JPH07210864A - ハードディスク媒体製造装置 - Google Patents
ハードディスク媒体製造装置Info
- Publication number
- JPH07210864A JPH07210864A JP32773793A JP32773793A JPH07210864A JP H07210864 A JPH07210864 A JP H07210864A JP 32773793 A JP32773793 A JP 32773793A JP 32773793 A JP32773793 A JP 32773793A JP H07210864 A JPH07210864 A JP H07210864A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- spindle
- disk medium
- hard disk
- polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 54
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 47
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 12
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910018104 Ni-P Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018536 Ni—P Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 能率よく基板に研磨傷を形成し、また外周部
の交差角、内周部の交差角の両者を最適範囲にすること
を容易にする。 【構成】 基台１に移動ガイド２１を設け、移動ガイド
２１に移動体２２を移動可能に取り付け、移動体２２に
モータ２３を設け、移動体２２にモータ２３によって回
転されるスピンドル２５を取り付け、基台１と移動体２
２との間にバネ２６を設け、移動体２２に従動部材２７
を設け、基台１にモータ２８を設け、モータ２８の出力
軸に従動部材２７と接するカム２９を設ける。
の交差角、内周部の交差角の両者を最適範囲にすること
を容易にする。 【構成】 基台１に移動ガイド２１を設け、移動ガイド
２１に移動体２２を移動可能に取り付け、移動体２２に
モータ２３を設け、移動体２２にモータ２３によって回
転されるスピンドル２５を取り付け、基台１と移動体２
２との間にバネ２６を設け、移動体２２に従動部材２７
を設け、基台１にモータ２８を設け、モータ２８の出力
軸に従動部材２７と接するカム２９を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はハードディスク記録装
置用のハードディスク媒体の基板の表面に綾目模様の研
磨傷を設けるいわゆるテクスチュアリング用のハードデ
ィスク媒体製造装置に関するものである。
置用のハードディスク媒体の基板の表面に綾目模様の研
磨傷を設けるいわゆるテクスチュアリング用のハードデ
ィスク媒体製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ハードディスク媒体を製造するには、Ａ
ｌ合金等からなる基板の表面にＮｉ−Ｐメッキ膜からな
る下地膜を形成したのち、基板の表面に綾目模様の研磨
傷を設け、基板を洗浄乾燥し、スパッタリング法等によ
って磁性体膜を形成している。
ｌ合金等からなる基板の表面にＮｉ−Ｐメッキ膜からな
る下地膜を形成したのち、基板の表面に綾目模様の研磨
傷を設け、基板を洗浄乾燥し、スパッタリング法等によ
って磁性体膜を形成している。
【０００３】このように、基板の表面に磁性体膜を形成
する前に、基板の表面に綾目模様の研磨傷を設けたとき
には、磁性体膜の磁気特性が向上し、また磁性体膜と記
録・再生用磁気ヘッドとの間に空隙が形成されるから、
記録・再生用磁気ヘッドが浮上し易くなり、さらに基板
と磁性体膜との接触面積が多くなるから、磁性体膜が剥
がれにくくなる。
する前に、基板の表面に綾目模様の研磨傷を設けたとき
には、磁性体膜の磁気特性が向上し、また磁性体膜と記
録・再生用磁気ヘッドとの間に空隙が形成されるから、
記録・再生用磁気ヘッドが浮上し易くなり、さらに基板
と磁性体膜との接触面積が多くなるから、磁性体膜が剥
がれにくくなる。
【０００４】図６は従来のハードディスク媒体製造装置
を示す正面図、図７は図６に示したハードディスク媒体
製造装置の一部を示す正面図、図８は図６に示したハー
ドディスク媒体製造装置の一部を示す側面図である。図
に示すように、基台１にモータ２が設けられ、基台１に
スピンドル４が回転可能に取り付けられ、スピンドル４
はハードディスク媒体の基板１６の穴部を保持するコレ
ットチャックを有し、スピンドル４はベルト３を介して
モータ２によって回転される。基台１に図６、図７の紙
面左右方向に移動可能なテープ駆動機本体９ａ、９ｂが
取り付けられた一対の移動体５ａ、５ｂが取り付けら
れ、基台１にモータ６が設けられ、基台１に回転可能に
ボールネジ８が取り付けられ、ボールネジ８はベルト７
を介してモータ６によって回転され、ボールネジ８には
逆向きの雄ネジ（図示せず）が形成され、それらの雄ネ
ジがそれぞれ移動体５ａ、５ｂに設けられた雌ネジ（図
示せず）に係合している。移動体５ａ、５ｂに取り付け
られたテープ駆動機本体９ａ、９ｂにテープ供給リール
１０、ロードローラ１１、テープ巻取リール１２が設け
られ、テープ供給リール１０、ロードローラ１１、テー
プ巻取リール１２に研磨テープ１３が巻かれている。テ
ープ駆動機本体９ａ、９ｂにテープテンション自動調整
機１４が設けられ、テープテンション自動調整機１４は
研磨テープ１３のテープテンションを調整する。そし
て、テープ駆動機本体９ａ、９ｂ、テープ供給リール１
０、ロードローラ１１、テープ巻取リール１２、テープ
テンション自動調整機１４によって基板１６の表面を研
磨するテープ駆動機１５が構成されている。
を示す正面図、図７は図６に示したハードディスク媒体
製造装置の一部を示す正面図、図８は図６に示したハー
ドディスク媒体製造装置の一部を示す側面図である。図
に示すように、基台１にモータ２が設けられ、基台１に
スピンドル４が回転可能に取り付けられ、スピンドル４
はハードディスク媒体の基板１６の穴部を保持するコレ
ットチャックを有し、スピンドル４はベルト３を介して
モータ２によって回転される。基台１に図６、図７の紙
面左右方向に移動可能なテープ駆動機本体９ａ、９ｂが
取り付けられた一対の移動体５ａ、５ｂが取り付けら
れ、基台１にモータ６が設けられ、基台１に回転可能に
ボールネジ８が取り付けられ、ボールネジ８はベルト７
を介してモータ６によって回転され、ボールネジ８には
逆向きの雄ネジ（図示せず）が形成され、それらの雄ネ
ジがそれぞれ移動体５ａ、５ｂに設けられた雌ネジ（図
示せず）に係合している。移動体５ａ、５ｂに取り付け
られたテープ駆動機本体９ａ、９ｂにテープ供給リール
１０、ロードローラ１１、テープ巻取リール１２が設け
られ、テープ供給リール１０、ロードローラ１１、テー
プ巻取リール１２に研磨テープ１３が巻かれている。テ
ープ駆動機本体９ａ、９ｂにテープテンション自動調整
機１４が設けられ、テープテンション自動調整機１４は
研磨テープ１３のテープテンションを調整する。そし
て、テープ駆動機本体９ａ、９ｂ、テープ供給リール１
０、ロードローラ１１、テープ巻取リール１２、テープ
テンション自動調整機１４によって基板１６の表面を研
磨するテープ駆動機１５が構成されている。
【０００５】このハードディスク媒体製造装置において
は、スピンドル４に基板１６を取り付け、モータ６を所
定方向に所定量だけ回転すると、移動体５ａ、テープ駆
動機本体９ａが図６紙面右方に移動し、移動体５ｂ、テ
ープ駆動機本体９ｂが図６紙面左方に移動し、テープ駆
動機本体９ａ、９ｂが閉じて、ロードローラ１１に巻か
れた研磨テープ１３が基板１６の表裏両面を均等圧力で
挾む。この状態で、モータ２を作動し、テープ駆動機１
５を作動し、さらにモータ６を正逆転すると、基板１６
が回転し、研磨テープ１３が走行するとともに、テープ
駆動機本体９ａ、９ｂが図６紙面左右方向に往復移動し
て、基板１６の表面に深さが３〜１０ｎｍの綾目模様の
研磨傷が形成される。
は、スピンドル４に基板１６を取り付け、モータ６を所
定方向に所定量だけ回転すると、移動体５ａ、テープ駆
動機本体９ａが図６紙面右方に移動し、移動体５ｂ、テ
ープ駆動機本体９ｂが図６紙面左方に移動し、テープ駆
動機本体９ａ、９ｂが閉じて、ロードローラ１１に巻か
れた研磨テープ１３が基板１６の表裏両面を均等圧力で
挾む。この状態で、モータ２を作動し、テープ駆動機１
５を作動し、さらにモータ６を正逆転すると、基板１６
が回転し、研磨テープ１３が走行するとともに、テープ
駆動機本体９ａ、９ｂが図６紙面左右方向に往復移動し
て、基板１６の表面に深さが３〜１０ｎｍの綾目模様の
研磨傷が形成される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このようなハ
ードディスク媒体製造装置においては、テープ駆動機１
５の重量が大きいから、テープ駆動機本体９ａ、９ｂの
単位時間当りの往復移動回数を多くしようとすると、装
置全体に振動を生じ、一定かつ直線的で滑らかな往復移
動が得られず、テープ駆動機本体９ａ、９ｂの単位時間
当りの往復移動回数を５回／秒以上にはできないので、
相対的な基板１６に対する研磨テープ１３の単位時間当
りの往復移動回数（オッシレーション）を５回／秒以上
にはできないため、能率よく基板１６に研磨傷を形成す
ることができない。すなわち、図９に示すような研磨傷
の交差角θ1、θ2が１０〜５５°の範囲内であるのが最
適であるが、相対的な基板１６に対する研磨テープ１３
の単位時間当りの往復移動回数が少ない場合には、基板
１６の回転速度を小さくしなければ、交差角θ1、θ2を
最適にすることができないから、能率よく基板１６に研
磨傷を形成することができない。また、図９に示すよう
に、外周部の交差角θ1は内周部の交差角θ2よりも小さ
くなるが、相対的な基板１６に対する研磨テープ１３の
単位時間当りの往復移動回数を５回／秒以上にはできな
いから、交差角θ1、θ2の両者を１０〜５５°の範囲内
にすることが困難である。すなわち、基板１６の回転速
度、テープ駆動機本体９ａ、９ｂの単位時間当りの往復
移動回数を調整して、交差角θ1を最適にしたときに
は、交差角θ2が大きくなり、反対に交差角θ2を最適に
したときには、交差角θ1が小さくなる。そして、ハー
ドディスク媒体の外径が約６５ｍｍ（２．５インチ）、
約４８ｍｍ（１．８９インチ）と小径化したときには、
交差角θ1、θ2の両者を１０〜５５°の範囲にすること
がますます困難になる。
ードディスク媒体製造装置においては、テープ駆動機１
５の重量が大きいから、テープ駆動機本体９ａ、９ｂの
単位時間当りの往復移動回数を多くしようとすると、装
置全体に振動を生じ、一定かつ直線的で滑らかな往復移
動が得られず、テープ駆動機本体９ａ、９ｂの単位時間
当りの往復移動回数を５回／秒以上にはできないので、
相対的な基板１６に対する研磨テープ１３の単位時間当
りの往復移動回数（オッシレーション）を５回／秒以上
にはできないため、能率よく基板１６に研磨傷を形成す
ることができない。すなわち、図９に示すような研磨傷
の交差角θ1、θ2が１０〜５５°の範囲内であるのが最
適であるが、相対的な基板１６に対する研磨テープ１３
の単位時間当りの往復移動回数が少ない場合には、基板
１６の回転速度を小さくしなければ、交差角θ1、θ2を
最適にすることができないから、能率よく基板１６に研
磨傷を形成することができない。また、図９に示すよう
に、外周部の交差角θ1は内周部の交差角θ2よりも小さ
くなるが、相対的な基板１６に対する研磨テープ１３の
単位時間当りの往復移動回数を５回／秒以上にはできな
いから、交差角θ1、θ2の両者を１０〜５５°の範囲内
にすることが困難である。すなわち、基板１６の回転速
度、テープ駆動機本体９ａ、９ｂの単位時間当りの往復
移動回数を調整して、交差角θ1を最適にしたときに
は、交差角θ2が大きくなり、反対に交差角θ2を最適に
したときには、交差角θ1が小さくなる。そして、ハー
ドディスク媒体の外径が約６５ｍｍ（２．５インチ）、
約４８ｍｍ（１．８９インチ）と小径化したときには、
交差角θ1、θ2の両者を１０〜５５°の範囲にすること
がますます困難になる。
【０００７】この発明は上述の課題を解決するためにな
されたもので、能率よく基板に研磨傷を形成することが
でき、また外周部の交差角、内周部の交差角の両者を最
適範囲にすることが容易であるハードディスク媒体製造
装置を提供することを目的とする。
されたもので、能率よく基板に研磨傷を形成することが
でき、また外周部の交差角、内周部の交差角の両者を最
適範囲にすることが容易であるハードディスク媒体製造
装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明においては、ハードディスク媒体の基板を
保持して回転するスピンドルと、上記基板の表面を研磨
する研磨手段とを有するハードディスク媒体製造装置に
おいて、上記スピンドルを往復移動するスピンドル往復
移動手段を設ける。
め、この発明においては、ハードディスク媒体の基板を
保持して回転するスピンドルと、上記基板の表面を研磨
する研磨手段とを有するハードディスク媒体製造装置に
おいて、上記スピンドルを往復移動するスピンドル往復
移動手段を設ける。
【０００９】この場合、上記研磨手段としてテープ駆動
機を用いてもよい。
機を用いてもよい。
【００１０】また、上記研磨手段として回転する研磨板
を有するものを用いてもよい。
を有するものを用いてもよい。
【００１１】
【作用】このハードディスク媒体製造装置においては、
重量の小さいスピンドルを往復移動させるから、スピン
ドルの単位時間当りの最大往復移動回数を大きくするこ
とができるので、基板に対する研磨材の単位時間当りの
最大往復移動回数（オッシレーション）を大きくするこ
とができる。
重量の小さいスピンドルを往復移動させるから、スピン
ドルの単位時間当りの最大往復移動回数を大きくするこ
とができるので、基板に対する研磨材の単位時間当りの
最大往復移動回数（オッシレーション）を大きくするこ
とができる。
【００１２】
【実施例】図１はこの発明に係るハードディスク媒体製
造装置の一部を示す正面図、図２は図１に示したハード
ディスク媒体製造装置の一部を示す側面図、図３は図１
に示したハードディスク媒体製造装置のスピンドル駆動
部の一部を示す正面図、図４は図１に示したハードディ
スク媒体製造装置のスピンドル駆動部の一部を示す平面
図、図５は図１に示したハードディスク媒体製造装置の
スピンドル駆動部の一部を示す側面図である。図に示す
ように、基台１に移動ガイド２１が設けられ、移動ガイ
ド２１に移動体２２が移動可能に取り付けられ、移動体
２２にモータ２３が設けられ、移動体２２にスピンドル
２５が回転可能に取り付けられ、スピンドル２５はハー
ドディスク媒体の基板１６の穴部を保持するコレットチ
ャックを有し、スピンドル２５はベルト２４を介してモ
ータ２３によって回転される。基台１と移動体２２との
間にバネ２６が設けられ、移動体２２に従動部材２７が
設けられ、基台１にモータ２８が設けられ、モータ２８
の出力軸にカム２９が設けられ、カム２９と従動部材２
７とが接しており、移動ガイド２１、移動体２２、バネ
２６、モータ２８、カム２９等によりスピンドル２５を
基板１６の表面と平行に往復移動するスピンドル往復移
動手段３０が構成されている。
造装置の一部を示す正面図、図２は図１に示したハード
ディスク媒体製造装置の一部を示す側面図、図３は図１
に示したハードディスク媒体製造装置のスピンドル駆動
部の一部を示す正面図、図４は図１に示したハードディ
スク媒体製造装置のスピンドル駆動部の一部を示す平面
図、図５は図１に示したハードディスク媒体製造装置の
スピンドル駆動部の一部を示す側面図である。図に示す
ように、基台１に移動ガイド２１が設けられ、移動ガイ
ド２１に移動体２２が移動可能に取り付けられ、移動体
２２にモータ２３が設けられ、移動体２２にスピンドル
２５が回転可能に取り付けられ、スピンドル２５はハー
ドディスク媒体の基板１６の穴部を保持するコレットチ
ャックを有し、スピンドル２５はベルト２４を介してモ
ータ２３によって回転される。基台１と移動体２２との
間にバネ２６が設けられ、移動体２２に従動部材２７が
設けられ、基台１にモータ２８が設けられ、モータ２８
の出力軸にカム２９が設けられ、カム２９と従動部材２
７とが接しており、移動ガイド２１、移動体２２、バネ
２６、モータ２８、カム２９等によりスピンドル２５を
基板１６の表面と平行に往復移動するスピンドル往復移
動手段３０が構成されている。
【００１３】このハードディスク媒体製造装置において
は、スピンドル２５に基板１６を取り付け、モータ６を
所定方向に所定量だけ回転すると、テープ駆動機本体９
ａ、９ｂが閉じて、ロードローラ１１に巻かれた研磨テ
ープ１３が基板１６の表裏両面を均等圧力で挾む。この
状態で、モータ６を停止し、テープ駆動機本体９ａ、９
ｂを停止する。つぎに、モータ２３を作動し、テープ駆
動機１５を作動し、さらにモータ２８を作動すると、基
板１６が回転し、研磨テープ１３が走行するとともに、
カム２９が回転し、移動体２２が往復移動するから、ス
ピンドル２５が基板１６の表面と平行に往復移動して、
基板１６の表面に深さが３〜１０ｎｍの綾目模様の研磨
傷が形成される。
は、スピンドル２５に基板１６を取り付け、モータ６を
所定方向に所定量だけ回転すると、テープ駆動機本体９
ａ、９ｂが閉じて、ロードローラ１１に巻かれた研磨テ
ープ１３が基板１６の表裏両面を均等圧力で挾む。この
状態で、モータ６を停止し、テープ駆動機本体９ａ、９
ｂを停止する。つぎに、モータ２３を作動し、テープ駆
動機１５を作動し、さらにモータ２８を作動すると、基
板１６が回転し、研磨テープ１３が走行するとともに、
カム２９が回転し、移動体２２が往復移動するから、ス
ピンドル２５が基板１６の表面と平行に往復移動して、
基板１６の表面に深さが３〜１０ｎｍの綾目模様の研磨
傷が形成される。
【００１４】このようなハードディスク媒体製造装置に
おいては、重量の小さいスピンドル２５を往復移動させ
るから、スピンドル２５の単位時間当りの最大往復移動
回数を２０回／秒以上と大きくすることができるので、
相対的な基板１６に対する研磨テープ１３の単位時間当
りの最大往復移動回数（オッシレーション）を２０回／
秒以上と大きくすることができる。そして、相対的な基
板１６に対する研磨テープ１３の単位時間当りの最大往
復移動回数を大きくしたときには、基板１６の回転速度
を大きくしたとしても、交差角θ1、θ2を最適にするこ
とができるから、能率よく基板１６に研磨傷を形成する
ことができる。また、相対的な基板１６に対する研磨テ
ープ１３の単位時間当りの最大往復移動回数を大きくす
ることができるから、ハードディスク媒体の外径が約６
５ｍｍ、約４８ｍｍと小径化したとしても、外周部の交
差角θ1、内周部の交差角θ2の両者を最適範囲にするこ
とが容易である。さらに、重量の小さいスピンドル２５
を往復移動させるから、基板１６の移動速度が一定にな
るので、基板１６の表面に適正な研磨傷を設けることが
できる。
おいては、重量の小さいスピンドル２５を往復移動させ
るから、スピンドル２５の単位時間当りの最大往復移動
回数を２０回／秒以上と大きくすることができるので、
相対的な基板１６に対する研磨テープ１３の単位時間当
りの最大往復移動回数（オッシレーション）を２０回／
秒以上と大きくすることができる。そして、相対的な基
板１６に対する研磨テープ１３の単位時間当りの最大往
復移動回数を大きくしたときには、基板１６の回転速度
を大きくしたとしても、交差角θ1、θ2を最適にするこ
とができるから、能率よく基板１６に研磨傷を形成する
ことができる。また、相対的な基板１６に対する研磨テ
ープ１３の単位時間当りの最大往復移動回数を大きくす
ることができるから、ハードディスク媒体の外径が約６
５ｍｍ、約４８ｍｍと小径化したとしても、外周部の交
差角θ1、内周部の交差角θ2の両者を最適範囲にするこ
とが容易である。さらに、重量の小さいスピンドル２５
を往復移動させるから、基板１６の移動速度が一定にな
るので、基板１６の表面に適正な研磨傷を設けることが
できる。
【００１５】ここで、スピンドル２５の往復移動速度を
Ｐ、スピンドル２５の往復移動幅をＡ、スピンドル２５
の回転速度をＷとすると、基板１６の半径ｒの位置にお
ける研磨傷の交差角θは次式で表わされる。
Ｐ、スピンドル２５の往復移動幅をＡ、スピンドル２５
の回転速度をＷとすると、基板１６の半径ｒの位置にお
ける研磨傷の交差角θは次式で表わされる。
【００１６】θ＝２tan~1(ＰＡ／２Ｗｒ) そして、外径が約６５ｍｍの基板１６の研磨傷の外周部
の交差角θ1、内周部の交差角θ2を上記式により計算し
た結果は表１のようになり、外径が約４８ｍｍの基板１
６の研磨傷の外周部の交差角θ1、内周部の交差角θ2を
上記式により計算した結果は表２のようになる。なお、
表１、表２において交差角θ1、θ2の単位は（°）であ
る。
の交差角θ1、内周部の交差角θ2を上記式により計算し
た結果は表１のようになり、外径が約４８ｍｍの基板１
６の研磨傷の外周部の交差角θ1、内周部の交差角θ2を
上記式により計算した結果は表２のようになる。なお、
表１、表２において交差角θ1、θ2の単位は（°）であ
る。
【００１７】
【表１】
【００１８】
【表２】
【００１９】この表１、表２からも明らかなように、ス
ピンドル２５の単位時間当りの往復移動回数すなわち相
対的な基板１６に対する研磨テープ１３の単位時間当り
の往復移動回数を５回／秒としたときには、スピンドル
２５の回転速度Ｗをかなり小さくしなければ、交差角θ
1、θ2を最適範囲にすることができない。また、スピン
ドル２５の単位時間当りの往復移動回数を２０回／秒以
上としたときには、外周部の交差角θ1、内周部の交差
角θ2の両者を容易に最適範囲にすることができる。
ピンドル２５の単位時間当りの往復移動回数すなわち相
対的な基板１６に対する研磨テープ１３の単位時間当り
の往復移動回数を５回／秒としたときには、スピンドル
２５の回転速度Ｗをかなり小さくしなければ、交差角θ
1、θ2を最適範囲にすることができない。また、スピン
ドル２５の単位時間当りの往復移動回数を２０回／秒以
上としたときには、外周部の交差角θ1、内周部の交差
角θ2の両者を容易に最適範囲にすることができる。
【００２０】なお、上述実施例においては、研磨手段と
してテープ駆動機１５を用いたが、研磨手段として回転
する研磨板を有するもの等を用いてもよい。また、上述
実施例においては、研磨テープ１３を用いたが、基板１
６を研磨する際に砥粒懸濁液を用いてもよい。
してテープ駆動機１５を用いたが、研磨手段として回転
する研磨板を有するもの等を用いてもよい。また、上述
実施例においては、研磨テープ１３を用いたが、基板１
６を研磨する際に砥粒懸濁液を用いてもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、この発明に係るハ
ードディスク媒体製造装置においては、基板に対する研
磨材の単位時間当りの最大往復移動回数を大きくするこ
とができるから、、能率よく基板に研磨傷を形成するこ
とができ、また外周部の交差角、内周部の交差角の両者
を最適範囲にすることが容易である。
ードディスク媒体製造装置においては、基板に対する研
磨材の単位時間当りの最大往復移動回数を大きくするこ
とができるから、、能率よく基板に研磨傷を形成するこ
とができ、また外周部の交差角、内周部の交差角の両者
を最適範囲にすることが容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係るハードディスク媒体製造装置の
一部を示す正面図である。
一部を示す正面図である。
【図２】図１に示したハードディスク媒体製造装置の一
部を示す側面図である。
部を示す側面図である。
【図３】図１に示したハードディスク媒体製造装置のス
ピンドル駆動部の一部を示す正面図である。
ピンドル駆動部の一部を示す正面図である。
【図４】図１に示したハードディスク媒体製造装置のス
ピンドル駆動部の一部を示す平面図である。
ピンドル駆動部の一部を示す平面図である。
【図５】図１に示したハードディスク媒体製造装置のス
ピンドル駆動部の一部を示す側面図である。
ピンドル駆動部の一部を示す側面図である。
【図６】従来のハードディスク媒体製造装置を示す正面
図である。
図である。
【図７】図６に示したハードディスク媒体製造装置の一
部を示す正面図である。
部を示す正面図である。
【図８】図６に示したハードディスク媒体製造装置の一
部を示す側面図である。
部を示す側面図である。
【図９】基板に形成された研磨傷を示す図である。
１５…テープ駆動機 ２５…スピンドル ３０…スピンドル往復移動手段
フロントページの続き (72)発明者 ジョン ホシザキ アメリカ合衆国 94402 カリフォルニア サン マテオ サウス クレアモント ストリート 914 エクスクルーシブ デ ザイン カンパニー インコーポレーテッ ド内
Claims (3)
- 【請求項１】ハードディスク媒体の基板を保持して回転
するスピンドルと、上記基板の表面を研磨する研磨手段
とを有するハードディスク媒体製造装置において、上記
スピンドルを往復移動するスピンドル往復移動手段を具
備してオッシレーションを行なうことを特徴とするハー
ドディスク媒体製造装置。 - 【請求項２】上記研磨手段としてテープ駆動機を用いた
ことを特徴とする請求項１に記載のハードディスク媒体
製造装置。 - 【請求項３】上記研磨手段として回転する研磨板を有す
るものを用いたことを特徴とする請求項１に記載のハー
ドディスク媒体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5327737A JP2728850B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | ハードディスク媒体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5327737A JP2728850B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | ハードディスク媒体製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07210864A true JPH07210864A (ja) | 1995-08-11 |
| JP2728850B2 JP2728850B2 (ja) | 1998-03-18 |
Family
ID=18202424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5327737A Expired - Lifetime JP2728850B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | ハードディスク媒体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2728850B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06150305A (ja) * | 1992-11-05 | 1994-05-31 | Fujitsu Ltd | 磁気ディスク基板の表面加工方法、磁気ディスク基板、および磁気ディスク基板の表面加工装置 |
-
1993
- 1993-12-24 JP JP5327737A patent/JP2728850B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06150305A (ja) * | 1992-11-05 | 1994-05-31 | Fujitsu Ltd | 磁気ディスク基板の表面加工方法、磁気ディスク基板、および磁気ディスク基板の表面加工装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2728850B2 (ja) | 1998-03-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6283838B1 (en) | Burnishing tape handling apparatus and method | |
| EP2008769B1 (en) | Polishing apparatus and polishing method | |
| US4930259A (en) | Magnetic disk substrate polishing assembly | |
| JP2008284682A (ja) | 効率的なテープのルーティング配置を有する斜面研磨ヘッドを使用する方法及び装置 | |
| JP2009045679A (ja) | 研磨装置 | |
| US8814635B2 (en) | Substrate polishing method and device | |
| JP2728850B2 (ja) | ハードディスク媒体製造装置 | |
| US20090280730A1 (en) | Burnishing apparatus and process | |
| JPH0976148A (ja) | ウェーハのノッチ部研磨装置 | |
| JPH02134727A (ja) | 磁気ディスクの製造方法 | |
| US20020098388A1 (en) | Recording medium substrate having uniform texture and texturing apparatus therefor | |
| JP2975785B2 (ja) | テキスチャー装置 | |
| JPH06150305A (ja) | 磁気ディスク基板の表面加工方法、磁気ディスク基板、および磁気ディスク基板の表面加工装置 | |
| JPH04214223A (ja) | ディスク形ワークに円形パターンを付ける仕上げ装置 | |
| JP2001155331A (ja) | 磁気ディスク用基板およびその研磨方法 | |
| US7631419B2 (en) | Disk processing device and method | |
| JPH0453662B2 (ja) | ||
| JP2874385B2 (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JP3314685B2 (ja) | ディスクの回転装置 | |
| JPS59110546A (ja) | 研磨ヘツド | |
| JPH05318304A (ja) | ワークの自動面取加工方法及びその装置 | |
| JPH05159381A (ja) | ディスク原盤裏面研磨装置 | |
| JPH0453663B2 (ja) | ||
| JPH06282817A (ja) | 磁気ヘッド製造装置 | |
| JPH05182190A (ja) | 磁気ディスク |