JPH0715270A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH0715270A JPH0715270A JP9103294A JP9103294A JPH0715270A JP H0715270 A JPH0715270 A JP H0715270A JP 9103294 A JP9103294 A JP 9103294A JP 9103294 A JP9103294 A JP 9103294A JP H0715270 A JPH0715270 A JP H0715270A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- electrode
- wave device
- structural unit
- Prior art date
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 現状のホトマスク作製精度によっても弾性表
面波フィルタの中心周波数の微調整が可能である電極構
造を有する弾性表面波装置を提供する。 【構成】 電極指の幅若しくは電極指間の幅を少なくと
も２種類とし、２種類の幅の組合せを含む弾性表面波伝
搬方向の所定の長さの区間を１構成単位とし、１構成単
位内においてトランスデューサの交差指電極の少なくと
も一方の電極は少なくとも２種類の電極ピッチを有する
ようにし、１構成単位を交差指電極の電極指配列全体に
繰返し設ける。 【効果】 ８００ＭＨｚ或いはそれより高い中心周波数
を有する弾性表面波装置を容易に実現できる。
面波フィルタの中心周波数の微調整が可能である電極構
造を有する弾性表面波装置を提供する。 【構成】 電極指の幅若しくは電極指間の幅を少なくと
も２種類とし、２種類の幅の組合せを含む弾性表面波伝
搬方向の所定の長さの区間を１構成単位とし、１構成単
位内においてトランスデューサの交差指電極の少なくと
も一方の電極は少なくとも２種類の電極ピッチを有する
ようにし、１構成単位を交差指電極の電極指配列全体に
繰返し設ける。 【効果】 ８００ＭＨｚ或いはそれより高い中心周波数
を有する弾性表面波装置を容易に実現できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波装置に係り、
特にフィルタ、反射器等として用いて好適な弾性表面波
装置に関する。
特にフィルタ、反射器等として用いて好適な弾性表面波
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】弾性表面波フィルタは圧電基板上に設け
た薄膜電極により構成する。フィルタの基本的な構成は
図１に示すように、圧電基板上に設けた送信側トランス
デューサ１と受信側トランスデューサ２からなる。フィ
ルタの中心周波数は圧電基板の音速と交差指電極３の電
極ピッチ（すなわち電極指の中心間距離）で定まり、例
えばＬｉＴａＯ3３６°Ｙ−Ｘ板では中心周波数８７０
ＭＨｚのとき波長λは４．８μｍとなり、電極指幅は
１．２μｍ（λ0／４）である。したがって、電極指幅
を適当に選んで電極ピッチを変えることにより、任意の
中心周波数が得られる。
た薄膜電極により構成する。フィルタの基本的な構成は
図１に示すように、圧電基板上に設けた送信側トランス
デューサ１と受信側トランスデューサ２からなる。フィ
ルタの中心周波数は圧電基板の音速と交差指電極３の電
極ピッチ（すなわち電極指の中心間距離）で定まり、例
えばＬｉＴａＯ3３６°Ｙ−Ｘ板では中心周波数８７０
ＭＨｚのとき波長λは４．８μｍとなり、電極指幅は
１．２μｍ（λ0／４）である。したがって、電極指幅
を適当に選んで電極ピッチを変えることにより、任意の
中心周波数が得られる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の弾性表面波
フィルタにおける実際の素子化工程でパターン形成のた
めに用いるホトマスクの最小寸法きざみは、作製装置の
性能限界により、現在のところ０．１μｍである。した
がって、前記の幅１．２μｍの電極指の場合、設定でき
る近傍周波数は、低周波側で８００ＭＨｚ（電極指幅；
１．３μｍ）、高周波側で９５０ＭＨｚ（電極指幅；
１．１μｍ）となる。
フィルタにおける実際の素子化工程でパターン形成のた
めに用いるホトマスクの最小寸法きざみは、作製装置の
性能限界により、現在のところ０．１μｍである。した
がって、前記の幅１．２μｍの電極指の場合、設定でき
る近傍周波数は、低周波側で８００ＭＨｚ（電極指幅；
１．３μｍ）、高周波側で９５０ＭＨｚ（電極指幅；
１．１μｍ）となる。
【０００４】このように、周波数間隔が７０〜８０ＭＨ
ｚもあるために、設計自由度が極端に制限され、現実の
要求仕様にはほとんど対応することができない。すなわ
ち、全ての電極指幅を同一ピッチ、同一線幅に設定する
従来の方法には、ホトマスクの作製上の理由から、中心
周波数の微調整ができないという欠点がある。
ｚもあるために、設計自由度が極端に制限され、現実の
要求仕様にはほとんど対応することができない。すなわ
ち、全ての電極指幅を同一ピッチ、同一線幅に設定する
従来の方法には、ホトマスクの作製上の理由から、中心
周波数の微調整ができないという欠点がある。
【０００５】本発明の目的は、現状のホトマスク作製精
度によっても弾性表面波フィルタの中心周波数の微調整
が可能である電極構造を有する弾性表面波装置を提供す
ることにある。
度によっても弾性表面波フィルタの中心周波数の微調整
が可能である電極構造を有する弾性表面波装置を提供す
ることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的は、圧電基板と
圧電基板上に設けられた交差指電極とで構成されたトラ
ンスデューサを有する弾性表面波装置において、交差指
電極を構成する電極指の幅若しくは電極指間の幅を少な
くとも２種類とし、２種類の幅の組合せを含む弾性表面
波伝搬方向の所定の長さの区間を１構成単位とし、１構
成単位内において交差指電極の少なくとも一方は少なく
とも２種類の電極ピッチを有するようにし、１構成単位
を交差指電極の電極指配列全体に繰返し設けることによ
り達成できる。例えば、電極指の一定繰返し本数ごと
に、そのうちの１本あるいは複数本についてのみ、電極
指幅を増加、あるいは減少させることにより達成でき
る。
圧電基板上に設けられた交差指電極とで構成されたトラ
ンスデューサを有する弾性表面波装置において、交差指
電極を構成する電極指の幅若しくは電極指間の幅を少な
くとも２種類とし、２種類の幅の組合せを含む弾性表面
波伝搬方向の所定の長さの区間を１構成単位とし、１構
成単位内において交差指電極の少なくとも一方は少なく
とも２種類の電極ピッチを有するようにし、１構成単位
を交差指電極の電極指配列全体に繰返し設けることによ
り達成できる。例えば、電極指の一定繰返し本数ごと
に、そのうちの１本あるいは複数本についてのみ、電極
指幅を増加、あるいは減少させることにより達成でき
る。
【０００７】
【作用】中心周波数の微調整は、いい換れば電極ピッチ
の微調整である。ピッチの変化分を各電極指に等しく配
分するのが望ましいが、この方法は現状のホトマスク作
製装置の寸法設定能力が不十分なため限界がある。本発
明は、例えば電極指の一定繰返し本数ごとに、そのうち
の１本あるいは複数本についてのみ電極指幅を従来のホ
トマスク精度内で増加、あるいは減少させるので、実効
的な平均ピッチすなわち弾性表面波装置の中心周波数を
微調整できる。
の微調整である。ピッチの変化分を各電極指に等しく配
分するのが望ましいが、この方法は現状のホトマスク作
製装置の寸法設定能力が不十分なため限界がある。本発
明は、例えば電極指の一定繰返し本数ごとに、そのうち
の１本あるいは複数本についてのみ電極指幅を従来のホ
トマスク精度内で増加、あるいは減少させるので、実効
的な平均ピッチすなわち弾性表面波装置の中心周波数を
微調整できる。
【０００８】ここで、上記の従来のホトマスク精度すな
わちホトマスクの最小寸法きざみは、作製装置の性能限
界により、現在のところ０．１μｍであるが、技術の進
歩によりこれがより小さくなることは必然である。その
場合に本発明を適用すると、中心周波数が８７０ＭＨｚ
よりも高い弾性表面波装置を提供できることはいうまで
もない。
わちホトマスクの最小寸法きざみは、作製装置の性能限
界により、現在のところ０．１μｍであるが、技術の進
歩によりこれがより小さくなることは必然である。その
場合に本発明を適用すると、中心周波数が８７０ＭＨｚ
よりも高い弾性表面波装置を提供できることはいうまで
もない。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図２により説明す
る。同図ａは本発明を実施する前の状態、同図ｂ，ｃは
実施後の状態である。同図ａにおいて、１波長はλ0、
４分の１波長すなわち電極指幅はｌである。
る。同図ａは本発明を実施する前の状態、同図ｂ，ｃは
実施後の状態である。同図ａにおいて、１波長はλ0、
４分の１波長すなわち電極指幅はｌである。
【００１０】電極指幅の変化分をΔｌとすると、Δｌの
最小値は現状のホトマスク作製装置では０．１μｍであ
る。したがって、本発明は０．１μｍ以下の桁までの精
度を要求される場合に有効となる。
最小値は現状のホトマスク作製装置では０．１μｍであ
る。したがって、本発明は０．１μｍ以下の桁までの精
度を要求される場合に有効となる。
【００１１】従来のように電極指および電極指間の絶縁
部の全てにΔｌの幅変化を与える場合のピッチの変化率
ΔＰ0は
部の全てにΔｌの幅変化を与える場合のピッチの変化率
ΔＰ0は
【００１２】
【数１】
【００１３】図ｂは斜線で示したように、２波長ごとに
１本の幅変化を行っており、変化率は
１本の幅変化を行っており、変化率は
【００１４】
【数２】
【００１５】また、図ｃは一定周期中で複数本（図では
２本）の幅変化を行う場合であり、変化率は
２本）の幅変化を行う場合であり、変化率は
【００１６】
【数３】
【００１７】以上に代表例を示したが、同様に各種の組
合せが可能であり、幅広い平均ピッチすなわち弾性表面
波装置の中心周波数の選択が可能である。本実施例では
電極指幅を変化させたが、電極指間の絶縁部の幅を変化
させても、等価回路の取扱いが若干異なるだけで同様の
効果が得られる。
合せが可能であり、幅広い平均ピッチすなわち弾性表面
波装置の中心周波数の選択が可能である。本実施例では
電極指幅を変化させたが、電極指間の絶縁部の幅を変化
させても、等価回路の取扱いが若干異なるだけで同様の
効果が得られる。
【００１８】幅に変化をつける電極指あるいは絶縁部の
位置を限定する必要はなく、所定の区間内に所定の本数
があればよい。また、電極指幅の変化量が１μｍ以上の
場合は、周波数の微調整にはほとんど寄与しない。
位置を限定する必要はなく、所定の区間内に所定の本数
があればよい。また、電極指幅の変化量が１μｍ以上の
場合は、周波数の微調整にはほとんど寄与しない。
【００１９】以上に述べたように、本実施例によれば平
均ピッチを微細に設定でき、フィルタの中心周波数の微
調整精度が上がる効果がある。
均ピッチを微細に設定でき、フィルタの中心周波数の微
調整精度が上がる効果がある。
【００２０】実施例では交差指電極についてのみ説明し
たが、ストライプ電極列で構成する反射器の周波数特性
の微調整にも本発明が有効である。また、ホトマスクを
用いない、例えば、電子ビームによる直接描画方式など
の場合においても同様の利点がある。
たが、ストライプ電極列で構成する反射器の周波数特性
の微調整にも本発明が有効である。また、ホトマスクを
用いない、例えば、電子ビームによる直接描画方式など
の場合においても同様の利点がある。
【００２１】また、請求の範囲において２種類の幅によ
り構成するとしているが、フィルタの構造設計時にすで
に２種類以上の幅を有する場合においては、本発明を適
用することにより３種類以上の幅になる。
り構成するとしているが、フィルタの構造設計時にすで
に２種類以上の幅を有する場合においては、本発明を適
用することにより３種類以上の幅になる。
【００２２】
【発明の効果】電極ピッチが小さい高周波帯フィルタの
素子化工程において、各種の要求仕様に合った周波数特
性を現状のホトリソグラフィ技術で実現することは容易
でない。本発明によれば現状のホトマスク作製仕様で中
心周波数を１桁以上精度よく設定することが可能な弾性
表面波装置の構造を提供できるばかりでなく、フィル
タの周波数特性の設計が容易になる、ホトマスクに関
してコスト的に有利となる効果もある。
素子化工程において、各種の要求仕様に合った周波数特
性を現状のホトリソグラフィ技術で実現することは容易
でない。本発明によれば現状のホトマスク作製仕様で中
心周波数を１桁以上精度よく設定することが可能な弾性
表面波装置の構造を提供できるばかりでなく、フィル
タの周波数特性の設計が容易になる、ホトマスクに関
してコスト的に有利となる効果もある。
【図１】図１は弾性表面波フィルタの基本構成図であ
る。
る。
【図２】図２は従来の電極および所定の電極指の幅を変
えた本発明の実施例の電極の平面図である。
えた本発明の実施例の電極の平面図である。
１…送信側トランスデューサ、２…受信側トランスデュ
ーサ、３…交差指電極。
ーサ、３…交差指電極。
Claims (5)
- 【請求項１】圧電基板と該圧電基板上に設けられた交差
指電極とで構成されたトランスデューサを有し、前記交
差指電極を構成する電極指の幅若しくは前記電極指間の
幅として少なくとも２種類の幅を有し、前記２種類の幅
の組合せを含む弾性表面波伝搬方向の所定の長さの区間
が１構成単位を構成し、該１構成単位内において前記交
差指電極の少なくとも一方は少なくとも２種類の電極ピ
ッチを有し、前記１構成単位が前記交差指電極の電極指
配列全体に繰返し設けられていることを特徴とする弾性
表面波装置。 - 【請求項２】前記２種類の幅の差は１μｍ未満である請
求項１記載の弾性表面波装置。 - 【請求項３】前記１構成単位の所定の区間の長さは前記
弾性表面波装置の中心周波数のほぼ２波長である請求項
１記載の弾性表面波装置。 - 【請求項４】前記１構成単位の所定の区間の長さは前記
弾性表面波装置の中心周波数のほぼ２．５波長である請
求項１記載の弾性表面波装置。 - 【請求項５】前記１構成単位は前記交差指電極の複数の
電極指の配列全体に周期的に設けられている請求項１乃
至４のいずれか一項に記載の弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9103294A JPH0715270A (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9103294A JPH0715270A (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 弾性表面波装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57168353A Division JPS5958907A (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0715270A true JPH0715270A (ja) | 1995-01-17 |
Family
ID=14015179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9103294A Pending JPH0715270A (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0715270A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5958907A (ja) * | 1982-09-29 | 1984-04-04 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置 |
-
1994
- 1994-04-28 JP JP9103294A patent/JPH0715270A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5958907A (ja) * | 1982-09-29 | 1984-04-04 | Hitachi Ltd | 弾性表面波装置 |
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