JPH07201948A - 基板搬送治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板の上方から外れた位置で保持できるよう
にして、基板に対する汚染を防止する。 【構成】 基板１の裏面の外周縁を支持する基板支持部
２の外周に、その全周にわたって一体的に連ねてガイド
部３を設けるとともに、そのガイド部３よりも外方に突
出してその全周にわたって鍔部４を一体的に設け、基板
１の上方から外れた外方における鍔部４を搬送部材や手
によって把持することにより基板１を搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶用のガラス基板や
フォトマスク用のガラス基板、半導体ウエハなどの基板
を搬送する基板搬送治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】基板を製造工程や検査工程や計測工程な
どで搬送する場合、一般にピンセットや真空吸着機能付
の真空ピンセットを使用することが多く、また、自動搬
送装置を使用する場合は真空吸着アームなどを使用する
ことが多い。

【０００３】ところが、ピンセットや真空ピンセットを
使う場合、基板の外周縁に近い箇所の一部を掴んだり吸
着したりするため、搬送時に不安定であり、時には不測
に落としてしまう不都合があり、また、ピンセットで掴
む場合には、基板に傷を付けやすい問題があった。

【０００４】一方、真空吸着アームを使用する場合、基
板の裏面に接触させて吸着・搬送を行うものが多いた
め、傷を付けたり微小な塵埃が付着したりする問題があ
った。また、計測などのために測定ステージに基板を載
置させたり取り出したりする場合に、真空吸着アームを
基板から離間させて退避するスペースを確保するため、
凹部を測定ステージに形成するといったことが必要にな
り、測定ステージの加工が複雑で高価になる不都合があ
った。更に、そのように測定ステージを加工した場合、
その測定ステージが真空吸着によって基板を保持する構
成のものであるときに、基板に対する吸着面積が減少し
てしまうため、例えば、容量−電圧測定のために表面か
ら電圧を印加するような装置においては、基板にクーロ
ン力が働き、それによって基板に反りを生じて測定精度
が低下するといった問題があった。

【０００５】そこで、その表面や裏面に極力直接的に接
触せずに基板を搬送できるようにしたものとして、従
来、特開昭５９−２３２４３３号公報に開示されている
ものがあった。

【０００６】この従来例によれば、底部が開口するとと
もに周方向に所定間隔を隔てて係止孔を形成した筒状枠
内に石英リングを収容し、その石英リングに基板を収め
るとともに、その上方から石英押さえ板で蓋をし、更
に、つまみを一体的に設けた吊り金具を係止孔に係止す
るようにして基板搬送治具を構成している。そして、長
溝と横揺れ防止用のリングとを備えた搬送部材を用い、
長溝をつまみに外嵌係止することにより基板搬送治具を
吊り下げて搬送できるように構成されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述従
来例の基板搬送治具の場合、搬送部材に保持させるため
に、基板の上方につまみを一体的に設けた吊り金具が設
けられているため、測定ステージに基板を搬送して各種
の性能測定を行うような場合には適用できず、汎用性が
低い欠点があった。

【０００８】また、基板の上方において、長溝をつまみ
に外嵌係止するため、そこでの摺接に伴って発生したゴ
ミによって基板が汚染されやすい欠点があった。

【０００９】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、請求項１に係る発明の基板搬送治具
は、基板の上方から外れた位置で保持できるようにし
て、基板に対する汚染を防止できるようにすることを目
的とし、また、請求項２に係る発明の基板搬送治具は、
基板載置用のステージに対して昇降させることにより、
基板と離間してステージに基板のみを載置できるように
することを目的とし、また、請求項３に係る発明の基板
搬送治具は、基板載置用のステージに容易に安定載置で
きるようにすることを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明の基
板搬送治具は、上述のような目的を達成するために、基
板の裏面の外周縁を支持する基板支持部と、基板の外周
端面を基板支持部上に案内するガイド部と、そのガイド
部よりも基板の外方に突出して、基板搬送部材または手
によって把持可能な鍔部とを備えて構成する。

【００１１】また、請求項２に係る発明の基板搬送治具
は、上述のような目的を達成するために、請求項１に係
る発明の基板搬送治具における基板支持部に、基板載置
用のステージによる支持域よりも大きな貫通穴を設けて
構成する。

【００１２】また、請求項３に係る発明の基板搬送治具
は、上述のような目的を達成するために、請求項１に係
る発明の基板搬送治具における基板支持部の下方に、基
板載置用のステージに外嵌載置する凹部を設けて構成す
る。

【００１３】

【作用】請求項１に係る発明の基板搬送治具の構成によ
れば、ガイド部により基板を基板支持部上に案内して支
持させ、その状態で、ガイド部よりも基板の外方の鍔部
を搬送部材や手によって保持して搬送することができ
る。

【００１４】また、請求項２に係る発明の基板搬送治具
の構成によれば、基板を基板載置用のステージに載置す
るときに、貫通穴がステージを囲むように位置させた状
態で昇降させることにより、治具から離間させて基板を
ステージ上に載置させる状態と、基板を基板支持部に支
持させて持ち上げる状態とを得ることができる。

【００１５】また、請求項３に係る発明の基板搬送治具
の構成によれば、基板を基板載置用のステージに載置す
るときに、凹部をステージに外嵌載置させることによ
り、ステージに対して所定の位置に基板を載置すること
ができる。

【００１６】

【実施例】次に、本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。

【００１７】＜第１実施例＞図１は、本発明の第１実施
例に係る基板搬送治具の全体斜視図であり、基板１の裏
面の外周縁を支持する基板支持部２の外周に、その全周
にわたって一体的に連ねてガイド部３が設けられるとと
もに、そのガイド部３よりも外方に突出してその全周に
わたって鍔部４が一体的に設けられ、全体が環状の基板
搬送治具Ａが構成されている。

【００１８】基板支持部２には、図２の一部切欠側面図
に示すように、基板載置用のステージ５による支持域よ
りも大きな貫通穴６が形成され、図２および図３の平面
図に示すように、ガイド部３により、基板１の外周端面
を基板支持部２上に案内して基板１の裏面の外周縁を基
板支持部２に支持させ、その状態で屈伸ならびに回転可
能な搬送部材７により鍔部４を把持して基板１を基板搬
送治具Ａと共に搬送し、貫通穴６がステージ５を囲むよ
うに位置させ、その状態で下降させることにより、基板
搬送治具Ａから離間させて基板１のみをステージ５上に
載置させることができるようになっている。

【００１９】この第１実施例の基板搬送治具によれば、
図４の一部切欠側面図に示すように、扉８を備えた処理
室９内に搬送部材７で基板１を搬入するときに、ステー
ジ５上に基板１を載置させ、その下方に基板搬送治具Ａ
を下降させてから、基板搬送治具Ａをも処理室９内に残
したままで搬送部材７を処理室９外まで移動させ、扉８
を閉じた状態で基板１を処理できる利点を有している。

【００２０】また、基板１を基板搬送治具Ａとともにス
テージ５へ搬送する搬送動作が終了した後は、搬送部材
７は、基板搬送治具Ａから離れて自由に動作を行うこと
ができる。したがって、ステージ５へ搬送したその基板
１の処理が行われている間に、例えば別の処理室にある
他の基板搬送治具Ａを受け取りにいく等の動作を行うこ
とができ、装置全体のスループット向上にも寄与するこ
とができる。

【００２１】また、図５の一部切欠側面図に示すよう
に、防塵手袋１０をすることにより、手１１で鍔部４を
把持し、基板１に直接的に接触せずに、適宜ステージ５
などに搬送することができる。

【００２２】この第１の実施例によれば、基板１を真空
吸着アームにより保持して搬送する場合のように、基板
１の搬入搬出時に真空吸着アームが退避する凹部をステ
ージ５に形成する必要がなく、ステージ５の設計、製作
が容易になるとともに、ステージ５が真空吸着により基
板１を保持するものであっても、十分な吸着面積を確保
でき、十分な吸着力を基板１に与えることができる。

【００２３】＜第２実施例＞図６は、本発明の第２実施
例に係る基板搬送治具の一部切欠側面図であり、第１実
施例と異なるところは次の通りである。すなわち、下面
と鍔部４との間に、搬送部材７や手１１によって把持す
るための段差が形成され、基板加熱装置の加熱プレート
５ａ上に載置可能に構成され、基板支持部２の厚みｔを
所定の厚みに設定することにより、例えば、基板加熱装
置などに適用するときに、プロキシミティボールなどを
備えないステージ５に対しても、均一加熱用のプロキシ
ミティギャップを確保することができる利点を有してい
る。このように基板加熱装置などに適用する場合には、
基板搬送治具Ａを、炭化硅素などを材質とするセラミッ
ク系材料で成形するのが望ましい。

【００２４】＜第３実施例＞図７は、本発明の第３実施
例に係る基板搬送治具の全体斜視図であり、第１実施例
と異なるところは次の通りである。すなわち、環状のプ
レート１２の内周面よりも所定距離離れた箇所に、周方
向に所定間隔を隔てて、ガイド部としての４本のガイド
ピン３ａ…が突設され、ガイドピン３ａ…よりも内周側
が基板支持部２ａに、そして、ガイドピン３ａ…よりも
外周側が鍔部４にそれぞれ形成され、ガイドピン３ａ…
により基板１の外周端面を基板支持部２ａ上に案内する
ように構成されている。

【００２５】なお、本実施例では、ガイドピン３ａ…は
４本設けられているが、３本以上設ければ基板１の外周
端面を基板支持部２ａに案内できる。また、貫通穴６の
大きさをステージ５の基板支持域よりも大きくすること
で、第１の実施例と同様の効果が得られる。

【００２６】＜第４実施例＞図８は、本発明の第４実施
例に係る基板搬送治具の一部切欠側面図であり、第１実
施例と異なるところは次の通りである。すなわち、貫通
穴６を無くし、基板支持部２の下方に、ステージ５に外
嵌載置する凹部１３が設けられ、ステージ５に対して位
置決めした状態で、基板搬送治具Ａをステージ５上に安
定載置できるように構成されている。なお、貫通穴６を
形成したまま基板支持部２の下方にステージ５に外嵌載
置する凹部を形成することもできる。

【００２７】また、第２実施例、第３実施例、第４実施
例においても搬送部材７は、基板１を基板搬送治具Ａと
ともにステージ５や加熱プレート５ａに搬送する搬送動
作が終了した後は、第１実施例と同様に基板搬送治具Ａ
から離れて自由に動作を行うことができる。したがっ
て、例えば、処理が行われている間に別の処理室にある
基板搬送治具Ａを受け取りにいく等の動作を行うことが
でき、装置全体のスループット向上にも寄与することが
できる。

【００２８】本発明は、円形基板１に限らず、角形の基
板を搬送するように構成するものでも良い。

【００２９】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に係る発明の基板搬送治具によれば、ガイド部により
基板を基板支持部上に案内して支持させた状態で、ガイ
ド部よりも基板の外方の鍔部を保持して搬送できるか
ら、基板の上方から外れた位置で保持でき、基板上にゴ
ミを落下させての汚染を防止して良好に基板を搬送でき
るようになった。

【００３０】また、請求項２に係る発明の基板搬送治具
によれば、基板を基板載置用のステージに載置するとき
に、治具の昇降により治具から容易に離間させて基板の
みを載置できるから、各種の性能測定に際して治具に影
響されることを回避でき、測定精度を向上できるように
なった。

【００３１】また、請求項３に係る発明の基板搬送治具
によれば、基板を基板載置用のステージに載置するとき
に、凹部をステージに外嵌載置させてステージに対する
所定の位置に基板を載置することができるから、ステー
ジに基板を容易に安定載置できるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る基板搬送治具の全体
斜視図である。

【図２】一部切欠側面図である。

【図３】平面図である。

【図４】一部切欠側面図である。

【図５】一部切欠側面図である。

【図６】本発明の第２実施例に係る基板搬送治具の一部
切欠側面図である。

【図７】本発明の第３実施例に係る基板搬送治具の全体
斜視図である。

【図８】本発明の第４実施例に係る基板搬送治具の一部
切欠側面図である。

【符号の説明】

１…基板 ２…基板支持部 ３…ガイド部 ３ａ…ガイド部としてのガイドピン ４…鍔部 ５…ステージ ６…貫通穴 ７…搬送部材 １１…手 １３…凹部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板の裏面の外周縁を支持する基板支持
   部と、 前記基板の外周端面を前記基板支持部上に案内するガイ
   ド部と、 前記ガイド部よりも前記基板の外方に突出して、基板搬
   送部材または手によって把持可能な鍔部とを備えたこと
   を特徴とする基板搬送治具。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の基板支持部に、基板載
   置用のステージによる支持域よりも大きな貫通穴を設け
   てある基板搬送治具。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の基板支持部の下方に、
   基板載置用のステージに外嵌載置する凹部を設けてある
   基板搬送治具。