JPH07211580A - セラミック多重層の製造法 - Google Patents
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Abstract
通の方法として使用され、したがって付加的な多大の費
用なしに実現させることができる方法であって、パッキ
ン部が、多孔性によりセラミック多重層の機能が損なわ
れると思われる多孔質板の部分を保護するために利用さ
れ、かつ多孔質板から有利に構成されるセラミック多重
層を製造する方法。 【構成】 特殊フィルムは焼き付けの後に多孔質板を形
成し、この多孔質板はその構造から液体、ガスまたは蒸
気の侵入を可能にし、特殊フィルムの部分には、焼き付
けの際に特殊フィルムの該部分に侵入しかつ液体、ガス
または蒸気の侵入を困難にするかまたは阻止する多孔質
板のパッキン部を形成するパッキン材料を備えさせる。
Description
フィルムを堆積層の形で配置し、互いに焼き付けによっ
て結合させ、その際に堆積層中に特殊フィルムを配置す
ることにより、セラミック多重層を製造する方法から出
発する。
3403号明細書の記載から、既に、セラミック多重層
を製造する1つの方法は、公知であり、この場合多数の
生のセラミックフィルムは、堆積層の形で配置され、か
つ焼き付けによって互いに結合される。この場合、高い
誘電定数の材料からなる既に焼き付けられたセラミック
フィルムは、堆積層の形で配置される。
術水準のものよりも卓越したセラミック多重層の製造法
を見い出すという課題が課された。
ムが焼き付けの後に多孔質板を形成し、この多孔質板が
その構造から液体、ガスまたは蒸気の侵入を可能にし、
特殊フィルムの部分には、焼き付けの際に特殊フィルム
の該部分に侵入しかつ液体、ガスまたは蒸気の侵入を困
難にするかまたは阻止する多孔質板のパッキン部を形成
するパッキン材料を備えさせることによって解決され、
この方法は、セラミック多重層の場合には、多孔質板か
ら構成するのが適当であるという利点を有する。パッキ
ン部は、多孔性によりセラミック多重層の機能が損なわ
れると思われる多孔質板の部分を保護するために利用す
ることができる。本方法は、セラミック多重層の製造に
常用されている普通の方法として使用され、したがって
付加的な多大の費用なしに実現させることができる。
た手段によって、特許請求の範囲の記載に依存せずに方
法を有利にさらに形成させ、かつ改善することは、可能
である。高い誘電定数を有するセラミック板は、一般に
多孔質であるので、本発明による方法は、高い誘電定数
を有する多孔質板の使用を可能にする。特に、このよう
な板は、高い誘電定数を有する材料の粒子を有する生の
セラミックフィルムから簡単に製造することができる。
この種の板は、特に大きい容量を有するコンデンサの形
成を可能にする。特に、パッキン部の形成は、ガラスの
パッキン材料を施こすことによって簡単に行なうことが
できる。即ち、特殊フィルムを2枚の生のセラミックフ
ィルムの間に配置しかつパッキン部をセラミック多重層
の縁部中に形成させることによって、多孔質部は、外界
から完全に遮断することができ、したがって液体、ガス
または蒸気は、セラミック多重層中に侵入することがで
きない。更に、本方法は、有利にセラミック多重層板か
らの数多くのセラミック多重層の形成に適当である。
かつ以下の明細書中に記載されている。
ム1および6特殊フィルム2を有する堆積層11が示さ
れている。この場合、x方向の寸法は、著しく誇張され
ている。生のセラミックフィルム1は、金属で充填され
たバイアス3を有し、このバイアスによってセラミック
フィルム1の上面と下面の接触は可能になる。更に、セ
ラミックフィルム1上には、導体路4が備えられてい
る。特殊フィルム2上もしくは生のセラミックフィルム
1上には、電極5のための構造体が配置されており、こ
の構造体は、それぞれバイアス3によって接触されてい
てもよい。パッキン材料6は、該パッキン材料が堆積層
の形で直接に特殊フィルム2と境界を接するように配置
されている。この場合示されたフィルム1、2の一緒の
圧縮および焼き付け過程、即ち800℃を上廻る温度へ
の加熱によって、図2に示されたセラミック多重層板7
は得られる。こうして、セラミック多重層板を分割線1
3に沿って分割することによって、2つのセラミック多
重層8は得ることができる。セラミック多重層8は、そ
れぞれその中央部で、特殊フィルム2の焼き付けによっ
て生成される多孔質板9を有する。セラミック多重層8
の縁部には、それぞれパッキン部10が置かれ、このパ
ッキン部は、パッキン材料6を焼き付け過程の間に特殊
フィルム2中に侵入させることによって生成されてい
る。多孔質板9とは異なり、このパッキン部10は、気
密性であり、かつセラミック多重層8の内部へのガス、
液体または蒸気の侵入を困難にするかまたは阻止する。
電極5およびその間に配置された多孔質板9によって、
コンデンサ12は形成される。このコンデンサ12は、
バイアス3によって接触されるかもしくは導体路4によ
って接触される。また、その際に堆積層11が簡易化さ
れた例として2つの生のセラミックフィルム1および特
殊フィルム2を用いてのみ示される場合には、生のセラ
ミックフィルム1もしくは特殊フィルム2の任意の多重
配置が考えられる。導体路4、バイアス3、パッキン材
料6のための種々の層は、例えばスクリーン印刷によっ
て施こすことができる。同様に、個々の板には、両面に
このような板を備えさせることもできるし、概してこの
種の層を備えなくともよい。
合剤、無機結合剤およびセラミック充填剤からなる。焼
き付け過程の場合には、差当たり有機結合剤は、ガス状
態に変換され、こうしてフィルムから追い出される。更
に、他の焼き付け段階の場合には、無機結合剤、一般に
ガラスは、充填剤、一般に微粒状セラミック粉末と一緒
に焼結される。また、この場合には、種々のフィルムの
間で焼結過程が行なわれ、したがって種々のフィルム
は、機械的に堅固に互いに結合される。通常、生のセラ
ミックフィルムには、僅かな誘電定数を有する充填剤が
使用され、したがって異なる導体路間の容量は僅かであ
る。しかし、特殊フィルム2を使用することによって、
別の性質を有する充填剤、殊に高い容量値を有するコン
デンサの形成を可能にする、極めて高い誘電定数を有す
る充填剤を使用することもできる。無機結合剤に常用の
物質は、一般に僅かな誘電定数を有するので、焼き付け
後に高い誘電定数を有するフィルムの場合には、僅かな
割合の無機結合剤が添加される。従って、この種のフィ
ルムは、焼き付け後に多くの場合大きい多孔度を有す
る。大きい多孔度を有する層がセラミック多重層を包囲
する環境と接触する場合には、微細な孔を通じて、ガ
ス、液体または蒸気は、セラミック多重層中に侵入し得
る。従って、形成されたコンデンサの容量は、直接支配
する環境条件に関連する。更に、場合によってはセラミ
ック多重層の破壊を外から生じさせる物質が侵入し得る
(例えば、セラミック多重層の内部空間内で凍結し、ひ
いては機械的破壊をまねく水)。従って、大きい多孔度
を有する材料の使用は、セラミック多重層にとって問題
視される。この場合、この問題は、特殊フィルム2上
に、焼き付け過程の際に特殊フィルム中に侵入しかつ孔
を閉鎖するパッキン材料6を施こすことによって解決さ
れる。このためには、例えば多孔質層中への許容される
侵入が保証されるように融点および粘度が構成されてい
るガラスペーストが特に好適である。こうして形成され
るパッキン部9を相応して配置することによって、セラ
ミック多重層8の内部で多孔質板9は、気密に閉鎖する
ことができる。また、この場合大きい誘電定数を有する
板について考える場合にも、この方法は、勿論、全ての
種類の多孔質板に使用することができる。この方法は、
セラミック多重層8を有利にセラミック多重層板7から
数回完成させる場合にも、パッキン部10を分割線13
に沿って配置することによって使用することができる。
ルム1の焼き付けによって生じる密な層によって上向き
および下向きに密閉されている。
ミック多重層板を示す断面図。
5 電極、 6 パッキン材料、 7 セラミック層
板、 8 セラミック層、 9 多孔質板、 10 パ
ッキン部、 11 堆積層、 12 コンデンサ、 1
3 分割線
Claims (7)
- 【請求項1】 多数の生のセラミックフィルム(1)を
堆積層(11)の形で配置し、互いに焼き付けによって
結合させ、その際に堆積層(11)中に特殊フィルム
(2)を配置することにより、セラミック多重層(8)
を製造する方法において、特殊フィルム(2)は焼き付
けの後に多孔質板(9)を形成し、この多孔質板はその
構造から液体、ガスまたは蒸気の侵入を可能にし、特殊
フィルム(2)の部分には、焼き付けの際に特殊フィル
ム(2)の該部分に侵入しかつ液体、ガスまたは蒸気の
侵入を困難にするかまたは阻止する多孔質板(9)のパ
ッキン部を形成するパッキン材料(6)を備えさせるこ
とを特徴とする、セラミック多重層の製造法。 - 【請求項2】 多孔質板(8)は大きい誘電定数を有す
る、請求項1記載の方法。 - 【請求項3】 特殊フィルム(2)に、充填材料として
高い誘電定数を有する材料の粒子を含有する生のセラミ
ックフィルムを備えさせる、請求項2記載の方法。 - 【請求項4】 セラミック多重層(8)中で多孔質板
(9)の上面および下面の上に配置されている電極
(5)をコンデンサ(12)に備えさせる、請求項1か
ら3までのいずれか1項に記載の方法。 - 【請求項5】 パッキン材料(6)にガラスを備えさせ
る、請求項1から4までのいずれか1項に記載の方法。 - 【請求項6】 特殊フィルム(2)を2枚の生のセラミ
ックフィルム(1)の間に配置し、パッキン部(10)
を、該パッキン部がセラミック多重層(8)の縁部に存
在するように配置する、請求項1から5までのいずれか
1項に記載の方法。 - 【請求項7】 数多くのセラミック多重層(8)をセラ
ミック多重層板(7)の分割によって形成させ、この場
合分割線(13)はパッキン部(10)中に配置されて
いる、請求項6記載の方法。
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