JPS59110546A - 研磨ヘツド - Google Patents
研磨ヘツドInfo
- Publication number
- JPS59110546A JPS59110546A JP57220922A JP22092282A JPS59110546A JP S59110546 A JPS59110546 A JP S59110546A JP 57220922 A JP57220922 A JP 57220922A JP 22092282 A JP22092282 A JP 22092282A JP S59110546 A JPS59110546 A JP S59110546A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- roller
- magnetic disk
- rotating roller
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B21/00—Machines or devices using grinding or polishing belts; Accessories therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は磁気ディスク、特にフレキシブル磁気ディスク
の表面研磨に用いることができる研磨ヘッドに関するも
のである。
の表面研磨に用いることができる研磨ヘッドに関するも
のである。
従来例の構成とその問題点
近年、磁気ディスクも次第に高密度化され、その表面平
滑性に対する要求もきびしくなりつつある。このため、
表面研磨機ならびにその主要部分である研磨ヘッドもそ
の要求に対応できるよう改良する必要が生じている。
滑性に対する要求もきびしくなりつつある。このため、
表面研磨機ならびにその主要部分である研磨ヘッドもそ
の要求に対応できるよう改良する必要が生じている。
以下図面を参照しながら従来の研磨ヘッドについて説明
する。第１図（ａ） 、 （ｂ）はフレキシブル磁気デ
ィスクの上面図と断面図である。１はフレキシブル磁気
ディスク、２は厚さ約０ 、０７５ ＊ｔＬ ノペース
フィルム、３はベースフィルムの表に＝ Ｋ 設ケラれ
た磁性層、４はセンターホール、５はインデックスホー
ルである。また６は情報を記憶せしめる領域であり、こ
の部分は表面研磨により特に平滑に仕上げられている。
する。第１図（ａ） 、 （ｂ）はフレキシブル磁気デ
ィスクの上面図と断面図である。１はフレキシブル磁気
ディスク、２は厚さ約０ 、０７５ ＊ｔＬ ノペース
フィルム、３はベースフィルムの表に＝ Ｋ 設ケラれ
た磁性層、４はセンターホール、５はインデックスホー
ルである。また６は情報を記憶せしめる領域であり、こ
の部分は表面研磨により特に平滑に仕上げられている。
第２図（ａ） 、 （ｂ）は上記したフレキシブル磁気
ディスクを研磨する従来の研磨ヘッドの一例を示す概略
の正面図と側面図である。同図において、１１はフレキ
シブル磁気ディスク、１２はゴムライニングローラーヘ
ッド、１３は研磨テープ、１４はディスクを回転せしめ
るためのシャフトである。
ディスクを研磨する従来の研磨ヘッドの一例を示す概略
の正面図と側面図である。同図において、１１はフレキ
シブル磁気ディスク、１２はゴムライニングローラーヘ
ッド、１３は研磨テープ、１４はディスクを回転せしめ
るためのシャフトである。
その動作を説明すると、ローラーヘッド１２の外周に沿
わせて、研磨テープ１３を移動させつつ、シャフト１４
により回転させられているフレキシブル磁気ディスク１
１の表裏に接触させることにより、表面研磨を行なう。
わせて、研磨テープ１３を移動させつつ、シャフト１４
により回転させられているフレキシブル磁気ディスク１
１の表裏に接触させることにより、表面研磨を行なう。
しかしながら、上記のような構成においては、上下のロ
ーラーヘッドが研磨テープおよびフレキシブル磁気ディ
スクを介して線状に近い接触をするために、両者の平行
度を極めて厳密に調整する必要がある。またフレキシブ
ル磁気ディスクの表面と研磨テープとの接触面積が小さ
いために、ローラーヘッドにかける荷重の設定が難しく
、荷重が過小であると均一な研磨が難しく、また安定し
た研磨が可能になる荷重をかけた場合には、ティスフ円
周方向に同心円状の研磨傷がつき易いという問題があっ
た。さらにローラーヘッドの材質と表面性によって研磨
状態が大きく左右されるという問題もあった。
ーラーヘッドが研磨テープおよびフレキシブル磁気ディ
スクを介して線状に近い接触をするために、両者の平行
度を極めて厳密に調整する必要がある。またフレキシブ
ル磁気ディスクの表面と研磨テープとの接触面積が小さ
いために、ローラーヘッドにかける荷重の設定が難しく
、荷重が過小であると均一な研磨が難しく、また安定し
た研磨が可能になる荷重をかけた場合には、ティスフ円
周方向に同心円状の研磨傷がつき易いという問題があっ
た。さらにローラーヘッドの材質と表面性によって研磨
状態が大きく左右されるという問題もあった。
発明の目的
本発明の目的は、磁気ディスク、特に高密度７レキシプ
ル磁気デイスクとして満足しうる憔めて平滑な表面研磨
が可能な研磨ヘッドを提供することにある。
ル磁気デイスクとして満足しうる憔めて平滑な表面研磨
が可能な研磨ヘッドを提供することにある。
発明の構成
本発明の研磨ヘッドは、多孔性材料によって作られた中
空円筒形の回転ローラーと、その回転ローラーの外側面
に沿わせた研磨テープを２箇所において押しつけて走行
せしめるための２個のピンチローラ−と、上記回転ロー
ラーの内側面になめらかに摺接する状態で内蔵され、且
上記ピンチローラ−の２箇所の接触部の中間位置におい
て、若干のたるみが与えられた研磨テープに対し空気流
により圧力を加えるための空気噴出孔を有する円筒形の
エアーノズルを主たる構成振累とするものである。本発
明は、たるみを与えられた＠磨テープの背後から空気流
による圧力を加えながら、フレキシブル磁気ディスクの
表面に接触せしめて、表面研磨を行なう研磨ヘッドであ
るが、上記の構成によシ、常に一定量の研磨テープが供
給されるため安定したたるみの状態が保たれ、その結果
、常に安定した研磨が行なわれるのである。
空円筒形の回転ローラーと、その回転ローラーの外側面
に沿わせた研磨テープを２箇所において押しつけて走行
せしめるための２個のピンチローラ−と、上記回転ロー
ラーの内側面になめらかに摺接する状態で内蔵され、且
上記ピンチローラ−の２箇所の接触部の中間位置におい
て、若干のたるみが与えられた研磨テープに対し空気流
により圧力を加えるための空気噴出孔を有する円筒形の
エアーノズルを主たる構成振累とするものである。本発
明は、たるみを与えられた＠磨テープの背後から空気流
による圧力を加えながら、フレキシブル磁気ディスクの
表面に接触せしめて、表面研磨を行なう研磨ヘッドであ
るが、上記の構成によシ、常に一定量の研磨テープが供
給されるため安定したたるみの状態が保たれ、その結果
、常に安定した研磨が行なわれるのである。
実施例の説明
以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説明
する。
する。
第３図体） 、 （ｂ）は本発明の一実施例としての研
磨ヘッドによるフレキシブル磁気ディスクの研磨状−態
を示す概略の正面図と側面図である。第３図（、）（ｂ
）において２１は金属網板や多孔質金属焼結体などの多
孔性材料によって作られた中空円筒形の回転ローラー、
２２は回転ローラーを駆動する駆動ローラー、２３は回
転ローラーの内側面になめらかに摺接する円筒形の固定
エアーノズル、２４はそのエアーノズルの側面に設けら
れた空気噴出孔、２５は空気導入パイプ、２６はピンチ
ローラ−１２７は研磨テープ、２８は研磨テープのたる
み部分、２９は研磨すべきフレキシブル磁気ディスク、
３０はディスクを回転するためのシャフトである。
磨ヘッドによるフレキシブル磁気ディスクの研磨状−態
を示す概略の正面図と側面図である。第３図（、）（ｂ
）において２１は金属網板や多孔質金属焼結体などの多
孔性材料によって作られた中空円筒形の回転ローラー、
２２は回転ローラーを駆動する駆動ローラー、２３は回
転ローラーの内側面になめらかに摺接する円筒形の固定
エアーノズル、２４はそのエアーノズルの側面に設けら
れた空気噴出孔、２５は空気導入パイプ、２６はピンチ
ローラ−１２７は研磨テープ、２８は研磨テープのたる
み部分、２９は研磨すべきフレキシブル磁気ディスク、
３０はディスクを回転するためのシャフトである。
その動作を説明すると、回転ローラー２１と２個のピン
チローラ−２６によってはさまれた研磨テープ２７は、
′常に一定速度で供給、排出されるため、２個のピンチ
ローラ−２６の間に設けられた研磨テープのたるみ部分
２８もまた常に一定した状態を保つ。他方、空気パイプ
２５から導入された空気は、エアーノズル２３の側面に
設けられたスリット状の空気吹出孔２４から噴出し回転
ローラー２１の多孔質な側面を通過、流出し、研磨テー
プたるみ部分２８の背面から圧力を加える結果、研磨テ
ープは適度の剛性が付与されるので、これを研磨ヘッド
として用いることができる。フレキシブル磁気ディスク
を研磨するには、ディス 。
チローラ−２６によってはさまれた研磨テープ２７は、
′常に一定速度で供給、排出されるため、２個のピンチ
ローラ−２６の間に設けられた研磨テープのたるみ部分
２８もまた常に一定した状態を保つ。他方、空気パイプ
２５から導入された空気は、エアーノズル２３の側面に
設けられたスリット状の空気吹出孔２４から噴出し回転
ローラー２１の多孔質な側面を通過、流出し、研磨テー
プたるみ部分２８の背面から圧力を加える結果、研磨テ
ープは適度の剛性が付与されるので、これを研磨ヘッド
として用いることができる。フレキシブル磁気ディスク
を研磨するには、ディス 。
り２９をンヤ７ト３０によって高速回転しておき、上記
の研磨ヘッド２個を用い、表裏から同時に接触させるこ
とによシ好結果が得られる。
の研磨ヘッド２個を用い、表裏から同時に接触させるこ
とによシ好結果が得られる。
次に第２図に示した硬質ゴム製ヘッドを有する従来例と
、第３図に示した本発明のヘッドによる研磨面の比較を
次表に示す。いずれの場合も平均粒径３ミク１ンのホワ
イトアランダム砥粒を用いた＃４０００研脂テープを１
１ａＩ／秒の速さで送りなからフレキシブル磁気ディス
クの表面研磨を行なったものであシ、表面粗度を中心線
平均粗さであられしたものである。
、第３図に示した本発明のヘッドによる研磨面の比較を
次表に示す。いずれの場合も平均粒径３ミク１ンのホワ
イトアランダム砥粒を用いた＃４０００研脂テープを１
１ａＩ／秒の速さで送りなからフレキシブル磁気ディス
クの表面研磨を行なったものであシ、表面粗度を中心線
平均粗さであられしたものである。
上記表より明らかなように、本発明においては円周方向
、直径方向とも良好な＠石状悪が得られたが、従来例で
は研磨方向に沿って明らかな研論島が見られ、このため
直径方向の表面粗さが大きくなっていることがわかる。
、直径方向とも良好な＠石状悪が得られたが、従来例で
は研磨方向に沿って明らかな研論島が見られ、このため
直径方向の表面粗さが大きくなっていることがわかる。
発明の効果
以上の説明から明らかなように、本発明は固体のローラ
ーヘッドを用いていないので、その影響を受けることが
なく、また研磨テープは空気圧により広い面状に押しつ
けられるため磁気ディスク表面との接触はソフトであり
、研磨の均一性は著しく向上する。また接触圧も空気圧
により自由に加減出来、倣小圧力による研磨も可能にな
る。さらにフレキシブル磁気ディスクが回転中に若干の
プレやたわみを生じたとしても研磨テープはそれに無理
なく順応し、良好な研輪状態を保つことが出来る。
ーヘッドを用いていないので、その影響を受けることが
なく、また研磨テープは空気圧により広い面状に押しつ
けられるため磁気ディスク表面との接触はソフトであり
、研磨の均一性は著しく向上する。また接触圧も空気圧
により自由に加減出来、倣小圧力による研磨も可能にな
る。さらにフレキシブル磁気ディスクが回転中に若干の
プレやたわみを生じたとしても研磨テープはそれに無理
なく順応し、良好な研輪状態を保つことが出来る。
第１図体） 、 （ｂ）はフレキシブル磁気ディスクの
一例を示す上面図と断面図、第２図（、） 、 （ｂ）
は従来の研磨−ラドの一例を示す概ｉイ面図と側面図、
第３図（ａ） 、 （ｂ）は本発明の一実施例における
研磨状態を示す概略の正面図と側面図である。 ２１・・・・・・多孔性材料よシ成る回転ローラー、２
３・・・・・・エアーノズル、２４・・・・・・空気噴
出孔、２５・・・・・・空気導入パイプ、２６・・・・
・・ピンチローラ−１２７・・・・・・研磨テープ、２
８・・・・・・研磨テープたるみ部分、２９・・・・・
・フレキシブル磁気ディスク。
一例を示す上面図と断面図、第２図（、） 、 （ｂ）
は従来の研磨−ラドの一例を示す概ｉイ面図と側面図、
第３図（ａ） 、 （ｂ）は本発明の一実施例における
研磨状態を示す概略の正面図と側面図である。 ２１・・・・・・多孔性材料よシ成る回転ローラー、２
３・・・・・・エアーノズル、２４・・・・・・空気噴
出孔、２５・・・・・・空気導入パイプ、２６・・・・
・・ピンチローラ−１２７・・・・・・研磨テープ、２
８・・・・・・研磨テープたるみ部分、２９・・・・・
・フレキシブル磁気ディスク。
Claims (1)
- 多孔性材料によって作られた中空円筒形の回転ローラー
と、その回転ローラーの外側面に沿わせた研、磨テープ
を２箇所において押しつけて走行せしめるための２個の
ピンチローラ−と、上記回転ローラーの内側面になめら
かに摺接する状態で内蔵され、且上記ピ／チローラーの
２箇所の接触部の中間位置においてたるみが設けられた
研磨テープに空気流による圧力を加えるだめの空気噴出
孔を有するエアーノズルを主たる構成要素とすることを
特徴とする研磨ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57220922A JPS59110546A (ja) | 1982-12-15 | 1982-12-15 | 研磨ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57220922A JPS59110546A (ja) | 1982-12-15 | 1982-12-15 | 研磨ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59110546A true JPS59110546A (ja) | 1984-06-26 |
Family
ID=16758645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57220922A Pending JPS59110546A (ja) | 1982-12-15 | 1982-12-15 | 研磨ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59110546A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61136764A (ja) * | 1984-12-04 | 1986-06-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気デイスクのバ−ニツシユ方法およびその装置 |
| JPS62199347A (ja) * | 1986-02-27 | 1987-09-03 | Fuji Photo Film Co Ltd | バ−ニツシユ装置 |
| JPH07124853A (ja) * | 1993-10-29 | 1995-05-16 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウェーハのノッチ部研磨装置 |
| US5431592A (en) * | 1992-11-16 | 1995-07-11 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method and apparatus for burnishing magnetic disks |
-
1982
- 1982-12-15 JP JP57220922A patent/JPS59110546A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61136764A (ja) * | 1984-12-04 | 1986-06-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気デイスクのバ−ニツシユ方法およびその装置 |
| JPS62199347A (ja) * | 1986-02-27 | 1987-09-03 | Fuji Photo Film Co Ltd | バ−ニツシユ装置 |
| US5431592A (en) * | 1992-11-16 | 1995-07-11 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method and apparatus for burnishing magnetic disks |
| JPH07124853A (ja) * | 1993-10-29 | 1995-05-16 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウェーハのノッチ部研磨装置 |
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