JPH07199038A

JPH07199038A - 凹面鏡のあおり調整装置

Info

Publication number: JPH07199038A
Application number: JP6000919A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Babai; 宏至馬場井; Yoshinori Hogi; 慶則保木
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 1994-01-10
Filing date: 1994-01-10
Publication date: 1995-08-04

Abstract

(57)【要約】【目的】凹面鏡の面高さを変化させたり、凹面鏡の光軸
を移動させたりすることなく、凹面鏡のあおりを調整す
ることができるようにする。【構成】上面に球面座部５５を形成した球面座ブロック
５４と、下面の中央に突出部５２ａを形成し、該突出部
５２ａの周囲に球面５２ｂを形成した凹面鏡ホルダ５２
とを有する。前記球面座ブロック５４の互いに直角な側
面５４ａにマイクロメータヘッド６１が配設され、ロッ
ドの先端を前記突出部５２ａと当接させ、また、第１の
付勢手段が前記突出部５２ａをマイクロメータヘッド６
１側に付勢する。摘（つま）み６３を回転させることに
よって凹面鏡５１を揺動させることができる。この場
合、前記球面座部５５は凹面鏡５１の鏡面の中央を中心
とする球面を備え、第２の付勢手段が前記凹面鏡ホルダ
５２を下方に付勢する。また、前記突出部５２ａを案内
して凹面鏡５１の回転を防止する回転防止手段を有す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、凹面鏡のあおり調整装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、レーザ光によって被加工物を加工
する場合、レーザ発振器から出力されたレーザ光を各種
の鏡などを介して被加工物に照射するようになってい
る。そして、前記被加工物の表裏両面を加工する場合に
は、被加工物の下方に凹面鏡を配設し、被加工物の表面
に前記レーザ光を直接照射するとともに、被加工物の裏
面に前記凹面鏡によって反射されたレーザ光を照射する
ようになっている。

【０００３】この場合、前記凹面鏡の光軸が被加工物の
加工部からずれないように、凹面鏡のあおりを調整する
ことができる。図２は従来の凹面鏡のあおり調整装置の
斜視図、図３は従来の凹面鏡のあおり調整装置の断面
図、図４は従来の凹面鏡のあおり調整装置の要部拡大図
である。図において、１１は水平に配設された下プレー
トであり、該下プレート１１の上方に上プレート１２が
間隔を置いて水平に配設される。そして、該上プレート
１２の中央に凹面鏡１４が固定されるとともに、上プレ
ート１２の４隅に調整ボルト１３が配設され、該調整ボ
ルト１３を回転させることによって前記凹面鏡１４のあ
おりを調整することができるようになっている。

【０００４】そのため、前記調整ボルト１３は前記上プ
レート１２を貫通し、下端に形成されたねじ部１３ａに
おいて下プレート１１に螺合（らごう）させられる。そ
して、下プレート１１と上プレート１２の間にスプリン
グ１６が配設され、前記上プレート１２を上方に付勢す
る。また、前記調整ボルト１３には所定位置に規制部材
１３ｂが固定され、上方に付勢される上プレート１２の
位置を規制する。

【０００５】前記構成の凹面鏡のあおり調整装置におい
て、４本の調整ボルト１３を所定量回転させると、回転
させた量に対応して上プレート１２が傾斜させられ、凹
面鏡１４の光軸が調整される。ところが、前記調整ボル
ト１３を回転させるのは手間がかかるだけでなく、凹面
鏡１４のあおりを微調整することができない。また、調
整ボルト１３と上プレート１２の間にクリアランスが存
在するので、調整ボルト１３を回転させた時にクリアラ
ンス分だけ下プレート１１と上プレート１２が相対的に
回転し、それに伴って凹面鏡１４も回転してしまう。

【０００６】そこで、クリアランスによって凹面鏡１４
が回転することがない凹面鏡のあおり調整装置が提供さ
れている。図５は従来の他の凹面鏡のあおり調整装置の
平面図、図６は従来の他の凹面鏡のあおり調整装置の側
面図である。図において、２１は水平に配設された下プ
レートであり、該下プレート２１の上方に上プレート２
２が間隔を置いて水平に配設される。そして、該上プレ
ート２２の中央に図示しない凹面鏡が固定されるととも
に、上プレート２２の１隅に支点２４が形成され、上プ
レート２２の対角線上の２隅にマイクロメータ２５が配
設され、該マイクロメータ２５の摘（つまみ）部を回転
させることによって前記凹面鏡のあおりを調整すること
ができるようになっている。

【０００７】そのため、前記マイクロメータ２５の先端
は前記上プレート２２を貫通して下プレート２１に当接
させられる。前記構成の凹面鏡のあおり調整装置におい
て、２個のマイクロメータ２５の摘部を所定量回転させ
ると、回転させた量に対応して上プレート２２が支点２
４を中心として傾斜させられ、凹面鏡の光軸が調整され
る。

【０００８】また、前記凹面鏡の面高さが変化したり、
凹面鏡の光軸が移動したりすることがない凹面鏡のあお
り調整装置が提供されている。図７は従来の更に他の凹
面鏡のあおり調整装置の正面図、図８は従来の更に他の
凹面鏡のあおり調整装置の側面図である。図において、
３０は下ブロック、３３は該下ブロック３０の上に配設
された上ブロックである。前記下ブロック３０は第１摺
動（しゅうどう）部材３１及び該第１摺動部材３１と摺
動させられる第２摺動部材３２を有し、第１摺動部材３
１と第２摺動部材３２によって下摺動面ａを形成する。
また、摘（つま）み３８が配設され、該摘み３８の先端
には図示しないウォームギヤが固定される。したがっ
て、該摘み３８を回転させることによって前記下摺動面
ａを摺動させながら第１摺動部材３１と第２摺動部材３
２を相対的に回転させ、第１摺動部材３１に対して第２
摺動部材３２を傾斜させることができる。

【０００９】一方、前記上ブロック３３は第１摺動部材
３４及び該第１摺動部材３４と摺動させられる第２摺動
部材３５を有し、第１摺動部材３４と第２摺動部材３５
によって上摺動面ｂを形成する。また、摘み３９が配設
され、該摘み３９の先端には図示しないウォームギヤが
固定される。したがって、該摘み３９を回転させること
によって前記上摺動面ｂを摺動させながら第１摺動部材
３４と第２摺動部材３５を相対的に回転させ、第１摺動
部材３４に対して第２摺動部材３５を傾斜させることが
できる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の凹面鏡のあおり調整装置においては、マイクロメー
タ２５を使用するものの場合、前記マイクロメータ２５
の摘部を回転させるのに伴って上プレート２２が支点２
４を中心として傾斜させられるので、凹面鏡の面高さが
変化してしまうだけでなく、凹面鏡の光軸も移動してし
まう。

【００１１】また、下ブロック３０及び上ブロック３３
を使用するものの場合、下ブロック３０の上に上ブロッ
ク３３が配設されるとともに、下ブロック３０が第１摺
動部材３１及び第２摺動部材３２から成り、上ブロック
３３が第１摺動部材３４及び第２摺動部材３５から成る
ので、凹面鏡のあおり調整装置の寸法が大きくなってし
まう。さらに、あおり調整が困難である。

【００１２】本発明は、前記従来の凹面鏡のあおり調整
装置の問題点を解決して、凹面鏡の面高さを変化させた
り、凹面鏡の光軸を移動させたりすることなく、凹面鏡
のあおりを調整することができる凹面鏡のあおり調整装
置を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】そのために、本発明の凹
面鏡のあおり調整装置は、上面に球面座部を形成した球
面座ブロックと、該球面座ブロックの上に配設され、上
面に凹面鏡を支持し、下面の中央に突出部を、該突出部
の周囲に球面を形成した凹面鏡ホルダとを有する。

【００１４】また、前記球面座ブロックの互いに直角な
側面に配設され、ロッドの先端を前記突出部と当接させ
たマイクロメータヘッドと、該マイクロメータヘッドと
対向する位置に配設され、前記突出部をマイクロメータ
ヘッド側に付勢する第１の付勢手段と、前記凹面鏡ホル
ダを下方に付勢して前記球面座部に前記球面を密着させ
る第２の付勢手段と、前記突出部を案内して凹面鏡の回
転を防止する回転防止手段とを有する。

【００１５】そして、前記球面座部は凹面鏡の鏡面の中
央を中心とする球面を備える。

【００１６】

【作用】本発明によれば、前記のように凹面鏡のあおり
調整装置は、上面に球面座部を形成した球面座ブロック
と、該球面座ブロックの上に配設され、上面に凹面鏡を
支持し、下面の中央に突出部を、該突出部の周囲に球面
を形成した凹面鏡ホルダとを有する。

【００１７】また、前記球面座ブロックの互いに直角な
側面にマイクロメータヘッドが配設され、ロッドの先端
を前記突出部と当接させる。そして、前記マイクロメー
タヘッドと対向する位置に第１の付勢手段が配設され、
前記突出部をマイクロメータヘッド側に付勢する。した
がって、前記マイクロメータヘッドの摘みを回転させる
ことによって前記突出部を移動させ、凹面鏡を揺動させ
ることができる。

【００１８】この場合、前記球面座部は凹面鏡の鏡面の
中央を中心とする球面を備え、第２の付勢手段が前記凹
面鏡ホルダを下方に付勢して前記球面座部に前記球面を
密着させる。また、前記突出部を案内して凹面鏡の回転
を防止する回転防止手段を有する。該回転防止手段は前
記凹面鏡の揺動に伴って突出部を案内する。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。図１は本発明の実施例における
凹面鏡のあおり調整装置の断面図、図９は本発明の実施
例における凹面鏡のあおり調整装置の平面図、図１０は
本発明の実施例における凹面鏡のあおり調整装置の底面
図である。

【００２０】図において、５１は凹面鏡、５２は上面に
該凹面鏡５１を支持する凹面鏡ホルダであり、該凹面鏡
ホルダ５２の下面の中央に突出部５２ａが、該突出部５
２ａの周囲に球面５２ｂが形成される。そして、前記凹
面鏡ホルダ５２の下には球面座ブロック５４が配設さ
れ、該球面座ブロック５４によって凹面鏡ホルダ５２が
揺動自在に支持される。

【００２１】前記球面座ブロック５４の上面に球面座部
５５が、下面に切頭円錐（えんすい）体状の空間５６が
形成され、前記球面座部５５の中央には下方に延びて空
間５６と連通する穴５７が形成される。この場合、該穴
５７は凹面鏡ホルダ５２が揺動するときに前記突出部５
２ａが自由に動くことができるように十分に大きな径を
有する。

【００２２】前記球面座ブロック５４の互いに直角な側
面５４ａ，５４ｂには、マイクロメータヘッド６１，６
２が配設される。該マイクロメータヘッド６１，６２は
いずれも摘み６３を有し、該摘み６３を回転させること
によって調整ロッド６４を進退させることができるよう
になっている。そして、該調整ロッド６４の先端は前記
穴５７に臨み、凹面鏡ホルダ５２の突出部５２ａと当接
させられる。

【００２３】一方、前記球面座ブロック５４の前記マイ
クロメータヘッド６１，６２と対向する位置に凹部６５
が形成され、該凹部６５内に第１の付勢手段としてのス
プリング６６が配設される。該スプリング６６の一端は
リテーナ６８と当接させられ、他端は凹面鏡ホルダ５２
の突出部５２ａと当接させられ、該突出部５２ａを前記
マイクロメータヘッド６１，６２側に付勢する。

【００２４】したがって、前記マイクロメータヘッド６
１，６２の摘み６３を回転させ、調整ロッド６４を後退
させたりスプリング６６の付勢力に抗して前進させたり
すると、前記凹面鏡ホルダ５２が球面座部５５に沿って
揺動し、それに伴って凹面鏡５１が揺動する。なお、マ
イクロメータヘッド６１はｘ軸方向に配設され、マイク
ロメータヘッド６２はｙ軸方向に配設される。したがっ
て、マイクロメータヘッド６１の摘み６３を回転させる
ことによってｘ軸方向における凹面鏡５１のあおりを調
整し、マイクロメータヘッド６２の摘み６３を回転させ
ることによってｙ軸方向における凹面鏡５１のあおりを
調整することができる。

【００２５】また、前記突出部５２ａの先端にはばね押
さえ７１が取り付けられ、該ばね押さえ７１の周縁突出
部７１ａと前記球面座ブロック５４の間に第２の付勢手
段としてのスプリング７２が配設される。該スプリング
７２の一端は前記周縁突出部７１ａと当接させられ、他
端は球面座ブロック５４の受け部７３と当接させられ、
前記ばね押さえ７１を介して凹面鏡ホルダ５２を下方に
付勢する。したがって、該凹面鏡ホルダ５２がマイクロ
メータヘッド６１，６２によって揺動させられる際に、
球面５２ｂを球面座部５５に密着させることができる。

【００２６】また、該球面座部５５は凹面鏡５１の鏡面
の中央を中心とする半径Ｒの球面を有する。したがっ
て、凹面鏡５１のあおりを調整することによって凹面鏡
５１の面高さが変化したり、凹面鏡５１の光軸が移動し
たりすることがない。ところで、凹面鏡５１のマイクロ
メータヘッド６１の摘み６３を回転させることによって
ｘ軸方向における凹面鏡５１のあおりを調整し、マイク
ロメータヘッド６２の摘み６３を回転させることによっ
てｙ軸方向における凹面鏡５１のあおりを調整する場
合、偶力が発生して凹面鏡ホルダ５２がわずかに回転す
ることがある。そこで、該凹面鏡ホルダ５２が回転する
のを防止するために、廻止（まわりどめ）用ガイド板７
５が配設される。

【００２７】該廻止用ガイド板７５は長方形で、かつ、
内側に長方形のガイド穴７５ａを有し、該ガイド穴７５
ａに沿ってばね押さえ７１がｘ軸方向に案内されるよう
になっている。したがって、該ばね押さえ７１と廻止用
ガイド板７５の間にはｙ軸方向のクリアランスは存在し
ないので、前記ばね押さえ７１が廻止用ガイド板７５に
対して回転することはない。

【００２８】また、前記球面座ブロック５４の空間５６
と対向する面にはｙ軸方向に溝７８が形成され、該溝７
８に沿って前記廻止用ガイド板７５がｙ軸方向に案内さ
れるようになっている。したがって、該廻止用ガイド板
７５と球面座ブロック５４の間にはｘ軸方向のクリアラ
ンスは存在しないので、前記廻止用ガイド板７５が球面
座ブロック５４に対して回転することはない。

【００２９】その結果、凹面鏡５１のあおりを調整する
ことによって凹面鏡５１が回転するのを防止することが
できる。なお、本発明は前記実施例に限定されるもので
はなく、本発明の趣旨に基づいて種々変形させることが
可能であり、それらを本発明の範囲から排除するもので
はない。

【００３０】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば凹面鏡のあおり調整装置は、上面に球面座部を形成
した球面座ブロックと、該球面座ブロックの上に配設さ
れ、上面に凹面鏡を支持し、下面の中央に突出部を、該
突出部の周囲に球面を形成した凹面鏡ホルダとを有す
る。

【００３１】また、前記球面座ブロックの互いに直角な
側面にマイクロメータヘッドが配設され、ロッドの先端
を前記突出部と当接させる。そして、前記マイクロメー
タヘッドと対向する位置に第１の付勢手段が配設され、
前記突出部をマイクロメータヘッド側に付勢する。した
がって、前記マイクロメータヘッドの摘みを回転させる
ことによって前記突出部を移動させ、凹面鏡を揺動させ
ることができる。

【００３２】この場合、前記球面座部は凹面鏡の鏡面の
中央を中心とする球面を備え、第２の付勢手段が前記凹
面鏡ホルダを下方に付勢して前記球面座部に前記球面を
密着させる。したがって、凹面鏡のあおりを調整するこ
とによって凹面鏡の面高さが変化したり、凹面鏡の光軸
が移動したりすることがない。また、前記突出部を案内
して凹面鏡の回転を防止する回転防止手段を有する。該
回転防止手段は前記凹面鏡の揺動に伴って突出部を案内
する。したがって、凹面鏡のあおりを調整することによ
って凹面鏡が回転するのを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例における凹面鏡のあおり調整装
置の断面図である。

【図２】従来の凹面鏡のあおり調整装置の斜視図であ
る。

【図３】従来の凹面鏡のあおり調整装置の断面図であ
る。

【図４】従来の凹面鏡のあおり調整装置の要部拡大図で
ある。

【図５】従来の他の凹面鏡のあおり調整装置の平面図で
ある。

【図６】従来の他の凹面鏡のあおり調整装置の側面図で
ある。

【図７】従来の更に他の凹面鏡のあおり調整装置の正面
図である。

【図８】従来の更に他の凹面鏡のあおり調整装置の側面
図である。

【図９】本発明の実施例における凹面鏡のあおり調整装
置の平面図である。

【図１０】本発明の実施例における凹面鏡のあおり調整
装置の底面図である。

【符号の説明】

５１凹面鏡５２凹面鏡ホルダ５２ａ突出部５２ｂ球面５４球面座ブロック５４ａ，５４ｂ側面５５球面座部６１，６２マイクロメータヘッド６３摘み６４調整ロッド６６，７２スプリング７５廻止用ガイド板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（ａ）上面に球面座部を形成した球面座
ブロックと、（ｂ）該球面座ブロックの上に配設され、
上面に凹面鏡を支持し、下面の中央に突出部を、該突出
部の周囲に球面を形成した凹面鏡ホルダと、（ｃ）前記
球面座ブロックの互いに直角な側面に配設され、ロッド
の先端を前記突出部と当接させたマイクロメータヘッド
と、（ｄ）該マイクロメータヘッドと対向する位置に配
設され、前記突出部をマイクロメータヘッド側に付勢す
る第１の付勢手段と、（ｅ）前記凹面鏡ホルダを下方に
付勢して前記球面座部に前記球面を密着させる第２の付
勢手段と、（ｆ）前記突出部を案内して凹面鏡の回転を
防止する回転防止手段とを有するとともに、（ｇ）前記
球面座部は凹面鏡の鏡面の中央を中心とする球面を備え
ることを特徴とする凹面鏡のあおり調整装置。