JPH0719171Y2 - 電 極 - Google Patents
電 極Info
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- JPH0719171Y2 JPH0719171Y2 JP16428088U JP16428088U JPH0719171Y2 JP H0719171 Y2 JPH0719171 Y2 JP H0719171Y2 JP 16428088 U JP16428088 U JP 16428088U JP 16428088 U JP16428088 U JP 16428088U JP H0719171 Y2 JPH0719171 Y2 JP H0719171Y2
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- Japan
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- electrode
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- power supply
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- box container
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- Expired - Lifetime
Links
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案はレーザ発振器において、ガスレーザを励起させ
るための電極に関する。
るための電極に関する。
従来の技術 従来使用されている電極は例えば特開昭62-219979号で
知られるレーザ発振器で第３図〜第４図に示されるよう
に放電ピン１の支柱部1aを支える基板２とガス流の衝突
する側板３とは耐熱材のセラミック板が用いられており
箱を形成する他の側面４及び天板５はグラスフアイバー
を樹脂で固めた板が用いられ、それらは接合されてお
り、放電ピン１の支柱部1a及び電源線６並びに支柱部1a
と電源線６に接続されるコンデンサ７と冷却管８は絶縁
性，熱伝導性の良好で相当の高温に耐えるエポキシ樹脂
９によってモールドされている。
知られるレーザ発振器で第３図〜第４図に示されるよう
に放電ピン１の支柱部1aを支える基板２とガス流の衝突
する側板３とは耐熱材のセラミック板が用いられており
箱を形成する他の側面４及び天板５はグラスフアイバー
を樹脂で固めた板が用いられ、それらは接合されてお
り、放電ピン１の支柱部1a及び電源線６並びに支柱部1a
と電源線６に接続されるコンデンサ７と冷却管８は絶縁
性，熱伝導性の良好で相当の高温に耐えるエポキシ樹脂
９によってモールドされている。
考案が解決しようとする課題 レーザ発振器は内蔵された冷却管内を水を還流させる冷
却構造になっているものの、使用環境が約200℃の高温
のレーザガス中で使用されるために電極温度は約60℃前
後まで上昇する。このため熱膨張率の小さいセラミック
板と熱膨張率がセラミックより大きなエポキシ樹脂との
間の熱膨張差によって内部にクラックが発生し易く、ひ
どくなると電極が破損するという問題があった。
却構造になっているものの、使用環境が約200℃の高温
のレーザガス中で使用されるために電極温度は約60℃前
後まで上昇する。このため熱膨張率の小さいセラミック
板と熱膨張率がセラミックより大きなエポキシ樹脂との
間の熱膨張差によって内部にクラックが発生し易く、ひ
どくなると電極が破損するという問題があった。
本考案は従来の技術の有するこのような問題点に鑑みな
されたもので、その目的とするところは信頼性が高く、
レーザ発振の安定性を向上させた電極を提供しようとす
るものである。
されたもので、その目的とするところは信頼性が高く、
レーザ発振の安定性を向上させた電極を提供しようとす
るものである。
課題を解決するための手段 上述の問題点を解決するために本考案は、箱壁を貫通し
た放電ピンの支柱部及び電源線と、一端を前記支柱部に
他端を前記電源線に接続したコンデンサと、冷却管とが
箱内にモールドによって固定されたレーザ発振器の電極
において、前記箱の容器部をセラミック材で一体形成し
モールド材にシリコンゴムを用いるものである。
た放電ピンの支柱部及び電源線と、一端を前記支柱部に
他端を前記電源線に接続したコンデンサと、冷却管とが
箱内にモールドによって固定されたレーザ発振器の電極
において、前記箱の容器部をセラミック材で一体形成し
モールド材にシリコンゴムを用いるものである。
作用 レーザガス雰囲気中の電極は高温のレーザガスにより温
度上昇されるが箱容器部は一体のセラミック材でなるた
め熱膨張が小さい。また充填物をシリコンゴムとするこ
とによって熱膨張の差による伸びの違いはシリコンゴム
の弾性によって吸収される。
度上昇されるが箱容器部は一体のセラミック材でなるた
め熱膨張が小さい。また充填物をシリコンゴムとするこ
とによって熱膨張の差による伸びの違いはシリコンゴム
の弾性によって吸収される。
実施例 以下本考案の実施例を第１図，第２図にもとづき説明す
る。発振器筒内レーザガスの雰囲気中に上下に対設され
る電極10の箱容器部11はセラミック材でなり一側を開口
し、底部に小穴を碁盤目状に多数穿設され、このそれぞ
れの小穴を同方向に整列したＬ形の放電ピン12の支柱部
12aが貫通している。支柱部12aの内端はそれぞれコンデ
ンサ13の一端に接続されている。そしてこのそれぞれの
コンデンサ13の他端は電源線14の銅パイプに接続されて
いる。この電源線14は接続されて一本としてセラミック
材の箱容器部11のＬ形放電ピンの方向の側壁の穴より引
出しされている。さらにセラミック材箱容器部11内には
電極冷却用の水を循環させる銅パイプ15が支柱部12aの
間を蛇行して配管され、その両端が電源線14と平行に側
壁の穴を貫通して引出されている。箱容器部11に納めら
れた放電ピン12の支柱部12a,コンデンサ13,電源線14及
び冷却用銅パイプ15の部分は、絶縁性及び熱伝導性が良
好で且、相当の高温に耐え弾性を有するシリコンゴム16
が充填されることによって各位置に固定される。シリコ
ンゴム16が充填された箱容器部11の開口部はステンレス
製の天板17によって封じられている。
る。発振器筒内レーザガスの雰囲気中に上下に対設され
る電極10の箱容器部11はセラミック材でなり一側を開口
し、底部に小穴を碁盤目状に多数穿設され、このそれぞ
れの小穴を同方向に整列したＬ形の放電ピン12の支柱部
12aが貫通している。支柱部12aの内端はそれぞれコンデ
ンサ13の一端に接続されている。そしてこのそれぞれの
コンデンサ13の他端は電源線14の銅パイプに接続されて
いる。この電源線14は接続されて一本としてセラミック
材の箱容器部11のＬ形放電ピンの方向の側壁の穴より引
出しされている。さらにセラミック材箱容器部11内には
電極冷却用の水を循環させる銅パイプ15が支柱部12aの
間を蛇行して配管され、その両端が電源線14と平行に側
壁の穴を貫通して引出されている。箱容器部11に納めら
れた放電ピン12の支柱部12a,コンデンサ13,電源線14及
び冷却用銅パイプ15の部分は、絶縁性及び熱伝導性が良
好で且、相当の高温に耐え弾性を有するシリコンゴム16
が充填されることによって各位置に固定される。シリコ
ンゴム16が充填された箱容器部11の開口部はステンレス
製の天板17によって封じられている。
このように構成された電極10はレーザ発振器筒内で高温
のレーザガス流の中にさらされる。セラミック材でなる
箱容器部11は全体に熱膨張を起こすが箱容器部11が１つ
もので形成されているため一様で且少ない熱膨張にとど
まる。また充填物がシリコンゴム16であるため固化後も
弾性を有して箱容器部11内壁に付着状態を保ち内部にク
ラックが発生する恐れはない。天板17はステンレス製で
あるためセラミックより熱膨張は大きくなるが蓋体のみ
であるため、またシリコンゴム16の弾性によって伸びは
吸収され、箱容器部11に影響を及ぼさない。
のレーザガス流の中にさらされる。セラミック材でなる
箱容器部11は全体に熱膨張を起こすが箱容器部11が１つ
もので形成されているため一様で且少ない熱膨張にとど
まる。また充填物がシリコンゴム16であるため固化後も
弾性を有して箱容器部11内壁に付着状態を保ち内部にク
ラックが発生する恐れはない。天板17はステンレス製で
あるためセラミックより熱膨張は大きくなるが蓋体のみ
であるため、またシリコンゴム16の弾性によって伸びは
吸収され、箱容器部11に影響を及ぼさない。
効果 上述のように構成されているため、本考案は以下の効果
を奏する。
を奏する。
電極部にクラックの入る恐れがなくなり信頼性の高い電
極となり、安定性あるレーザ発振を行うことができて性
態を一段と向上することができる。
極となり、安定性あるレーザ発振を行うことができて性
態を一段と向上することができる。
第１図は本考案の電極の外観を示す斜視図、第２図は第
１図のＡ−Ａ線切断面図、第３図は従来の電極の外観を
示す斜視図、第４図は第３図のＢ−Ｂ線断面図である。 10……電極、11……箱容器部 12……放電ピン、13……コンデンサ 14……電源線、15……冷却管 16……シリコンゴム、17……天板
１図のＡ−Ａ線切断面図、第３図は従来の電極の外観を
示す斜視図、第４図は第３図のＢ−Ｂ線断面図である。 10……電極、11……箱容器部 12……放電ピン、13……コンデンサ 14……電源線、15……冷却管 16……シリコンゴム、17……天板
Claims (1)
- 【請求項１】箱壁を貫通した放電ピン（12）の支柱部
（12a）及び電源線（14）と、一端を前記支柱部に他端
を前記電源線に接続したコンデンサ（13）と、冷却管
（15）とが箱内にモールドによって固定されたレーザ発
振器の電極において、前記箱の容器部（11）をセラミッ
ク材で一体形成しモールド材にシリコンゴムを用いるこ
とを特徴とする電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16428088U JPH0719171Y2 (ja) | 1988-12-19 | 1988-12-19 | 電 極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16428088U JPH0719171Y2 (ja) | 1988-12-19 | 1988-12-19 | 電 極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0284353U JPH0284353U (ja) | 1990-06-29 |
| JPH0719171Y2 true JPH0719171Y2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=31449750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16428088U Expired - Lifetime JPH0719171Y2 (ja) | 1988-12-19 | 1988-12-19 | 電 極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0719171Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-12-19 JP JP16428088U patent/JPH0719171Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0284353U (ja) | 1990-06-29 |
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