JPH07211604A - シリンダキャビネット - Google Patents
シリンダキャビネットInfo
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- JPH07211604A JPH07211604A JP384594A JP384594A JPH07211604A JP H07211604 A JPH07211604 A JP H07211604A JP 384594 A JP384594 A JP 384594A JP 384594 A JP384594 A JP 384594A JP H07211604 A JPH07211604 A JP H07211604A
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- gas
- line
- purge
- pressure
- cylinder cabinet
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 危険性ガスのパージラインへの逆流を確実に
検知して、安全性を向上させることが可能なシリンダキ
ャビネットを提供する。 【構成】 高圧ガス容器１０（２０）にシリンダ元弁Ｍ
Ｖ１（ＭＶ２）を介して接続されるガスラインＬ１（Ｌ
２）には、パージ元弁ＡＶ４，逆止弁Ｃ０，圧力スイッ
チＰＳ０を備えるとともに、ベント排気弁ＡＶ０を介し
てベントラインＶＬに接続されたパージライン本管ＰＬ
０から分岐したパージラインＰＬ１（ＰＬ２）が接続さ
れ、パージラインＰＬ１（ＰＬ２）には、パージライン
遮断弁ＡＶ１（ＡＶ２），逆止弁Ｃ１（Ｃ２），フロー
チェッカＦＳ１（ＦＳ２）が設けられ、圧力スイッチＰ
Ｓ０またはフローチェッカＦＳ１，ＦＳ２を監視して、
ガスラインＬ１（Ｌ２）からパージラインＰＬ１（ＰＬ
２）の側へのプロセスガスの逆流を検知するシリンダキ
ャビネットである。
検知して、安全性を向上させることが可能なシリンダキ
ャビネットを提供する。 【構成】 高圧ガス容器１０（２０）にシリンダ元弁Ｍ
Ｖ１（ＭＶ２）を介して接続されるガスラインＬ１（Ｌ
２）には、パージ元弁ＡＶ４，逆止弁Ｃ０，圧力スイッ
チＰＳ０を備えるとともに、ベント排気弁ＡＶ０を介し
てベントラインＶＬに接続されたパージライン本管ＰＬ
０から分岐したパージラインＰＬ１（ＰＬ２）が接続さ
れ、パージラインＰＬ１（ＰＬ２）には、パージライン
遮断弁ＡＶ１（ＡＶ２），逆止弁Ｃ１（Ｃ２），フロー
チェッカＦＳ１（ＦＳ２）が設けられ、圧力スイッチＰ
Ｓ０またはフローチェッカＦＳ１，ＦＳ２を監視して、
ガスラインＬ１（Ｌ２）からパージラインＰＬ１（ＰＬ
２）の側へのプロセスガスの逆流を検知するシリンダキ
ャビネットである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シリンダキャビネット
に関し、特に、腐食性、毒性、可燃性等の危険なガスを
使用するシリンダキャビネットに適用して有効な技術に
関する。
に関し、特に、腐食性、毒性、可燃性等の危険なガスを
使用するシリンダキャビネットに適用して有効な技術に
関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、半導体装置の製造分野では、
半導体基板に対する薄膜の形成やエッチング等の処理の
ために、高圧ガスボンベ等の高圧ガス容器に封入された
腐食性、毒性、可燃性等の危険性ガスを用いることが多
く、このような危険性ガスを安全に扱うための高圧ガス
容器の収納庫として、シリンダキャビネットを用いるこ
とが知られている。
半導体基板に対する薄膜の形成やエッチング等の処理の
ために、高圧ガスボンベ等の高圧ガス容器に封入された
腐食性、毒性、可燃性等の危険性ガスを用いることが多
く、このような危険性ガスを安全に扱うための高圧ガス
容器の収納庫として、シリンダキャビネットを用いるこ
とが知られている。
【０００３】従来のシリンダキャビネットは、高圧ガス
容器から所望の半導体製造装置に危険性ガスを供給する
ガスラインにパージラインを接続して、不活性ガスによ
るガスラインのパージ操作を可能にするとともに、パー
ジラインとガスラインの間に逆止弁を設けることによっ
て、危険性ガスがパージライン内に逆流することを阻止
する構造であった。
容器から所望の半導体製造装置に危険性ガスを供給する
ガスラインにパージラインを接続して、不活性ガスによ
るガスラインのパージ操作を可能にするとともに、パー
ジラインとガスラインの間に逆止弁を設けることによっ
て、危険性ガスがパージライン内に逆流することを阻止
する構造であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、危険性ガス
による配管内の腐食や異物の析出等によって逆止弁の閉
止動作が不完全になるなどしてリークが発生した場合、
高圧のガスラインからパージライン側へ逆流が発生し、
危険性ガスの混合による爆発、パージラインの汚染等の
トラブルが起きるポテンシャルを有していた。
による配管内の腐食や異物の析出等によって逆止弁の閉
止動作が不完全になるなどしてリークが発生した場合、
高圧のガスラインからパージライン側へ逆流が発生し、
危険性ガスの混合による爆発、パージラインの汚染等の
トラブルが起きるポテンシャルを有していた。
【０００５】本発明の目的は、危険性ガスのパージライ
ンへの逆流を確実に検知して、安全性を向上させること
が可能なシリンダキャビネットを提供することにある。
ンへの逆流を確実に検知して、安全性を向上させること
が可能なシリンダキャビネットを提供することにある。
【０００６】本発明の他の目的は、危険性ガスのパージ
ラインへの逆流を確実に阻止して、安全性を向上させる
ことが可能なシリンダキャビネットを提供することにあ
る。
ラインへの逆流を確実に阻止して、安全性を向上させる
ことが可能なシリンダキャビネットを提供することにあ
る。
【０００７】本発明のさらに他の目的は、安全にパージ
操作を行うことが可能なシリンダキャビネットを提供す
ることにある。
操作を行うことが可能なシリンダキャビネットを提供す
ることにある。
【０００８】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【００１０】すなわち、請求項１記載の発明は、ガス源
と、このガス源からガス消費部へと所望の特定ガスを供
給するガスラインと、このガスラインに接続され、所望
のパージガスをガスラインに強制的に流入させることに
よって当該ガスラインのパージ操作を行うパージライン
とを備えたシリンダキャビネットにおいて、ガスライン
からパージラインへの特定ガスの逆流を監視する監視手
段と、この監視手段による逆流の検知時に、警報を発す
る第１の操作およびガスラインとパージラインとを遮断
する第２の操作の少なくとも一方を実行する制御論理と
を備えたものである。
と、このガス源からガス消費部へと所望の特定ガスを供
給するガスラインと、このガスラインに接続され、所望
のパージガスをガスラインに強制的に流入させることに
よって当該ガスラインのパージ操作を行うパージライン
とを備えたシリンダキャビネットにおいて、ガスライン
からパージラインへの特定ガスの逆流を監視する監視手
段と、この監視手段による逆流の検知時に、警報を発す
る第１の操作およびガスラインとパージラインとを遮断
する第２の操作の少なくとも一方を実行する制御論理と
を備えたものである。
【００１１】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載のシリンダキャビネットにおいて、パージラインの一
部に、ベントラインが接続され、制御論理は、ガスライ
ンからパージラインへと逆流した特定ガスをベントライ
ンを通じて外部に排除する第３の操作を行うようにした
ものである。
載のシリンダキャビネットにおいて、パージラインの一
部に、ベントラインが接続され、制御論理は、ガスライ
ンからパージラインへと逆流した特定ガスをベントライ
ンを通じて外部に排除する第３の操作を行うようにした
ものである。
【００１２】また、請求項３記載の発明は、請求項１ま
たは２記載のシリンダキャビネットにおいて、制御論理
は、ガスラインからパージラインへの逆流が発生する条
件項目が不成立であることを検知しなければパージ操作
を抑止する第４の操作を行うようにしたものである。
たは２記載のシリンダキャビネットにおいて、制御論理
は、ガスラインからパージラインへの逆流が発生する条
件項目が不成立であることを検知しなければパージ操作
を抑止する第４の操作を行うようにしたものである。
【００１３】また、請求項４記載の発明は、請求項１，
２または３記載のシリンダキャビネットにおいて、監視
手段は、パージラインからガスラインの側にのみ流体を
通過させる逆止弁の下流側に設けられた第１の圧力スイ
ッチ、逆止弁の上流側に設けられたフローチェッカ、逆
止弁の上流側に設けられた第２の圧力スイッチ、の少な
くとも一つからなる構成としたものである。
２または３記載のシリンダキャビネットにおいて、監視
手段は、パージラインからガスラインの側にのみ流体を
通過させる逆止弁の下流側に設けられた第１の圧力スイ
ッチ、逆止弁の上流側に設けられたフローチェッカ、逆
止弁の上流側に設けられた第２の圧力スイッチ、の少な
くとも一つからなる構成としたものである。
【００１４】また、請求項５記載の発明は、請求項１，
２，３または４記載のシリンダキャビネットにおいて、
条件項目が、ガス源の元弁の開放、第１の圧力スイッチ
によって検知される特定ガスの圧が大気圧以上、第２の
圧力スイッチによって検知されるパージガスの圧が規定
のパージ圧以下、の少なくとも一つからなるものであ
る。
２，３または４記載のシリンダキャビネットにおいて、
条件項目が、ガス源の元弁の開放、第１の圧力スイッチ
によって検知される特定ガスの圧が大気圧以上、第２の
圧力スイッチによって検知されるパージガスの圧が規定
のパージ圧以下、の少なくとも一つからなるものであ
る。
【００１５】
【作用】上記した本発明のシリンダキャビネットによれ
ば、たとえば、パージラインとガスラインの間に逆流方
向のフローチェッカからなる監視手段を設けることによ
りガスの逆流があったことを検知する。また、パージラ
イン側に、ガスライン側からパージラインよりも高い圧
力がかかったことを検知するための圧力スイッチからな
る監視手段を設ける事により、逆流でガスライン側の圧
力がパージラインにかかったことを検知する。
ば、たとえば、パージラインとガスラインの間に逆流方
向のフローチェッカからなる監視手段を設けることによ
りガスの逆流があったことを検知する。また、パージラ
イン側に、ガスライン側からパージラインよりも高い圧
力がかかったことを検知するための圧力スイッチからな
る監視手段を設ける事により、逆流でガスライン側の圧
力がパージラインにかかったことを検知する。
【００１６】そして、逆流が検知された時には、たとえ
ば作業者に対して警報を発したり、パージラインとガス
ラインとの間に設けられた自動弁等を閉じることで、ガ
スラインからパージラインへの危険性ガスの逆流を阻止
する等の操作を行う。
ば作業者に対して警報を発したり、パージラインとガス
ラインとの間に設けられた自動弁等を閉じることで、ガ
スラインからパージラインへの危険性ガスの逆流を阻止
する等の操作を行う。
【００１７】また、パージラインに接続されたベントラ
インを通じてパージラインに逆流した危険性ガスを外部
に安全に排除する動作を行う。
インを通じてパージラインに逆流した危険性ガスを外部
に安全に排除する動作を行う。
【００１８】また、ガスラインからパージラインへの逆
流が発生する条件項目が不成立であることを検知しなけ
ればパージ操作を抑止することにより、パージ操作に伴
う危険性ガスの逆流を確実に阻止する。
流が発生する条件項目が不成立であることを検知しなけ
ればパージ操作を抑止することにより、パージ操作に伴
う危険性ガスの逆流を確実に阻止する。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００２０】図１は、本発明の一実施例であるシリンダ
キャビネットの構成の一例を示す概念図であり、図２
は、その制御系の構成の一例を示すブロック図、図３お
よび図４は、その作用の一例を示すフローチャートであ
る。
キャビネットの構成の一例を示す概念図であり、図２
は、その制御系の構成の一例を示すブロック図、図３お
よび図４は、その作用の一例を示すフローチャートであ
る。
【００２１】図１に例示されるように、たとえば、それ
ぞれ異なるプロセスガスを貯留した高圧ガス容器１０お
よび高圧ガス容器２０は、それぞれ独立なガスラインＬ
１およびガスラインＬ２を介して図示しない半導体製造
装置等に接続されている。
ぞれ異なるプロセスガスを貯留した高圧ガス容器１０お
よび高圧ガス容器２０は、それぞれ独立なガスラインＬ
１およびガスラインＬ２を介して図示しない半導体製造
装置等に接続されている。
【００２２】高圧ガス容器１０（２０）のガスラインＬ
１（Ｌ２）に対する接続部には、シリンダ元弁ＭＶ１
（シリンダ元弁ＭＶ２）が、それぞれ設けられている。
１（Ｌ２）に対する接続部には、シリンダ元弁ＭＶ１
（シリンダ元弁ＭＶ２）が、それぞれ設けられている。
【００２３】また、ガスラインＬ１（Ｌ２）には、フィ
ルタＦ１（フィルタＦ２）と、減圧弁ＲＧ１（減圧弁Ｒ
Ｇ２）と、この減圧弁ＲＧ１（減圧弁ＲＧ２）の前後に
配置された複数の圧力計ＰＧ１（圧力計ＰＧ２）と、ス
トップ弁ＳＶ１（ストップ弁ＳＶ２）とが設けられてい
る。ガスラインＬ１（Ｌ２）の各々には、フィルタＦ１
（フィルタＦ２）とシリンダ元弁ＭＶ１（ＭＶ２）の間
に、パージライン本管ＰＬ０から分岐したパージライン
ＰＬ１（パージラインＰＬ２）が接続されている。
ルタＦ１（フィルタＦ２）と、減圧弁ＲＧ１（減圧弁Ｒ
Ｇ２）と、この減圧弁ＲＧ１（減圧弁ＲＧ２）の前後に
配置された複数の圧力計ＰＧ１（圧力計ＰＧ２）と、ス
トップ弁ＳＶ１（ストップ弁ＳＶ２）とが設けられてい
る。ガスラインＬ１（Ｌ２）の各々には、フィルタＦ１
（フィルタＦ２）とシリンダ元弁ＭＶ１（ＭＶ２）の間
に、パージライン本管ＰＬ０から分岐したパージライン
ＰＬ１（パージラインＰＬ２）が接続されている。
【００２４】パージラインＰＬ１（ＰＬ２）には、当該
パージラインＰＬ１（ＰＬ２）からガスラインＬ１（Ｌ
２）の側にのみ流体を通過させる逆止弁Ｃ１（逆止弁Ｃ
２）と、この逆止弁Ｃ１（Ｃ２）の上流側に設けられた
フローチェッカＦＳ１（フローチェッカＦＳ２）と、逆
止弁Ｃ１（Ｃ２）の下流側に設けられ、当該パージライ
ンＰＬ１（ＰＬ２）の開閉動作を行うパージライン遮断
弁ＡＶ１（パージライン遮断弁ＡＶ２）と、このパージ
ライン遮断弁ＡＶ１（ＡＶ２）とシリンダ元弁ＭＶ１
（ＭＶ２）との間の圧を検出する圧力スイッチＰＳ１
（圧力スイッチＰＳ２）とが設けられている。
パージラインＰＬ１（ＰＬ２）からガスラインＬ１（Ｌ
２）の側にのみ流体を通過させる逆止弁Ｃ１（逆止弁Ｃ
２）と、この逆止弁Ｃ１（Ｃ２）の上流側に設けられた
フローチェッカＦＳ１（フローチェッカＦＳ２）と、逆
止弁Ｃ１（Ｃ２）の下流側に設けられ、当該パージライ
ンＰＬ１（ＰＬ２）の開閉動作を行うパージライン遮断
弁ＡＶ１（パージライン遮断弁ＡＶ２）と、このパージ
ライン遮断弁ＡＶ１（ＡＶ２）とシリンダ元弁ＭＶ１
（ＭＶ２）との間の圧を検出する圧力スイッチＰＳ１
（圧力スイッチＰＳ２）とが設けられている。
【００２５】パージライン本管ＰＬ０には、図示しない
不活性ガス源からのパージガスとしての不活性ガスの導
入を制御するパージ元弁ＡＶ４と、このパージ元弁ＡＶ
４の下流側に設けられた逆止弁Ｃ０と、逆止弁Ｃ０の下
流側の圧を検出する圧力スイッチＰＳ０とが設けられて
いる。
不活性ガス源からのパージガスとしての不活性ガスの導
入を制御するパージ元弁ＡＶ４と、このパージ元弁ＡＶ
４の下流側に設けられた逆止弁Ｃ０と、逆止弁Ｃ０の下
流側の圧を検出する圧力スイッチＰＳ０とが設けられて
いる。
【００２６】パージライン本管ＰＬ０におけるパージラ
インＰＬ１およびＰＬ２の接続位置の下流側には、ベン
ト排気弁ＡＶ０を介してベントラインＶＬが接続されて
いる。
インＰＬ１およびＰＬ２の接続位置の下流側には、ベン
ト排気弁ＡＶ０を介してベントラインＶＬが接続されて
いる。
【００２７】図２に例示されるように、パージ元弁ＡＶ
４，ベント排気弁ＡＶ０，パージライン遮断弁ＡＶ１，
ＡＶ２，シリンダ元弁ＭＶ１，ＭＶ２は、たとえばマイ
クロコンピュータ等で構成される制御部３０によって開
閉動作が制御されている。
４，ベント排気弁ＡＶ０，パージライン遮断弁ＡＶ１，
ＡＶ２，シリンダ元弁ＭＶ１，ＭＶ２は、たとえばマイ
クロコンピュータ等で構成される制御部３０によって開
閉動作が制御されている。
【００２８】制御部３０には、圧力スイッチＰＳ０，Ｐ
Ｓ１，ＰＳ２、さらには、フローチェッカＦＳ１，ＦＳ
２等において検知された諸情報、さらには、シリンダ元
弁ＭＶ１およびＭＶ２の開閉状態を示す情報が入力され
る構成となっており、制御部３０は、これらの情報に基
づいて、後述のような一連の制御動作を遂行する制御論
理を備えている。
Ｓ１，ＰＳ２、さらには、フローチェッカＦＳ１，ＦＳ
２等において検知された諸情報、さらには、シリンダ元
弁ＭＶ１およびＭＶ２の開閉状態を示す情報が入力され
る構成となっており、制御部３０は、これらの情報に基
づいて、後述のような一連の制御動作を遂行する制御論
理を備えている。
【００２９】さらに、制御部３０には、逆流警報装置３
０ａが接続されており、後述のような制御動作において
シリンダキャビネットで異常が検出された時に、外部の
操作者等に異常発生を報知することが可能になってい
る。
０ａが接続されており、後述のような制御動作において
シリンダキャビネットで異常が検出された時に、外部の
操作者等に異常発生を報知することが可能になってい
る。
【００３０】以下、図３および図４のフローチャートを
参照しながら、本実施例の作用の一例を説明する。
参照しながら、本実施例の作用の一例を説明する。
【００３１】まず、通常の監視状態では、図３に例示さ
れるような動作を行う。
れるような動作を行う。
【００３２】すなわち、制御部３０は、フローチェッカ
ＦＳ１およびＦＳ２、さらには、パージライン本管ＰＬ
０に設けられた圧力スイッチＰＳ０を常時監視し、フロ
ーチェッカＦＳ１またはＦＳ２で逆流を検知したとき、
あるいは、圧力スイッチＰＳ０で、パージライン本管Ｐ
Ｌ０側の圧異常を検出すると、逆流警報装置３０ａを起
動して操作者にガスラインＬ１またはＬ２からパージラ
インＰＬ１またはＰＬ２へのプロセスガスの逆流が発生
したことを報知し、パージライン遮断弁ＡＶ１，ＡＶ２
を閉じ、さらにシリンダ元弁ＭＶ１，ＭＶ２を閉じる。
ＦＳ１およびＦＳ２、さらには、パージライン本管ＰＬ
０に設けられた圧力スイッチＰＳ０を常時監視し、フロ
ーチェッカＦＳ１またはＦＳ２で逆流を検知したとき、
あるいは、圧力スイッチＰＳ０で、パージライン本管Ｐ
Ｌ０側の圧異常を検出すると、逆流警報装置３０ａを起
動して操作者にガスラインＬ１またはＬ２からパージラ
インＰＬ１またはＰＬ２へのプロセスガスの逆流が発生
したことを報知し、パージライン遮断弁ＡＶ１，ＡＶ２
を閉じ、さらにシリンダ元弁ＭＶ１，ＭＶ２を閉じる。
【００３３】その後、ベント排気弁ＡＶ０を開放し、パ
ージ元弁ＡＶ４を開いて、窒素ガス等の不活性ガスから
なるパージガスを導入することによって、パージライン
本管ＰＬ０，パージラインＰＬ１，ＰＬ２内に逆流した
プロセスガスをベントラインＶＬを通じて、外部の図示
しない除害設備等に排除して安全に処理する。
ージ元弁ＡＶ４を開いて、窒素ガス等の不活性ガスから
なるパージガスを導入することによって、パージライン
本管ＰＬ０，パージラインＰＬ１，ＰＬ２内に逆流した
プロセスガスをベントラインＶＬを通じて、外部の図示
しない除害設備等に排除して安全に処理する。
【００３４】これにより、ガスラインＬ１，Ｌ２からパ
ージラインＰＬ１，ＰＬ２の側への危険性のプロセスガ
ス等の逆流が発生したことを操作者は直ちに知ることが
できるとともに、逆流防止措置が直ちに実行されるの
で、シリンダキャビネットの安全性が確実に向上する。
ージラインＰＬ１，ＰＬ２の側への危険性のプロセスガ
ス等の逆流が発生したことを操作者は直ちに知ることが
できるとともに、逆流防止措置が直ちに実行されるの
で、シリンダキャビネットの安全性が確実に向上する。
【００３５】次に、ガスラインＬ１およびＬ２のパージ
操作は、図４に例示されるような手順で行う。
操作は、図４に例示されるような手順で行う。
【００３６】すなわち、まず、（ａ）シリンダ元弁ＭＶ
１およびＭＶ２が閉止状態であること、を確認し、さら
に、（ｂ）圧力スイッチＰＳ１，ＰＳ２で、ガスライン
Ｌ１およびＬ２内の圧が、大気圧（ゲージ圧が零）であ
ること、を確認し、さらに、（ｃ）パージライン本管Ｐ
Ｌ０の圧力スイッチＰＳ０が規定のパージガス圧に到達
していること、を確認する。
１およびＭＶ２が閉止状態であること、を確認し、さら
に、（ｂ）圧力スイッチＰＳ１，ＰＳ２で、ガスライン
Ｌ１およびＬ２内の圧が、大気圧（ゲージ圧が零）であ
ること、を確認し、さらに、（ｃ）パージライン本管Ｐ
Ｌ０の圧力スイッチＰＳ０が規定のパージガス圧に到達
していること、を確認する。
【００３７】すなわち、前記（ａ）〜（ｃ）の条件がす
べて成立しているときに限り、言い換えれば、ガスライ
ンＬ１，Ｌ２からパージラインＰＬ１，ＰＬ２の側への
プロセスガスの逆流の懸念がないと判断された場合に限
り、パージライン遮断弁ＡＶ１，ＡＶ２を開いて、パー
ジガスをガスラインＬ１およびＬ２内に導入し、当該ガ
スラインＬ１およびＬ２内に滞留しているプロセスガス
を当該プロセスガスの供給先である図示しない半導体製
造装置等の側に排除する。
べて成立しているときに限り、言い換えれば、ガスライ
ンＬ１，Ｌ２からパージラインＰＬ１，ＰＬ２の側への
プロセスガスの逆流の懸念がないと判断された場合に限
り、パージライン遮断弁ＡＶ１，ＡＶ２を開いて、パー
ジガスをガスラインＬ１およびＬ２内に導入し、当該ガ
スラインＬ１およびＬ２内に滞留しているプロセスガス
を当該プロセスガスの供給先である図示しない半導体製
造装置等の側に排除する。
【００３８】これにより、シリンダキャビネットのパー
ジ操作を安全かつ確実に遂行することができる。
ジ操作を安全かつ確実に遂行することができる。
【００３９】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００４０】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
【００４１】すなわち、本発明のシリンダキャビネット
によれば、危険性ガスのパージラインへの逆流を確実に
検知して、安全性を向上させることができる、という効
果が得られる。
によれば、危険性ガスのパージラインへの逆流を確実に
検知して、安全性を向上させることができる、という効
果が得られる。
【００４２】また、危険性ガスのパージラインへの逆流
を確実に阻止して、シリンダキャビネットの安全性を向
上させることができる、という効果が得られる。
を確実に阻止して、シリンダキャビネットの安全性を向
上させることができる、という効果が得られる。
【００４３】さらに、安全にシリンダキャビネットのパ
ージ操作を行うことができる、という効果が得られる。
ージ操作を行うことができる、という効果が得られる。
【図１】本発明の一実施例であるシリンダキャビネット
の構成の一例を示す概念図である。
の構成の一例を示す概念図である。
【図２】その制御系の構成の一例を示すブロック図であ
る。
る。
【図３】その作用の一例を示すフローチャートである。
【図４】その作用の一例を示すフローチャートである。
１０ 高圧ガス容器（ガス源） ２０ 高圧ガス容器（ガス源） ３０ 制御部（制御論理） ３０ａ 逆流警報装置 ＡＶ０ ベント排気弁 ＡＶ１ パージライン遮断弁 ＡＶ２ パージライン遮断弁 ＡＶ４ パージ元弁 Ｃ０ 逆止弁 Ｃ１ 逆止弁 Ｃ２ 逆止弁 Ｆ１ フィルタ Ｆ２ フィルタ ＦＳ１ フローチェッカ（監視手段） ＦＳ２ フローチェッカ（監視手段） Ｌ１ ガスライン Ｌ２ ガスライン ＭＶ１ シリンダ元弁 ＭＶ２ シリンダ元弁 ＰＧ１ 圧力計 ＰＧ２ 圧力計 ＰＬ０ パージライン本管 ＰＬ１ パージライン ＰＬ２ パージライン ＰＳ０ 圧力スイッチ（監視手段：第２の圧力スイッ
チ） ＰＳ１ 圧力スイッチ（監視手段：第１の圧力スイッ
チ） ＰＳ２ 圧力スイッチ（監視手段：第１の圧力スイッ
チ） ＲＧ１ 減圧弁 ＲＧ２ 減圧弁 ＳＶ１ ストップ弁 ＳＶ２ ストップ弁 ＶＬ ベントライン
チ） ＰＳ１ 圧力スイッチ（監視手段：第１の圧力スイッ
チ） ＰＳ２ 圧力スイッチ（監視手段：第１の圧力スイッ
チ） ＲＧ１ 減圧弁 ＲＧ２ 減圧弁 ＳＶ１ ストップ弁 ＳＶ２ ストップ弁 ＶＬ ベントライン
Claims (5)
- 【請求項１】 ガス源と、このガス源からガス消費部へ
と所望の特定ガスを供給するガスラインと、このガスラ
インに接続され、所望のパージガスを前記ガスラインに
強制的に流入させることによって当該ガスラインのパー
ジ操作を行うパージラインとを備えたシリンダキャビネ
ットであって、前記ガスラインから前記パージラインへ
の前記特定ガスの逆流を監視する監視手段と、この監視
手段による前記逆流の検知時に、警報を発する第１の操
作および前記ガスラインと前記パージラインとを遮断す
る第２の操作の少なくとも一方を実行する制御論理とを
備えたことを特徴とするシリンダキャビネット。 - 【請求項２】 前記パージラインの一部には、ベントラ
インが接続され、前記制御論理は、前記ガスラインから
前記パージラインへと逆流した前記特定ガスを前記ベン
トラインを通じて外部に排除する第３の操作を行うこと
を特徴とする請求項１記載のシリンダキャビネット。 - 【請求項３】 前記制御論理は、前記ガスラインから前
記パージラインへの前記逆流が発生する条件項目が不成
立であることを検知しなければ前記パージ操作を抑止す
る第４の操作を行うことを特徴とする請求項１または２
記載のシリンダキャビネット。 - 【請求項４】 前記監視手段は、前記パージラインから
前記ガスラインの側にのみ流体を通過させる逆止弁の下
流側に設けられた第１の圧力スイッチ、前記逆止弁の上
流側に設けられたフローチェッカ、前記逆止弁の上流側
に設けられた第２の圧力スイッチ、の少なくとも一つか
らなることを特徴とする請求項１，２または３記載のシ
リンダキャビネット。 - 【請求項５】 前記条件項目は、前記ガス源の元弁の開
放、前記第１の圧力スイッチによって検知される前記特
定ガスの圧が大気圧以上、前記第２の圧力スイッチによ
って検知される前記パージガスの圧が規定のパージ圧以
下、の少なくとも一つからなることを特徴とする請求項
１，２，３または４記載のシリンダキャビネット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP384594A JPH07211604A (ja) | 1994-01-19 | 1994-01-19 | シリンダキャビネット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP384594A JPH07211604A (ja) | 1994-01-19 | 1994-01-19 | シリンダキャビネット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07211604A true JPH07211604A (ja) | 1995-08-11 |
Family
ID=11568529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP384594A Withdrawn JPH07211604A (ja) | 1994-01-19 | 1994-01-19 | シリンダキャビネット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07211604A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030004085A (ko) * | 2001-06-27 | 2003-01-14 | 닛본 덴기 가부시끼가이샤 | 실린더캐비넷과 그 배관내의 잔류가스의 퍼지방법 |
-
1994
- 1994-01-19 JP JP384594A patent/JPH07211604A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030004085A (ko) * | 2001-06-27 | 2003-01-14 | 닛본 덴기 가부시끼가이샤 | 실린더캐비넷과 그 배관내의 잔류가스의 퍼지방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010403 |