 14593185U JP H0714967 Y2 JPH0714967 Y2 JP H0714967Y2
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 20
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Description
本考案はレーザ加工機に関し、より詳しくは、レーザ光
線の光路上に配設されてそのレーザ光線を反射させるレ
ーザ光線反射装置に関する。
線の光路上に配設されてそのレーザ光線を反射させるレ
ーザ光線反射装置に関する。
従来、レーザ加工機では、レーザ発振器から発振放射さ
れたレーザ光線をフォーカスヘッドの集光レンズに導く
ため、レーザ光線を所要位置に設けたレーザ光線の反射
装置によって反射させて上記集光レンズに案内するよう
にしている。 そして従来のレーザ加工機のレーザ光線反射装置とし
て、レーザ光線を反射する第１反射鏡と、この第１反射
鏡と間隔を開けて配設されてレーザ光線を反射する第２
反射鏡と、上記第１反射鏡と第２反射鏡とをそれぞれ傾
斜角度調整可能に支持した支持フレームとを備、上記第
１反射鏡に向けて放射されるレーザ光線の通過経路と、
第１反射鏡で反射されて第２反射鏡に向けて放射される
レーザ光線の通過経路と、並びに第２反射鏡から反射さ
れるレーザ光線の通過経路とを大気から遮蔽するように
したものが知られている。 このように、従来のレーザ加工機においては、レーザ光
線の通過経路を大気から遮蔽し、或いはさらに必要に応
じてその内部に大気圧よりも高い圧力のガスを封入して
反射鏡が大気中の塵埃等によって汚れることを防止して
いる。
れたレーザ光線をフォーカスヘッドの集光レンズに導く
ため、レーザ光線を所要位置に設けたレーザ光線の反射
装置によって反射させて上記集光レンズに案内するよう
にしている。 そして従来のレーザ加工機のレーザ光線反射装置とし
て、レーザ光線を反射する第１反射鏡と、この第１反射
鏡と間隔を開けて配設されてレーザ光線を反射する第２
反射鏡と、上記第１反射鏡と第２反射鏡とをそれぞれ傾
斜角度調整可能に支持した支持フレームとを備、上記第
１反射鏡に向けて放射されるレーザ光線の通過経路と、
第１反射鏡で反射されて第２反射鏡に向けて放射される
レーザ光線の通過経路と、並びに第２反射鏡から反射さ
れるレーザ光線の通過経路とを大気から遮蔽するように
したものが知られている。 このように、従来のレーザ加工機においては、レーザ光
線の通過経路を大気から遮蔽し、或いはさらに必要に応
じてその内部に大気圧よりも高い圧力のガスを封入して
反射鏡が大気中の塵埃等によって汚れることを防止して
いる。
しかるに、上述のような手段を講じた場合であっても、
定期的に、或いは必要に応じて反射鏡を点検清掃する必
要があるが、従来の反射装置において反射鏡を点検清掃
する際には、その反射鏡を支持フレームから取外して行
なわなければなかった。 そのため、反射鏡の点検清掃作業が煩雑なものとなり、
かつ、清掃後に反射鏡を支持フレームに取付ける際には
レーザ光線が適正な角度に反射されるように反射鏡の傾
斜角度を調整しなければならず、この調整作業にも多く
の時間を必要としていた。
定期的に、或いは必要に応じて反射鏡を点検清掃する必
要があるが、従来の反射装置において反射鏡を点検清掃
する際には、その反射鏡を支持フレームから取外して行
なわなければなかった。 そのため、反射鏡の点検清掃作業が煩雑なものとなり、
かつ、清掃後に反射鏡を支持フレームに取付ける際には
レーザ光線が適正な角度に反射されるように反射鏡の傾
斜角度を調整しなければならず、この調整作業にも多く
の時間を必要としていた。
上述の問題点に鑑み、本考案は、上記支持フレームに、
閉鎖時に上記第１反射鏡、第２反射境および両反射鏡の
間の空間を覆ってレーザ光線の通過経路を大気から遮蔽
するとともに、開放時にそれら第１反射鏡、第２反射
境、および両反射鏡の間の空間を外部に露呈させるカバ
ーを設け、さらに上記第１反射鏡と第２反射鏡とに冷却
エアを供給するとともにその冷却エアを上記レーザ光線
の通過経路内に供給する冷却通路を設けたものである。
閉鎖時に上記第１反射鏡、第２反射境および両反射鏡の
間の空間を覆ってレーザ光線の通過経路を大気から遮蔽
するとともに、開放時にそれら第１反射鏡、第２反射
境、および両反射鏡の間の空間を外部に露呈させるカバ
ーを設け、さらに上記第１反射鏡と第２反射鏡とに冷却
エアを供給するとともにその冷却エアを上記レーザ光線
の通過経路内に供給する冷却通路を設けたものである。
本考案においては、上記カバーを開放することによっ
て、間隔をあけて配設された両反射鏡のその間隔を清掃
用の空間として利用することができ、したがって支持フ
レームから反射鏡を取外すことなく両反射鏡の清掃を容
易に行なうことができる。したがって清掃後に反射鏡の
傾斜角度を再調整する必要がなく、仮に必要であったと
しても微調整でよいのでその作業を容易かつ短時間で行
なうことができる。 また上記カバーを閉鎖した際には、上記レーザ光線の通
過経路を大気から遮蔽した状態に維持することができ、
それによってレーザ光線の通過経路内に外部から塵埃が
侵入するのを防止することができる。そして特に、上記
供給通路により第１反射鏡と第２反射鏡とに冷却エアを
供給するとともにその冷却エアを上記レーザ光線の通過
経路内に供給しているので、上記各反射鏡を冷却エアで
冷却してそれらの過熱を防止できることは勿論、大気か
ら遮蔽されたレーザ光線の通過経路内に上記冷却エアを
供給することにより該通過経路内の圧力を大気圧よりも
高くすることができ、それによってレーザ光線の通過経
路内に外部から塵埃が侵入するのをより効果的に防止す
ることができる。
て、間隔をあけて配設された両反射鏡のその間隔を清掃
用の空間として利用することができ、したがって支持フ
レームから反射鏡を取外すことなく両反射鏡の清掃を容
易に行なうことができる。したがって清掃後に反射鏡の
傾斜角度を再調整する必要がなく、仮に必要であったと
しても微調整でよいのでその作業を容易かつ短時間で行
なうことができる。 また上記カバーを閉鎖した際には、上記レーザ光線の通
過経路を大気から遮蔽した状態に維持することができ、
それによってレーザ光線の通過経路内に外部から塵埃が
侵入するのを防止することができる。そして特に、上記
供給通路により第１反射鏡と第２反射鏡とに冷却エアを
供給するとともにその冷却エアを上記レーザ光線の通過
経路内に供給しているので、上記各反射鏡を冷却エアで
冷却してそれらの過熱を防止できることは勿論、大気か
ら遮蔽されたレーザ光線の通過経路内に上記冷却エアを
供給することにより該通過経路内の圧力を大気圧よりも
高くすることができ、それによってレーザ光線の通過経
路内に外部から塵埃が侵入するのをより効果的に防止す
ることができる。
以下図示実施例について本考案を説明すると、第１図に
おいて、レーザ発振器１から発振放射されたレーザ光線
Ｌは本考案の反射装置２に設けた２枚の反射鏡３でそれ
ぞれ反射され、図示しないフォーカスヘッドの集光レン
ズに導かれるようになっている。 上記反射装置２はレーザ発振器１の一側に配設した支持
フレーム４を備えており、この支持フレーム４は鉛直方
向に配設した平板状の支持部材５と、この支持部材５の
上下位置に取付けたブラケット６とから構成している。
そして上記支持部材５は連結部材７を介してレーザ発振
器１を支持する機枠８に取付けてあり、かつ支持部材５
の上方部と上記レーザ発振器１、より具体的にはそのケ
ース１との間、および支持部材５の下方部と図示しない
フォーカスヘッドを移動可能に密封収納したケース９と
の間に、それぞれレーザ光線Ｌの光路を覆うパイプ10を
接続している。 上記パイプ10は、第２図に示すように、支持部材５に形
成した上下の開口5aを貫通させて各ブラケット６の孔6a
にそれぞれ嵌合してあり、各ブラケット６には上記反射
鏡３を収納したホルダ15を略45度の角度で取付けてい
る。上記ホルダ15はそれぞれ円筒状部材16を備えてお
り、その内周面先端に半径方向内方に突出させて形成し
た係合部に、上記反射鏡３の反射面外周部を係合させて
その反射鏡３をホルダ15に取付け、かつ反射鏡３の背面
側に熱伝導率の良好な焼結金属からなる多孔質体17を密
着させている。 また、上記多孔質体17の背面は０リング18を介して円板
状の支持部材19で支持してあり、この支持部材19はボル
ト20によって上記円筒状部材16に一体に固定している。
そして上記支持部材19を複数本の調整ボルト21によりブ
ラケット６に取付けるとともに、その支持部材19とブラ
ケット６との間に０リング22を介在させることにより、
上記ホルダ15を浮動的にブラケット６に取付けている。
したがって、ブラケット６に形成した開口6bからドライ
バ等を差込んで適宜の調整ボルト21を回転させれば（第
３図参照）、ホルダ15を介して反射鏡３の傾斜角度を調
整することができる。 さらに上記支持部材19の軸部には、レーザ光線Ｌによっ
て加熱される反射鏡３を冷却するための冷却通路23を穿
設してあり、この冷却通路23は上記０リング22により気
密を保ってブラケット６に形成した通路24に連通し、さ
らにこの通路24は導管25を介して図示しない冷却エアの
供給源に連通している。そしてその供給源から上記冷却
通路23内に供給された冷却エアは、多孔質体17内部を流
通して反射鏡３を冷却するとともに、円筒状部材16の内
周面に形成した環状溝26内に流入し、さらに円筒状部材
16の内周面に形成した溝を介して反射鏡３の反射面側
へ、つまりレーザ光線Ｌの通過経路内へ流動されるよう
になっている。 然して、上記支持部材５には、２つのブラケット６を同
時に収納する箱状のカバー27を着脱自在に取付け、第１
図に示すように、上記レーザ発振器のケース１、２本の
パイプ10、支持フレーム４とカバー27、および図示しな
いフォーカスヘッドのカバー９によって上記レーザ光線
Ｌの通過経路を大気から遮蔽している。上記カバー27
は、上記ブラケット６に接続した導管25の相対的な進入
を許容し、かつブラケット６によって閉鎖されるスリッ
ト28を形成してあり、それによって上記導管25を取外す
ことなくカバー27を支持フレーム４に着脱できるように
している。 以上の構成によれば、カバー27を支持フレーム４に取付
けた状態では、反射装置２内の各反射鏡３はレーザ光線
Ｌを所要の角度に反射させることができるように調整さ
れており、またレーザ光線Ｌの通過経路は、上述したよ
うにレーザ発振器のケース１、２本のパイプ10、支持フ
レーム４とカバー27、および図示しないフォーカスヘッ
ドのカバー９によって大気から遮断されている。 そして、各反射鏡３の点検清掃が必要となった場合に
は、単にカバー27を取外すだけで一対の反射鏡３の間に
大きな開口を形成することができるので、反射鏡３をブ
ラケット６から取外すことなくその開口を介して各反射
鏡３を容易に点検清掃することができる。そして反射鏡
３の点検清掃が終了したらその状態のまま、或いは必要
に応じて反射鏡３の傾斜角度を微調整した後に上記カバ
ー27を取付ければ、再びレーザ光線Ｌの通過経路を密封
することができる。 また、上記冷却通路23により各反射鏡３に冷却エアを供
給しているので、各反射鏡を冷却エアで冷却してそれら
の過熱を防止することができる。そしてさらに、上記冷
却エアを密封されたレーザ光線Ｌの通過経路内に供給し
ているので、該通過経路内の圧力を大気圧よりも高くす
ることができ、それによってレーザ光線の通過経路内に
外部から塵埃が侵入するのをより効果的に防止すること
ができる。
おいて、レーザ発振器１から発振放射されたレーザ光線
Ｌは本考案の反射装置２に設けた２枚の反射鏡３でそれ
ぞれ反射され、図示しないフォーカスヘッドの集光レン
ズに導かれるようになっている。 上記反射装置２はレーザ発振器１の一側に配設した支持
フレーム４を備えており、この支持フレーム４は鉛直方
向に配設した平板状の支持部材５と、この支持部材５の
上下位置に取付けたブラケット６とから構成している。
そして上記支持部材５は連結部材７を介してレーザ発振
器１を支持する機枠８に取付けてあり、かつ支持部材５
の上方部と上記レーザ発振器１、より具体的にはそのケ
ース１との間、および支持部材５の下方部と図示しない
フォーカスヘッドを移動可能に密封収納したケース９と
の間に、それぞれレーザ光線Ｌの光路を覆うパイプ10を
接続している。 上記パイプ10は、第２図に示すように、支持部材５に形
成した上下の開口5aを貫通させて各ブラケット６の孔6a
にそれぞれ嵌合してあり、各ブラケット６には上記反射
鏡３を収納したホルダ15を略45度の角度で取付けてい
る。上記ホルダ15はそれぞれ円筒状部材16を備えてお
り、その内周面先端に半径方向内方に突出させて形成し
た係合部に、上記反射鏡３の反射面外周部を係合させて
その反射鏡３をホルダ15に取付け、かつ反射鏡３の背面
側に熱伝導率の良好な焼結金属からなる多孔質体17を密
着させている。 また、上記多孔質体17の背面は０リング18を介して円板
状の支持部材19で支持してあり、この支持部材19はボル
ト20によって上記円筒状部材16に一体に固定している。
そして上記支持部材19を複数本の調整ボルト21によりブ
ラケット６に取付けるとともに、その支持部材19とブラ
ケット６との間に０リング22を介在させることにより、
上記ホルダ15を浮動的にブラケット６に取付けている。
したがって、ブラケット６に形成した開口6bからドライ
バ等を差込んで適宜の調整ボルト21を回転させれば（第
３図参照）、ホルダ15を介して反射鏡３の傾斜角度を調
整することができる。 さらに上記支持部材19の軸部には、レーザ光線Ｌによっ
て加熱される反射鏡３を冷却するための冷却通路23を穿
設してあり、この冷却通路23は上記０リング22により気
密を保ってブラケット６に形成した通路24に連通し、さ
らにこの通路24は導管25を介して図示しない冷却エアの
供給源に連通している。そしてその供給源から上記冷却
通路23内に供給された冷却エアは、多孔質体17内部を流
通して反射鏡３を冷却するとともに、円筒状部材16の内
周面に形成した環状溝26内に流入し、さらに円筒状部材
16の内周面に形成した溝を介して反射鏡３の反射面側
へ、つまりレーザ光線Ｌの通過経路内へ流動されるよう
になっている。 然して、上記支持部材５には、２つのブラケット６を同
時に収納する箱状のカバー27を着脱自在に取付け、第１
図に示すように、上記レーザ発振器のケース１、２本の
パイプ10、支持フレーム４とカバー27、および図示しな
いフォーカスヘッドのカバー９によって上記レーザ光線
Ｌの通過経路を大気から遮蔽している。上記カバー27
は、上記ブラケット６に接続した導管25の相対的な進入
を許容し、かつブラケット６によって閉鎖されるスリッ
ト28を形成してあり、それによって上記導管25を取外す
ことなくカバー27を支持フレーム４に着脱できるように
している。 以上の構成によれば、カバー27を支持フレーム４に取付
けた状態では、反射装置２内の各反射鏡３はレーザ光線
Ｌを所要の角度に反射させることができるように調整さ
れており、またレーザ光線Ｌの通過経路は、上述したよ
うにレーザ発振器のケース１、２本のパイプ10、支持フ
レーム４とカバー27、および図示しないフォーカスヘッ
ドのカバー９によって大気から遮断されている。 そして、各反射鏡３の点検清掃が必要となった場合に
は、単にカバー27を取外すだけで一対の反射鏡３の間に
大きな開口を形成することができるので、反射鏡３をブ
ラケット６から取外すことなくその開口を介して各反射
鏡３を容易に点検清掃することができる。そして反射鏡
３の点検清掃が終了したらその状態のまま、或いは必要
に応じて反射鏡３の傾斜角度を微調整した後に上記カバ
ー27を取付ければ、再びレーザ光線Ｌの通過経路を密封
することができる。 また、上記冷却通路23により各反射鏡３に冷却エアを供
給しているので、各反射鏡を冷却エアで冷却してそれら
の過熱を防止することができる。そしてさらに、上記冷
却エアを密封されたレーザ光線Ｌの通過経路内に供給し
ているので、該通過経路内の圧力を大気圧よりも高くす
ることができ、それによってレーザ光線の通過経路内に
外部から塵埃が侵入するのをより効果的に防止すること
ができる。
以上のように、本考案によれば、反射鏡を点検清掃する
際の作業の煩雑さが解消され、作業時間も短縮できると
いう効果が得られ、また冷却エアにより各反射鏡の過熱
を防止することができるとともに、レーザ光線の通過経
路内に外部から塵埃が侵入するのを効果的に防止するこ
とができるという効果が得られる。
際の作業の煩雑さが解消され、作業時間も短縮できると
いう効果が得られ、また冷却エアにより各反射鏡の過熱
を防止することができるとともに、レーザ光線の通過経
路内に外部から塵埃が侵入するのを効果的に防止するこ
とができるという効果が得られる。
第１図は本考案の一実施例を示す正面図、第２図は第１
図の要部を示す拡大断面図、第３図は第２図の要部の斜
視図である。 １……レーザ発振器、２……反射装置 ３……反射鏡、４……支持フレーム ６……ブラケット、10……パイプ 15……ホルダ、21……調整ボルト 27……カバー、Ｌ……レーザ光線
図の要部を示す拡大断面図、第３図は第２図の要部の斜
視図である。 １……レーザ発振器、２……反射装置 ３……反射鏡、４……支持フレーム ６……ブラケット、10……パイプ 15……ホルダ、21……調整ボルト 27……カバー、Ｌ……レーザ光線
Claims (1)
- 【請求項１】レーザ光線を反射する第１反射鏡と、この
第１反射鏡と間隔を開けて配設されてレーザ光線を反射
する第２反射鏡と、上記第１反射鏡と第２反射境とをそ
れぞれ傾斜角度調整可能に支持した支持フレームとを備
え、上記第１反射鏡に向けて放射されるレーザ光線の通
過経路と、第１反射鏡で反射されて第２反射鏡に向けて
放射されるレーザ光線の通過経路と、並びに第２反射鏡
から反射されるレーザ光線の通過経路とを大気から遮蔽
したレーザ加工機のレーザ光線反射装置において、 上記支持フレームに、閉鎖時に上記第１反射鏡、第２反
射境および両反射鏡の間の空間を覆ってレーザ光線の通
過経路を大気から遮蔽するとともに、開放時にそれら第
１反射鏡、第２反射境、および両反射鏡の間の空間を外
部に露呈させるカバーを設け、さらに上記第１反射鏡と
第２反射鏡とに冷却エアを供給するとともにその冷却エ
アを上記レーザ光線の通過経路内に供給する冷却通路を
設けたことを特徴とするレーザ加工機のレーザ光線反射
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985145931U JPH0714967Y2 (ja) | 1985-09-25 | 1985-09-25 | レーザ加工機のレーザ光線反射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985145931U JPH0714967Y2 (ja) | 1985-09-25 | 1985-09-25 | レーザ加工機のレーザ光線反射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6253418U JPS6253418U (ja) | 1987-04-02 |
| JPH0714967Y2 true JPH0714967Y2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=31057917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985145931U Expired - Lifetime JPH0714967Y2 (ja) | 1985-09-25 | 1985-09-25 | レーザ加工機のレーザ光線反射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0714967Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58174934A (ja) * | 1982-04-08 | 1983-10-14 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 露光光学系ハウジング |
-
1985
- 1985-09-25 JP JP1985145931U patent/JPH0714967Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6253418U (ja) | 1987-04-02 |
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