JPH07159334A - 画像抽出方法 - Google Patents
画像抽出方法Info
- Publication number
- JPH07159334A JPH07159334A JP5304492A JP30449293A JPH07159334A JP H07159334 A JPH07159334 A JP H07159334A JP 5304492 A JP5304492 A JP 5304492A JP 30449293 A JP30449293 A JP 30449293A JP H07159334 A JPH07159334 A JP H07159334A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- pixel
- differential
- binary
- pixels
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 チップまたはウェハ表面を表示した１つの画
像から異物の画像を抽出する。 【構成】 画像データ変換手段１０は、カメラＢで取り
込んだ写真Ａの画像データを２値化処理して２値画像を
得、この２値画像を構成する２値データをＸ方向および
Ｙ方向に微分処理して微分画像を得る。異物画像抽出手
段２０は、微分画像上の隣接する輪郭線上で平行関係に
ある輪郭部分を形成する画素のＸＹ座標をメモリＭに記
録し、メモリＭに記録したＸＹ座標に存在する微分画像
の画素が形成した輪郭部分を微分画像から消去する。
像から異物の画像を抽出する。 【構成】 画像データ変換手段１０は、カメラＢで取り
込んだ写真Ａの画像データを２値化処理して２値画像を
得、この２値画像を構成する２値データをＸ方向および
Ｙ方向に微分処理して微分画像を得る。異物画像抽出手
段２０は、微分画像上の隣接する輪郭線上で平行関係に
ある輪郭部分を形成する画素のＸＹ座標をメモリＭに記
録し、メモリＭに記録したＸＹ座標に存在する微分画像
の画素が形成した輪郭部分を微分画像から消去する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、画像処理および半導体
の分野において、たとえば、ウェハ表面に付着した異物
を解析および検査するために、ウェハ表面を撮影した写
真から異物の画像を抽出する画像処理に関するものであ
る。
の分野において、たとえば、ウェハ表面に付着した異物
を解析および検査するために、ウェハ表面を撮影した写
真から異物の画像を抽出する画像処理に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体開発において、配線パター
ンの微細化に伴いウェハ表面に付着する異物が問題とな
っている。ウェハ表面の異物を検出し、画像を取り込む
ための方法として、図４に示すパターンマッチング方法
が実施されている。図４において、ｅは配線パターン、
ｆは異物である。ｓ１は検査対象の画像、ｓ２は検査の
基準となる画像であり、検査対象の画像ｓ１と同じ配線
パターンを持ち且つ異物が表示されていない画像であ
る。ｓ３はパターンマッチング方法によって得た異物ｆ
のみを表示した画像である。パターンマッチング方法
は、検査対象の画像ｓ１と基準となる画像ｓ２を比較
し、検査対象の画像ｓ１から基本となる画像ｓ２と一致
する部分を削除し、異なる部分である異物ｆのみを表示
した画像ｓ３を出力する。
ンの微細化に伴いウェハ表面に付着する異物が問題とな
っている。ウェハ表面の異物を検出し、画像を取り込む
ための方法として、図４に示すパターンマッチング方法
が実施されている。図４において、ｅは配線パターン、
ｆは異物である。ｓ１は検査対象の画像、ｓ２は検査の
基準となる画像であり、検査対象の画像ｓ１と同じ配線
パターンを持ち且つ異物が表示されていない画像であ
る。ｓ３はパターンマッチング方法によって得た異物ｆ
のみを表示した画像である。パターンマッチング方法
は、検査対象の画像ｓ１と基準となる画像ｓ２を比較
し、検査対象の画像ｓ１から基本となる画像ｓ２と一致
する部分を削除し、異なる部分である異物ｆのみを表示
した画像ｓ３を出力する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、基準となる画像が存在しない場合、上記
方法では異物の画像を抽出することが不可能であるとい
う問題点を有していた。
うな構成では、基準となる画像が存在しない場合、上記
方法では異物の画像を抽出することが不可能であるとい
う問題点を有していた。
【０００４】本発明は上記問題点に鑑み、１つの画像か
ら異物の画像を抽出する画像抽出方法を提供することを
目的とするものである。
ら異物の画像を抽出する画像抽出方法を提供することを
目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明の画像抽出方法は、画像データを任意の一方
向に微分して得た、画像の輪郭を示す微分画像から、隣
接する輪郭線上で平行関係にある輪郭部分を消去するよ
うにしたものである。
めに本発明の画像抽出方法は、画像データを任意の一方
向に微分して得た、画像の輪郭を示す微分画像から、隣
接する輪郭線上で平行関係にある輪郭部分を消去するよ
うにしたものである。
【０００６】
【作用】本発明は上記した構成によって、画像データを
任意の一方向に微分し、画像の輪郭を示す微分画像を得
る。そして、隣接する輪郭線上で平行関係にある輪郭部
分を微分画像から消去する。このようにすれば、たとえ
ばチップの画像を一方向に微分して得た微分画像から平
行な輪郭線を持つ配線パターンの輪郭が消去され、平行
な輪郭線を持たない異物の輪郭が微分画像に残ることと
なる。
任意の一方向に微分し、画像の輪郭を示す微分画像を得
る。そして、隣接する輪郭線上で平行関係にある輪郭部
分を微分画像から消去する。このようにすれば、たとえ
ばチップの画像を一方向に微分して得た微分画像から平
行な輪郭線を持つ配線パターンの輪郭が消去され、平行
な輪郭線を持たない異物の輪郭が微分画像に残ることと
なる。
【０００７】
【実施例】以下本発明の一実施例の画像抽出方法につい
て、図面を参照しながら説明する。
て、図面を参照しながら説明する。
【０００８】図１は本発明の一実施例における画像抽出
方法を説明するための機能ブロック図である。図１にお
いて、１０は画像データ変換手段、２０は異物画像抽出
手段、Ａはチップ表面の写真、Ｂはカメラ、Ｍはメモリ
である。
方法を説明するための機能ブロック図である。図１にお
いて、１０は画像データ変換手段、２０は異物画像抽出
手段、Ａはチップ表面の写真、Ｂはカメラ、Ｍはメモリ
である。
【０００９】図１に示した機能ブロック図における画像
抽出方法について、以下図２、図３を用いてその動作を
説明する。図２は、図１の画像データ変換手段１０およ
び異物画像抽出手段２０の画像処理で得る画像の流れ図
である。図２において、ａはカメラＢで取り込んだ写真
Ａの濃淡を表す入力画像、ｂは入力画像ａを２値化処理
して得た２値画像、ｃは２値画像を微分処理して得た微
分画像、ｄは微分画像内の平行線を消去した画像、ｅは
配線パターン、ｆは異物である。図３は、図２の２値画
像ｂから微分画像ｃを得るために、２値画像ｂにおい
て、同じＹ座標に存在する全ての画素が持つ２値データ
をＸ方向へ微分し、その微分処理を全Ｙ座標に対して行
うことを図化したものである。
抽出方法について、以下図２、図３を用いてその動作を
説明する。図２は、図１の画像データ変換手段１０およ
び異物画像抽出手段２０の画像処理で得る画像の流れ図
である。図２において、ａはカメラＢで取り込んだ写真
Ａの濃淡を表す入力画像、ｂは入力画像ａを２値化処理
して得た２値画像、ｃは２値画像を微分処理して得た微
分画像、ｄは微分画像内の平行線を消去した画像、ｅは
配線パターン、ｆは異物である。図３は、図２の２値画
像ｂから微分画像ｃを得るために、２値画像ｂにおい
て、同じＹ座標に存在する全ての画素が持つ２値データ
をＸ方向へ微分し、その微分処理を全Ｙ座標に対して行
うことを図化したものである。
【００１０】図３において、２値画像ｂは二次元配列の
２値データで構成されており、たとえば配列（０，１）
に対応する画素は２値画像ｂのＸ座標０，Ｙ座標１に位
置する。ｈ０，ｈ１，・・・，ｈk はＸ方向に微分する
画素を示すためのＸ方向に平行な直線であり、直線ｈ０
が通るＹ座標は０、直線ｈ１が通るＹ座標は１、直線ｈ
k が通るＹ座標はｈk である。ｉ０は直線ｈ０上の画素
が持つ２値データの集合体の２値データ群、ｉ１は直線
ｈ１上の画素が持つ２値データの集合体の２値データ
群、ｊ０は２値データ群ｉ０をＸの正方向に微分して得
た変化量の集合体の微分データ群、ｊ１は２値データ群
ｉ１をＸの正方向に微分して得た変化量の集合体の微分
データ群である。ｐ０，ｐ１，ｐ２は直線ｈ０上の画素
であり、ｐ３，ｐ４は直線ｈ１上の画素である。なお、
ｐ０のＸ座標は０，Ｙ座標は０である。
２値データで構成されており、たとえば配列（０，１）
に対応する画素は２値画像ｂのＸ座標０，Ｙ座標１に位
置する。ｈ０，ｈ１，・・・，ｈk はＸ方向に微分する
画素を示すためのＸ方向に平行な直線であり、直線ｈ０
が通るＹ座標は０、直線ｈ１が通るＹ座標は１、直線ｈ
k が通るＹ座標はｈk である。ｉ０は直線ｈ０上の画素
が持つ２値データの集合体の２値データ群、ｉ１は直線
ｈ１上の画素が持つ２値データの集合体の２値データ
群、ｊ０は２値データ群ｉ０をＸの正方向に微分して得
た変化量の集合体の微分データ群、ｊ１は２値データ群
ｉ１をＸの正方向に微分して得た変化量の集合体の微分
データ群である。ｐ０，ｐ１，ｐ２は直線ｈ０上の画素
であり、ｐ３，ｐ４は直線ｈ１上の画素である。なお、
ｐ０のＸ座標は０，Ｙ座標は０である。
【００１１】画像データ変換手段１０について説明す
る。画像データ変換手段１０は、二次元配列の構造であ
る入力画像ａを２値化処理して２値画像ｂを得る。な
お、２値画像ｂにおいて、配線パターンｅおよび異物ｆ
を構成する画素が持つ２値データを１とし、その他の画
素が持つ２値データを０とする。そして、図３ように、
直線ｈ０上のＸ座標０からＸの正方向に２値データ群ｉ
０を微分して、直線ｈ０上の各画素に、その右側に隣接
する画素が持つ２値データに対する変化量を与えること
により、２値データ群ｉ０から微分データ群ｊ０を得
る。なお、２値データが０から１へ変化するときの変化
量は１、２値データが１から０へ変化するときの変化量
は−１、２値データが変化しないときの変化量は０とす
る。また、微分データ群の一番右側の変化量は０とす
る。同様の処理を直線ｈ１から直線ｈk に対して行う。
このようにすれば、図２の２値画像ｂから微分データ群
で構成する微分画像ｃを得ることができ、変化量が１ま
たは−１である画素は、微分画像ｃのように２値画像ｂ
の輪郭を構成する画素となる。
る。画像データ変換手段１０は、二次元配列の構造であ
る入力画像ａを２値化処理して２値画像ｂを得る。な
お、２値画像ｂにおいて、配線パターンｅおよび異物ｆ
を構成する画素が持つ２値データを１とし、その他の画
素が持つ２値データを０とする。そして、図３ように、
直線ｈ０上のＸ座標０からＸの正方向に２値データ群ｉ
０を微分して、直線ｈ０上の各画素に、その右側に隣接
する画素が持つ２値データに対する変化量を与えること
により、２値データ群ｉ０から微分データ群ｊ０を得
る。なお、２値データが０から１へ変化するときの変化
量は１、２値データが１から０へ変化するときの変化量
は−１、２値データが変化しないときの変化量は０とす
る。また、微分データ群の一番右側の変化量は０とす
る。同様の処理を直線ｈ１から直線ｈk に対して行う。
このようにすれば、図２の２値画像ｂから微分データ群
で構成する微分画像ｃを得ることができ、変化量が１ま
たは−１である画素は、微分画像ｃのように２値画像ｂ
の輪郭を構成する画素となる。
【００１２】異物画像抽出手段２０について説明する。
画像データ変換手段１０で得た図３の微分データ群ｊ０
の変化量を左端から右方向へ検査する。先ず、変化量が
１である画素のＸＹ座標を抽出し、さらに検査を続行し
変化量が−１である画素の内初めに検出した画素のＸＹ
座標を抽出する。そして、この処理で検出した２つの画
素を一対の画素とし、微分データ群ｊ０を構成する全変
化量に対してこの処理を繰り返す。そうすると、微分デ
ータ群ｊ０から変化量が１の画素ｐ１および変化量が−
１の画素ｐ２のＸＹ座標を抽出する。このようにすれ
ば、同一物体の輪郭を形成する画素のＸＹ座標を得るこ
とができる。
画像データ変換手段１０で得た図３の微分データ群ｊ０
の変化量を左端から右方向へ検査する。先ず、変化量が
１である画素のＸＹ座標を抽出し、さらに検査を続行し
変化量が−１である画素の内初めに検出した画素のＸＹ
座標を抽出する。そして、この処理で検出した２つの画
素を一対の画素とし、微分データ群ｊ０を構成する全変
化量に対してこの処理を繰り返す。そうすると、微分デ
ータ群ｊ０から変化量が１の画素ｐ１および変化量が−
１の画素ｐ２のＸＹ座標を抽出する。このようにすれ
ば、同一物体の輪郭を形成する画素のＸＹ座標を得るこ
とができる。
【００１３】次に、微分データ群ｊ１から画素ｐ１と同
符号の変化量を持つ画素を検出し、検出した画素のＸＹ
座標および画素ｐ１のＸＹ座標を用いて、画素ｐ１から
の距離が一番短い画素ｐ３を抽出し、画素ｐ１に対する
画素ｐ３の相対座標を求める。同様にして、微分データ
群ｊ１から画素ｐ２と同符号の変化量を持ち且つ画素ｐ
２からの距離が一番短い画素ｐ４を抽出し、画素ｐ２に
対する画素ｐ４の相対座標を求める。そして、２つの相
対座標が等しい場合は、画素ｐ１および画素ｐ２が配線
パターンの輪郭を形成する画素の一部分であると判断
し、画素ｐ１および画素ｐ２のＸＹ座標をメモリＭに記
録する。
符号の変化量を持つ画素を検出し、検出した画素のＸＹ
座標および画素ｐ１のＸＹ座標を用いて、画素ｐ１から
の距離が一番短い画素ｐ３を抽出し、画素ｐ１に対する
画素ｐ３の相対座標を求める。同様にして、微分データ
群ｊ１から画素ｐ２と同符号の変化量を持ち且つ画素ｐ
２からの距離が一番短い画素ｐ４を抽出し、画素ｐ２に
対する画素ｐ４の相対座標を求める。そして、２つの相
対座標が等しい場合は、画素ｐ１および画素ｐ２が配線
パターンの輪郭を形成する画素の一部分であると判断
し、画素ｐ１および画素ｐ２のＸＹ座標をメモリＭに記
録する。
【００１４】上記処理は、微分データ群ｊ０から検出し
た一対の画素全てに対し実施する。さらに、このような
処理を直線ｈ１上，・・，直線ｈk に対応する微分デー
タ群に対し同様に実施する。そして、メモリＭに記録し
たＸＹ座標に存在する微分画像ｃの画素が持つ変化量を
０にすることによって、微分画像ｃから配線パターンの
輪郭線が消去し、画像ｄのように異物の輪郭線が残る。
た一対の画素全てに対し実施する。さらに、このような
処理を直線ｈ１上，・・，直線ｈk に対応する微分デー
タ群に対し同様に実施する。そして、メモリＭに記録し
たＸＹ座標に存在する微分画像ｃの画素が持つ変化量を
０にすることによって、微分画像ｃから配線パターンの
輪郭線が消去し、画像ｄのように異物の輪郭線が残る。
【００１５】以上の処理はＸ方向に対する処理である
が、Ｙ方向に対しても同様に実施する。このようにすれ
ば、１枚の写真から異物の輪郭線を表す画像を抽出する
ことができる。
が、Ｙ方向に対しても同様に実施する。このようにすれ
ば、１枚の写真から異物の輪郭線を表す画像を抽出する
ことができる。
【００１６】なお、本実施例において、処理の対象とな
る画像を写真Ａから取り込んでいたが、ウェハを被写体
としても同様の効果を得ることができる。
る画像を写真Ａから取り込んでいたが、ウェハを被写体
としても同様の効果を得ることができる。
【００１７】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、隣接する
輪郭線から平行関係にある輪郭部分を消去する異物画像
抽出手段を設けることにより、チップまたはウェハ表面
の１つの画像から異物の画像を抽出することができる。
また、異物の画像を抽出できるので、ウェハ表面の異物
検査の手段としても使用することができる。
輪郭線から平行関係にある輪郭部分を消去する異物画像
抽出手段を設けることにより、チップまたはウェハ表面
の１つの画像から異物の画像を抽出することができる。
また、異物の画像を抽出できるので、ウェハ表面の異物
検査の手段としても使用することができる。
【図１】本発明の一実施例における画像抽出方法を説明
するための機能ブロック図
するための機能ブロック図
【図２】同実施例で用いる画像の流れ図
【図３】同実施例における微分処理を示す図
【図４】従来例で用いるパターンマッチング方法を示す
図
図
１０ 画像データ変換手段 ２０ 異物画像抽出手段 Ａ 写真 Ｂ カメラ Ｍ メモリ ａ 入力画像 ｂ ２値画像 ｃ 微分画像 ｄ 平行な輪郭線を消去した画像 ｅ 配線パターン ｆ 異物 ｈ０、ｈ１〜ｈk 微分処理する場所を示す直線 ｉ１、ｉ２ ２値データ群 ｊ１、ｊ２ 微分データ群 ｐ０〜ｐ４ 画素
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｊ 7630−4Ｍ
Claims (1)
- 【請求項１】 画像を構成する画素が持つ画像データを
任意の一方向に微分し、前記微分によって得た変化量を
持つ全ての画素で構成する微分画像において、 前記方向と平行な線上に存在する画素から、変化量が０
でない任意の第１の画素を検出し、前記第１の画素が持
つ変化量の符号と異符号である変化量を持ち且つ前記第
１の画素に一番距離の近い第２の画素を検出する第１の
工程と、 前記線と異なり且つ前記線と平行な線上に存在する画素
から、前記第１の画素が持つ符号と同符号である変化量
を持ち且つ前記第１の画素に一番距離の近い第３の画素
を検出し、前記第２の画素が持つ符号と同符号である変
化量を持ち且つ前記第２の画素に一番距離の近い第４の
画素を検出する第２の工程と、 前記第１の画素の位置に対する前記第３の画素の相対位
置および前記第２の画素の位置に対する前記第４の画素
の相対位置を求める第３の工程と、 前記第３の工程で得た２つの相対位置が等しい場合は、
前記第１の画素および前記第２の画素が持つ変化量を０
にする第４の工程と、 前記第１の工程、前記第２の工程、前記第３の工程およ
び前記第４の工程を１回もしくは複数回行う第５の工程
を備えたことを特徴とする画像抽出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5304492A JPH07159334A (ja) | 1993-12-06 | 1993-12-06 | 画像抽出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5304492A JPH07159334A (ja) | 1993-12-06 | 1993-12-06 | 画像抽出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07159334A true JPH07159334A (ja) | 1995-06-23 |
Family
ID=17933691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5304492A Pending JPH07159334A (ja) | 1993-12-06 | 1993-12-06 | 画像抽出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07159334A (ja) |
-
1993
- 1993-12-06 JP JP5304492A patent/JPH07159334A/ja active Pending
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