JPH0719733Y2 - 真空内搬送機構 - Google Patents
真空内搬送機構Info
- Publication number
- JPH0719733Y2 JPH0719733Y2 JP1988129764U JP12976488U JPH0719733Y2 JP H0719733 Y2 JPH0719733 Y2 JP H0719733Y2 JP 1988129764 U JP1988129764 U JP 1988129764U JP 12976488 U JP12976488 U JP 12976488U JP H0719733 Y2 JPH0719733 Y2 JP H0719733Y2
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- JP
- Japan
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- sample
- shaft
- pin
- slit
- slide plate
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
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- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 15
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 7
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- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 6
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 5
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
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Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、試料等の搬送および脱着を行う真空内搬送
機構に関する 〔考案の概要〕 本考案は、真空内で試料等の搬送および脱着を行うマグ
ネットカップリングを有する搬送機構において、マグネ
ットカップリングのシャフト部にクラッチ機構を設ける
ことにより、複数の別形状の試料等を、搬送および脱着
可能としたものである。
機構に関する 〔考案の概要〕 本考案は、真空内で試料等の搬送および脱着を行うマグ
ネットカップリングを有する搬送機構において、マグネ
ットカップリングのシャフト部にクラッチ機構を設ける
ことにより、複数の別形状の試料等を、搬送および脱着
可能としたものである。
従来、第２図に示すように、真空槽１内で試料６を搬送
および脱着するには、大気側マグネット４を動かし、大
気と真空を隔離するパイプ３を磁力を通して、真空内マ
グネット５を動かしシャフト２を直進あるいは回転させ
ることにより行われる真空内搬送機構が知られている。
および脱着するには、大気側マグネット４を動かし、大
気と真空を隔離するパイプ３を磁力を通して、真空内マ
グネット５を動かしシャフト２を直進あるいは回転させ
ることにより行われる真空内搬送機構が知られている。
しかし、従来の真空内搬送機構は、真空内で搬送および
脱着したい試料６の形状に合わせてシャフト２の先端部
の保持構造が決まるため、別の形状の試料を搬送および
脱着できない欠点があった。そこで、この考案は、従来
のこのような欠点を解決するため、複数の別形状の試料
を搬送および脱着可能な真空内搬送機構を得ることを目
的としている。
脱着したい試料６の形状に合わせてシャフト２の先端部
の保持構造が決まるため、別の形状の試料を搬送および
脱着できない欠点があった。そこで、この考案は、従来
のこのような欠点を解決するため、複数の別形状の試料
を搬送および脱着可能な真空内搬送機構を得ることを目
的としている。
上記問題点を解決するために、この考案においては、シ
ャフト先端部にクラッチ機構を設け、試料を保持する部
分を切り換えることにより、複数の別形状の試料を搬送
および脱着できるようにした。
ャフト先端部にクラッチ機構を設け、試料を保持する部
分を切り換えることにより、複数の別形状の試料を搬送
および脱着できるようにした。
上記のように構成されたクラツチ機構で試料を保持する
部分を切り換えれば、複数の別形状の試料が搬送および
脱着可能になる。
部分を切り換えれば、複数の別形状の試料が搬送および
脱着可能になる。
以下に、この考案の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図において、大気側から真空槽１内へ運動を伝達す
るには、大気側マグネット４を回転あるいは直進させて
やればよい。大気と真空を隔離するパイプ３を通して磁
力により、真空内マグネット５が回転あるいは直進す
る。真空内マグネット５は、シャフト２に固定されてい
るため、大気側マグネット４の動きはシャフト２の回転
あるいは直進として運動伝達される。
第１図において、大気側から真空槽１内へ運動を伝達す
るには、大気側マグネット４を回転あるいは直進させて
やればよい。大気と真空を隔離するパイプ３を通して磁
力により、真空内マグネット５が回転あるいは直進す
る。真空内マグネット５は、シャフト２に固定されてい
るため、大気側マグネット４の動きはシャフト２の回転
あるいは直進として運動伝達される。
次に、クラッチ機構部分の説明をする。クラッチ機構
は、シャフト２に固定されたピン７およびプレート11,
シャフト２に対して、摺動可能なスライド8,スライド８
に固定されたツメ9,スライド８とプレート11の間のバネ
10とスライド８がバネ10の力でシャフト２から抜けない
ように止め輪20で構成される。
は、シャフト２に固定されたピン７およびプレート11,
シャフト２に対して、摺動可能なスライド8,スライド８
に固定されたツメ9,スライド８とプレート11の間のバネ
10とスライド８がバネ10の力でシャフト２から抜けない
ように止め輪20で構成される。
第３図に示すように、スライド８は、ピン７が通り抜け
可能なスリット81が設けられている。第１図に戻ってシ
ャフト２が回転すると、ピン７がスリット81を押すため
スライド８も回転する。一方、バネ10を圧縮させると、
ピン７がスライド８のスリット部からはずれるため、シ
ャフト２が回転してもスライド８は回転しない。つま
り、ピン７の位置によって、スライド８への回転伝達の
切換え（クラッチ動作）が可能となる。
可能なスリット81が設けられている。第１図に戻ってシ
ャフト２が回転すると、ピン７がスリット81を押すため
スライド８も回転する。一方、バネ10を圧縮させると、
ピン７がスライド８のスリット部からはずれるため、シ
ャフト２が回転してもスライド８は回転しない。つま
り、ピン７の位置によって、スライド８への回転伝達の
切換え（クラッチ動作）が可能となる。
次に、シャフト２の先端形状と試料６の保持構造を説明
する。第４図に示すように、シャフト２の先端は凹形に
なっていて、試料６の二面幅の部分６−ａが納まって保
持される。また、試料６の一部分はネジ６−ｂの形状と
なっていて、脱着時に利用する。
する。第４図に示すように、シャフト２の先端は凹形に
なっていて、試料６の二面幅の部分６−ａが納まって保
持される。また、試料６の一部分はネジ６−ｂの形状と
なっていて、脱着時に利用する。
試料６を脱着する手順を以下に説明する。第１図におい
て、真空内設置機器12は、ツメ９の位置決めをするため
の案内部12−a,試料６を保持するネジ部12−b,試料６と
は別形状の試料用の保持部13より構成される。試料６は
別の搬送機構により真空槽１内に搬送され、シャフト２
の先端部に受け渡される。シャフト２に試料６を保持し
た状態で大気側マグネット４を左に直進させ、ツメ９の
先端を案内部12−ａに当てる。さらに、大気側マグネッ
ト４を左に動かすとピン７がスライド８のスリット81か
ら抜け出る。この状態で大気側マグネット４を回転すれ
ば、シャフト２のみ回転するため、試料６をネジ部12−
ｂに装着できる。
て、真空内設置機器12は、ツメ９の位置決めをするため
の案内部12−a,試料６を保持するネジ部12−b,試料６と
は別形状の試料用の保持部13より構成される。試料６は
別の搬送機構により真空槽１内に搬送され、シャフト２
の先端部に受け渡される。シャフト２に試料６を保持し
た状態で大気側マグネット４を左に直進させ、ツメ９の
先端を案内部12−ａに当てる。さらに、大気側マグネッ
ト４を左に動かすとピン７がスライド８のスリット81か
ら抜け出る。この状態で大気側マグネット４を回転すれ
ば、シャフト２のみ回転するため、試料６をネジ部12−
ｂに装着できる。
次に、試料６とは別形状の試料の脱着について説明す
る。第５図に示すように、ツメ９は複数個、例えば３
本、スライド８に固定されている。３本のツメ９は、多
少のバネ性がもたせてあり、軸と直交する方向に撓むこ
とが可能である。別形状の試料14にも同数の穴14−ａが
設けられている。試料14も別の搬送機構により、ツメ９
の正面に搬送され、ツメ９を穴14−ａに挿入し、シャフ
ト２を回転させると、ピン７によってスライド８に回転
が伝達され、ツメ９も穴14−ａを案内に回転するため、
試料14の脱着が行われ、ツメ９のバネ性により保持され
る。
る。第５図に示すように、ツメ９は複数個、例えば３
本、スライド８に固定されている。３本のツメ９は、多
少のバネ性がもたせてあり、軸と直交する方向に撓むこ
とが可能である。別形状の試料14にも同数の穴14−ａが
設けられている。試料14も別の搬送機構により、ツメ９
の正面に搬送され、ツメ９を穴14−ａに挿入し、シャフ
ト２を回転させると、ピン７によってスライド８に回転
が伝達され、ツメ９も穴14−ａを案内に回転するため、
試料14の脱着が行われ、ツメ９のバネ性により保持され
る。
次に、真空内設置機器12への試料14の脱着について説明
する。第６図に示すように、真空内設置機器12には保持
部13が設けられていて、別形状の試料14を挿入できる穴
13−ａがある。別形状の試料14を穴13−ａに挿入し、シ
ャフト２を回転させれば、ツバ14−ｂも回転し、保持部
13の内部に引っ掛かるため、ツメ９を試料14より抜くこ
とにより、脱着が行われる。
する。第６図に示すように、真空内設置機器12には保持
部13が設けられていて、別形状の試料14を挿入できる穴
13−ａがある。別形状の試料14を穴13−ａに挿入し、シ
ャフト２を回転させれば、ツバ14−ｂも回転し、保持部
13の内部に引っ掛かるため、ツメ９を試料14より抜くこ
とにより、脱着が行われる。
この考案は以上説明したように、真空内で試料等の搬送
および脱着を行うマグネットカップリングを有する搬送
機構において、マグネットカップリングのシャフト部に
クラッチ機構を設けることにより、複数の別形状の試料
等を、搬送および脱着可能にする効果がある。
および脱着を行うマグネットカップリングを有する搬送
機構において、マグネットカップリングのシャフト部に
クラッチ機構を設けることにより、複数の別形状の試料
等を、搬送および脱着可能にする効果がある。
第１図はこの考案にかかる真空内搬送機構の平面図、第
２図は従来の真空内搬送機構の平面図、第３図はこの考
案にかかるクラッチ機構の構成部品であるスライドの形
状説明図、第４図はこの考案にかかるシャフト先端の試
料保持構造図、第５図はこの考案にかかる別形状の試料
の保持構造図、第６図はこの考案にかかる真空内設置機
器との脱着説明図である。 ７……ピン ８……スライド
２図は従来の真空内搬送機構の平面図、第３図はこの考
案にかかるクラッチ機構の構成部品であるスライドの形
状説明図、第４図はこの考案にかかるシャフト先端の試
料保持構造図、第５図はこの考案にかかる別形状の試料
の保持構造図、第６図はこの考案にかかる真空内設置機
器との脱着説明図である。 ７……ピン ８……スライド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 志村 昌行 埼玉県三郷市鷹野３丁目63番地 株式会社 小坂研究所三郷工場内 (72)考案者 安藤 和徳 東京都江東区亀戸６丁目31番１号 セイコ ー電子工業株式会社内 (72)考案者 大村 研二 東京都江東区亀戸６丁目31番１号 セイコ ー電子工業株式会社内 (72)考案者 脇山 茂 東京都江東区亀戸６丁目31番１号 セイコ ー電子工業株式会社内 審査官 島田 信一 (56)参考文献 実開 昭60−94486（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭38−24914（ＪＰ，Ｙ１)
Claims (3)
- 【請求項１】大気と真空とを隔離するパイプ内に軸方向
に付設され、かつ、前端部に第１の試料を把持する部分
を有するシャフトを、前記パイプ外からマグネットカッ
プリングにより回転、直進運動をすることにより前記前
端部に対向する試料設置機器に前記第１の試料を固定す
る搬送機構において、前記シャフトの前端部付近側面に
設けられた第２の試料把持部と、前記第２の試料把持部
と前記シャフト間に設けられた回転動力断続機構とを有
し、前記回転動力断続機構は、前記シャフトの前端部付
近側面に設けられたピンと、前記ピンが通り抜け可能な
スリットが設けられ、かつ、前記ピンが前記スリット内
をスライドするように前記シャフトに付設されたスライ
ド板からなり、前記第２の試料把持部は前記スライド板
に固定されていて、前記第１の試料を前記試料設置機器
に固定する時には前記ピンを前記スリットから抜けた状
態で前記シャフトを回転することで前記第２の試料把持
部に回転動力が伝達せず、前記第２の試料を前記試料設
置機器に固定する時には前記ピンを前記スリット内に収
まった状態で前記シャフトを回転することで前記第２の
試料把持部に回転動力が伝達されることを特徴とする真
空内搬送機構。 - 【請求項２】パイプ内に軸方向に付設され、かつ、前端
部に第１の試料を把持する部分を有するシャフトを、前
記パイプ外からマグネットカップリングにより回転、直
進運動をすることにより前記前端部に対向する試料設置
機器に前記試料を固定する搬送機構において、前記シャ
フトの前端部付近側面に設けられたピンと、前記ピンが
通り抜け可能なスリットが設けられ、かつ、前記ピンが
前記スリット内をスライドするように前記シャフトに付
設されたスライド板と、前記スライド板の前端面周辺に
設けられ、かつ、先端部が前記シャフトの前端部より前
記設備機器に近い位置にある少なくとも１本以上のツメ
と、前記スライド板の後端面を押すバネ部材とからなる
試料脱着機構を有し、前記試料脱着機構は、前記試料を
前記設置機器に固定する時には、前記シャフトを前進さ
せることにより前記ツメが前記設置機器の案内部を押す
ことで前記バネ部材が縮むことにより前記ピンが前記ス
リットから抜けた状態にして前記シャフトを回転させ前
記第１の試料を前記設備設置機器の保持部に固定するこ
とを特徴とする真空内搬送機構。 - 【請求項３】パイプ内に軸方向に付設され前端部に第１
の試料を把持するためのシャフトを、前記パイプ外から
マグネツトカップリングにより回転、直進運動をするこ
とにより前記前端部に対向する設置機器に前記試料を固
定する搬送機構において、前記シャフトの前端部付近側
面に設けられたピンと、前記ピンが通り抜け可能なスリ
ットが設けられ、かつ、前記ピンが前記スリット内をス
ライドするように前記シャフトに付設されたスライド板
と、前記スライド板の前端面周辺に設けられ、かつ、第
２の試料を先端部付近に把持するためのものであって、
該先端部は前記シャフトの前端部より前記設備機器に近
い位置にある少なくとも１本以上のツメと、前記スライ
ド板の後端面を押すバネ部材とからなり、前記第１の試
料を前記設置機器に固定する時には、前記シャフトを前
進させることにより前記ツメが前記設置機器の案内部を
押すことで前記バネ部材が縮むことにより前記ピンが前
記スリットから抜けた状態にして前記シャフトを回転さ
せ前記第１の試料を前記設置機器の第１の保持部に固定
し、前記第２の試料を固定する時には、前記シャフトを
前進させることにより前記ツメを前進させた後も前記ピ
ンは前記スリット内に残る状態にして、前記シャフトを
回転することにより前記スライド板を回転し前記第２の
試料を前記設置機器の第２の保持部に固定することを特
徴とする真空内搬送機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988129764U JPH0719733Y2 (ja) | 1988-10-03 | 1988-10-03 | 真空内搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988129764U JPH0719733Y2 (ja) | 1988-10-03 | 1988-10-03 | 真空内搬送機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0249923U JPH0249923U (ja) | 1990-04-06 |
| JPH0719733Y2 true JPH0719733Y2 (ja) | 1995-05-10 |
Family
ID=31384341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988129764U Expired - Lifetime JPH0719733Y2 (ja) | 1988-10-03 | 1988-10-03 | 真空内搬送機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0719733Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6094486U (ja) * | 1983-12-02 | 1985-06-27 | 三菱重工業株式会社 | ハンド自動交換装置 |
-
1988
- 1988-10-03 JP JP1988129764U patent/JPH0719733Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0249923U (ja) | 1990-04-06 |
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