JPH07209019A - 磁気式エンコーダ - Google Patents
磁気式エンコーダInfo
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- JPH07209019A JPH07209019A JP6006079A JP607994A JPH07209019A JP H07209019 A JPH07209019 A JP H07209019A JP 6006079 A JP6006079 A JP 6006079A JP 607994 A JP607994 A JP 607994A JP H07209019 A JPH07209019 A JP H07209019A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 外部からの不要電磁波(ノイズ)などの影響
を受けないようにすると同時に、磁気信号検出処理部の
小型化を図る。 【構成】 磁気抵抗効果素子1と、磁気抵抗効果素子1
から出力される信号を処理する集積回路2と、磁気抵抗
効果素子1と集積回路2とを同一基板上で電気的に接続
し配線実装するプリント配線基板3と、磁気抵抗効果素
子1と集積回路2とを実装したプリント配線基板3の外
部全体を電気的に絶縁する絶縁膜4と、絶縁膜4の外部
全体をさらに電磁波シールド部材5とで覆った磁気信号
検出処理部6を備える構成とした。
を受けないようにすると同時に、磁気信号検出処理部の
小型化を図る。 【構成】 磁気抵抗効果素子1と、磁気抵抗効果素子1
から出力される信号を処理する集積回路2と、磁気抵抗
効果素子1と集積回路2とを同一基板上で電気的に接続
し配線実装するプリント配線基板3と、磁気抵抗効果素
子1と集積回路2とを実装したプリント配線基板3の外
部全体を電気的に絶縁する絶縁膜4と、絶縁膜4の外部
全体をさらに電磁波シールド部材5とで覆った磁気信号
検出処理部6を備える構成とした。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は外部磁界の変化を検出す
る磁気抵抗効果素子を用いた磁気式エンコーダに関す
る。
る磁気抵抗効果素子を用いた磁気式エンコーダに関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、サーボモータ等の回転速度や回転
角を検出する磁気式ロータリエンコーダは特開平1−3
18915号公報に示すような構成が一般的である。以
下、従来の磁気式エンコーダについて図9を参照しなが
ら説明する。図に示すように、外周面に必要とする分解
能のピッチでN,S極を着磁した磁気ドラム13と、こ
の磁気ドラム13の外周面に距離Lのギャップ(約10
0ミクロン)で配置された外部漏洩磁束を検出する磁気
抵抗効果素子14とを備え、その磁気抵抗効果素子14
から電気角で90度の位相差を有する正弦波の出力信号
を、フラットケーブル15などを介して信号処理回路が
搭載されたプリント配線基板16に送られていた。そし
て信号処理回路においては、前記磁気抵抗効果素子14
からの電気角で90度の位相差を有する正弦波の2相出
力信号(以下a相,b相とする)を、コンパレータやオ
ペアンプなどを用いて波形整形処理を行い矩形波(以下
A相,B相とする)にしてから引き出し線17を通じて
外部へ送出する。
角を検出する磁気式ロータリエンコーダは特開平1−3
18915号公報に示すような構成が一般的である。以
下、従来の磁気式エンコーダについて図9を参照しなが
ら説明する。図に示すように、外周面に必要とする分解
能のピッチでN,S極を着磁した磁気ドラム13と、こ
の磁気ドラム13の外周面に距離Lのギャップ(約10
0ミクロン)で配置された外部漏洩磁束を検出する磁気
抵抗効果素子14とを備え、その磁気抵抗効果素子14
から電気角で90度の位相差を有する正弦波の出力信号
を、フラットケーブル15などを介して信号処理回路が
搭載されたプリント配線基板16に送られていた。そし
て信号処理回路においては、前記磁気抵抗効果素子14
からの電気角で90度の位相差を有する正弦波の2相出
力信号(以下a相,b相とする)を、コンパレータやオ
ペアンプなどを用いて波形整形処理を行い矩形波(以下
A相,B相とする)にしてから引き出し線17を通じて
外部へ送出する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の構成では、
磁気抵抗効果素子14からの出力信号をフラットケーブ
ル15やプリント配線基板16の内部配線で長く引き回
すために、外部からの不要電磁波(以下ノイズとする)
などの影響を受け易いとともに、磁気信号検出処理部の
小型化がしにくいという欠点があった。特に磁気抵抗効
果素子14が、消費電流低減のため高抵抗(約数10K
オーム以上)になった場合に顕著に現われ、エンコーダ
を溶接現場などの悪環境で使用する場合に誤動作の原因
となった。
磁気抵抗効果素子14からの出力信号をフラットケーブ
ル15やプリント配線基板16の内部配線で長く引き回
すために、外部からの不要電磁波(以下ノイズとする)
などの影響を受け易いとともに、磁気信号検出処理部の
小型化がしにくいという欠点があった。特に磁気抵抗効
果素子14が、消費電流低減のため高抵抗(約数10K
オーム以上)になった場合に顕著に現われ、エンコーダ
を溶接現場などの悪環境で使用する場合に誤動作の原因
となった。
【0004】また、信号処理回路においては磁気ドラム
13が1回転したときの総パルス数を増加させたい場
合、磁気ドラム13の径を大きくし着磁数を増やすか、
着磁分解能のピッチを小さくするかであり、どれも磁気
信号検出処理部の小型化をしにくくする要因となってい
た。
13が1回転したときの総パルス数を増加させたい場
合、磁気ドラム13の径を大きくし着磁数を増やすか、
着磁分解能のピッチを小さくするかであり、どれも磁気
信号検出処理部の小型化をしにくくする要因となってい
た。
【0005】本発明は、上記問題を解決しようとするも
ので、外部からのノイズに強く、しかも磁気信号検出処
理部の小型化を実現した磁気式エンコーダを提供するこ
とを目的とする。
ので、外部からのノイズに強く、しかも磁気信号検出処
理部の小型化を実現した磁気式エンコーダを提供するこ
とを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、磁気抵抗効果素子と、磁気抵抗効果素子か
ら出力される信号を処理する集積回路と、磁気抵抗効果
素子と集積回路とを同一基板上で電気的に接続し配線実
装するプリント配線基板と、磁気抵抗効果素子と集積回
路とを実装したプリント配線基板の外部全体を電気的に
絶縁する絶縁膜と、絶縁膜の外部全体をさらに電磁波シ
ールド部材とで覆った磁気信号検出処理部を備えた構成
とした。
に本発明は、磁気抵抗効果素子と、磁気抵抗効果素子か
ら出力される信号を処理する集積回路と、磁気抵抗効果
素子と集積回路とを同一基板上で電気的に接続し配線実
装するプリント配線基板と、磁気抵抗効果素子と集積回
路とを実装したプリント配線基板の外部全体を電気的に
絶縁する絶縁膜と、絶縁膜の外部全体をさらに電磁波シ
ールド部材とで覆った磁気信号検出処理部を備えた構成
とした。
【0007】また、電磁波シールド部材を集積回路のグ
ラウンド端子(0Vの基準電位)に電気的に接続すると
ともに、電磁波シールド部材は、絶縁膜の外部全体に設
けられた非磁性の電気的導電体とした。
ラウンド端子(0Vの基準電位)に電気的に接続すると
ともに、電磁波シールド部材は、絶縁膜の外部全体に設
けられた非磁性の電気的導電体とした。
【0008】また、信号を処理する集積回路の内部に
は、磁気抵抗効果素子からの出力信号をインピーダンス
変換するインピーダンス変換回路と、インピーダンス変
換回路からの出力信号を波形整形する波形整形回路とを
内蔵する構成とした。
は、磁気抵抗効果素子からの出力信号をインピーダンス
変換するインピーダンス変換回路と、インピーダンス変
換回路からの出力信号を波形整形する波形整形回路とを
内蔵する構成とした。
【0009】さらに、集積回路の内部回路は、磁気抵抗
効果素子から出力される電気角で90度位相差をもった
正弦波信号aとbとそれぞれの論理反転した信号である
a−1とb−1とが入力信号となるインピーダンス変換
回路と、インピーダンス変換回路からの出力信号AとB
を比較するコンパレータ回路と、インピーダンス変換回
路からの出力信号AとB−1を比較するコンパレータ回
路と、インピーダンス変換回路からの出力信号AとA−
1を比較するコンパレータ回路と、インピーダンス変換
回路からの出力信号BとB−1を比較するコンパレータ
回路と、出力信号AとBを比較するコンパレータ回路か
らの出力と出力信号AとB−1を比較するコンパレータ
回路からの出力とを排他的論理和をとる排他的論理和回
路と、出力信号AとA−1を比較するコンパレータ回路
からの出力と出力信号BとB−1を比較するコンパレー
タ回路からの出力とを排他的論理和をとる排他的論理和
回路とを新たに付加した構成とした。
効果素子から出力される電気角で90度位相差をもった
正弦波信号aとbとそれぞれの論理反転した信号である
a−1とb−1とが入力信号となるインピーダンス変換
回路と、インピーダンス変換回路からの出力信号AとB
を比較するコンパレータ回路と、インピーダンス変換回
路からの出力信号AとB−1を比較するコンパレータ回
路と、インピーダンス変換回路からの出力信号AとA−
1を比較するコンパレータ回路と、インピーダンス変換
回路からの出力信号BとB−1を比較するコンパレータ
回路と、出力信号AとBを比較するコンパレータ回路か
らの出力と出力信号AとB−1を比較するコンパレータ
回路からの出力とを排他的論理和をとる排他的論理和回
路と、出力信号AとA−1を比較するコンパレータ回路
からの出力と出力信号BとB−1を比較するコンパレー
タ回路からの出力とを排他的論理和をとる排他的論理和
回路とを新たに付加した構成とした。
【0010】
【作用】本発明は上記した構成において、磁気抵抗効果
素子と集積回路とを、電磁波シールド部材で覆った磁気
信号検出処理部を構成したため、外部からのノイズなど
の影響を受けないで、しかも磁気信号検出処理部の小型
化が実現できる。
素子と集積回路とを、電磁波シールド部材で覆った磁気
信号検出処理部を構成したため、外部からのノイズなど
の影響を受けないで、しかも磁気信号検出処理部の小型
化が実現できる。
【0011】
(実施例1)以下、本発明の第1の実施例を図1および
図2を参照しながら説明する。
図2を参照しながら説明する。
【0012】図1は本発明の第1の実施例の磁気信号検
出処理部の斜視図である。図1に示すように、磁気抵抗
効果素子1はNi−Feなどの強磁性体薄膜より構成さ
れ、電気角で90度の位相差を有する正弦波信号aと
b、そしてそれぞれの論理反転した信号であるa−1と
b−1の合計4つの信号が出力される。
出処理部の斜視図である。図1に示すように、磁気抵抗
効果素子1はNi−Feなどの強磁性体薄膜より構成さ
れ、電気角で90度の位相差を有する正弦波信号aと
b、そしてそれぞれの論理反転した信号であるa−1と
b−1の合計4つの信号が出力される。
【0013】信号処理回路を内蔵した集積回路2は、磁
気抵抗効果素子1からの信号を波形整形や増幅するため
のオペアンプやコンパレータなどが1つのチップ上に集
積された超小型のカスタムLSIで構成される。
気抵抗効果素子1からの信号を波形整形や増幅するため
のオペアンプやコンパレータなどが1つのチップ上に集
積された超小型のカスタムLSIで構成される。
【0014】プリント配線基板3は磁気抵抗効果素子1
と集積回路2とを同一基板上で電気的に接続したもの
で、セラミックやエポキシの基板上に銅はくをフォトエ
ッチング処理して各配線パターンを構成したものであ
る。
と集積回路2とを同一基板上で電気的に接続したもの
で、セラミックやエポキシの基板上に銅はくをフォトエ
ッチング処理して各配線パターンを構成したものであ
る。
【0015】絶縁膜4はプリント配線基板3の外部全体
を電気的に絶縁したもので、エポキシ系の被覆樹脂で構
成される。そして電磁波シールド部材5は絶縁膜4の外
部全体を覆う部材であり、非磁性の電気的導電体である
銅・アルミニウム・チタンなどで構成される。また、プ
リント配線基板3の内層部に電磁波シールド部材5の層
を設けて、シールドの一部として代用することも可能で
ある。
を電気的に絶縁したもので、エポキシ系の被覆樹脂で構
成される。そして電磁波シールド部材5は絶縁膜4の外
部全体を覆う部材であり、非磁性の電気的導電体である
銅・アルミニウム・チタンなどで構成される。また、プ
リント配線基板3の内層部に電磁波シールド部材5の層
を設けて、シールドの一部として代用することも可能で
ある。
【0016】図2は、図1の磁気信号検出処理部6の断
面図である。 (実施例2)次に、本発明の第2の実施例を図3および
図4を参照しながら説明する。
面図である。 (実施例2)次に、本発明の第2の実施例を図3および
図4を参照しながら説明する。
【0017】図3は本発明の第2の実施例の磁気信号検
出処理部の斜視図である。この場合は、磁気抵抗効果素
子1と集積回路2をプリント配線基板3をはさんで反対
側の面に実装した実施例である。図4は、図3の磁気信
号検出処理部6の断面図である。
出処理部の斜視図である。この場合は、磁気抵抗効果素
子1と集積回路2をプリント配線基板3をはさんで反対
側の面に実装した実施例である。図4は、図3の磁気信
号検出処理部6の断面図である。
【0018】(実施例3)本発明の第3の実施例を図5
および図6を参照しながら説明する。
および図6を参照しながら説明する。
【0019】図5は前記第1の実施例または第2の実施
例で説明した磁気信号検出処理部6と磁気ドラム7と引
き出し電線8との配置関係を示した側面図、図6は、本
発明の磁気抵抗効果素子1と集積回路2と絶縁膜4と電
磁波シールド部材5との電気的な配線と集積回路2の内
部構成を示した回路図である。
例で説明した磁気信号検出処理部6と磁気ドラム7と引
き出し電線8との配置関係を示した側面図、図6は、本
発明の磁気抵抗効果素子1と集積回路2と絶縁膜4と電
磁波シールド部材5との電気的な配線と集積回路2の内
部構成を示した回路図である。
【0020】磁気抵抗効果素子1はMR1〜MR8で構
成され図6に示すように配線されている。磁気抵抗効果
素子1からは、電気角で90度の位相差を有する正弦波
信号aとb、そしてそれぞれの論理反転した信号である
a−1とb−1の合計4つの信号が出力され、それらが
集積回路2に入力される。集積回路2では、まずオペア
ンプを用いたインピーダンス変換回路9a〜9dに信号
が入力され、その出力がコンパレータ回路10a・10
bにて波形整形され外部へ出力される。また、磁気抵抗
効果素子1と集積回路2はすべて絶縁膜4で覆われ、そ
の絶縁膜4の外部をさらに電磁波シールド部材5で覆
う。そして、電磁波シールド部材5は電気的に接続線1
1にて集積回路2のグラウンド端子(0Vの基準電位)
に電気的に接続する。
成され図6に示すように配線されている。磁気抵抗効果
素子1からは、電気角で90度の位相差を有する正弦波
信号aとb、そしてそれぞれの論理反転した信号である
a−1とb−1の合計4つの信号が出力され、それらが
集積回路2に入力される。集積回路2では、まずオペア
ンプを用いたインピーダンス変換回路9a〜9dに信号
が入力され、その出力がコンパレータ回路10a・10
bにて波形整形され外部へ出力される。また、磁気抵抗
効果素子1と集積回路2はすべて絶縁膜4で覆われ、そ
の絶縁膜4の外部をさらに電磁波シールド部材5で覆
う。そして、電磁波シールド部材5は電気的に接続線1
1にて集積回路2のグラウンド端子(0Vの基準電位)
に電気的に接続する。
【0021】(実施例4)本発明の第4の実施例を図7
および図8を参照しながら説明する。
および図8を参照しながら説明する。
【0022】図7は、磁気ドラム7の1回転あたりの総
パルス数を従来の2倍にする2逓倍回路を集積回路2の
内部に設けた場合の回路例である。基本的な考え方は、
磁気抵抗効果素子1から出力される電気角で90度の位
相差を有する正弦波信号aとb、そしてそれぞれの論理
反転した信号であるa−1とb−1の合計4つの信号の
波形のクロス点を利用し波形整形することである。
パルス数を従来の2倍にする2逓倍回路を集積回路2の
内部に設けた場合の回路例である。基本的な考え方は、
磁気抵抗効果素子1から出力される電気角で90度の位
相差を有する正弦波信号aとb、そしてそれぞれの論理
反転した信号であるa−1とb−1の合計4つの信号の
波形のクロス点を利用し波形整形することである。
【0023】その内部回路は、磁気抵抗効果素子1から
出力される90度位相差をもった正弦波信号aとbとそ
れぞれの論理反転した信号であるa−1とb−1とが入
力信号となるインピーダンス変換回路9a〜9dと、イ
ンピーダンス変換回路9a・9cからの出力信号AとB
を比較するコンパレータ回路10cと、インピーダンス
変換回路9a・9dからの出力信号AとB−1を比較す
るコンパレータ回路10dと、インピーダンス変換回路
9a・9bからの出力信号AとA−1を比較するコンパ
レータ回路10aと、インピーダンス変換回路9c・9
dからの出力信号BとB−1を比較するコンパレータ回
路10bと、出力信号AとBを比較するコンパレータ回
路10cからの出力と出力信号AとB−1を比較するコ
ンパレータ回路10dからの出力とを排他的論理和をと
る排他的論理和回路12aと、出力信号AとA−1を比
較するコンパレータ回路10aからの出力と出力信号B
とB−1を比較するコンパレータ回路10bからの出力
とを排他的論理和をとる排他的論理和回路12bとを付
加した構成である。
出力される90度位相差をもった正弦波信号aとbとそ
れぞれの論理反転した信号であるa−1とb−1とが入
力信号となるインピーダンス変換回路9a〜9dと、イ
ンピーダンス変換回路9a・9cからの出力信号AとB
を比較するコンパレータ回路10cと、インピーダンス
変換回路9a・9dからの出力信号AとB−1を比較す
るコンパレータ回路10dと、インピーダンス変換回路
9a・9bからの出力信号AとA−1を比較するコンパ
レータ回路10aと、インピーダンス変換回路9c・9
dからの出力信号BとB−1を比較するコンパレータ回
路10bと、出力信号AとBを比較するコンパレータ回
路10cからの出力と出力信号AとB−1を比較するコ
ンパレータ回路10dからの出力とを排他的論理和をと
る排他的論理和回路12aと、出力信号AとA−1を比
較するコンパレータ回路10aからの出力と出力信号B
とB−1を比較するコンパレータ回路10bからの出力
とを排他的論理和をとる排他的論理和回路12bとを付
加した構成である。
【0024】各部の信号波形は図8に示すように、1A
・1B・2A・2Bの位相のずれた正弦波信号のクロス
点を利用して波形整形することで生成し、排他的論理和
回路12にて3A・3Bの2逓倍の信号を生成すること
により、1回転あたりの総パルス数を従来の2倍となり
精度を向上することができる。また、ここで使用したイ
ンピーダンス変換回路9は、オペアンプ以外のトランジ
スタのエミッタフォロワ回路でも構成することが可能で
ある。
・1B・2A・2Bの位相のずれた正弦波信号のクロス
点を利用して波形整形することで生成し、排他的論理和
回路12にて3A・3Bの2逓倍の信号を生成すること
により、1回転あたりの総パルス数を従来の2倍となり
精度を向上することができる。また、ここで使用したイ
ンピーダンス変換回路9は、オペアンプ以外のトランジ
スタのエミッタフォロワ回路でも構成することが可能で
ある。
【0025】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、磁気抵
抗効果素子と集積回路とを、電磁波シールド部材で覆っ
た磁気信号検出処理部を構成することにより、外部から
のノイズなどの影響を受けないで、しかも磁気信号検出
処理部の小型化が実現できる。
抗効果素子と集積回路とを、電磁波シールド部材で覆っ
た磁気信号検出処理部を構成することにより、外部から
のノイズなどの影響を受けないで、しかも磁気信号検出
処理部の小型化が実現できる。
【図1】本発明の第1の実施例の磁気信号検出処理部の
斜視図
斜視図
【図2】同、磁気信号検出処理部のA−A線における断
面図
面図
【図3】本発明の第2の実施例の磁気信号検出処理部の
斜視図
斜視図
【図4】同、磁気信号検出処理部のB−B線における断
面図
面図
【図5】本発明の第3の実施例の磁気信号検出処理部と
磁気ドラムと引き出し電線との配置関係を示す側面図
磁気ドラムと引き出し電線との配置関係を示す側面図
【図6】同、磁気信号検出処理部の内部構成を示した回
路図
路図
【図7】本発明の第4の実施例の2逓倍回路の集積回路
図
図
【図8】同、集積回路の信号波形図
【図9】従来の磁気信号検出処理部と磁気ドラムと引き
出し電線との配置関係を示す側面図
出し電線との配置関係を示す側面図
1 磁気抵抗効果素子 2 集積回路 3 プリント配線基板 4 絶縁膜 5 電磁波シールド部材 6 磁気信号検出処理部 7 磁気ドラム 9a,9b,9c,9d インピーダンス変換回路 10a,10b,10c,10d コンパレータ回路 11 接続線 12a.12b 排他的論理和回路
Claims (7)
- 【請求項1】 回転体により回転され、外周面に円周方
向に沿って等間隔でN,S極が着磁された磁気ドラムの
外部漏洩磁束を検出する磁気抵抗効果素子と、前記磁気
抵抗効果素子から出力される信号を処理する集積回路
と、前記磁気抵抗効果素子と前記集積回路とを同一基板
上で電気的に接続し配線実装するプリント配線基板と、
前記磁気抵抗効果素子と集積回路とを実装した前記プリ
ント配線基板の外部全体を電気的に絶縁する絶縁膜と、
前記絶縁膜の外部全体をさらに電磁波シールド部材で覆
った磁気信号検出処理部を備えた磁気式エンコーダ。 - 【請求項2】 電磁波シールド部材を、集積回路のグラ
ウンド端子(0Vの基準電位)に電気的に接続した請求
項1記載の磁気式エンコーダ。 - 【請求項3】 電磁波シールド部材は、絶縁膜の外部全
体に設けられた非磁性の電気的導電体とした請求項1記
載の磁気式エンコーダ。 - 【請求項4】 電磁波シールド部材の一面を、プリント
配線基板の内層に設け、集積回路のグラウンド端子(0
Vの基準電位)に前記プリント配線基板の内層を通じて
電気的に接続した請求項1記載の磁気式エンコーダ。 - 【請求項5】 集積回路の内部回路が、磁気抵抗効果素
子からの出力信号をインピーダンス変換するインピーダ
ンス変換回路と、前記インピーダンス変換回路からの出
力信号を波形整形する波形整形回路で構成した請求項1
記載の磁気式エンコーダ。 - 【請求項6】 集積回路の内部回路が、磁気抵抗効果素
子から出力される電気角で90度位相差をもった正弦波
信号aとbとそれぞれの論理反転した信号であるa−1
とb−1とが入力信号となるインピーダンス変換回路
と、前記インピーダンス変換回路からの出力信号AとB
を比較するコンパレータ回路と、前記インピーダンス変
換回路からの出力信号AとB−1を比較するコンパレー
タ回路と、前記インピーダンス変換回路からの出力信号
AとA−1を比較するコンパレータ回路と、前記インピ
ーダンス変換回路からの出力信号BとB−1を比較する
コンパレータ回路と、出力信号AとBを比較する前記コ
ンパレータ回路からの出力と出力信号AとB−1を比較
する前記コンパレータ回路からの出力とを排他的論理和
をとる排他的論理和回路と、出力信号AとA−1を比較
する前記コンパレータ回路からの出力と前記出力信号B
とB−1を比較するコンパレータ回路からの出力とを排
他的論理和をとる排他的論理和回路で構成した請求項1
記載の磁気式エンコーダ。 - 【請求項7】 集積回路がCMOSデバイスで形成した
請求項1記載の磁気式エンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6006079A JPH07209019A (ja) | 1994-01-25 | 1994-01-25 | 磁気式エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6006079A JPH07209019A (ja) | 1994-01-25 | 1994-01-25 | 磁気式エンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07209019A true JPH07209019A (ja) | 1995-08-11 |
Family
ID=11628564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6006079A Pending JPH07209019A (ja) | 1994-01-25 | 1994-01-25 | 磁気式エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07209019A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008039788A (ja) * | 2007-09-03 | 2008-02-21 | Tdk Corp | 磁気センサ |
| WO2009110358A1 (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-11 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ、及び磁気エンコーダ、ならびに磁気センサの製造方法 |
| JP2010249655A (ja) * | 2009-04-15 | 2010-11-04 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 磁気センサ |
| WO2015111534A1 (ja) * | 2014-01-22 | 2015-07-30 | アルプス電気株式会社 | センサモジュール、並びに、これに用いるセンサチップ及び処理回路チップ |
-
1994
- 1994-01-25 JP JP6006079A patent/JPH07209019A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008039788A (ja) * | 2007-09-03 | 2008-02-21 | Tdk Corp | 磁気センサ |
| WO2009110358A1 (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-11 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ、及び磁気エンコーダ、ならびに磁気センサの製造方法 |
| JP5066603B2 (ja) * | 2008-03-04 | 2012-11-07 | アルプス電気株式会社 | 磁気センサ、及び磁気エンコーダ、ならびに磁気センサの製造方法 |
| JP2010249655A (ja) * | 2009-04-15 | 2010-11-04 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 磁気センサ |
| WO2015111534A1 (ja) * | 2014-01-22 | 2015-07-30 | アルプス電気株式会社 | センサモジュール、並びに、これに用いるセンサチップ及び処理回路チップ |
| US10066942B2 (en) | 2014-01-22 | 2018-09-04 | Alps Electric Co., Ltd. | Sensor module, and sensor chip and processing circuit chip used therefor |
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