JPH07201694A - 真空ハンドラー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】真空中において長期間安定した作動を行うこと
でき、且つ駆動系からの発塵のない半導体製造装置に用
いられる真空ハンドラーを得ること。 【構成】第１の駆動軸３を有する第１のアーム１と、そ
の先端部に設けられた回転軸７を有する第２のアーム２
と、第１の駆動軸３の内部に同軸状に設けられた第２の
駆動軸１２と、第２の駆動軸１２の回転を回転軸７に伝
える駆動伝達装置１３とからなり、駆動軸３と１２を独
立に回転できるように駆動３を真空チャンバー１１に取
付けた構成である。これをよりアーム１と２の長さの和
を半径とする円内に自由にウエーハが移動可能になる。
駆動系が大気中にある構成であるから潤滑が可能であ
り、発塵のおそれがない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置、ＴＦ
Ｔ製造装置等の真空装置に用いられる真空ハンドラーに
関する。

【０００２】

【従来技術】半導体製造装置に用いられる真空ハンドラ
ーは、現在いろいろなタイプのものが市販されている
が、機構部が真空雰囲気にあるものが多く、駆動系から
の発塵やベアリングのかじりの発生により、半導体の歩
留りが低下し、信頼性に欠けるものがある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、真空
チャンバー等の真空雰囲気中において、長期間安定した
作動を行うことができ、且つ駆動系からの発塵のない半
導体製造装置等に用いられる真空ハンドラーを提供する
ことにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】第１の駆動軸を有し中空
に形成された第１のアームと、回転軸を有する第２のア
ームと、第１の駆動軸の内部に同軸状に取付けられた第
２の駆動軸と、前記第２の駆動軸の回転を前記回転軸に
伝える駆動伝達手段と、を有し、前記第１の駆動軸はチ
ャンバーに気密に、且つ回転可能に取り付けられ、前記
回転軸は前記第１のアームの先端部に気密に、且つ回転
可能に取り付けられ、前記第１の駆動軸と前記第２の駆
動軸を、チャンバーの外側に設けられた駆動手段によ
り、独立して駆動することができるようにした真空ハン
ドラーである。また、回転軸或いは駆動軸の回りに真空
シールとしてフェローシール（磁気流体）を利用するこ
とにより大気との気密性が完全に保つことができるもの
である。本発明はこのように、駆動系が実質的に大気雰
囲気中にあるため、異常な摩擦やかじり等が発生しても
半導体に悪影響を及ぼすことがない。また機構部を潤滑
するためのメンテナンスが容易であり、機器の寿命を延
ばすことができる。

【０００５】

【実施例】本発明の実施例を図１の断面図および図２の
上面図を参照して説明する。本実施例は２本のアームに
よる２自由度を有する構造である。アーム１と駆動軸３
を一体に、且つ中空に構成し、駆動軸３を真空チャンバ
ー１１にベアリング４，５により回転自在に保持する。
また、チャンバーの内側（真空側）にはフローシール
（磁気シール）６を施し、真空チャンバーの気密性を保
持する。アーム１の先端部には、アーム２と一体に構成
された回転軸７がベアリング８，９により保持され、ア
ーム２の先端部には半導体ウエーハを載置できるように
なっている。また、チャンバーの真空側にはフローシー
ル（磁気シール）１０を施し、真空チャンバーの気密性
を保持する。回転軸或いは駆動軸の回りの真空シールに
フェローシール（磁気流体）を利用することにより大気
との気密性が完全に保つことができるものである。さら
に回転軸１の内部には同軸状に駆動軸１２がベアリング
により回転自在に支持されている。駆動軸２とアーム２
に取付けられた回転軸７はベルト、チェーン等の駆動伝
達装置１３により連結されており、駆動軸１２の回転が
回転軸７に伝達され、回転軸７が回転するようになって
いる。駆動軸３と１２は独立した駆動源（図示せず）に
連結されており、それぞれ独立に回転することが可能で
ある。

【０００６】本発明は、以上の基本構成を有しているの
で、駆動軸３と１２を独立に回転することにより、アー
ム１の長さとアーム２の長さの和を半径とする円内の位
置にウエーハを自由に移動することができる。以上、２
つのアームで構成した真空ハンドラーについて説明を行
ったが、アーム数は２に限定することなく、３以上のア
ームを用いた真空ハンドラーに応用できることは勿論で
ある。

【０００７】

【発明の効果】本発明のアーム１の内部に設けられた駆
動軸を支持するベアリング４，５および８，９、駆動軸
１２、駆動伝達手段１３等負荷のかる駆動系の機構部が
大気と連通した構成になっているから、潤滑が可能であ
り、かじり等の心配が少なく、装置全体の稼働率が向上
する。また、仮にかじり等により発塵が起きても、真空
側に入り込むことはなく、半導体製造の歩留りの向上が
期待できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の真空ハンドラーの断面図である。

【図２】本発明の真空ハンドラーの上面図である。

【符号の説明】

１、２ アーム ３ 駆動軸 ４、５ ベアリング ６ フェローシール ７ 回転軸 ８、９ ベアリング １０ フェローシール １１ 真空チャンバー １２ 駆動軸 １３ 駆動伝達装置 １４ 半導体ウエーハ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】第１の駆動軸を有する中空に形成された第
   １のアームと、 回転軸を有する第２のアームと、 第１の駆動軸の内部に同軸状に設けられた第２の駆動軸
   と、 前記第２の駆動軸の回転を前記回転軸に伝える駆動伝達
   手段と、を有し、 前記第１の駆動軸はチャンバーに気密に、且つ回転可能
   に取り付けられ、 前記回転軸は前記第１のアームの先端部に気密に、且つ
   回転可能に取り付けられ、前記第１の駆動軸と前記第２
   の駆動軸を、チャンバーの外側に設けられた駆動手段に
   より、独立して駆動することができるようにしたことを
   特徴とする真空ハンドラー。