JPH07205021A

JPH07205021A - 研磨装置

Info

Publication number: JPH07205021A
Application number: JP667494A
Authority: JP
Inventors: Masayasu Kakinuma; 正康柿沼; Hiroyuki Ishikawa; 宏行石川
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1994-01-25
Filing date: 1994-01-25
Publication date: 1995-08-08

Abstract

(57)【要約】【目的】研磨部材１２を被研磨部材に対して平行な状
態でかつ一定の圧力で圧接させることにより、被研磨部
材の被研磨面１４を均一に研磨することを可能とした研
磨装置を提供する。【構成】回転軸Ｌの先端に交換自在に取り付けられる
研磨部材１２を有する研磨部３８と、前記回転軸Ｌを回
転駆動させる駆動源を有する駆動部と、この駆動部によ
って回転駆動された研磨部材１２を被研磨部材の被研磨
面１４に圧接させる研磨部材圧接機構とから構成され、
この研磨部材圧接機構は、流体圧シリンダ６と、この流
体圧シリンダ６によって駆動され研磨部材１２を被研磨
部材の被研磨面１４へと圧接させる平行リンク機構とに
よって構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、回転駆動される研磨部
材を被研磨部材の研磨面に一定の圧接力で圧接させて正
確な研磨を行うようにした研磨装置に関し、特に磁気記
録及び／又は再生装置に用いられるメタル磁気テープ等
の磁気記録媒体の製造に用いられる真空蒸着装置の内面
壁に付着した蒸着物を研磨除去する清掃装置等に用いて
好適な研磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、磁気記録及び／又は再生装置に用
いられる磁気記録媒体として、ベースフィルム上に金属
磁性物質を蒸着したメタル磁気テープが知られている。
このメタル磁気テープの製造には真空蒸着装置が用いら
れている。

【０００３】真空蒸着装置の一例を図６に示す。真空蒸
着装置７０は、概略、磁気記録テープの原材料であるテ
ープ原反４０が巻かれた供給ロール７７と、テープ原反
４０の表面を冷却するための円筒中空部材である冷却キ
ャン７２と、テープ原反４０を巻き取る巻き取りロール
７８とでテープ原反走行部を構成し、電子ビームを照射
する電子銃７４と、照射された電子ビームによって金属
磁性物質が蒸発されるルツボと、このルツボの内部に入
れられた金属磁性物質からなる蒸着源７３とで蒸着部を
構成する。

【０００４】テープ原反４０は、供給ロール７７から引
き出されて、テープ原反を冷却する冷却キャン７２を介
して巻き取りロール７８に巻き取られる。そして、ルツ
ボ内に設置した金属磁性物質、例えば、クロム等やコバ
ルト・ニケッルを混合してなる蒸着源７３は、電子銃７
４から照射された電子ビームによって溶解して、蒸発す
る。メタル磁気テープは、この金属磁性物質の蒸着物
が、冷却キャン７２上のテープ原反４０の表面に付着
し、冷却されることで堆積して薄膜状の磁性層を形成す
ることにより作製される。

【０００５】この金属磁性物質の蒸着物は、装置の下方
に設置されたルツボから四方に飛散する。このため、メ
タル磁気テープのテープ特性や生産性を維持する上で、
蒸着物が冷却キャン７２の周面を走行するテープ原反４
０上のみに蒸着するようにする必要がある。そのため、
図６に示すように冷却キャン７２の周辺に、シャッター
７６により開口部を調整できるように構成された防着部
７５を配置して、冷却キャン７２への開口部以外に蒸着
物が廻り込まないようにしている。

【０００６】次に、図６乃至図８を参照しながら、真空
蒸着装置７０の構成の要部について説明する。防着部７
５が取り付けられる真空蒸着装置７０の上方には、冷却
キャン７２に対して位置決めされた位置決め穴ブロック
９４とテーパブロック９０が設けられている。これらの
位置決め穴ブロック９４とテーパブロック９０は、防着
部７５の上部に存在する位置決めピン９５とテーパピン
９１とがそれぞれはめ合わさるようになっている。

【０００７】また、防着部７５が取り付けられる真空蒸
着装置７０の前方には、２個の位置決めブロック９８が
あり、防着部７５の前部に存在する２個の位置決めピン
９９とそれぞれ接するようになっている。そして、防着
部７５は、防着部台車８６のアーム８３上でテーパブロ
ック９２とテーパピン９３とのはめ合わせにより位置決
めされている。また、防着部７５の下方には、上部がフ
ローティング構造を構成したリフター８２が、フローテ
ィングテーブル９７を支持してベースプレート８７上に
複数本存在する。

【０００８】図７及び図８は、真空蒸着装置７０の内部
に防着部７５を組み付ける場合の要部を示したもので、
防着部７５をそのアーム８３上に載せた防着部台車８６
が装置全体１の開口部に対して横付けされている。この
とき、防着部台車８６のふた８０は、真空蒸着装置７０
全体の開口部を塞ぐことにより、この真空蒸着装置７０
の内部を密封している。

【０００９】上述した真空蒸着装置の防着部の内面に付
着した蒸着物は、この内面から剥離して飛散した場合、
ベースフィルム上に付着して、製造されたメタル磁気テ
ープ表面にピンホールや合金粒を形成する。このような
ピンホールや合金粒は、メタル磁気テープの磁気記録特
性及び再生特性を低下させるといった問題があった。ま
た、真空蒸着装置の防着部の内面から剥離して飛散した
蒸着物がルツボの内部に入ってしまった場合には、ルツ
ボ内の蒸着物の特性を変化させてしまい、製造されたメ
タル磁気テープの品質に悪影響を及ぼすといった問題が
あった。さらにまた、開口部の周辺に付着した蒸着物に
よって、ベースフィルムに対する最適な蒸着方向がズレ
てしまうといった問題があった。このため、メタル磁気
テープの製造において、メタル磁気テープの品質に好ま
しくない影響を与えるこの防着部７５の内面壁１４（以
下、被研磨面１４と称する。）に付着した蒸着物は、清
掃装置によって定期的に清掃除去されていた。

【００１０】従来の、メタル磁気テープの製造用真空蒸
着装置の清掃装置には、例えば図９に示す研磨装置１０
０が用いられている。この研磨装置１００は、概略、ワ
イヤブラシからなる研磨部材１２を有する研磨部３９
と、前記研磨部材１２を回転駆動する軸部材を有する駆
動部と、前記研磨部材１２を被研磨部材である被研磨面
１４に圧接する圧接機構とを備えて構成される。

【００１１】駆動部は、被研磨面１４に対して水平方向
で支持された駆動源となるエアグラインダ１０２と、こ
のエアグラインダ１０２の出力軸であって被研磨面１４
に対して直交する先端部に取り付けられた前記研磨部材
１２を回転駆動する回転軸１０４とにより構成される。
圧接機構は、被研磨面１４と水平状態に支持軸１０３に
よって略中央部を回動自在に支持されたエアグラインダ
支持体１０５と、このエアグラインダ支持体１０５の一
端部に設けられたコイルバネ等の弾性部材１０１とによ
って構成される。

【００１２】エアグラインダ１０２は、前記エアグライ
ンダ支持体１０５に対して弾性部材１０１とは中央支持
部に対して反対側に位置して支持されている。また、エ
アグラインダ支持体１０５は、互いに平行に対峠する支
持板１０６に設けたブラケット１０７を介して、上述し
たように支持軸１０３に支持されている。前記弾性部材
１０１は、エアグラインダ支持体１０５と支持対１０６
との間に、引張り状態で張架されている。したがって、
エアグラインダ支持体１０５は、この弾性部材１０１の
弾性力によって図９中反時計方向の回転周動が付与さ
れ、支点部に対して弾性部材１０１と反対側に配された
エアグラインダ１０２を介して研磨部材１２が被研磨面
１４に圧接される。

【００１３】また、以上のように構成された従来の真空
研磨装置の清掃装置においては、研磨部材１２は、弾性
部材１０１により支持軸１０３を介して支持体１０５
が、てこの原理で図９中反時計方向の回動習性を付与さ
れることにより、真空蒸着装置の被研磨面１４に圧接さ
れる。そして、エアグラインダ１０２が動作されると、
回転軸１０４によって回転して被研磨面１４を研磨し、
付着した蒸着物を除去する。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、研磨部材１
２が摩耗するにしたがって、研磨部材１２と被研磨面１
４との間隔が次第に大となり、弾性部材１０１の変位量
が次第に減少する。弾性部材１０１は、変位量と弾性力
とが比例するため、変位量が減少することによって弾性
力も減少し、研磨部材１２の被研磨面１４への圧着力も
減少する。このため、研磨部材１２は、被研磨面１４に
充分な圧接力を以って圧接されなくなり、被研磨面１４
に付着した蒸着物が確実に研磨除去されないといった問
題があった。

【００１５】一方、上述したように、エアグラインダ１
０２が回動習性を付与されることから、研磨部材１２
は、圧接部が被研磨面１４に対して傾いた状態で圧接さ
れることになり、被研磨面１４での圧接分布が均一にな
らない。したがって、研磨部材１２は、回転軸１０４と
の取付け部である中心部に対して、周辺部での研磨量が
次第に大きくなり、この偏摩耗によって圧接部の周辺部
の片減り現象が発生する。

【００１６】したがって、研磨部１２による被研磨面１
４への圧接状態が不均一となり、付着した蒸着物が均一
に除去されないといった問題があった。このため、従来
の研磨装置による真空蒸着装置の清掃作業は、研磨部材
１２と被研磨面１４との面合わせ調整、或いは偏摩耗し
た研磨部材１２の交換等によってしばしば中断され、極
めて面倒であるばかりか時間を要していた。

【００１７】そこで、本発明に係る研磨装置は、研磨部
材を被研磨部材に対して平行な状態でかつ一定の圧力で
圧接させることにより、被研磨部材の研磨面を均一に研
磨することを可能とした研磨装置を提供することを目的
に提案されたものである。

【００１８】

【課題を達成するための手段】上述した目的を達成する
ために、本発明に係る研磨装置は、回転軸の先端に交換
自在に取り付けられる研磨部材を有する研磨部と、前記
回転軸を回転駆動させる駆動源を有する駆動部と、この
駆動部によって回転駆動された研磨部材を被研磨部材の
研磨面に圧接させる研磨部材圧接機構とから構成され、
この研磨部材圧接機構は、流体圧シリンダと、この流体
圧シリンダによって駆動され研磨部材を被研磨部材の研
磨面へと圧接させる平行リンク機構とによって構成され
る。

【００１９】そして、被研磨部材の研磨面に対して直交
する方向に支持されるとともに圧接部が軸方向に設けら
れた研磨部材を先端に取り付けた回転軸は、被研磨部材
の研磨面に対して水平状態に配設された流体圧シリンダ
の駆動力が平行リンク機構を介して伝達されることによ
って、被研磨部材の研磨面に対して直交方向に接離され
る。

【００２０】また、被研磨部材の研磨面に対して水平方
向に支持されるとともに圧接部が軸方向と直交する周面
に設けられた研磨部材を先端に取り付けた回転軸は、被
研磨部材の研磨面に対して直交状態に配設された流体圧
シリンダの駆動力が平行リンク機構を介して伝達される
ことによって、被研磨部材の研磨面に対して水平方向に
接離される。

【００２１】さらに、被研磨部材は、真空蒸着装置の構
造物であり、研磨部材によって内面壁に付着した蒸着物
が研磨除去される。

【００２２】

【作用】以上のように構成された本発明に係る研磨装置
によれば、研磨部材は、エア圧シリンダ或いは油圧シリ
ンダ等の流体圧シリンダを駆動源として被研磨部材の研
磨面に圧接されることにより、この研磨部材が摩耗して
も被研磨部材の研磨面への圧接力は変化することは無
い。これによって、研磨部材は、被研磨部材の研磨面に
一定の圧接力で圧接して、この研磨面を均一な状態で研
磨する。また、研磨部材は、圧接機構の平行リンク機構
によって、被研磨部材の研磨面と直交した状態で圧接さ
れるため、圧接部の偏摩耗の発生が防止され、研磨部材
によって被研磨部材の研磨面が均一に研磨される。さら
に、研磨部材と被研磨部材との面合わせ調整或いは圧接
部が偏摩耗した研磨部材の交換といった煩わしさが軽減
されることによって、例えばメタル磁気テープを製造す
る真空蒸着装置の防着部の内壁に付着した蒸着物を除去
する清掃装置に適用した場合には、極めて効率的な清掃
を行うことができる。

【００２３】

【実施例】以下、本発明について図１乃至図９に示した
実施例によって詳細に説明する。実施例研磨装置１は、
メタル磁気テープを製造する真空蒸着装置７０の防着部
７５の移動路に沿って配設される。図１及び図２に示す
ように、研磨装置１は、支持基台４と、ワイヤブラシ等
の研磨部材１２を有する研磨部３８と、前記基台４に被
研磨部材である被研磨面１４と対向するようにして固定
されるとともに研磨部３８を支持する研磨部支持基体３
と、研磨部材１２を駆動する回転軸Ｍを有する駆動部
と、前記研磨部材１２を被研磨面１４に圧接させる圧接
機構から構成されている。

【００２４】駆動部は、研磨部１２を回転駆動させる駆
動源としての駆動用エア圧モータ７を備えている。この
駆動用エア圧モータ７は、研磨部支持基体３上に組み付
けられており、その出力軸である回転軸Ｍが被研磨面１
４に水平に対向するようにして突出されている。また、
この駆動用エア圧モータ７は、後述するエア供給回路を
介して駆動エアが供給され、前記回転軸Ｍが回転動作さ
れる。この回転軸Ｍは、先端部が軸受けを介して研磨部
基体８の内部へと導かれ、回転力の直角変換伝達機構を
構成する第２のベベルギアＧ２が固定されている。

【００２５】研磨部３８は、研磨部材１２と、この研磨
部材１２が先端部に装着された回転軸Ｌを回転自在に支
持する軸受けを組み込んだ研磨部基体８とから構成され
ている。回転軸Ｌは、被研磨面１４に対して直交する方
向で研磨部基体８に回転自在に支持され、その先端部
に、研磨部材１２を回転方向に固定して一体に回転する
ようにするとともに交換を可能とするように着脱自在に
支持してなる。この回転軸Ｌに対して平行な方向に植立
された研磨部材１２の研磨部分１２Ａは、防着部７５の
内面壁１４に接触するように配設されている。また、こ
の回転軸Ｌは、他端部に回転力の直角変換伝達機構を構
成する第１のベベルギアＧ１が固定されている。この第
１のベベルギアＧ１は、前記駆動部の回転軸Ｍに設けた
第２のベベルギアＧ２と噛合することによって、駆動用
エア圧モータ７からの回転伝達を受ける。

【００２６】圧接機構は、駆動源としての圧接用エア圧
シリンダ６と、それぞれ一対によって構成される第１の
リンクレバー１６Ａ、１６Ｂ及び第２のリンクレバー１
７Ａ、１７Ｂとからなる平行リンク機構とから構成され
ている。圧接用エア圧シリンダ６は、基台４に設けた取
付け部１０に、被研磨面１４と水平に対向するようにし
て片持ち状態で支持されている。この圧接用エア圧シリ
ンダ６には、図１において矢印Ａで示すように、内面壁
１４に対して略平行な方向に往復動作されるロッド１３
が備えられており、このロッド１３の先端部には、平行
リンク機構を構成する第１のリンクレバー１６Ａ、１６
Ｂの立上り端部が軸２０を介して回動自在に連結されて
いる。これら第１のリンクレバー１６Ａ、１７Ｂは、全
体略Ｌ字状に形成されており、屈折部分において、支持
軸２１を介して研磨部支持基体３に回動自在に支持され
ている。また、これら第１のリンクレバー１６Ａ、１６
Ｂの水平部分の先端部は、研磨部３８の研磨部基体８の
両側面部に軸２２を介して回動自在に連結されている。

【００２７】平行リンク機構を構成する第２のリンクレ
バー１７Ａ、１７Ｂは、一端部が前記研磨部支持基体３
に軸２５を介して回動自在に連結されている。これら第
２のリンクレバー１７Ａ、１７Ｂは、被研磨面１４と水
平に対向するようにして研磨部３８の研磨部基体８の両
側面部に軸２４を介して回動自在に連結されている。

【００２８】つぎに、上述した実施例研磨装置１の駆動
用エア圧モータ７と圧接用エア圧シリンダ６を駆動する
エアを供給するためのエア供給回路の構成の概略を図５
を参照して説明する。エア供給回路は、コンプレッサー
等のエア源５９と、駆動用エア圧モータ７と、圧接用エ
ア圧シリンダ６と、これらの装置をそれぞれつなぐエア
供給管とにより構成される。

【００２９】駆動用エア圧モータ５１は、エア供給管が
配され、このエア供給管には、電磁弁５３が備えられて
いる。この電磁弁５３の開閉動作により、エア源５９か
らエア供給管に供給されたエアの圧力調節を行うことに
より、駆動用エア圧モータ５１の駆動源であるモータが
制御され、研磨部材１２の回転及び制動を行う。また、
圧接用エア圧シリンダ６は、軸材のロッド１３側と対向
する側のヘッド側３７にそれぞれ１本づつエア供給管が
配されいる。また、それぞれの側のエア供給管は、電磁
弁５４、５５と減圧弁５６、５７を備える。これらの電
磁弁５４、５５と減圧弁５６、５７とのそれぞれの開閉
動作によって、供給されたエアの圧力調整を行う。この
圧力調整により生じる圧力差により、この圧力差に比例
して発生する推力が平行リンク機構を介して研磨部材１
２を被研磨部材の被研磨面１４に圧接する。

【００３０】上述の減圧弁５６、５７は、リリーフ型の
減圧弁が使用されている。リリーフ型の減圧弁は、減圧
弁の出口側の２次側圧力が、この減圧弁に設定された圧
力を越えて上昇した場合、この減圧弁がエアを大気に放
出して、この越えた圧力を設定された圧力に補正する。
従って、圧接用エア圧シリンダ６は、設定された圧力が
常に一定に保たれている。

【００３１】すなわち、圧接用エア圧シリンダ６のロッ
ド１３が外力によりこのシリンダ側に押し込まれて、こ
の圧接用エア圧シリンダ６のヘッド側３７の圧力が上昇
し、この上昇した圧力が減圧弁５６、５７に設定された
圧力を越えた場合は、瞬時にエアを大気に放出して、設
定された圧力を常に一定に保つことにより、研磨部材１
２を被研磨部材１４に圧接させる圧力が一定となる。

【００３２】以上述べた実施例研磨装置１は、研磨部材
の駆動源及び、研磨部の圧接機構の駆動源として、エア
圧モータ及び、エア圧シリンダを用いたが、これらの駆
動源として例えば油圧モータ等の他の流体圧モータを用
いても可能である。また、油圧シリンダ等の他の流体圧
シリンダを用いても可能である。

【００３３】以上のように構成された実施例研磨装置１
における、研磨部材１２を回転駆動させる動作は、駆動
用エア圧モータ７にエア圧が供給されることで、この駆
動用エア圧モータ７の出力軸である回転軸Ｍが回転駆動
される。この回転軸Ｍが回転することにより、この回転
軸Ｍと回転軸Ｌとのそれぞれの一端部噛み合った状態で
固定された直角変換伝達機構を構成するベベルギアＧ
１、Ｇ２を介して回転軸Ｌに回転が伝えられる。したが
って、この回転軸Ｌの先端部に取り付けられた研磨部材
１２は、回転軸Ｌが回転駆動することにより回転駆動す
る。

【００３４】つぎに、研磨部材１２が被研磨面１４に圧
接する動作について説明する。圧接用エア圧シリンダ６
にエア圧が供給されることによって、この圧接用エア圧
シリンダ６のロッド１３が図１矢印Ａで示す左方向へと
移動動作する。このロッド１３の圧接動作によって、軸
２０介して回動自在に連結された第１のリンクレバー１
６Ａ、１６Ｂの回動動作によって、軸２２を介して回動
自在に支持された研磨部３８の研磨部基体８は、図１矢
印Ｂで示すように被研磨面１４に接近する方向に移動動
作する。一方、第１のリンクレバー１６Ａ、１６Ｂの回
動動作は、軸２５を介して回動自在に支持された第２の
リンクレバー１７Ａ、１７Ｂに伝達される。

【００３５】したがって、これら平行リンク機構を構成
する第１のリンクレバー１６Ａ、１６Ｂと第２のリンク
レバー１７Ａ、１７Ｂの同時動作によって、研磨部基体
８は、水平な状態を保持されて被研磨面１４に向かって
圧接動作し、この研磨部基体８に軸受けされた回転軸Ｌ
に取付けた研磨部材１２を被研磨面１４に均一な状態で
押し付ける。

【００３６】以上のように、研磨部材１２が被研磨面１
４を研磨する動作は、上述した研磨部材を回転駆動させ
る動作と、上述した研磨部材１２を被研磨面１４に圧接
させる動作とにより行われる。したがって、被研磨面１
４は、研磨部材１２によって付着した蒸着物が均一に除
去される。

【００３７】また、本発明に係る研磨装置の他の実施例
を図３及び図４を参照して説明する。この第２の実施例
研磨装置２も、メタル磁気テープを製造する真空蒸着装
置７０の防着部７５の移動路に沿って配設される。研磨
装置２は、基台４と、ワイヤブラシ等の研磨部材１２を
有する研磨部３８と、前記基台４に被研磨部材である被
研磨面１４と対向するようにして固定されるとともに研
磨部３８を支持する研磨部支持基体３と、研磨部材１２
を駆動する回転軸Ｍを有する駆動部と、前記研磨部材１
２を被研磨面１４に圧接させる圧接機構から構成されて
いる。

【００３８】駆動部は、研磨部１２を回転駆動させる駆
動源としての駆動用エア圧モータ７を備えている。この
駆動用エア圧モータ７は、研磨部支持基体３上に組み付
けられており、その出力軸である回転軸Ｍが被研磨面１
４に水平に対向するようにして突出されている。また、
この駆動用エア圧モータ７は、上述したエア供給回路を
介して駆動エアが供給され、前記回転軸Ｍが回転動作さ
れる。この回転軸Ｍは、先端部が軸受けを介して研磨部
基体８の内部へと導かれ、回転力の直角変換伝達機構を
構成する第２のベベルギアＧ２が固定されている。

【００３９】研磨部３８は、研磨部材１２と、この研磨
部材１２が先端部に装着された回転軸Ｌを回転自在に支
持する軸受けを組み込んだ研磨部基体８とから構成され
ている。回転軸Ｌは、被研磨面１４に対して直交する方
向で研磨部基体８に回転自在に支持され、その先端部
に、研磨部材１２を回転方向に固定して一体に回転する
ようにするとともに交換を可能とするように着脱自在に
支持してなる。この回転軸Ｌに対して直交する向きに植
立された研磨部材１２の研磨部分１２Ａは、防着部７５
の内面壁に接触するように配設されている。また、この
回転軸Ｌは、他端部に回転力の直角変換伝達機構を構成
する第１のベベルギアＧ１が固定されている。この第１
のベベルギアＧ１は、前記駆動部の回転軸Ｍに設けた第
２のベベルギアＧ２と噛合することによって、駆動用エ
ア圧モータ７からの回転伝達を受ける。

【００４０】圧接機構は、駆動源としての圧接用エア圧
シリンダ６と、それぞれ一対によって構成される第１の
リンクレバー１８Ａ、１８Ｂ及び第２のリンクレバー１
９Ａ、１９Ｂとからなる平行リンク機構とから構成され
ている。圧接用エア圧シリンダ６は、基台４に設けた取
付け部１０に、被研磨面１４と水平に対向するようにし
て片持ち状態で支持されている。この圧接用エア圧シリ
ンダ６には、図１において矢印Ａで示すように、内面壁
１４に対して略垂直な方向に往復動作されるロッド１３
が備えられており、このロッド１３の先端部には、研磨
部３８の研磨部基体８の両側面に配設された突片３０が
軸２３を介して回動自在に連結されている。平行リンク
機構を構成する第１のリンクレバー１８Ａ、１８Ｂの一
端部が軸３１を介して研磨部３８の研磨部基体８の両側
面部に回動自在に連結されている。また、これら第１の
リンクレバー１８Ａ、１８Ｂは、被研磨面１４と水平に
対向するようにして他端部を研磨部支持基体３の両側面
部に支持軸３２を介して回動自在に支持されている。

【００４１】平行リンク機構を構成する第２のリンクレ
バー１９Ａ、１９Ｂは、一端部が研磨部支持基体３の両
側面部に軸３４を介して回動自在に連結されている。こ
れら第２のリンクレバー１７Ａ、１７Ｂは、被研磨面１
４と水平に対向するようにして研磨部３８の研磨部基体
８の両側面部に軸３３を介して回動自在に連結されてい
る。

【００４２】つぎに、実施例研磨装置２における駆動用
エア圧モータ７と圧接用エア圧シリンダ６とを含むエア
供給回路の構成の概略は、図５に示した実施例研磨装置
１における駆動用エア圧モータ７と圧接用エア圧シリン
ダ６とを含むエア供給回路の構成の概略と同一なので説
明を省略する。

【００４３】つぎに、研磨部材１２が被研磨面１４に圧
接する動作について説明する。圧接用エア圧シリンダ６
にエア圧が供給されることによって、この圧接用エア圧
シリンダ６のロッド１３が図１矢印Ａで示す左方向へと
移動動作する。このロッド１３の移動動作によって、軸
３１、軸３２を介して回動自在に連結された第１のリン
クレバー１８Ａ、１８Ｂの回動動作及び、軸３３、軸３
４を介して回動自在に支持された第２のリンクレバー１
９Ａ、１９Ｂの回動動作によって、２３軸を介して回動
自在に支持された研磨部３８の研磨部基体８は、図１矢
印Ｂで示すように被研磨面１４に接近する方向に圧接動
作する。一方、第１のリンクレバー１８Ａ、１８Ｂの回
動動作と、第２のリンクレバー１９Ａ、１９Ｂの回動動
作とは、互いに伝達する。

【００４４】したがって、これら平行リンク機構を構成
する第１のリンクレバー１８Ａ、１８Ｂと第２のリンク
レバー１９Ａ、１９Ｂの同時動作によって、研磨部基体
８は、水平な状態を保持されて被研磨面１４に向かって
圧接動作し、この研磨部基体８に軸受けされた回転軸Ｌ
に取付けた研磨部材１２を被研磨面１４に均一な状態で
押し付ける。

【００４５】以上のように構成された実施例研磨装置２
における、研磨部材１２を回転駆動させる動作は、駆動
用エア圧モータ７にエア圧が供給されることで、この駆
動用エア圧モータ７の出力軸である回転軸Ｍが回転駆動
される。この回転軸Ｍが回転することにより、この回転
軸Ｍと回転軸Ｌとのそれぞれの一端部が噛み合った状態
で固定された直角変換伝達機構を構成するベベルギアＧ
１、Ｇ２を介して回転軸Ｌに回転が伝えられる。したが
って、この回転軸Ｌの先端部に取り付けられた研磨部材
１２は、回転軸Ｌが回転駆動することにより回転駆動す
る。

【００４６】つぎに、研磨部材１２が被研磨面１４を研
磨する動作は、上述した研磨部材１２を回転駆動させる
動作と、上述した研磨部材１２を被研磨面１４に圧接さ
せる動作とにより行われる。したがって、被研磨面１４
は、研磨部材１２によって、付着した蒸着物が均一に除
去される。

【００４７】なお、実施例研磨装置１及び２は、研磨部
材を回転駆動させる軸部材に対する研磨面の向き等に適
した、例えば、カップ型ワイヤブラシ、ロール型ワイヤ
ブラシ等の研磨部材を適宜選択して取付けて用いる。

【００４８】上述したように本実施例研磨装置１及び２
によれば、研磨部材１２を被研磨面１４に対して圧接力
は、研磨部材圧接機構としてエア圧シリンダ７を備える
ことにより、研磨部材１２の摩耗に影響されることなく
常に一定の圧接力にすることが可能となる。また、研磨
部３８を圧接させる研磨部圧接機構として平行リンク機
構を用いることにより、研磨部材１２を被研磨面１４に
対して研磨面上で均一に圧接することが可能となる。

【００４９】また、実施例研磨装置１及び実施例研磨装
置２は、真空蒸着装置の防着部の内面に付着した蒸着物
を除去する清掃作業に用いて好適である。上述のよう
に、研磨部材を被研磨部材に圧接する圧力を一定とする
ことにより、研磨部材の偏摩耗を低減し、研磨部材の片
減りの発生を低下させた。このため、研磨部材の寿命を
延ばし、研磨部材の交換作業の回数を減らした。

【００５０】さらに、従来の研磨装置において、研磨部
材の摩耗に伴い行っていた圧力ごとに定められたバネに
交換し、圧力を調整する作業を省くことができる。すな
わち、清掃作業の効率を向上させ、清掃時間を短縮する
ことが可能となる。

【００５１】

【発明の効果】上述したように、本発明に係る研磨装置
によれば、研磨部材を被研磨部材に対して平行な状態で
かつ一定の圧力で圧接することにより、被研磨部材の研
磨面に一定の圧接力で圧接して、この研磨面を均一な状
態で研磨することが可能となる。このため、磨研磨部材
の偏摩耗を低減し、片減りの発生を低下する。また、真
空蒸着装置の防着部の内面壁に蒸着した磁性金属を除去
する清掃作業に用いることにより、清掃作業の時間短
縮、作業能率の向上、研磨部材の交換回数の低減が可能
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明における実施例を示す研磨装置の概略図
である。

【図２】上記研磨装置の平面概略図である。

【図３】本発明における実施例を示す研磨装置の概略図
である。

【図４】上記研磨装置の平面概略図である。

【図５】本発明におけるエア供給回路の実施例を示す模
式図である。

【図６】本発明の実施例研磨装置を用いる真空蒸着装置
の一例を示す概略図である。

【図７】本発明の研磨装置を用いる真空蒸着装置の一例
を示す斜視図である。

【図８】上記研磨装置を用いる真空蒸着装置の一例の要
部を示す斜視図である。

【図９】従来の研磨装置を示す概略図である。

【符号の説明】

１、２研磨装置３研磨部支持基体４基台６駆動用エア圧モータ７圧接用エア圧シリンダ８研磨部基体１２研磨部材１３ロッド１４防着部の内面壁１６Ａ、１６Ｂ全体略Ｌ字状リンクレバー１７Ａ、１７Ｂリンクレバー１８Ａ、１８Ｂ、１９Ａ、１９Ｂリンクレバー４０テープ原反７０真空蒸着装置７２冷却キャン７３蒸着源７４電子ビームガン７５防着部７６シャッタ７７供給ロール７８巻き取りロールＬ回転軸Ｍ回転軸Ｇ１、Ｇ２ベベルギア

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【手続補正書】

【提出日】平成７年１月２３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００４

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００４】テープ原反４０は、供給ロール７７から引
き出されて、テープ原反を冷却する冷却キャン７２を介
して巻き取りロール７８に巻き取られる。そして、ルツ
ボ内に設置した金属磁性材料、例えば、クロム等やコバ
ルト・ニッケルを混合してなる蒸着源７３は、電子銃７
４から照射された電子ビームによって溶解して、蒸発す
る。メタル磁気テープは、この金属磁性物質の蒸着物
が、冷却キャン７２上のテープ原反４０の表面に付着
し、冷却されることで堆積して薄膜状の磁性層を形成す
ることにより作製される。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００９

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００９】上述した真空蒸着装置７０の防着部７５の
内面に付着した蒸着物は、この内面から剥離して飛散し
た場合、ベースフィルム上に付着して、製造されたメタ
ル磁気テープ表面にピンホールや合金粒を形成する。こ
のようなピンホールや合金粒は、メタル磁気テープの磁
気記録特性及び再生特性を低下させるといった問題があ
った。また、真空蒸着装置７０の防着部７５の内面から
剥離して飛散した蒸着物がルツボの内部に入ってしまっ
た場合には、ルツボ内の蒸着物の特性を変化させてしま
い、製造されたメタル磁気テープの品質に悪影響を及ぼ
すといった問題があった。さらにまた、開口部の周辺に
付着した蒸着物によって、ベースフィルムに対する最適
な蒸着方向がズレてしまうといった問題があった。この
ため、メタル磁気テープの製造において、メタル磁気テ
ープの品質に好ましくない影響を与えるこの防着部７５
の内面壁１４（以下、被研磨面１４と称する。）に付着
した蒸着物は、清掃装置によって定期的に清掃除去され
ていた。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１３】また、以上のように構成された従来の真空
研磨装置の清掃装置においては、研磨部材１２は、弾性
部材１０１により支持軸１０３を介して支持体１０５
が、てこの原理で図９中反時計方向の回動習性を付与さ
れることにより、真空蒸着装置７０の被研磨面１４に圧
接される。そして、エアグラインダ１０２が動作される
と、回転軸１０４によって回転して被研磨面１４を研磨
し、付着した蒸着物を除去する。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２３】

【実施例】以下、本発明について図１乃至図９に示した
実施例によって詳細に説明する。実施例研磨装置１は、
メタル磁気テープを製造する真空蒸着装置７０の防着部
７５の移動路に沿って配設される。図１乃至図２に示す
ように、研磨装置１は、基台４と、ワイヤブラシ等の研
磨部材１２を有する研磨部３８と、前記基台４に被研磨
部材である被研磨面１４と対向するようにして固定され
るとともに研磨部３８を支持する研磨部支持基体３と、
研磨部材１２を駆動する回転軸Ｍを有する駆動部と、前
記研磨部材１２を被研磨面１４に圧接させる圧接機構か
ら構成されている。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２６】圧接機構は、駆動源としての圧接用エア圧
シリンダ６と、それぞれ一対によって構成される第１の
リンクレバー１６Ａ、１６Ｂ及び第２のリンクレバー１
７Ａ、１７Ｂとからなる平行リンク機構とから構成され
ている。圧接用エア圧シリンダ６は、基台４に設けた取
付け部１０に、被研磨面１４と平行に対向するようにし
て片持ち状態で支持されている。この圧接用エア圧シリ
ンダ６には、図１において矢印Ａで示すように、内面壁
１４に対して略平行な方向に往復動作されるロッド１３
が備えられており、このロッド１３の先端部には、平行
リンク機構を構成する第１のリンクレバー１６Ａ、１６
Ｂの立上り端部が軸２０を介して回動自在に連結されて
いる。これら第１のリンクレバー１６Ａ、１６Ｂは、全
体略Ｌ字状に形成されており、屈折部分において、支持
軸２１を介して研磨部支持基体３に回動自在に支持され
ている。また、これら第１のリンクレバー１６Ａ、１６
Ｂの水平部分の先端部は、研磨部３８の研磨部基体８の
両側面部に軸２２を介して回動自在に連結されている。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２９】駆動用エア圧モータ７は、エア供給管が配
され、このエア供給管には、電磁弁５３が備えられてい
る。この電磁弁５３の開閉動作により、エア源５９から
エア供給管に供給されたエアの圧力調整を行うことによ
り、駆動用エア圧モータ７の駆動源であるモータが制御
され、研磨部材１２の回転及び制動を行う。また、圧接
用エア圧シリンダ６は、軸材のロッド１３側と対向する
側のヘッド側３７にそれぞれ１本づつエア供給管が配さ
れている。また、それぞれの側のエア供給管は、電磁弁
５４、５５と減圧弁５６、５７を備える。これらの電磁
弁５４、５５と減圧弁５６、５７とのそれぞれの開閉動
作によって、供給されたエアの圧力調整を行う。この圧
力調整により生じる圧力差により、この圧力差に比例し
て発生する推力が平行リンク機構を介して研磨部材１２
を被研磨部材の被研磨面１４に圧接する。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３１】すなわち、圧接用エア圧シリンダ６のロッ
ド１３が外力によりこのシリンダ側に押し込まれて、こ
の圧接用エア圧シリンダ６のヘッド側３７の圧力が上昇
し、この上昇した圧力が減圧弁５６に設定された圧力を
超えた場合は、瞬時にエアを大気に放出して、設定され
た圧力を常に一定に保つことにより、研磨部材１２を被
研磨部材１４に圧接させる圧力が一定となる。

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３２】以上述べた実施例研磨装置１は、研磨部材
の駆動源及び、研磨部の圧接機構の駆動源として、エア
圧モータ及び、エア圧シリンダを用いたが、これら駆動
源として例えば油圧モータ等の他の流体圧モータを用い
ても可能である。また、油圧シリンダ等の他の流体圧シ
リンダを用いても可能である。また、研磨部材の駆動源
としては、電気式モータを用いても可能である。

【手続補正９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３６】以上のように、研磨部材１２が被研磨面１
４を研磨する動作は、上述した研磨部材１２を回転駆動
させる動作と、上述した研磨部材１２を被研磨面１４に
圧接させる動作とにより行われる。したがって、被研磨
面１４は、研磨部材１２によって付着した蒸着物が均一
に除去される。

【手続補正１０】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４１】平行リンク機構を構成する第２のリンクレ
バー１９Ａ、１９Ｂは、一端部が研磨部支持基体３の両
側面部に軸３４を介して回動自在に連結されている。こ
れら第２のリンクレバー１９Ａ、１９Ｂは、被研磨面１
４と水平に対向するようにして研磨部３８の研磨部基体
８の両側面部に軸３３を介して回動自在に連結されてい
る。

【手続補正１１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００５１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００５１】

【発明の効果】上述したように、本発明に係る研磨装置
によれば、研磨部材を被研磨部材に対して平行な状態で
かつ一定の圧力で圧接することにより、被研磨部材の研
磨面に一定の圧接力で圧接して、この研磨面を均一な状
態で研磨することが可能となる。このため、研磨部材の
偏摩耗を低減し、片減りの発生を低下する。また、真空
蒸着装置の防着部の内面壁に蒸着した磁性金属を除去す
る清掃作業に用いることにより、清掃作業の時間短縮、
作業能率の向上、研磨部材の交換回数の低減が可能であ
る。

【手続補正１２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図３】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転軸の先端に交換自在に取り付けられ
る研磨部材を有する研磨部と、前記回転軸を回転駆動させる駆動源を有する駆動部と、この駆動部によって回転駆動された研磨部材を被研磨部
材の研磨面に圧接させる研磨部材圧接機構とから構成さ
れ、この研磨部材圧接機構は、流体圧シリンダと、この流体
圧シリンダによって駆動され研磨部材を被研磨部材の研
磨面へと圧接させる平行リンク機構とによって構成され
たことを特徴とする研磨装置。
【請求項２】被研磨部材の研磨面に対して直交する方
向に支持されるとともに圧接部が軸方向に設けられた研
磨部材を先端に取り付けた回転軸は、被研磨部材の研磨
面に対して水平状態に配設された流体圧シリンダの駆動
力が平行リンク機構を介して伝達されることによって、
被研磨部材の研磨面に対して直交方向に接離されること
を特徴とする請求項１記載の研磨装置。
【請求項３】被研磨部材の研磨面に対して水平方向に
支持されるとともに圧接部が軸方向と直交する周面に設
けられた研磨部材を先端に取り付けた回転軸は、被研磨
部材の研磨面に対して直交状態に配設された流体圧シリ
ンダの駆動力が平行リンク機構を介して伝達されること
によって、被研磨部材の研磨面に対して水平方向に接離
されることを特徴とする請求項１記載の研磨装置。
【請求項４】被研磨部材は、真空蒸着装置の構造物で
あり、研磨部材によって内面壁に付着した蒸着物が研磨
除去されることを特徴とする請求項１乃至請求項３記載
の研磨装置。