JPH07187803A - グリーンシートの製造方法 - Google Patents
グリーンシートの製造方法Info
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- JPH07187803A JPH07187803A JP5330671A JP33067193A JPH07187803A JP H07187803 A JPH07187803 A JP H07187803A JP 5330671 A JP5330671 A JP 5330671A JP 33067193 A JP33067193 A JP 33067193A JP H07187803 A JPH07187803 A JP H07187803A
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- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims abstract description 9
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 乾燥前のグリーンシート（泥漿状態）の厚さ
にバラツキがあっても、乾燥後では膜厚にバラツキのな
い厚さの均一なグリーンシートを得ること。 【構成】 ドクターブレード１より塗工されたキャリア
フィルム３上のグリーンシート（泥漿状態）４ａを、乾
燥炉５内において上下より押圧回転する一対のローラー
６によにって、グリーンシート厚さを一定に制御する機
構を設けた。
にバラツキがあっても、乾燥後では膜厚にバラツキのな
い厚さの均一なグリーンシートを得ること。 【構成】 ドクターブレード１より塗工されたキャリア
フィルム３上のグリーンシート（泥漿状態）４ａを、乾
燥炉５内において上下より押圧回転する一対のローラー
６によにって、グリーンシート厚さを一定に制御する機
構を設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、積層セラミックコンデ
ンサなどのグリーンシート製造方法に関し、特にグリー
ンシートの厚さ制御に関する。
ンサなどのグリーンシート製造方法に関し、特にグリー
ンシートの厚さ制御に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術を図７を参照して説明する。
【０００３】特開平３−１０６６０５号公報には、原料
粉末、溶剤およびバインダー材を含む泥漿液２を一定の
隙間から連続的に引き出して、これを強制加熱すること
により、半乾き状の帯状グリーンシート４ｂを形成する
製造工法が開示されている。
粉末、溶剤およびバインダー材を含む泥漿液２を一定の
隙間から連続的に引き出して、これを強制加熱すること
により、半乾き状の帯状グリーンシート４ｂを形成する
製造工法が開示されている。
【０００４】これは、原料粉末、溶剤およびバインダー
材を分散させてなる比較的粘りのある泥漿液２がキャリ
アフィルム３上に設けたドクターブレード１の所定の隙
間から連続的に塗工され、所定の厚みと所定の幅をもっ
た帯状の未乾燥のグリーンシート４ａを形成する。次に
キャリアフィルム３とキャリアフィルム３上の未乾燥の
グリーンシート４ａは乾燥炉５内をそのまま移動し、そ
の間に泥漿液中の溶剤の一部が強制的に気化放散されて
ある程度の柔軟性を有してケーキ状の帯状固形物となっ
たグリーンシート４ｃを形成する。
材を分散させてなる比較的粘りのある泥漿液２がキャリ
アフィルム３上に設けたドクターブレード１の所定の隙
間から連続的に塗工され、所定の厚みと所定の幅をもっ
た帯状の未乾燥のグリーンシート４ａを形成する。次に
キャリアフィルム３とキャリアフィルム３上の未乾燥の
グリーンシート４ａは乾燥炉５内をそのまま移動し、そ
の間に泥漿液中の溶剤の一部が強制的に気化放散されて
ある程度の柔軟性を有してケーキ状の帯状固形物となっ
たグリーンシート４ｃを形成する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このようにして製造さ
れたグリーンシート４ｃを用いた製品の一つとして積層
セラミックコンデンサ１３がある。積層セラミックコン
デンサ１３では、グリーンシート４ｃの膜厚が電気容
量、絶縁性などの製品々質を決めるためグリーンシート
４ｃの厚みが均一であることが重要である。
れたグリーンシート４ｃを用いた製品の一つとして積層
セラミックコンデンサ１３がある。積層セラミックコン
デンサ１３では、グリーンシート４ｃの膜厚が電気容
量、絶縁性などの製品々質を決めるためグリーンシート
４ｃの厚みが均一であることが重要である。
【０００６】しかし上記の従来工法では、キャリアフィ
ルム３に対するドクターブレード１の隙間を精度よく平
行に合わせることが困難なうえ、その隙間から連続的に
引き出される未乾燥グリーンシート４ａの厚みも時間で
変化するため乾燥後のグリーンシート４ｃの膜厚に１μ
ｍ前後のバラツキが生じてくる。積層セラミックコンデ
ンサ１３では所定の大きさに切断したグリーンシート４
ｃに内部電極１０を印刷し、複数枚重ね合わせて積層体
１１を得るため、グリーンシート４ｃの膜厚差（図４
（ｂ））により、グリーンシート４ｃが斜めにズレて積
層され、内部電極１０の位置もズレた（図５（ｂ））の
積層体１１となってしまう。この積層体１１をチップ状
に切断した際、図６（ｂ）に示すようなチップ１２とな
り、内部電極１０より、コンデンサ端面までの誘電体層
の距離が不足し、絶縁不良を起こしていた。
ルム３に対するドクターブレード１の隙間を精度よく平
行に合わせることが困難なうえ、その隙間から連続的に
引き出される未乾燥グリーンシート４ａの厚みも時間で
変化するため乾燥後のグリーンシート４ｃの膜厚に１μ
ｍ前後のバラツキが生じてくる。積層セラミックコンデ
ンサ１３では所定の大きさに切断したグリーンシート４
ｃに内部電極１０を印刷し、複数枚重ね合わせて積層体
１１を得るため、グリーンシート４ｃの膜厚差（図４
（ｂ））により、グリーンシート４ｃが斜めにズレて積
層され、内部電極１０の位置もズレた（図５（ｂ））の
積層体１１となってしまう。この積層体１１をチップ状
に切断した際、図６（ｂ）に示すようなチップ１２とな
り、内部電極１０より、コンデンサ端面までの誘電体層
の距離が不足し、絶縁不良を起こしていた。
【０００７】またドクターブレード１から引き出された
未乾燥のグリーンシート４ａには若干の気泡が介在する
場合があり、乾燥したグリーンシート４ｃ成形後にもグ
リーンシート４ｃ中にピンホール９として残り、積層セ
ラミックコンデンサ１３の耐電圧となる絶縁性を著しく
劣化させていた。
未乾燥のグリーンシート４ａには若干の気泡が介在する
場合があり、乾燥したグリーンシート４ｃ成形後にもグ
リーンシート４ｃ中にピンホール９として残り、積層セ
ラミックコンデンサ１３の耐電圧となる絶縁性を著しく
劣化させていた。
【０００８】積層セラミックコンデンサ１３では小形高
容量化傾向の中で、グリーンシートの薄膜化と多積層化
が望まれ、以上述べた積層体の傾きと絶縁性の２つの問
題が特に２０μｍ以下のグリーンシート４ｃ厚では影響
が顕著である。
容量化傾向の中で、グリーンシートの薄膜化と多積層化
が望まれ、以上述べた積層体の傾きと絶縁性の２つの問
題が特に２０μｍ以下のグリーンシート４ｃ厚では影響
が顕著である。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、かかる
従来欠点を解決したグリーンシートの製造方法を提供す
ることにある。
従来欠点を解決したグリーンシートの製造方法を提供す
ることにある。
【００１０】本発明によるグリーンシートの製造方法は
キャリアフィルム上に一定の隙間を設けたドクターブレ
ードを配し、その隙間より原料粉末、溶剤およびバイン
ダー材を混合、分散した泥漿液を連続的に塗工し、その
塗工された前記泥漿液をを乾燥炉内を通して乾燥させ、
グリーンシートを形成する工程において、乾燥炉内にあ
ってキャリアフィルムとグリーンシートを上下より押圧
回転する一対のローラーにて、上記キャリアフィルム上
のグリーンシートを圧延することを特徴として構成され
る。また上記一対のローラーの上側ローラーにキャリア
フィルムの両端に接し、グリーンシート厚み分の突起を
設けたことを特徴としている。さらに上記一対のローラ
ーを複数列有し、段階的に圧延することを特徴としてい
る。
キャリアフィルム上に一定の隙間を設けたドクターブレ
ードを配し、その隙間より原料粉末、溶剤およびバイン
ダー材を混合、分散した泥漿液を連続的に塗工し、その
塗工された前記泥漿液をを乾燥炉内を通して乾燥させ、
グリーンシートを形成する工程において、乾燥炉内にあ
ってキャリアフィルムとグリーンシートを上下より押圧
回転する一対のローラーにて、上記キャリアフィルム上
のグリーンシートを圧延することを特徴として構成され
る。また上記一対のローラーの上側ローラーにキャリア
フィルムの両端に接し、グリーンシート厚み分の突起を
設けたことを特徴としている。さらに上記一対のローラ
ーを複数列有し、段階的に圧延することを特徴としてい
る。
【００１１】
【実施例】つぎに、本発明の実施例について図面を用い
て説明する。
て説明する。
【００１２】図１は、本発明の第１の実施例をグリーン
シート形成装置の斜視概略図であり、その構成について
説明する。図示はしていないがキャリアフィルム３は、
ロールツーロール、つまりロール状に巻かれたキャリア
フィルム３を引き出して、左から右へ搬送し、またロー
ル状に巻取られる。まず、巻出しロールから引き出され
たキャリアフィルム３上にドクターブレード１を配設す
る。ドクターブレード１は、泥漿液２を溜める底の無い
槽形状で、キャリアフィルム３の搬送方向の後端側の側
板が昇降し、キャリアフィルム３上にドクターブレード
を置いたとき一定の間隙ができるようになっている。キ
ャリアフィルム搬送方向のつぎには、乾燥炉５が配設さ
れる。乾燥炉５の左右の側壁にはキャリアフィルム３が
通過する開口部があり、乾燥炉５中ではキャリアフィル
ム３が撓まないよう支持している。このキャリアフィル
ム３を支える支持体と同水平位置に膜厚調整ローラー６
ｂを、キャリアフィルム３を挟んでその上方に膜厚調整
ローラー６ａを配す。この膜厚調整ローラー６ａ、６ｂ
は、キャリアフィルム３の搬送に同期した速度で、同方
向に回転し、かつ両ローラーの間隔は任意に平行度が１
μｍ以下で設定できる。また、乾燥炉５はキャリアフィ
ルム３の搬送方向において段階的な乾燥状態が得られる
ように、いくつかの温度設定ができるゾーンを有してい
る。乾燥炉５を出たキャリアフィルム３は前述の通り、
ロールに巻取られる。
シート形成装置の斜視概略図であり、その構成について
説明する。図示はしていないがキャリアフィルム３は、
ロールツーロール、つまりロール状に巻かれたキャリア
フィルム３を引き出して、左から右へ搬送し、またロー
ル状に巻取られる。まず、巻出しロールから引き出され
たキャリアフィルム３上にドクターブレード１を配設す
る。ドクターブレード１は、泥漿液２を溜める底の無い
槽形状で、キャリアフィルム３の搬送方向の後端側の側
板が昇降し、キャリアフィルム３上にドクターブレード
を置いたとき一定の間隙ができるようになっている。キ
ャリアフィルム搬送方向のつぎには、乾燥炉５が配設さ
れる。乾燥炉５の左右の側壁にはキャリアフィルム３が
通過する開口部があり、乾燥炉５中ではキャリアフィル
ム３が撓まないよう支持している。このキャリアフィル
ム３を支える支持体と同水平位置に膜厚調整ローラー６
ｂを、キャリアフィルム３を挟んでその上方に膜厚調整
ローラー６ａを配す。この膜厚調整ローラー６ａ、６ｂ
は、キャリアフィルム３の搬送に同期した速度で、同方
向に回転し、かつ両ローラーの間隔は任意に平行度が１
μｍ以下で設定できる。また、乾燥炉５はキャリアフィ
ルム３の搬送方向において段階的な乾燥状態が得られる
ように、いくつかの温度設定ができるゾーンを有してい
る。乾燥炉５を出たキャリアフィルム３は前述の通り、
ロールに巻取られる。
【００１３】つぎに、作用について同図を用いて説明す
る。上記状態でドクターブレード１に泥漿２を入れキャ
リアフィルム３を搬送させると、ドクターブレード１の
隙間分だけキャリアフィルム３上に未乾燥状態のグリー
ンシート４ａが塗工される。グリーンシート４ａは乾燥
炉５の中に入り設定された温度勾配で乾燥されるが、グ
リーンシート４の表面が若干乾いて物が接触しても付着
しない乾燥位置に配した膜厚調整ローラー６ａ、６ｂ
で、グリーンシートを回転押圧して圧延する。こうして
０．５μｍ以下のバラツキで厚みの均一なグリーンシー
ト４ｃが得られる。
る。上記状態でドクターブレード１に泥漿２を入れキャ
リアフィルム３を搬送させると、ドクターブレード１の
隙間分だけキャリアフィルム３上に未乾燥状態のグリー
ンシート４ａが塗工される。グリーンシート４ａは乾燥
炉５の中に入り設定された温度勾配で乾燥されるが、グ
リーンシート４の表面が若干乾いて物が接触しても付着
しない乾燥位置に配した膜厚調整ローラー６ａ、６ｂ
で、グリーンシートを回転押圧して圧延する。こうして
０．５μｍ以下のバラツキで厚みの均一なグリーンシー
ト４ｃが得られる。
【００１４】図２は、本発明の第２の実施例を示す概略
斜視図である。
斜視図である。
【００１５】第２の実施例では、グリーンシート４と接
触する膜厚調整ローラー６ａの両端に、グリーンシート
４の厚みに相当する高さの突起部７を設けたものであ
る。グリーンシートの厚み調整がローラー間の間隙変更
でできる第１の実施例に比べ、突起部７の高さで決まる
ため厚みの汎用性で劣るが、キャリアフィルム３をしっ
かり押さえた状態で圧延できるので、更にグリーンシー
ト厚が均一にできる。
触する膜厚調整ローラー６ａの両端に、グリーンシート
４の厚みに相当する高さの突起部７を設けたものであ
る。グリーンシートの厚み調整がローラー間の間隙変更
でできる第１の実施例に比べ、突起部７の高さで決まる
ため厚みの汎用性で劣るが、キャリアフィルム３をしっ
かり押さえた状態で圧延できるので、更にグリーンシー
ト厚が均一にできる。
【００１６】図３は、本発明の第３の実施例を示す概略
斜視図である。
斜視図である。
【００１７】第３の実施例では、第１及び第２の実施例
のローラーｂを乾燥炉５において複数列設置しており、
グリーンシート４ｃの膜厚バラツキの大きいものが、段
階的に圧延修正できる利点がある。
のローラーｂを乾燥炉５において複数列設置しており、
グリーンシート４ｃの膜厚バラツキの大きいものが、段
階的に圧延修正できる利点がある。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のグリーン
シートの製造方法によると乾燥炉５内でグリーンシート
が生乾きの状態４ｂ（グリーンシートの表面のみが乾燥
している状態）の時に、設定膜厚分のギャップをもった
一対のローラー６にてグリーンシート４ｂを圧延してい
るため、ドクターブレード１から引き出された未乾燥グ
リーンシート４ａの厚みが均一でなくても乾燥後のグリ
ーンシート４ｃの膜厚がサブミクロンで一定に保たれ、
後の積層工程において膜厚差があるために生じる斜め積
層は改善される。
シートの製造方法によると乾燥炉５内でグリーンシート
が生乾きの状態４ｂ（グリーンシートの表面のみが乾燥
している状態）の時に、設定膜厚分のギャップをもった
一対のローラー６にてグリーンシート４ｂを圧延してい
るため、ドクターブレード１から引き出された未乾燥グ
リーンシート４ａの厚みが均一でなくても乾燥後のグリ
ーンシート４ｃの膜厚がサブミクロンで一定に保たれ、
後の積層工程において膜厚差があるために生じる斜め積
層は改善される。
【００１９】またドクターブレード１より泥漿液２の吐
出量が目標の膜厚よりも厚く引かれているため、ピンホ
ール９等が発生してもローラー６で圧延され、ピンホー
ル数が低減するという製品々質に多大な効果を有する。
出量が目標の膜厚よりも厚く引かれているため、ピンホ
ール９等が発生してもローラー６で圧延され、ピンホー
ル数が低減するという製品々質に多大な効果を有する。
【図１】本発明の第一の実施例を示すグリーンシート形
成装置の概略斜視図。
成装置の概略斜視図。
【図２】図１のローラー圧延部の拡大斜視図。
【図３】本発明の第３の実施例を示すグリーンシート形
成装置の概略斜視図。
成装置の概略斜視図。
【図４】（ａ）膜厚が均一なグリーンシートの斜視図 （ｂ）膜厚に差が生じたグリーンシートの斜視図 （ｃ）ピンホールがあるグリーンシートの斜視図
【図５】（ａ）斜め積層のない積層体の断面図 （ｂ）斜め積層された積層体の断面図
【図６】（ａ）図４（ａ）を所望の形状に切断し、チッ
プ化したものの断面図 （ｂ）図４（ｂ）を所望の形状に切断し、チップ化した
ものの断面図
プ化したものの断面図 （ｂ）図４（ｂ）を所望の形状に切断し、チップ化した
ものの断面図
【図７】従来のグリーンシート形成装置の概略を示す斜
視図
視図
【図８】（ａ）積層セラミックコンデンサの生チップ斜
視図 （ｂ）外部電極を形成した積層セラミックコンデンサ。
視図 （ｂ）外部電極を形成した積層セラミックコンデンサ。
１ ドクターブレード ２ 泥漿液 ３ キャリアフィルム ４ａ グリーンシート（泥漿状態） ４ｂ グリーンシート（生乾き状態） ４ｃ グリーンシート ５ 乾燥炉 ６ａ 膜厚調整ローラー（上側） ６ｂ 膜厚調整ローラー（下側） ７ 上側ローラー突起部 ８ 膜厚 ９ ピンホール １０ 内部電極 １１ 積層体 １２ チップ １３ 外部電極形成チップ
Claims (3)
- 【請求項１】 キャリアフィルム上に一定の隙間を設け
たドクターブレードを配し、該隙間より原料粉末、溶剤
およびバインダー材を混合、分散した泥漿液を連続的に
塗工し、その塗工された前記泥漿液を乾燥炉内を通して
乾燥させグリーンシートを形成する工程において、乾燥
炉内にあってキャリアフィルムとグリーンシートを上下
より押圧回転する一対のローラーにて、前記キャリアフ
ィルム上のグリーンシートを圧延することを特徴とする
グリーンシートの製造方法。 - 【請求項２】 前記一対のローラーの上側ローラーにキ
ャリアフィルムの両端に接し、グリーンシート厚み分の
突起を設けたことを特徴とする請求項１記載のグリーン
シートの製造方法。 - 【請求項３】 前記ローラーを複数列有し、段階的に圧
延することを特徴とする請求項１または２記載のグリー
ンシートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5330671A JPH07187803A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | グリーンシートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5330671A JPH07187803A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | グリーンシートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07187803A true JPH07187803A (ja) | 1995-07-25 |
Family
ID=18235287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5330671A Pending JPH07187803A (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | グリーンシートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07187803A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002057011A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-22 | Rohm Co Ltd | チップ型抵抗器の製造方法 |
| JP2002057012A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-22 | Rohm Co Ltd | チップ型抵抗器の製造方法 |
| JP2011183578A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Ngk Spark Plug Co Ltd | グリーンシートの製造装置及び製造方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55111207A (en) * | 1979-02-21 | 1980-08-27 | Hitachi Ltd | Preparation of ceramic raw sheet |
| JPS5896508A (ja) * | 1981-12-04 | 1983-06-08 | 日立化成工業株式会社 | 生のセラミツクシ−トの製造法 |
| JPS6014905B2 (ja) * | 1977-01-18 | 1985-04-16 | 三菱自動車工業株式会社 | インテ−クマニホルド構造および製造方法 |
| JPS60145970A (ja) * | 1983-12-29 | 1985-08-01 | 株式会社陶研産業 | セラミツクス製薄肉刃物の製造方法 |
| JPS6244406A (ja) * | 1985-08-22 | 1987-02-26 | 三菱電機株式会社 | セラミツクグリ−ンシ−トの矯正方法 |
| JPS6456355A (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-03 | Hitachi Ltd | Method for sintering green sheet for superconducting material |
| JPH01275460A (ja) * | 1988-04-27 | 1989-11-06 | Hitachi Chem Co Ltd | 板状超電導体の製造法 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP5330671A patent/JPH07187803A/ja active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6014905B2 (ja) * | 1977-01-18 | 1985-04-16 | 三菱自動車工業株式会社 | インテ−クマニホルド構造および製造方法 |
| JPS55111207A (en) * | 1979-02-21 | 1980-08-27 | Hitachi Ltd | Preparation of ceramic raw sheet |
| JPS5896508A (ja) * | 1981-12-04 | 1983-06-08 | 日立化成工業株式会社 | 生のセラミツクシ−トの製造法 |
| JPS60145970A (ja) * | 1983-12-29 | 1985-08-01 | 株式会社陶研産業 | セラミツクス製薄肉刃物の製造方法 |
| JPS6244406A (ja) * | 1985-08-22 | 1987-02-26 | 三菱電機株式会社 | セラミツクグリ−ンシ−トの矯正方法 |
| JPS6456355A (en) * | 1987-08-28 | 1989-03-03 | Hitachi Ltd | Method for sintering green sheet for superconducting material |
| JPH01275460A (ja) * | 1988-04-27 | 1989-11-06 | Hitachi Chem Co Ltd | 板状超電導体の製造法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002057011A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-22 | Rohm Co Ltd | チップ型抵抗器の製造方法 |
| JP2002057012A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-22 | Rohm Co Ltd | チップ型抵抗器の製造方法 |
| JP2011183578A (ja) * | 2010-03-05 | 2011-09-22 | Ngk Spark Plug Co Ltd | グリーンシートの製造装置及び製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970902 |