JPH07183781A - 半導体装置とその駆動装置 - Google Patents

半導体装置とその駆動装置

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JPH07183781A
JPH07183781A JP32296693A JP32296693A JPH07183781A JP H07183781 A JPH07183781 A JP H07183781A JP 32296693 A JP32296693 A JP 32296693A JP 32296693 A JP32296693 A JP 32296693A JP H07183781 A JPH07183781 A JP H07183781A
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gate
overcurrent
sense
switching element
semiconductor device
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JP32296693A
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Shogo Ogawa
省吾 小川
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Fuji Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】半導体装置側に応答性の高い過電流遮断機能を
持たせることにより、駆動装置の回路構成を簡素化す
る。 【構成】半導体装置30が、センス付絶縁ゲ−ト型スイ
ッチング素子1およびゲ−ト直列抵抗5を含み、図示し
ない駆動装置からの駆動信号Vinをゲ−ト直列抵抗を介
して受けてセンス付絶縁ゲ−ト型スイッチング素子1が
スイッチング動作するものにおいて、このセンス付絶縁
ゲ−ト型スイッチング素子に流れる電流Ic をセンス側
で検出する電流検出抵抗23と、センス付絶縁ゲ−ト型
スイッチング素子に流れる過電流を検出抵抗の電圧降下
の変化により検知してオン状態となりセンス付絶縁ゲ−
ト型スイッチング素子にタ−ンオフを指令する非自己消
弧形のゲ−ト制御用素子(サイリスタ)22とを含む過
電流保護回路21を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、センス付IGBT,
センス付MOSFETなどのセンス付絶縁ゲ−ト型スイ
ッチング素子を用いた半導体装置とその駆動装置、こと
にスイッチング素子を過電流から保護する過電流保護回
路を備えた半導体装置およびその駆動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図5は過電流制限回路を有する従来の半
導体装置の構成を簡略化して示す接続図であり、センス
付絶縁ゲ−ト型スイッチング素子としてセンス付IGB
T1を用いた場合を例に示してある。図において、半導
体装置10はセンス付IGBT1と過電流制限回路2と
を一体化した例えばIGBTモジュ−ルとして構成され
る。センス付IGBT1はそのコレクタCがコレクタ端
子Cpに,エミッタEがエミッタ端子Epに,ゲ−トG
がゲ−ト直列抵抗5を介してゲ−ト端子Gpにそれぞれ
接続される。また、センス付IGBT1は主IGBTに
付随して作り込まれた電流センス用エミッタ(以下セン
スと略称する)Sを備える。過電流制限回路2はセンス
付IGBT1のコレクタC−エミッタE間に接続された
電流検出抵抗3、ゲ−ト制御用素子としてのMOSFE
T4、および電圧制御用の抵抗6で構成され、MOSF
ET4のドレインdは電圧制御用の抵抗6を介してセン
ス付IGBT1のゲ−トGに接続され、ゲ−トgおよび
ソ−スsは電流検出抵抗3の両端にゲ−トgを上流側に
して接続される。なお、電圧制御用の抵抗6の代わりに
ダイオ−ド,ツェナ−ダイオ−ドなどを用いたものも知
られている。
【0003】図6は従来の半導体装置の動作を示すタイ
ムチャ−トであり、半導体装置10の端子Gp-Ep 間に
図示しない駆動回路から印加される駆動電圧Vinが時刻
t1−t2 間でHigh レベルの電圧Vonに上昇すると、
MOSFET1のゲ−トGにはゲ−ト直列抵抗5を介し
てゲ−ト電圧VG が印加され、MOSFET1が導通状
態となってコレクタ−エミッタ間電圧Vceが低下すると
ともに、図示しない負荷回路のインピ−ダンスに対応し
たコレクタ電流Ic が流れる。このとき、電流検出抵抗
3の電圧降下がMOSFET4のゲ−トしきい値を越え
ないよう設定しておけば、MOSFET4はオフ状態と
なり、過電流制限回路10は動作せず、負荷電流Ic の
スイッチングが行われる。このような状態で、負荷回路
の故障などによってコレクタCに過電流が発生すると、
これに比例してセンスSに流れる電流が急増し、これに
伴って電流検出抵抗3の電圧降下が急増するため、この
電圧降下がMOSFET4のゲ−トしきい値を越えた時
点でMOSFET4がオンするので、MOSFET1の
ゲ−ト電圧Vg は、ゲ−トオン電圧Vonをゲ−ト直列抵
抗値Rg と電圧制御用抵抗値Rc とで分圧したゲ−ト電
圧Vg =Von(Rc/Rg +Rc )に低下することにな
り、これに伴ってMOSFET1に流れる過電流Icoが
許容レベルに制限される。
【0004】図7は従来の半導体装置とその駆動装置の
構成を簡略化して示す接続図であり、駆動装置20は半
導体装置10と別体に形成されて端子Gp およびEp を
介して半導体装置10に接続される。駆動装置20は、
ANDゲ−ト11A,スイッチング素子11B,および
出力用ホトカプラ11Cからなる入力回路11、および
出力用ホトカプラ11Cによって入力回路11と電気的
に絶縁されて駆動電圧Vinを発生するゲ−ト駆動回路1
2とで構成されるMOSFET1の駆動回路部と、過電
流検出回路13,ラッチ回路14,および遮断指令回路
15からなり、過電流制限回路2の動作時にMOSFE
T1に生ずるゲ−ト電圧VG の低下を過電流検出回路1
3で検出し、ラッチ回路14でこの信号を保持し、保持
した出力信号によって遮断指令回路15のnpnトラン
ジスタ15Aをオンし、センス付IGBTのゲ−ト電圧
VG をそのしきい値以下に強制的に低下させて過電流の
遮断を指令する過電流遮断回路部分とを備え、かつ、ラ
ッチ回路14の出力保持信号を抵抗16Aを介して受け
てアラ−ム信号Armをホトカプラ16Bの二次側に出力
するアラ−ム発生回路16を備え、アラ−ム信号をノッ
トゲ−ト16Cで反転して入力回路11のANDゲ−ト
11Aに加えることにより、過電流の遮断と併せて入力
回路11への制御信号の入力をも阻止するよう構成され
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体装置10
において、過電流制限回路2によってゲ−ト電圧VG を
センス付IGBT1のゲ−トしきい値以下に強制的に下
げて過電流を遮断したと仮定する。このとき、センス付
IGBT1が過電流を遮断する際、そのC−E間に過電
圧Vcep が発生し、この過電圧が回路の浮遊インダクタ
ンスとの共振によって振動するため、過電流Icoにも脈
動が発生し、これに伴って電流検出抵抗3の電圧降下も
脈動する。その結果、この電圧降下の脈動を検知したM
OSFET4がそのしきい値を越える度に動作し、セン
ス付IGBT1が過電流の遮断を繰り返すことになり、
その都度過電圧サ−ジVcep が発生してMOSFET1
を損傷する危険性が高まるという問題がある。そこで、
上記問題を回避するため従来の過電流制限回路2では過
電流の抑制のみを行い、駆動装置20側に過電流検出回
路13,ラッチ回路14,および遮断指令回路15から
なる過電流遮断制御部を設け、過電流の発生を瞬間的に
ラッチして、電流検出抵抗3の電圧降下の脈動に関係な
く過電流を短時間のうちに遮断し、センス付IGBT1
の過電流保護を行うよう構成されている。このため、駆
動装置20は過電流検出回路13,ラッチ回路14,お
よび遮断指令回路15からなる過電流遮断制御部を必要
とすることになり、駆動装置20の回路構成の複雑化を
招くという問題がある。
【0006】この発明の目的は、半導体装置側に応答性
の高い過電流遮断機能を持たせることにより、駆動装置
の回路構成を簡素化することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明によれば、センス付絶縁ゲ−ト型スイッチ
ング素子、およびゲ−ト直列抵抗を含み、駆動装置から
のオンオフ駆動信号をゲ−ト直列抵抗を介して受けて前
記センス付絶縁ゲ−ト型スイッチング素子がスイッチン
グ動作するものにおいて、このセンス付絶縁ゲ−ト型ス
イッチング素子に流れる電流をセンス側で検出する電流
検出抵抗と、前記センス付絶縁ゲ−ト型スイッチング素
子に流れる過電流を前記検出抵抗の電圧降下の変化によ
り検知してオン状態となりセンス付絶縁ゲ−ト型スイッ
チング素子にタ−ンオフを指令する非自己消弧形のゲ−
ト制御用素子とを含む過電流保護回路を備えてなるもの
とする。
【0008】非自己消弧形のゲ−ト制御用素子がサイリ
スタからなり、そのアノ−ドをセンス付絶縁ゲ−ト型ス
イッチング素子のゲ−ト電極側に,そのゲ−トを入力抵
抗を介して電流検出抵抗の上流側に,そのカソ−ドを電
流検出抵抗の下流側にそれぞれ接続してなるものとす
る。過電流保護回路がセンス付絶縁ゲ−ト型スイッチン
グ素子のゲ−ト電極とゲ−ト制御用素子との間に電流制
限手段を備えてなるものとする。
【0009】過電流保護回路が過電流を検知してゲ−ト
制御用素子がオン状態となったことを報知するLowレベ
ルの自己保持信号の出力端子を備えてなるものとする。
半導体装置の自己保持信号の出力端子を介してLowレベ
ルの自己保持信号を受け、Hレベルのアラ−ム信号を発
するアラ−ム信号発生回路を駆動装置側に備えてなるも
のとする。
【0010】
【作用】この発明において、非自己消弧形のゲ−ト制御
用素子が、センス付絶縁ゲ−ト型スイッチング素子に生
じた過電流を、そのセンス側に設けた電流検出抵抗の電
圧降下の急増により検知してオン状態となり、センス付
絶縁ゲ−ト型スイッチング素子にタ−ンオフを指令する
よう構成したことにより、電流検出抵抗の電圧降下の急
増により一旦オン状態となった非自己消弧形のゲ−ト制
御用素子は、このオン状態を自己保持(ラッチ)し、例
えばセンス付絶縁ゲ−ト型スイッチング素子のゲ−ト電
圧をそのしきい値以下に低減してタ−ンオフする指令を
持続して発生するので、センス付絶縁ゲ−ト型スイッチ
ング素子に生じた過電流をその脈動に関係なく即時に遮
断し、センス付絶縁ゲ−ト型スイッチング素子を過電流
から保護する機能が得られる。その結果、駆動装置側に
従来必要とした過電流検出回路,ラッチ回路,および遮
断指令回路などの過電流遮断回路部が不要になり、駆動
装置の構成を簡素化する機能が得られる。
【0011】また、非自己消弧形のゲ−ト制御用素子と
して自己消弧形を持たないサイリスタを用い、そのアノ
−ドをセンス付絶縁ゲ−ト型スイッチング素子のゲ−ト
電極側に,そのゲ−トを入力抵抗を介して電流検出抵抗
の上流側に,そのカソ−ドを電流検出抵抗の下流側にそ
れぞれ接続するよう構成すれば、サイリスタの持つオン
状態の自己保持機能を利用して、センス付絶縁ゲ−ト型
スイッチング素子のゲ−ト電圧をそのしきい値以下に低
減し、この状態を安定して保持できるので、センス付絶
縁ゲ−ト型スイッチング素子に生じた過電流をその脈動
に関係なく遮断する機能を有する半導体装置を得ること
ができる。
【0012】さらに、過電流保護回路がセンス付絶縁ゲ
−ト型スイッチング素子のゲ−ト電極とゲ−ト制御用素
子としてのサイリスタのアノ−ドとの間に電流制限手段
を備えるよう構成すれば、ゲ−ト制御用素子が過電流を
感知してオンしたとき、センス付絶縁ゲ−ト型スイッチ
ング素子のゲ−ト電極からゲ−ト制御用素子に向けて流
れる電流を抑制し、ゲ−ト電圧の低下速度を緩慢にする
ことになり、センス付絶縁ゲ−ト型スイッチング素子に
よる過電流の減少速度を緩和するので、過電流を遮断す
ることによってスイッチング素子に生ずる過電圧サ−ジ
を抑制し、過電圧サ−ジによる素子破壊の危険性を回避
する機能が得られる。
【0013】さらにまた、過電流保護回路が過電流を検
知してゲ−ト制御用素子がオン状態となったことを報知
するLowレベルの自己保持信号の出力端子を半導体装置
が側に備え、かつ、この出力端子を介してLowレベルの
自己保持信号を受け、Highレベルのアラ−ム信号を発
するアラ−ム信号発生回路を駆動装置側に備えるよう構
成すれば、このアラ−ム信号を報知信号およびトリップ
信号として半導体装置を含む電気系統の保護処置を行う
ことができる。
【0014】
【実施例】以下、この発明を実施例に基づいて説明す
る。図1はこの発明の実施例になる半導体装置の構成を
簡略化して示す接続図であり、従来技術と同じ構成部分
には同一参照符号を付すことにより、重複した説明を省
略する。図において、半導体装置30はセンス付絶縁ゲ
−ト型スイッチング素子としてのセンス付IGBT1の
過電流保護回路21として、センスS−エミッタE間に
接続された電流検出抵抗23と、非自己消弧形のゲ−ト
制御用素子としてのサイリスタ22とを備え、サイリス
タ22のアノ−ドをセンス付IGBT1のゲ−ト電極G
側に,そのゲ−トgを入力抵抗24を介して電流検出抵
抗23の上流側(センスS側)に,そのカソ−ドを電流
検出抵抗23の下流側(エミッタE側)にそれぞれ接続
するとともに、サイリスタ22のアノ−ドを自己保持信
号の出力端子25に接続するよう構成される。
【0015】このような過電流保護回路21を備えた半
導体装置30において、センス付IGBT1に流れる負
荷電流Ic は電流検出抵抗23の電圧降下としてサイリ
スタ22によって監視される。過電流Icoが発生して電
流検出抵抗23の電圧降下がサイリスタ22のゲ−ト電
圧のしきい値を越えると、サイリスタ22はタ−ンオン
し、自己保持機能により導通状態を持続するので、セン
ス付IGBT1のゲ−ト電圧VG が低下し、ゲ−ト電圧
VG がセンス付IGBT1のゲ−ト電圧VG のしきい値
以下に低下するとセンス付IGBT1はタ−ンオフし、
過電流Icoを遮断する。また、浮遊インダクタンスとの
共振によって過電流Icoに脈動が発生しても、電流検出
抵抗23の電圧降下によって過電流Icoの脈動を検知し
たサイリスタ22はそのオン状態を自己保持機能によっ
て保持するので、従来の過電流制限回路2で問題になっ
た過電流Icoの脈動がMOSFETのしきい値を越える
度に動作して過電流の遮断を繰り返し、その都度過電圧
サ−ジが発生する事態を回避できる。このため、過電流
の遮断機能を半導体装置30に持たせることが可能とな
り、これを回避するために駆動装置側に従来設けた過電
流検出回路,ラッチ回路,および遮断指令回路などの過
電流遮断回路部が不要になり、駆動装置の構成を簡素化
し,小型化できる利点が得られる。
【0016】図2はこの発明の異なる実施例になる半導
体装置の構成を簡略化して示す接続図であり、半導体装
置40の過電流保護回路31がセンス付IGBT1のゲ
−トGとゲ−ト制御用素子としてのサイリスタ22のア
ノ−ドとの間に、直列抵抗32および33からなる電流
制限手段34を備えた点が前述の過電流保護回路21と
異なっている。このように構成された過電流保護回路3
1を備えた半導体装置40においては、ゲ−ト制御用素
子としてのサイリスタ22が過電流を感知してオンした
とき、センス付IGBT1のゲ−トGからサイリスタ2
2のアノ−ドに向けて流れる電流を電流制限手段34が
抑制し、ゲ−ト電圧VG の低下速度を緩慢にすることに
なり、センス付IGBT1による過電流の減少速度を緩
和するので、過電流を遮断することによってスイッチン
グ素子に生ずる過電圧サ−ジを抑制し、過電圧サ−ジに
よる素子破壊の危険性を回避できる利点が得られる。
【0017】図3はこの発明の実施例における過電流の
遮断状況を示すタイムチャ−トであり、半導体装置30
を実施例1として図中実線波形で、半導体装置40を実
施例2として図中破線波形でそれぞれ過電流の遮断状況
を示している。図において、駆動装置からの駆動信号V
inが時刻t1 でHigh レベルのVonとなり、ゲ−ト直列
抵抗5を介してセンス付IGBT1のゲ−トにしきい値
を越えるゲ−ト電圧VG が印加され、センス付IGBT
1がオンしてそのコレクタ−エミッタ間電圧Vceが零近
くに低下すると同時に、過電流Icoが発生したと仮定す
る。実施例1,2ともに過電流Icoは電流検出抵抗23
によって検出され、その電圧降下がサイリスタ22のタ
−ンオン電圧を越えた時点でサイリスタ22がオンし、
ゲ−ト電圧VG が低下する。このとき、電流制限手段を
持たない実施例1ではゲ−ト電圧VG の低下が急速であ
り、時刻t1 でゲ−ト電圧VG がしきい値に低下してセ
ンス付IGBT1がオフして過電流を遮断する。これに
対して電流制限手段34を有する実施例2においては、
ゲ−ト電圧VG がしきい値に低下する時刻をt3 時点ま
で遅延できるので、t3 時点でセンス付IGBT1が遮
断する過電流の大きさが小さくなり、過電流の遮断時に
センス付IGBT1のコレクタ−エミッタ間に生ずる過
電圧Vcep が実施例1に比べて大幅に低減され、過電圧
サ−ジによる素子破壊の危険性を回避することができ
る。
【0018】図4はこの発明の他の実施例になる半導体
装置の駆動装置の構成を簡略化して示す接続図であり、
半導体装置30または40が過電流を遮断するセンス付
IGBTの過電流保護回路21または31を有すること
により、従来の駆動装置20で必要とした過電流検出回
路13,ラッチ回路14,およびオフ指令回路15など
の過電流遮断回路部が不要になり、駆動装置50を制御
信号の入力回路11と、ゲ−ト駆動回路12だけの回路
構成に簡素化することができる。
【0019】また、過電流保護回路21または31が過
電流を検知してサイリスタ22がオン状態となったこと
を報知するLowレベルの自己保持信号の出力端子25を
半導体装置30または40側に設け、かつ、この出力端
子25を介してLowレベルの自己保持信号をpnpトラ
ンジスタ52のベ−ス側に受け、High レベルのアラ−
ム信号をホトカプラ54の二次側に発生するアラ−ム信
号発生回路56を駆動装置側に備えるよう構成すれば、
過電流保護回路のサイリスタ22が過電流を感知して発
するLowレベルの自己保持信号により、アラ−ム信号発
生回路56を直接駆動してアラ−ムを発生することが可
能になる。
【0020】このように、制御信号の入力回路11,ゲ
−ト駆動回路12,およびアラ−ム信号発生回路56で
構成される駆動装置50、および過電流保護回路を備え
た半導体装置30または40は、回路の構成が簡素で素
子数が少なく,回路の集積化(IC化)が容易であり、
この集積回路を用いてインテリジェント・パワ−モジュ
−ル(IPM)を構成することを容易化できる利点が得
られる。
【0021】なお、センス付絶縁ゲ−ト型スイッチング
素子として、センス付IGBTの他にセンスMOSFE
Tを用いることが可能であり、また、非自己消弧形ゲ−
ト制御素子22にはサイリスタの他にラッチ機能を持つ
半導体素子を用いてもよい。さらに、この発明の実施例
になる半導体装置30または40を1チップ化するよう
構成すれば、過電流保護機能および報知信号出力付きの
IGBTモジュ−ルとして構成できる利点が得られる。
【0022】
【発明の効果】この発明は前述のように、センス付絶縁
ゲ−ト型スイッチング素子の過電流保護回路を、センス
に接続されて過電流を検出する電流検出抵抗と、この電
流検出抵抗の電圧降下の変化により過電流を検知してオ
ン状態となりセンス付絶縁ゲ−ト型スイッチング素子に
タ−ンオフを指令する非自己消弧形のゲ−ト制御用素
子,例えばサイリスタとで構成した。その結果、例えば
サイリスタのオン状態の自己保持機能を利用し、過電流
の脈動などに係わりなく短時間で過電流を遮断してセン
ス付絶縁ゲ−ト型スイッチング素子の過電流保護を行え
るとともに、電流制限手段を付加することによって過電
圧サ−ジの抑制機能を持ち、かつサイリスタのオンオフ
を信号源とする過電流報知機能を有する半導体装置を提
供することができる。また、半導体装置に過電流の遮断
機能を持たせることが可能になったことにより、従来駆
動装置側に必要とした過電流検出回路,ラッチ回路,お
よび遮断指令回路が不要となり、駆動装置の構成を大幅
に簡素化できるので、半導体装置およびその駆動装置を
経済的にも有利に提供できる利点が得られる。さらに、
回路構成の簡素化により駆動装置,および過電流保護回
路を含む半導体装置の集積化を容易化できるので、これ
らの集積回路を用いてインテリジェント・パワ−モジュ
−ルを構成することを可能にする利点が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例になる半導体装置の構成を簡
略化して示す接続図
【図2】この発明の異なる実施例になる半導体装置の構
成を簡略化して示す接続図
【図3】この発明の実施例における過電流の遮断状況を
示すタイムチャ−ト
【図4】この発明の他の実施例になる半導体装置の駆動
装置の構成を簡略化して示す接続図
【図5】過電流制限回路を有する従来の半導体装置の構
成を簡略化して示す接続図
【図6】従来の半導体装置の動作を示すタイムチャ−ト
【図7】従来の半導体装置とその駆動装置の構成を簡略
化して示す接続図
【符号の説明】
1 センス付絶縁ゲ−ト型スイッチング素子(センス
付IGBT) 2 過電流制限回路 3 電流検出抵抗 4 ゲ−ト制御用素子(MOSFET) 5 ゲ−ト直列抵抗 10 半導体装置 11 入力回路 12 ゲ−ト駆動回路 13 過電流検出回路 14 ラッチ回路 15 遮断指令回路 16 アラ−ム発生回路 20 駆動装置 21 過電流保護回路 22 非自己消弧形ゲ−ト制御素子(サイリスタ) 23 電流検出抵抗 24 入力抵抗 25 自己保持信号出力端子 30 半導体装置 31 過電流保護回路 34 電流制限手段 40 半導体装置 50 駆動装置 52 pnpトランジスタ 54 ホトカプラ 56 アラ−ム発生回路 Vin 入力電圧 VG ゲ−ト電圧 VCE コレクタ−エミッタ間電圧 VCEP 過電圧サ−ジ IC コレクタ電流(負荷電流) Ico 過電流 CP コレクタ端子 EP エミッタ端子 GP ゲ−ト端子

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】センス付絶縁ゲ−ト型スイッチング素子、
    およびゲ−ト直列抵抗を含み、駆動装置からのオンオフ
    駆動信号をゲ−ト直列抵抗を介して受けて前記センス付
    絶縁ゲ−ト型スイッチング素子がスイッチング動作する
    ものにおいて、このセンス付絶縁ゲ−ト型スイッチング
    素子に流れる電流をセンス側で検出する電流検出抵抗
    と、前記センス付絶縁ゲ−ト型スイッチング素子に流れ
    る過電流を前記電流検出抵抗の電圧降下の変化により検
    知してオン状態となりセンス付絶縁ゲ−ト型スイッチン
    グ素子にタ−ンオフを指令する非自己消弧形のゲ−ト制
    御用素子とを含む過電流保護回路を備えてなることを特
    徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】非自己消弧形のゲ−ト制御用素子がサイリ
    スタからなり、そのアノ−ドをセンス付絶縁ゲ−ト型ス
    イッチング素子のゲ−ト電極側に,そのゲ−トを入力抵
    抗を介して電流検出抵抗の上流側に,そのカソ−ドを電
    流検出抵抗の下流側にそれぞれ接続してなることを特徴
    とする請求項1記載の半導体装置。
  3. 【請求項3】過電流保護回路がセンス付絶縁ゲ−ト型ス
    イッチング素子のゲ−ト電極とゲ−ト制御用素子との間
    に電流制限手段を備えてなることを特徴とする請求項1
    または請求項2のいずれかに記載の半導体装置。
  4. 【請求項4】過電流保護回路が過電流を検知してゲ−ト
    制御用素子がオン状態となったことを報知するLowレベ
    ルの自己保持信号の出力端子を備えてなることを特徴と
    する請求項1記載の半導体装置。
  5. 【請求項5】半導体装置の自己保持信号の出力端子を介
    してLowレベルの自己保持信号を受け、Hレベルのアラ
    −ム信号を発するアラ−ム発生回路を備えてなることを
    特徴とする請求項1または請求項4のいずれかに記載の
    半導体装置の駆動装置。
JP32296693A 1993-12-22 1993-12-22 半導体装置とその駆動装置 Pending JPH07183781A (ja)

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