JPH07176049A - 円盤状記録媒体の欠陥検出方法および検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】円盤状記録媒体の表面の欠陥を常に的確に検出
する円盤状記録媒体の欠陥検出方法および欠陥検出装置
の提供。 【構成】光ディスクの表面をレーザビームで走査し、そ
の反射率の変動から欠陥を検出するにあたり、反射率の
異なる各領域の基準反射率E1〜E4を基準として各領域で
の反射率の変動の有無を判断する。ここで、反射率を二
階微分した変化率に基づいて基準反射率E1〜E4を順次切
り換えながら欠陥検出を行う。反射光の強度は各領域の
境界部分でステップ状に急激に変化する一方、欠陥部分
では緩やかに変化するので、境界部分の変化率は大き
く、欠陥部分の変化率は小さい。このため、レーザビー
ムが各領域の境界を通過したことを的確に検知でき、基
準反射率E1〜E4の切り換えが的確に行えるようになる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は円盤状記録媒体の欠陥検
出方法および欠陥検出装置に係り、特に、光ディスクの
欠陥検出に最適な欠陥検出方法および欠陥検出装置に関
する。

【０００２】

【背景技術】近年、多量の情報を記録できる記録媒体と
して、コンパクトディスク、レーザーディスク、およ
び、光磁気ディスク等の光ディスクが知られている。光
ディスクは、合成樹脂製の基板の表面に、情報を記録す
るための記録膜と、読出用の光線を反射するための鏡面
となる金属膜、これらの記録膜および金属膜を保護する
保護膜等を積層して製造されたものである。記録膜およ
び金属膜は、蒸着やスパッタ法等により形成されたもの
であり、その表面が透明な基板を通して光ディスクの表
面に表れるようになっている。金属膜は、図９に示され
るように、光ディスクの内縁部および外縁部において、
光をほぼ全反射する鏡面領域２，３となって表れる。記
録膜は、鏡面領域２および鏡面領域３の間に半鏡面領域
４となって表れる。この半鏡面領域４の内縁部分は、記
録膜が開始されることを知らせるリードイン領域4Aとな
っている。このリードイン領域4Aの外側には、光学的に
読み出される情報が記録される記録領域4Bとなってい
る。リードイン領域4Aおよび記憶領域4Bには、情報記録
用のピットが設けられているため、その反射率は、両方
ともに鏡面領域２，３よりも低くなっている。記憶領域
4Bには、多くの情報を高密度に記録可能なように、多数
のピット等が設けられているので、その反射率はリード
イン領域4Aよりもさらに低くなっている。保護膜は、傷
つかないように記録膜および金属膜を保護する膜であっ
て、溶剤に溶けた状態の硬質合成樹脂を塗布して形成さ
れたものである。

【０００３】光ディスクは、塗布工程において保護膜、
特に、リードイン領域4Aおよび記憶領域4Bを覆う保護膜
に傷やほこり等が付着すると、光ディスクの読み取り誤
差等の原因となるので、完成した光ディスクは、傷やほ
こり等の欠陥の有無を検査し、欠陥が発見されたものは
他の正常な光ディスクと分ける必要がある。光ディスク
の欠陥検出方法としては、光ディスクを回転させなが
ら、レーザビーム等の照射点を径方向に移動することに
より、光ディスクの全表面を螺旋状に走査する方法があ
る。この方法では、走査光の反射光についてその強度を
測定し、欠陥部分においては反射率が他の部分よりも低
くなることから、反射光の強度変化から欠陥を検出して
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、光ディ
スクの表面には、鏡面領域２，３および半鏡面領域４等
の反射率の相違する部分があり、これらの境界部分で
は、反射光の強度が変化するので、単に反射光の強度を
測定し、その強度変化を検出する方法では、欠陥を検出
することができないという問題がある。

【０００５】また、欠陥がない光ディスクの各領域の反
射率を求め、これを各領域の基準反射率とし、これらの
基準反射率を基準として測定により得た反射率の大きさ
を検討すれば、各領域での反射率が異なっていても欠陥
が検出できる。この際、光ディスクの各領域は、同心円
状に設けられているので、光ディスクの中心点からの距
離から現在の走査位置が検知できる。従って、中心点か
らの距離から現在走査中の領域を割り出し、別の領域に
入る毎に基準となる反射率を切り換えることで、測定で
得た反射率を各領域の基準反射率と比較して、正確な欠
陥検出を図ることが考えられる。しかしながら、光ディ
スクを回転駆動するドライバ装置のスピンドルの中心軸
と、このスピンドルを挿通させる光ディスクの孔の中心
とが偏心している場合があり、この場合には、光ディス
クの中心がずれるため、中心点からの距離に基づいて現
在走査中の領域を正確に検知することができない。この
ため、別の領域に入ったタイミングと、基準反射率を切
り換えるタイミングとがずれることがあり、この「ず
れ」により、各領域の境界付近においては、欠陥がない
にもかかわらず反射率が変動して欠陥を誤検出し、常に
的確な欠陥検出を行うことができないという問題があ
る。

【０００６】本発明の目的は、円盤状記録媒体の表面の
欠陥を常に的確に検出する円盤状記録媒体の欠陥検出方
法および欠陥検出装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の第１発明は、表
面の反射率が各領域によって異なる円盤状記録媒体の表
面をビーム状の光で走査し、この光の当該表面における
反射率の変動から表面の欠陥を検出するにあたり、予め
欠陥のない円盤状記録媒体の反射率を測定する準備測定
を行って前記各領域の基準反射率を求めた後、検査対象
となる円盤状記録媒体を所定の走査経路で走査して反射
率を測定する主測定を行うとともに、この反射率の変化
率を検出し、この変化率が所定の値を超える毎に前記走
査の経路順に基準反射率を次の領域の基準反射率に切り
換えながら、主測定で得られた反射率をその時点での基
準反射率と比較して欠陥を検出することを特徴とする。

【０００８】本発明の第２発明は、表面の反射率が各領
域によって異なる円盤状記録媒体の表面をビーム状の光
で走査し、この光の当該表面における反射率の変動から
表面の欠陥を検出するにあたり、予め欠陥のない円盤状
記録媒体の反射率を測定する準備測定を行って前記各領
域の基準反射率を求めた後、検査対象となる円盤状記録
媒体を所定の走査経路で走査して反射率を測定する主測
定を行い、この主測定で得た実時間の測定値であるリア
ルタイムデータと、このリアルタイムデータを所定時間
だけ遅らせたディレイタイムデータとの差からトリガ信
号を生成し、このトリガ信号の大きさが所定の値を超え
る毎に前記走査の経路順に基準反射率を次の領域の基準
反射率へと切り換えながら、主測定で得られた反射率を
その時点での基準反射率と比較して欠陥を検出すること
を特徴とする。

【０００９】本発明の第３発明は、表面の反射率が各領
域によって異なる円盤状記録媒体の表面をビーム状の光
で走査し、この光の当該表面における反射率の変動から
表面の欠陥を検出するにあたり、円盤状記録媒体の反射
率を測定する第１の測定と、この第１の測定とは走査の
開始位置を変えて当該円盤状記録媒体の反射率を測定す
る第２の測定とを行い、第１の測定によるデータと第２
の測定によるデータとの差に基づき欠陥を検出すること
を特徴とする。

【００１０】本発明の第４発明は、表面の反射率が各領
域によって異なる円盤状記録媒体の表面をビーム状の光
で走査し、この光の当該表面における反射率の変動から
表面の欠陥を検出するにあたり、前記光の反射光を受光
する受光素子を少なくとも一対設け、前記円盤状記録媒
体の表面に欠陥がない場合には両方の受光素子に前記反
射光が均等に照射され、かつ、表面に欠陥がある場合に
は一方の受光素子側に前記反射光が偏る位置に前記受光
素子を配置し、これらの受光素子の出力の差に基づいて
欠陥を検出することを特徴とする。

【００１１】

【作用】本発明の第１発明では、予め各領域について欠
陥のない場合の基準反射率を測定しておき、この基準反
射率を基準として測定した反射光の強度が変動したか否
かを判断するので、各領域の反射率が異なっていても、
欠陥を確実に検出することが可能となる。また、反射光
は、各領域の境界部分においてステップ状に急激に変化
するので、反射光の強度の変化率に基づいて判断すれ
ば、境界部分の強度変化と欠陥部分の強度変化とを容易
に判別できる。そして、反射光の強度の変化率が所定の
値を超えたことを検知すれば、走査する光のビームが各
領域の境界を通過したことを的確に検知でき、基準反射
率の切り換えを適時に行えるようになり、これにより前
記目的が達成される。

【００１２】本発明の第２発明では、実時間で測定して
得たリアルタイムデータと、このリアルタイムデータを
所定時間だけ遅らせたディレイタイムデータとの差は、
反射率が変化した時に変動する。この際、ディレイタイ
ムデータを遅らせる遅延時間を充分小さくすれば、前記
差は、各領域のピーク値を維持したまま、欠陥部分のピ
ーク値を低減させることができる。このため、リアルタ
イムデータおよびディレイタイムデータの差に基づいて
判断すれば、走査する光のビームが各領域の境界を通過
したことが確実に検知され、基準反射率の切り換えを的
確に行えるようになり、これにより前記目的が達成され
る。

【００１３】本発明の第３発明では、第１の反射率デー
タおよび第２の反射率データの欠陥部分については、互
いに反射率の大きさが同じでも、その位置が相違する。
一方、第１の反射率データおよび第２の反射率データの
欠陥部分以外の部分については、互いに反射率の大きさ
および位置が一致する。このため、第１の反射率データ
および第２の反射率データの差は、欠陥部分以外の部分
については互いに相殺しあい、欠陥部分のみが数値を有
するものとなるので、欠陥部分の信号のみが抽出され、
欠陥検出が的確に行われるようになり、これにより前記
目的が達成される。

【００１４】本発明の第４発明では、各領域において反
射率が異なっていても、表面に欠陥がなければ、一対の
受光素子の出力は互いに等しいので、これらの受光素子
の出力の差は零となる。一方、表面に欠陥があると、一
対の受光素子の出力は、一方が他方より大きくなるの
で、これらの受光素子の出力の差は、欠陥部分でのみ零
以外の数値を有するものとなるので、この差から欠陥を
的確に検出することが可能となり、これにより前記目的
が達成される。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。なお、以下の説明では、既に説明した部材等には
同じ符号を付し、その説明を簡略または省略する。図１
には、本発明の第１実施例に係る円盤状記録媒体の欠陥
検出装置５が示されており、この欠陥検出装置５により
円盤状記録媒体である光ディスク１の欠陥が検出され
る。欠陥検出装置５は、光ディスク１を回転させるター
ンテーブル６と、光ディスク１の表面をビーム状の光
（以下「ビーム」という。）で走査する光走査部７と、
光ディスク１からの反射光の強度変動から欠陥を検出す
る欠陥検出部10とを有するものである。

【００１６】ターンテーブル６は、光ディスク１を載せ
て所定の回転速度で回転するものである。ターンテーブ
ル６には回転駆動用としてモータ（図示せず）と、回転
角度を検出するロータリーエンコーダ6Aとを有するもの
である。光走査部７は、光ディスク１の表面にビームを
照射する光源7Aと、このビームの反射光を受光する受光
部7Bとを備えたものである。光源7Aは、レーザビームを
連続的に照射するガスまたは半導体によるレーザ発振器
である。光源7Aの照射位置を、サーボモータ（図示せ
ず）等により、ターンテーブル６の回転速度に応じて径
方向に移動させることにより、光ディスク１はその全表
面について走査が行われるようになっている。受光部7B
は、反射光の強度を測定するＣＣＤ受像素子等からなる
二次元受光センサであり、光源7Aと連動して移動可能と
なっている。

【００１７】欠陥検出部10は、パーソナルコンピュータ
等から構成されたものである。欠陥検出部10には、図２
に示されるように、光走査部７を制御しながら光ディス
ク１の反射率を測定する測定手段11と、この測定手段11
で得た反射率の変化率を検出する変化率検出手段として
の演算手段12と、予め欠陥のない光ディスク１の各領域
２〜４について測定して得た各反射率を基準反射率とし
て記憶する記憶手段13と、演算手段12で算出した変化率
が所定の値を超える毎に、記憶手段13に記憶された各基
準反射率を切り換えて出力させる切換手段14と、検査対
象となる光ディスク１の反射率と基準反射率とを比較し
て欠陥を検出する検出手段15とが備えられている。

【００１８】測定手段11は、ターンテーブル６を回転さ
せながら、光走査部７の照射点を光ディスク１の径方向
に移動させることにより、光ディスク１の全表面を螺旋
状に走査して反射率を連続的に測定するものである。測
定された反射率は、所定の電気信号となって演算手段1
2、記憶手段13、および、検出手段15に連続的に出力さ
れる。測定手段11には、光源7Aの照射光およびその反射
光の強度から反射率等を算出する演算部、および、光源
7A等を移動するサーボモータやターンテーブル６のモー
タ等を制御する制御部等が設けられている。ここで、測
定手段11には、光走査部７の受光部7Bが電気的に接続さ
れている他、ターンテーブル６のロータリーエンコーダ
6A、および、光走査部７のサーボモータの位置制御用の
ポテンショメータ等が電気的に接続されている。これに
より、欠陥検出と同時に欠陥の位置も検出可能となって
いる。

【００１９】演算手段12は、高速演算回路を含んで構成
され、測定手段11の出力信号を微分することにより、反
射率の変化率を高速で検出するものである。演算手段12
には、入力信号を微分する微分回路を直列に二段接続し
たものを有し、演算手段12からは入力信号を二階微分し
た信号が出力される。記憶手段13は、記憶した基準反射
率を切換手段14を介して検出手段15に出力するものであ
る。記憶手段13には、光ディスク１の領域２，３，4A,
4Bにおける反射率である基準反射率E1〜E4を個別に出力
する出力ポートα〜δが設けられている。切換手段14
は、記憶手段13のポートα〜δを切り換える切換回路14
A と、演算手段12の出力信号が所定の値Ｓを超える度に
切換回路14A に切り換え動作を行わせる駆動回路14B と
を有するものである。反射率の変化率が所定の値を超え
る毎に、切換手段14により検出手段15へ出力される基準
反射率がE1からE4まで順次切り換えられるようになって
いる。

【００２０】検出手段15には、ＣＲＴ表示装置16が接続
されている。検出手段15は、測定回路11および切換手段
14から同時に入力された反射率と基準反射率E1〜E4とを
比較し、これらの反射率が相違する場合に、光ディスク
１に欠陥があることをＣＲＴ表示装置16に表示するよう
になっている。この際、欠陥の位置を光ディスク１の中
心を原点とした極座標で表示するようになっている。

【００２１】次に、本実施例の動作について説明する。
まず、予め欠陥のない光ディスク１について準備測定を
行い、基準反射率E1〜E4を求めておき、基準反射率E1〜
E4を記憶手段13に記憶させておく。そして、検査対象と
なる光ディスク１について欠陥を検出する主測定を開始
する。検査の開始にともない、光ディスク１の回転が開
始され、光ディスク１の内側の鏡面領域２からレーザビ
ームによる走査が開始される。光ディスク１に照射され
たレーザビームの反射光を受光した受光部7Bは、その強
度を電気信号に変換して測定手段11に出力する。測定手
段11では、反射光の強度から光ディスク１の反射率を算
出し、算出した反射率を所定の電気信号に変換して切換
手段14と検出手段15とに送信する。切換手段14では、演
算手段12からの信号が所定の値Ｓを超える毎に、検出手
段15に接続される記憶手段13の出力ポートα〜δを順次
切り換え、基準反射率をE1からE4に順次切り換えて検出
手段15に送信させる。検出手段15では、記憶手段13から
の基準反射率E1〜E4に基づき測定手段11で検出した反射
率の大きさを検討し、両者が相違する場合には、これを
光ディスク１の欠陥であるとみなし、欠陥を検出したこ
とをＣＲＴ表示装置16に表示する。

【００２２】ここで、欠陥検出部10の内部では、上述の
各信号が、図３に示されるように、処理される。すなわ
ち、時刻T1において検査が開始され、時刻T1からT2まで
の間に内側の鏡面領域２が走査され、測定手段11で得ら
れた反射率は、基準反射率E1と比較される。同様に、時
刻T2からT3までの間にリードイン領域4Aが、時刻T3から
T5までは記憶領域4Bが、時刻T5からT6までの間に外側の
鏡面領域２が、それぞれ走査され、各領域で得られた反
射率は、それぞれ基準反射率E2〜E4と比較される。この
際、いずれかの領域、例えば、図３（Ａ）に示されるよ
うに、記憶領域4Bの欠陥により反射率が時刻T4において
変動すると、その部分の反射率はその時点の基準反射率
E3よりも低下するので、このことから光ディスク１に欠
陥があることが検出される。

【００２３】また、各領域の境界においては、反射率が
ステップ状に急激に変化する。このため、演算手段12の
一階微分した変化率は、図３（Ｂ）に示されるように、
大きなピーク値を有する急峻なインパルス状に変化す
る。そして、この一階微分した信号を微分した二階微分
信号は、図３（Ｃ）に示されるように、さらに急峻なイ
ンパルス状に変化する。一方、欠陥の部分においては、
反射率の変化が比較的緩やかなため、一階微分して得ら
れる変化率は、元の状態よりもピーク値が低下し、二階
微分して得られる変化率は、一階微分の状態よりもさら
にピーク値が低下する。これにより、欠陥検出部10は、
欠陥による信号変化では切り換え動作が行われず、境界
通過時にのみ基準反射率を的確に切り換えながら欠陥の
検出を行う。

【００２４】前述のような本実施例によれば、次のよう
な効果がある。すなわち、光ディスク１の各領域２，4
A，4B，３毎に基準反射率E1〜E4を切り換えながら、測
定して得られた反射率とその時点での基準反射率との相
違に基づき、欠陥を検出するようにしたので、光ディス
ク１の各領域２，4A，4B，３の反射率が異なっていて
も、正確に欠陥を検出することができる。

【００２５】また、各領域２，4A，4B，３の境界の通過
時には、反射率がステップ状に急激に変化するのを利用
し、演算手段12で反射率を二階微分して得た変化率をト
リガ信号として基準反射率E1〜E4を切り換えるようにし
たので、反射率が比較的緩やかに変化する欠陥部分によ
っては切り換え動作が行われないようになるので、境界
通過時には確実に基準反射率E1〜E4を切り換えることが
できる。

【００２６】以上のように基準反射率E1〜E4の切り換え
により、正確に欠陥を検出することを可能とし、反射率
の変化率に基づいて境界通過時には確実に基準反射率E1
〜E4を切り換えることを可能としたので、円盤状記録媒
体の表面の欠陥を常に的確に検出することができる。

【００２７】図４には、本発明の第２実施例が示されて
いる。本実施例は、前記第１実施例における微分演算を
行う演算手段12を、遅延手段17から出力される遅延信号
を利用してトリガ信号を発生するトリガ発生手段18とし
たものである。すなわち、遅延手段17は、入力された信
号を所定の微小時間dTだけ遅らせて出力するものであ
り、測定手段11とトリガ発生手段18の間に接続されてい
る。トリガ発生手段18は、測定手段11の出力と遅延手段
17の出力との差をトリガ信号として出力する減算回路で
ある。得られたトリガ信号は切換手段14に出力され、切
換手段14はこのトリガ信号に基づき記憶手段13の出力ポ
ートα〜δを切り換えるようになっている。

【００２８】このような本実施例では、検査対象となる
光ディスク１を測定している測定手段11からは、光ディ
スク１の領域毎に変化する信号が出力される。この信号
を実時間で時系列順に配列すると、図５（Ａ）に示され
るように、領域毎に反射率がステップ状に変化するリア
ルタイムデータが得られる。このようなリアルタイムデ
ータを遅延手段17に入力すると、その出力には、図５
（Ｂ）に示されるように、リアルタイムデータと同じよ
うに変化し、かつ、位相が所定時間dTだけ遅らせたディ
レイタイムデータが発生する。トリガ発生手段18から出
力されるトリガ信号は、リアルタイムデータとディレイ
タイムデータとの差であることから、図５（Ｃ）に示さ
れるように、光ディスク１の各領域の境界においてイン
パルス状に急峻に立ち上がる信号となる。一方、リアル
タイムデータおよびディレイタイムデータの欠陥部分
は、一部分が互いに相殺しあうので、そのピーク値が減
少する。このため、トリガ信号が所定の値±Ｓを超える
毎に、切換手段14に切換動作を行わせれば、欠陥部分に
おいて反射率の変動によっては切換動作が起動せず、誤
動作が排除され、基準反射率E1〜E4の切換を的確に行え
る。

【００２９】このような本実施例においても前記第１実
施例と同様な作用、効果を得ることができる。

【００３０】図６には、本発明の第３実施例が示されて
いる。本実施例は、前記第１実施例および第２実施例に
おける基準反射率を領域毎に切り換える欠陥検出部10
を、測定手段11により得た反射率の値から基準反射率分
を除去する信号処理を行う欠陥検出部20としたものであ
る。すなわち、本実施例に係る欠陥検出装置5Aは、同一
の光ディスク１について反射率の測定を二回行うもので
ある。ただし、第２回目の測定は、第１の測定とは走査
を開始する回転角度位置を変えて反射率を測定するもの
である。欠陥検出部20には、第１回目の測定により得ら
れた第１の反射率データを記憶する記録手段21と、第２
回目の測定により得られた第２の反射率データとの差に
基づき欠陥を検出する変動分検出手段22とが備えられて
いる。

【００３１】このような本実施例では、第１の測定とは
走査を開始する回転角度位置を変えることにより、第２
の測定において欠陥部分の走査時刻が第１の測定よりも
時間dPだけ遅れる。例えば、第１回目の測定では、図７
（Ａ）に示されるように、時刻T7において欠陥部分が走
査された第１の反射率データが得られたとすると、第２
回目の測定では、図７（Ｂ）に示されるように、時刻T7
よりも時間dPだけ遅れた時刻T8に欠陥部分が走査された
第２の反射率データが得られる。この際、同一の光ディ
スク１について測定を行ったため、欠陥のない部分につ
いては、第１の反射率データおよび第２の反射率データ
は同一のものとなる。このため、第１の反射率データお
よび第２の反射率データの差は、図７（Ｃ）に示される
ように、基準反射率分が互いに相殺され、当該差からは
欠陥部分の信号のみが抽出されるので、この差に基づい
て欠陥検出を行えば、光ディスク１に反射率の異なる領
域が多数あろうとも、確実に欠陥の検出が可能となる。

【００３２】このような本実施例においても前記第１実
施例および第２実施例と同様な作用、効果を得ることが
できる他、欠陥検出部20の構成をより簡単なものとでき
るという効果を付加できる。

【００３３】図８には、本発明の第４実施例が示されて
いる。本実施例は、前記第３実施例における第１回目の
データと第２回目のデータとの共通部分を相殺させるこ
とにより欠陥部分の信号を抽出する欠陥検出部20を、一
対の受光部から同時に出力される信号を相殺させること
により欠陥部分の抽出を行う欠陥検出部30としたもので
ある。すなわち、本実施例の光走査部27は、受光部とし
て一対の受光素子27A, 27Bを有するものであり、これら
の受光素子27A, 27Bの出力は、当該出力の差に基づいて
欠陥を検出する変動分検出手段31に接続されている。こ
れらの受光素子27A, 27Bは、光ディスク１の表面に欠陥
がない場合には、図９（Ａ）に示されるように、両方の
受光素子27A, 27Bに反射光Ａが均等に照射され、かつ、
光ディスク１の領域4B等に欠陥がある場合には、図９
（Ｂ）に示されるように、欠陥1Aにより受光素子27A, 2
7Bのうち受光素子27B 側に反射光Ａが偏る位置に配置さ
れている。なお、走査光が各領域の境界を通過する際に
も反射光が受光素子27A, 27Bに均等に受光されるように
するために、走査光は光ディスク１の径方向に照射さ
れ、かつ、受光素子27A, 27Bの受光面は光ディスク１と
同軸の適宜な円周上に配列されている。

【００３４】このような本実施例では、受光素子27A で
検出された反射光の強度は、例えば、図１０（Ａ）に示
されるように、領域4Bに形成された欠陥により、反射率
が時刻T9において領域4Bの基準反射率E3よりも低下して
いても、受光素子27B で検出された反射光の強度は、図
１０（Ｂ）に示されるように、欠陥による強度低下の度
合いが受光素子27A のものよりも極めて小さくなる。一
方、欠陥部分以外の部分においては、受光素子27A, 27B
からの信号の変化が一致している。このため、受光素子
27A, 27Bの差の信号には、図１０（Ｃ）に示されるよう
に、欠陥部分以外の部分が相殺されて欠陥部分の強度低
下のみが表れるので、この差の信号に基づいて欠陥が確
実に検出される。

【００３５】このような本実施例においても前記第３実
施例と同様な作用、効果を得ることができる他、欠陥検
出部30の構成をさらに簡単なものとできるという効果を
付加できる。

【００３６】以上、本発明について好適な実施例を挙げ
て説明したが、本発明は、この実施例に限られるもので
なく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改
良並びに設計の変更が可能である。例えば、第１実施例
の演算手段としては、急激に強度が変化した際の大きな
変化率を微分回路で演算して検出するものに限らず、帯
域通過フィルタや高域通過フィルタ等のフィルタ回路で
大きな変化率を検出するようにしてもよい。

【００３７】また、前記第３実施例としては、一個の光
走査部で二回走査を行うことにより、第１の反射率デー
タおよび第２の反射率データを得る装置に限らず、二個
の光走査部を有し、各光走査部について走査を開始する
回転角度位置を変え、同時に走査を行うようにすること
により、第１の反射率データおよび第２の反射率データ
を同時に得るようにした装置も採用できる。

【００３８】前記第４実施例の一対の受光素子として
は、二つの受光センサを有するものに限らず、多数の受
光素子を有する二次元受光センサの用い、この二次元受
光センサの受光面に設定した二つの受光領域を一対の受
光素子としてもよい。

【００３９】また、円盤状記録媒体としては、いわゆる
光ディスクに限らず、磁気ディスクメモリ等他の円盤状
記録媒体でもよく、本発明は、特に、表面に保護膜が形
成された円盤状記録媒体の欠陥検出に適している。な
お、前記各実施例では、光ディスクの内側から走査を開
始したが、逆に外側から走査を開始してもよく、走査の
開始部分は実施にあたり適宜設定できる。

【００４０】

【発明の効果】前述のように本発明によれば、円盤状記
録媒体の表面の欠陥を的確に検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の全体を示す模式図であ
る。

【図２】本実施例の欠陥検出部を示すブロック図であ
る。

【図３】本実施例の作用を説明するグラフである。

【図４】本発明の第２実施例の欠陥検出部を示すブロッ
ク図である。

【図５】本実施例の作用を説明するグラフである。

【図６】本発明の第３実施例の欠陥検出部を示すブロッ
ク図である。

【図７】本実施例の作用を説明するグラフである。

【図８】本発明の第４実施例の欠陥検出部を示すブロッ
ク図である。

【図９】本実施例の要部を示す側面図である。

【図１０】本実施例の作用を説明するグラフである。

【図１１】円盤状記録媒体である光ディスクの表面の反
射状態を説明する図である。

【符号の説明】

１ 円盤状記録媒体としての光ディスク ５，5A 欠陥検出装置 ２〜４ 反射率の異なる領域 11 測定手段 12 変化率検出手段である演算手段 13 記憶手段 14 切換手段 15 検出手段 17 遅延手段 18 トリガ発生手段 22, 31 変動分検出手段 27A, 27B 受光素子

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】表面の反射率が各領域によって異なる円盤
   状記録媒体の表面をビーム状の光で走査し、この光の当
   該表面における反射率の変動から表面の欠陥を検出する
   円盤状記録媒体の欠陥検出方法であって、予め欠陥のな
   い円盤状記録媒体の反射率を測定する準備測定を行って
   前記各領域の基準反射率を求めた後、検査対象となる円
   盤状記録媒体を所定の走査経路で走査して反射率を測定
   する主測定を行うとともに、この反射率の変化率を検出
   し、この変化率が所定の値を超える毎に前記走査の経路
   順に基準反射率を次の領域の基準反射率へと切り換えな
   がら、主測定で得られた反射率をその時点での基準反射
   率と比較して欠陥を検出することを特徴とする円盤状記
   録媒体の欠陥検出方法。
2. 【請求項２】表面の反射率が各領域によって異なる円盤
   状記録媒体の表面の欠陥を検出する円盤状記録媒体の欠
   陥検出装置であって、 前記円盤状記録媒体の全表面を所定の経路に沿って移動
   するビーム状の光で走査し、この光の当該表面における
   反射率を測定する測定手段と、 この測定手段で得られる反射率の変化率を検出する変化
   率検出手段と、 予め欠陥のない円盤状記録媒体について前記測定手段で
   測定することにより得られる当該円盤状記録媒体の各領
   域の反射率である基準反射率を記憶する記憶手段と、 前記変化率が所定の値を超える毎に、前記記憶手段に記
   憶された各基準反射率を前記走査の経路順に順次切り換
   えて出力させる切換手段と、 検査対象となる円盤状記録媒体の反射率をその時点での
   基準反射率と比較して欠陥を検出する検出手段と、 を備えたことを特徴とする円盤状記録媒体の欠陥検出装
   置。
3. 【請求項３】表面の反射率が各領域によって異なる円盤
   状記録媒体の表面をビーム状の光で走査し、この光の当
   該表面における反射率の変動から表面の欠陥を検出する
   円盤状記録媒体の欠陥検出方法であって、予め欠陥のな
   い円盤状記録媒体の反射率を測定する準備測定を行って
   前記各領域の基準反射率を求めた後、検査対象となる円
   盤状記録媒体を所定の走査経路で走査して反射率を測定
   する主測定を行い、この主測定で得た実時間の測定値で
   あるリアルタイムデータと、このリアルタイムデータを
   所定時間だけ遅らせたディレイタイムデータとの差から
   トリガ信号を生成し、このトリガ信号の大きさが所定の
   値を超える毎に前記走査の経路順に基準反射率を次の領
   域の基準反射率へと切り換えながら、主測定で得られた
   反射率をその時点での基準反射率と比較して欠陥を検出
   することを特徴とする円盤状記録媒体の欠陥検出方法。
4. 【請求項４】表面の反射率が各領域によって異なる円盤
   状記録媒体の表面の欠陥を検出する円盤状記録媒体の欠
   陥検出装置であって、 前記円盤状記録媒体の全表面を所定の経路に沿って移動
   するビーム状の光で走査し、この光の当該表面における
   反射率を測定する測定手段と、 予め欠陥のない円盤状記録媒体について前記測定手段で
   測定することにより得られる当該円盤状記録媒体の各領
   域の反射率である基準反射率を記憶する記憶手段と、 前記測定手段で得た実時間の測定値であるリアルタイム
   データを所定時間だけ遅らせてたディレイタイムデータ
   を生成する遅延手段と、 前記リアルタイムデータと前記ディレイタイムデータと
   の差からトリガ信号を生成するトリガ発生手段と、 このトリガ発生手段の出力が所定の値を超える毎に記憶
   手段に記憶された各基準反射率を前記走査の経路順に順
   次切り換えて出力させる切換手段と、 測定手段で得た反射率をその時点での基準反射率と比較
   して欠陥を検出する検出手段と、 を備えたことを特徴とする円盤状記録媒体の欠陥検出装
   置。
5. 【請求項５】表面の反射率が各領域によって異なる円盤
   状記録媒体の表面をビーム状の光で走査し、この光の当
   該表面における反射率の変動から表面の欠陥を検出する
   円盤状記録媒体の欠陥検出方法であって、円盤状記録媒
   体の反射率を測定する第１の測定と、この第１の測定と
   は走査の開始位置を変えて当該円盤状記録媒体の反射率
   を測定する第２の測定とを行い、第１の測定によるデー
   タと第２の測定によるデータとの差に基づき欠陥を検出
   することを特徴とする円盤状記録媒体の欠陥検出方法。
6. 【請求項６】表面の反射率が各領域によって異なる円盤
   状記録媒体の表面の欠陥を検出する円盤状記録媒体の欠
   陥検出装置であって、 前記円盤状記録媒体の全表面を所定の経路に沿って移動
   するビーム状の光で走査し、この光の当該表面における
   反射率を測定する測定手段と、 円盤状記録媒体について前記測定手段で反射率を測定す
   ることにより得られた第１の反射率データと、第１の反
   射率データとは走査の開始位置を変えて当該円盤状記録
   媒体の反射率を測定することにより得られた第２の反射
   率データとの差に基づき欠陥を検出する変動分検出手段
   と、 を備えたことを特徴とする円盤状記録媒体の欠陥検出装
   置。
7. 【請求項７】表面の反射率が各領域によって異なる円盤
   状記録媒体の表面をビーム状の光で走査し、この光の当
   該表面における反射率の変動から表面の欠陥を検出する
   円盤状記録媒体の欠陥検出方法であって、前記光の反射
   光を受光する受光素子を少なくとも一対設け、前記円盤
   状記録媒体の表面に欠陥がない場合には両方の受光素子
   に前記反射光が均等に照射され、かつ、表面に欠陥があ
   る場合には一方の受光素子側に前記反射光が偏る位置に
   前記受光素子を配置し、これらの受光素子の出力の差に
   基づいて欠陥を検出することを特徴とする円盤状記録媒
   体の欠陥検出方法。
8. 【請求項８】表面の反射率が各領域によって異なる円盤
   状記録媒体の表面をビーム状の光で走査し、この光の当
   該表面における反射率の変動から表面の欠陥を検出する
   円盤状記録媒体の欠陥検出装置であって、 前記円盤状記録媒体の表面に欠陥がない場合には両方に
   前記反射光が均等に照射され、かつ、表面に欠陥がある
   場合には一方に前記反射光が偏る位置に設けられた少な
   くとも一対の受光素子と、 これらの受光素子の出力の差に基づいて欠陥を検出する
   変動分検出手段と、を備えたことを特徴とする円盤状記
   録媒体の欠陥検出装置。