JPH07218376A - 漏れ試験装置及び漏れ試験方法 - Google Patents
漏れ試験装置及び漏れ試験方法Info
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- JPH07218376A JPH07218376A JP6285490A JP28549094A JPH07218376A JP H07218376 A JPH07218376 A JP H07218376A JP 6285490 A JP6285490 A JP 6285490A JP 28549094 A JP28549094 A JP 28549094A JP H07218376 A JPH07218376 A JP H07218376A
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 152
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 27
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 85
- 239000000700 radioactive tracer Substances 0.000 claims abstract description 71
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 27
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 107
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 11
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910001256 stainless steel alloy Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 abstract description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 4
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 3
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003570 air Substances 0.000 description 2
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 2
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 2
- 239000003245 coal Substances 0.000 description 2
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- QQEHDZXXCDSAFE-JBSAMAPISA-N [(3s,8r,9s,10r,13s,14s,17r)-17-acetyl-6-chloro-3-hydroxy-10,13-dimethyl-1,2,3,8,9,11,12,14,15,16-decahydrocyclopenta[a]phenanthren-17-yl] acetate Chemical compound C1=C(Cl)C2=C[C@@H](O)CC[C@]2(C)[C@@H]2[C@@H]1[C@@H]1CC[C@@](C(C)=O)(OC(=O)C)[C@@]1(C)CC2 QQEHDZXXCDSAFE-JBSAMAPISA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000002828 fuel tank Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
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-
- G—PHYSICS
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- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 ガス分析計器の適正な操作条件が確立する前
に追跡子ガスを損失する可能性を防止する。 【構成】 密封性を試験する装置１０は、追跡子流体を
含む密封された物品１２を受け入れる試験チャンバ２４
と、貯蔵チャンバ４４と、物品１２から漏れた追跡子流
体の存在を検出する分析計器２０とを含む。貯蔵チャン
バ４４と分析計器２０との間を結ぶ導管５８中の貯蔵弁
６４は、分析計器２０を用いて貯蔵チャンバ４４内に真
空生成を可能にする開弁位置を有する。閉弁した貯蔵弁
４４は、貯蔵チャンバ４４と分析計器２０との間の流体
連通を阻止して貯蔵チャンバ４４内に真空を閉じ込め
る。試験チャンバ２４と貯蔵チャンバ４４との間を結ぶ
導管３８中の弁４８は、試験チャンバと貯蔵チャンバと
の間の流体連通を阻止する閉弁位置を有する。
に追跡子ガスを損失する可能性を防止する。 【構成】 密封性を試験する装置１０は、追跡子流体を
含む密封された物品１２を受け入れる試験チャンバ２４
と、貯蔵チャンバ４４と、物品１２から漏れた追跡子流
体の存在を検出する分析計器２０とを含む。貯蔵チャン
バ４４と分析計器２０との間を結ぶ導管５８中の貯蔵弁
６４は、分析計器２０を用いて貯蔵チャンバ４４内に真
空生成を可能にする開弁位置を有する。閉弁した貯蔵弁
４４は、貯蔵チャンバ４４と分析計器２０との間の流体
連通を阻止して貯蔵チャンバ４４内に真空を閉じ込め
る。試験チャンバ２４と貯蔵チャンバ４４との間を結ぶ
導管３８中の弁４８は、試験チャンバと貯蔵チャンバと
の間の流体連通を阻止する閉弁位置を有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、物品内に封入されたヘ
リウムやアルゴンといった追跡子流体に漏洩が見られる
かどうかを試験することにより、製造物品の密封性を調
べる装置及び方法に関する。
リウムやアルゴンといった追跡子流体に漏洩が見られる
かどうかを試験することにより、製造物品の密封性を調
べる装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】漏れ試験機は、密封された物品内の漏れ
の存在を検出するのに用いられる。こうした漏れは、意
図した用途に対して物品を役立たなくしてしまう。
の存在を検出するのに用いられる。こうした漏れは、意
図した用途に対して物品を役立たなくしてしまう。
【０００３】公知の方法では、物品は物品内のヘリウム
のような追跡子ガスをもって密封される。物品は、次に
質量分光計のようなガス分析計器に直接接続されたチャ
ンバ内に置かれる。質量分光計は、追跡子ガスの存在を
検出することができる。質量分光計は、物品を囲繞する
チャンバを真空引きする真空ポンプを含んでいる。物品
内に漏れが存在する場合は、追跡子ガスは物品内の漏れ
箇所を通って質量分光計内に侵入する。
のような追跡子ガスをもって密封される。物品は、次に
質量分光計のようなガス分析計器に直接接続されたチャ
ンバ内に置かれる。質量分光計は、追跡子ガスの存在を
検出することができる。質量分光計は、物品を囲繞する
チャンバを真空引きする真空ポンプを含んでいる。物品
内に漏れが存在する場合は、追跡子ガスは物品内の漏れ
箇所を通って質量分光計内に侵入する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】公知の方法は、質量分
光計を適正に機能させるのに高度の真空を必要とする。
高度の真空を生成する間に、漏洩する追跡子ガスの殆ど
或いは全てが物品から質量分光計内に引き込まれ、質量
分光計から流出してしまうこともあり得る。高度真空に
達すると、質量分光計に流れ込んで検出される漏れた追
跡子ガスの量が不十分になることもある。かくして、質
量分光計は、実際には物品が受け入れ不能であるのに、
（漏れ追跡子ガスが無くて）物品は受け入れ可能である
と指示することがある。
光計を適正に機能させるのに高度の真空を必要とする。
高度の真空を生成する間に、漏洩する追跡子ガスの殆ど
或いは全てが物品から質量分光計内に引き込まれ、質量
分光計から流出してしまうこともあり得る。高度真空に
達すると、質量分光計に流れ込んで検出される漏れた追
跡子ガスの量が不十分になることもある。かくして、質
量分光計は、実際には物品が受け入れ不能であるのに、
（漏れ追跡子ガスが無くて）物品は受け入れ可能である
と指示することがある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、物品内に収容
されたヘリウムやアルゴンといった追跡子流体を有する
物品の密封性を調べるための装置を提供する。装置は、
物品を受け入れる試験チャンバを含む。装置はまた、真
空を保持しかつ物品から漏洩する追跡子流体を受け入れ
る貯蔵チャンバを含む。装置は、追跡子流体の存在を検
出する分析計器を含む。分析計器は、貯蔵チャンバ内に
真空を生成する手段を含む。追跡子流体は好ましくはガ
スであり、分析計器は好ましくはガス分析計器である。
されたヘリウムやアルゴンといった追跡子流体を有する
物品の密封性を調べるための装置を提供する。装置は、
物品を受け入れる試験チャンバを含む。装置はまた、真
空を保持しかつ物品から漏洩する追跡子流体を受け入れ
る貯蔵チャンバを含む。装置は、追跡子流体の存在を検
出する分析計器を含む。分析計器は、貯蔵チャンバ内に
真空を生成する手段を含む。追跡子流体は好ましくはガ
スであり、分析計器は好ましくはガス分析計器である。
【０００６】装置は、さらに、貯蔵チャンバと分析計器
との間を結ぶ第１の導管を含む。第１の導管中の第１の
弁は、貯蔵チャンバと分析計器との間を流体連通させか
つ貯蔵チャンバ内に真空を生成するようにさせる開弁位
置を有する。第１の弁は、貯蔵チャンバ内に真空が生成
された後、貯蔵チャンバと分析計器との間の第１の導管
を介する流体連通を阻止する閉弁位置を有する。
との間を結ぶ第１の導管を含む。第１の導管中の第１の
弁は、貯蔵チャンバと分析計器との間を流体連通させか
つ貯蔵チャンバ内に真空を生成するようにさせる開弁位
置を有する。第１の弁は、貯蔵チャンバ内に真空が生成
された後、貯蔵チャンバと分析計器との間の第１の導管
を介する流体連通を阻止する閉弁位置を有する。
【０００７】装置は、さらに、試験チャンバと貯蔵チャ
ンバとを結ぶ第２の導管を含む。第２の導管中の第２の
弁は、試験チャンバと貯蔵チャンバとの間の流体連通を
阻止し、貯蔵チャンバ内で真空を生成する間の試験チャ
ンバ内の圧力変化を防止する閉弁位置を有している。第
２の弁は、真空にされた貯蔵チャンバから試験チャンバ
内の物品に真空を作用させて物品内のどんな漏れ流路か
らも物品外に追跡子流体が抽出されるようにする開弁位
置を有する。
ンバとを結ぶ第２の導管を含む。第２の導管中の第２の
弁は、試験チャンバと貯蔵チャンバとの間の流体連通を
阻止し、貯蔵チャンバ内で真空を生成する間の試験チャ
ンバ内の圧力変化を防止する閉弁位置を有している。第
２の弁は、真空にされた貯蔵チャンバから試験チャンバ
内の物品に真空を作用させて物品内のどんな漏れ流路か
らも物品外に追跡子流体が抽出されるようにする開弁位
置を有する。
【０００８】本発明を使用する間、分析計器が十分に高
い稼動真空を達成する前に試験物品が真空にさらされる
ことはない。さらにまた、真空引きされた貯蔵チャンバ
内の真空が物品に対して作用した後は、追跡子流体のど
んな漏れも試験チャンバ及び貯蔵チャンバ内に包含され
る。分析計器を機能させるために高度真空の生成が要求
される間に、漏れた追跡子流体が大気に放出されること
はない。
い稼動真空を達成する前に試験物品が真空にさらされる
ことはない。さらにまた、真空引きされた貯蔵チャンバ
内の真空が物品に対して作用した後は、追跡子流体のど
んな漏れも試験チャンバ及び貯蔵チャンバ内に包含され
る。分析計器を機能させるために高度真空の生成が要求
される間に、漏れた追跡子流体が大気に放出されること
はない。
【０００９】本発明はさらに、物品内に含まれるヘリウ
ムやアルゴンといった追跡子流体を有する物品の密封性
を調べる方法を提供するものである。本方法は、第１の
チャンバ内に物品を密封して物品を隔離することを含
む。要求される高度の真空は、分析計器内で生成され
る。真空はまた、第１のチャンバから密封された第２の
チャンバ内の分析計器により生成され、そのため物品は
第２のチャンバ内での真空の生成中に圧力変化にさらさ
れることはない。第２のチャンバは、分析計器から密封
されていて、真空を第２のチャンバ内に保持し、真空を
第２のチャンバ内に閉じ込める。
ムやアルゴンといった追跡子流体を有する物品の密封性
を調べる方法を提供するものである。本方法は、第１の
チャンバ内に物品を密封して物品を隔離することを含
む。要求される高度の真空は、分析計器内で生成され
る。真空はまた、第１のチャンバから密封された第２の
チャンバ内の分析計器により生成され、そのため物品は
第２のチャンバ内での真空の生成中に圧力変化にさらさ
れることはない。第２のチャンバは、分析計器から密封
されていて、真空を第２のチャンバ内に保持し、真空を
第２のチャンバ内に閉じ込める。
【００１０】その後、流体連通が第１及び第２のチャン
バ間に確立され、第２のチャンバ内の真空が第１のチャ
ンバ内の物品に及び、物品内のどんな漏れ流路をも通し
て追跡子流体を物品から抽出させる。物品から抽出され
たどんな追跡子流体の流れも、分析計器に向けて確立さ
れる。流体の流れは分析計器によって分析され、追跡子
流体の存在が判定される。かくして、分析計器が高度の
稼動真空を達成する前に物品が真空にさらされることは
なくなり、漏洩したどんな追跡子流体も時期尚早に大気
に排出されることはない。
バ間に確立され、第２のチャンバ内の真空が第１のチャ
ンバ内の物品に及び、物品内のどんな漏れ流路をも通し
て追跡子流体を物品から抽出させる。物品から抽出され
たどんな追跡子流体の流れも、分析計器に向けて確立さ
れる。流体の流れは分析計器によって分析され、追跡子
流体の存在が判定される。かくして、分析計器が高度の
稼動真空を達成する前に物品が真空にさらされることは
なくなり、漏洩したどんな追跡子流体も時期尚早に大気
に排出されることはない。
【００１１】
【実施例】本発明の前述の特徴及び他の特徴は、添付図
面を参照しつつ本発明の以下の詳細な説明を熟考するこ
とで、本発明に関与する当業者に明白となろう。
面を参照しつつ本発明の以下の詳細な説明を熟考するこ
とで、本発明に関与する当業者に明白となろう。
【００１２】図１は、本発明を具体化する概略図であ
る。
る。
【００１３】本発明は、物品内に封入されたヘリウムや
アルゴンといった追跡子流体の漏洩の存在を調べること
によって物品の密封性を調べる装置及び方法に関する。
本発明を代表するものとして、図１に物品１２内に密封
された追跡子ガスを有する試験物品１２から漏れた追跡
子ガスの存在を試験する漏れ検出装置１０が図示してあ
る。漏れ検出装置１０は、試験容器１６と貯蔵容器１８
とガス分析計器２０とを含む。
アルゴンといった追跡子流体の漏洩の存在を調べること
によって物品の密封性を調べる装置及び方法に関する。
本発明を代表するものとして、図１に物品１２内に密封
された追跡子ガスを有する試験物品１２から漏れた追跡
子ガスの存在を試験する漏れ検出装置１０が図示してあ
る。漏れ検出装置１０は、試験容器１６と貯蔵容器１８
とガス分析計器２０とを含む。
【００１４】試験容器１６は、物品１２を受け入れる試
験チャンバ２４を画成している。試験チャンバ２４は、
物品１２が試験チャンバ２４内に置かれた後で最小限の
空き容積をもたらすに十分な大きさでありさえすればよ
い。試験容器１６の内面は十分に磨き上げられた孔無し
材料で構成され、これにより内面が試験チャンバ２４内
の真空状態を妨げかねない湿気及び又は汚染物質を保持
することはない。試験チャンバ１６は、好ましくはステ
ンレス鋼合金やアルミニウム合金やガラスや真鍮等で出
来たものがよい。
験チャンバ２４を画成している。試験チャンバ２４は、
物品１２が試験チャンバ２４内に置かれた後で最小限の
空き容積をもたらすに十分な大きさでありさえすればよ
い。試験容器１６の内面は十分に磨き上げられた孔無し
材料で構成され、これにより内面が試験チャンバ２４内
の真空状態を妨げかねない湿気及び又は汚染物質を保持
することはない。試験チャンバ１６は、好ましくはステ
ンレス鋼合金やアルミニウム合金やガラスや真鍮等で出
来たものがよい。
【００１５】試験容器１６は、試験容器１６に接続され
た試験チャンバ真空圧力計２８を有する。真空圧力計２
８は、試験チャンバ２４内の圧力を指示する。適当な真
空圧力計２８には、フィッシャー・サイエンティフィッ
ク会社から入手可能なフィッシャー製熱電対真空圧力計
や、バリアン・アソシエーツ会社から入手可能な５３６
熱電対真空圧力計や、バリアン・アソシエーツ会社から
入手可能な容量ダイヤフラム圧力計や、バリアン・アソ
シエーツ会社から入手可能な汎用伝送器ＣＭＬＡ，ＣＭ
ＬＢ，ＣＭＬＲシリーズや、バリアン・アソシエーツ会
社から入手可能な高感度伝送器ＣＭＯＸシリーズがあ
る。
た試験チャンバ真空圧力計２８を有する。真空圧力計２
８は、試験チャンバ２４内の圧力を指示する。適当な真
空圧力計２８には、フィッシャー・サイエンティフィッ
ク会社から入手可能なフィッシャー製熱電対真空圧力計
や、バリアン・アソシエーツ会社から入手可能な５３６
熱電対真空圧力計や、バリアン・アソシエーツ会社から
入手可能な容量ダイヤフラム圧力計や、バリアン・アソ
シエーツ会社から入手可能な汎用伝送器ＣＭＬＡ，ＣＭ
ＬＢ，ＣＭＬＲシリーズや、バリアン・アソシエーツ会
社から入手可能な高感度伝送器ＣＭＯＸシリーズがあ
る。
【００１６】試験容器１６は、試験容器１６に接続され
たブリード弁３２を有する。ブリード弁３２は、開弁位
置と閉弁位置とを有する。ブリード弁３２が開弁位置に
あるときは、試験チャンバ２４は外気と流体連通してお
り、試験チャンバ２４内の圧力は調整することができ
る。ブリード弁３２が閉弁位置にあるときは、試験チャ
ンバ２４と外気との流体連通は阻止される。適当なブリ
ード弁３２には、コール・パーマー会社から入手可能な
型番がＬ−０３２３５−００やＬ−０３２３７−３３や
Ｌ−０３２３７−２３のテフロン・キャピラリー弁があ
る。
たブリード弁３２を有する。ブリード弁３２は、開弁位
置と閉弁位置とを有する。ブリード弁３２が開弁位置に
あるときは、試験チャンバ２４は外気と流体連通してお
り、試験チャンバ２４内の圧力は調整することができ
る。ブリード弁３２が閉弁位置にあるときは、試験チャ
ンバ２４と外気との流体連通は阻止される。適当なブリ
ード弁３２には、コール・パーマー会社から入手可能な
型番がＬ−０３２３５−００やＬ−０３２３７−３３や
Ｌ−０３２３７−２３のテフロン・キャピラリー弁があ
る。
【００１７】貯蔵容器１８は、貯蔵チャンバ４４を画成
している。貯蔵チャンバ４４は、好ましくは試験物品１
２が試験チャンバ２４内に配置されたときに試験チャン
バ２４内に残される空き容積の約１００倍以上の容積を
有するものがよい。貯蔵容積１８の内面は十分に磨き上
げられた孔無し材料で出来ており、これにより内面が貯
蔵チャンバ４４内の真空状態を妨げかねない湿気及び又
は汚染物質を保持することはない。貯蔵容器１８は、ス
テンレス鋼合金やアルミニウム合金やガラスや真鍮など
から出来ている。
している。貯蔵チャンバ４４は、好ましくは試験物品１
２が試験チャンバ２４内に配置されたときに試験チャン
バ２４内に残される空き容積の約１００倍以上の容積を
有するものがよい。貯蔵容積１８の内面は十分に磨き上
げられた孔無し材料で出来ており、これにより内面が貯
蔵チャンバ４４内の真空状態を妨げかねない湿気及び又
は汚染物質を保持することはない。貯蔵容器１８は、ス
テンレス鋼合金やアルミニウム合金やガラスや真鍮など
から出来ている。
【００１８】貯蔵容器１８は、貯蔵容器１８に接続され
た貯蔵チャンバ真空圧力計６８を有する。真空圧力計６
８は、貯蔵チャンバ４内の圧力を指示する。真空圧力計
６８は、試験チャンバ真空圧力計２８と同じ型の圧力計
でよい。
た貯蔵チャンバ真空圧力計６８を有する。真空圧力計６
８は、貯蔵チャンバ４内の圧力を指示する。真空圧力計
６８は、試験チャンバ真空圧力計２８と同じ型の圧力計
でよい。
【００１９】ガス分析計器２０は、ガス分析計器２０を
通るガス流路を確立する機械ポンプ及び拡散ポンプのよ
うな真空装置（図示せず）を含んでいる。ガス分析計器
２０の真空装置は、５ミリトルから５００ミリトルの範
囲の高度真空を生成する容量を有する。好ましい実施例
では、ガス分析計器２０は質量分光計である。ただし、
ガス分析計器は、赤外線分光光度計或いはイオンクロマ
トグラフでもよい。適当な質量分光計には、ビーコ計器
会社から入手可能なＶＥＥＣＯ ＭＳ ３２Ｔがある。
通るガス流路を確立する機械ポンプ及び拡散ポンプのよ
うな真空装置（図示せず）を含んでいる。ガス分析計器
２０の真空装置は、５ミリトルから５００ミリトルの範
囲の高度真空を生成する容量を有する。好ましい実施例
では、ガス分析計器２０は質量分光計である。ただし、
ガス分析計器は、赤外線分光光度計或いはイオンクロマ
トグラフでもよい。適当な質量分光計には、ビーコ計器
会社から入手可能なＶＥＥＣＯ ＭＳ ３２Ｔがある。
【００２０】ガス分析計器２０は、実質的にどんなガス
も検出するよう調整できよう。しかしながら、試験物品
１２内に典型的に封入される追跡子ガスはヘリウムであ
る。ヘリウムは、分子量が小さく、重量が軽く、不活性
エレメントであるという理由から追跡子ガスとして採用
される。ヘリウムは、非常に拡散しやすく、無毒であ
り、大気中には追跡子量として存在するだけである。
も検出するよう調整できよう。しかしながら、試験物品
１２内に典型的に封入される追跡子ガスはヘリウムであ
る。ヘリウムは、分子量が小さく、重量が軽く、不活性
エレメントであるという理由から追跡子ガスとして採用
される。ヘリウムは、非常に拡散しやすく、無毒であ
り、大気中には追跡子量として存在するだけである。
【００２１】漏れ検出装置１０はまた、試験チャンバ導
管３８と貯蔵チャンバ導管５８とを含む。試験容器１６
は、試験チャンバ導管３８により貯蔵容器１８に結ばれ
ている。試験チャンバ導管３８は、試験チャンバ２４を
貯蔵チャンバ４４に接続している。試験チャンバ導管３
８は、好ましくはステンレス鋼合金管やアルミニウム管
などから出来ている。
管３８と貯蔵チャンバ導管５８とを含む。試験容器１６
は、試験チャンバ導管３８により貯蔵容器１８に結ばれ
ている。試験チャンバ導管３８は、試験チャンバ２４を
貯蔵チャンバ４４に接続している。試験チャンバ導管３
８は、好ましくはステンレス鋼合金管やアルミニウム管
などから出来ている。
【００２２】試験チャンバ弁４８は、試験チャンバ導管
３８内に配設されている。試験チャンバ弁４８は、試験
チャンバ導管３８を通る流体の流れを制御する。試験チ
ャンバ弁４８は、開弁位置と閉弁位置とを有する。試験
チャンバ弁４８が開弁位置にあるときは、試験チャンバ
２４は試験チャンバ導管３８を介して貯蔵チャンバ４４
に流体連通している。試験チャンバ弁４８が閉弁位置に
あるときは、試験チャンバ導管３８を介する試験チャン
バ２４と貯蔵チャンバ４４との流体連通は阻止される。
試験チャンバ弁４８は、約１０-11トルの真空圧力を密
封することができ、かつ毎秒約１０-12ｃｃ感度の漏れ
率を有する。適当な試験チャンバ弁４８には、バリアン
・アソシエーツ会社から入手可能な可変リーク弁や、バ
リアン・アソシエーツ会社から入手可能な型番がＮＷ１
６ １２４３−Ｌ６２８１−３０１のアルミニウム阻止
弁がある。
３８内に配設されている。試験チャンバ弁４８は、試験
チャンバ導管３８を通る流体の流れを制御する。試験チ
ャンバ弁４８は、開弁位置と閉弁位置とを有する。試験
チャンバ弁４８が開弁位置にあるときは、試験チャンバ
２４は試験チャンバ導管３８を介して貯蔵チャンバ４４
に流体連通している。試験チャンバ弁４８が閉弁位置に
あるときは、試験チャンバ導管３８を介する試験チャン
バ２４と貯蔵チャンバ４４との流体連通は阻止される。
試験チャンバ弁４８は、約１０-11トルの真空圧力を密
封することができ、かつ毎秒約１０-12ｃｃ感度の漏れ
率を有する。適当な試験チャンバ弁４８には、バリアン
・アソシエーツ会社から入手可能な可変リーク弁や、バ
リアン・アソシエーツ会社から入手可能な型番がＮＷ１
６ １２４３−Ｌ６２８１−３０１のアルミニウム阻止
弁がある。
【００２３】制御装置５０が試験チャンバ弁４８に接続
されていて、試験チャンバ弁４８を制御する。制御装置
５０は、試験チャンバ弁４８を開弁位置と閉弁位置との
間で駆動する。制御装置５０は、試験チャンバ２４内に
所定圧力が達成されるか又は試験チャンバ２４にとって
所要の真空引き時間が経過したときに試験チャンバ弁４
８を閉弁位置に駆動するよう設定することができる。適
当な制御装置５０は、バリアン・アソシエーツ会社から
入手可能なバリアン・マルチ圧力計である。
されていて、試験チャンバ弁４８を制御する。制御装置
５０は、試験チャンバ弁４８を開弁位置と閉弁位置との
間で駆動する。制御装置５０は、試験チャンバ２４内に
所定圧力が達成されるか又は試験チャンバ２４にとって
所要の真空引き時間が経過したときに試験チャンバ弁４
８を閉弁位置に駆動するよう設定することができる。適
当な制御装置５０は、バリアン・アソシエーツ会社から
入手可能なバリアン・マルチ圧力計である。
【００２４】貯蔵容器１８は、貯蔵チャンバ導管５８に
よってガス分析計器２０と結ばれている。貯蔵チャンバ
導管５８は、貯蔵チャンバ４４をガス分析計器２０に接
続している。貯蔵チャンバ導管５８は、好ましくはステ
ンレス鋼合金管やアルミニウム合金管などから出来たも
のがよい。
よってガス分析計器２０と結ばれている。貯蔵チャンバ
導管５８は、貯蔵チャンバ４４をガス分析計器２０に接
続している。貯蔵チャンバ導管５８は、好ましくはステ
ンレス鋼合金管やアルミニウム合金管などから出来たも
のがよい。
【００２５】貯蔵弁６４が、貯蔵チャンバ導管５８内に
配設されている。貯蔵弁６４は、貯蔵チャンバ導管５８
を介する流体の流れを制御する。貯蔵弁６４は、開弁位
置と閉弁位置とを有する。貯蔵弁６４が開弁位置にある
ときは、貯蔵チャンバ導管５８を介して貯蔵チャンバ４
４とガス分析計器２０との間の流体連通がなされる。貯
蔵弁６４が閉弁位置にあるときは、貯蔵チャンバ導管５
８を介する貯蔵チャンバ４４とガス分析計器２０との間
の流体連通は阻止される。
配設されている。貯蔵弁６４は、貯蔵チャンバ導管５８
を介する流体の流れを制御する。貯蔵弁６４は、開弁位
置と閉弁位置とを有する。貯蔵弁６４が開弁位置にある
ときは、貯蔵チャンバ導管５８を介して貯蔵チャンバ４
４とガス分析計器２０との間の流体連通がなされる。貯
蔵弁６４が閉弁位置にあるときは、貯蔵チャンバ導管５
８を介する貯蔵チャンバ４４とガス分析計器２０との間
の流体連通は阻止される。
【００２６】貯蔵弁６４は、約１０-11トルの真空圧力
を密封することができ、かつ毎秒約１０-12ｃｃ感度の
漏れ率を有する。適当な試験チャンバ弁４８には、バリ
アン・アソシエーツ会社から入手可能な可変リーク弁
や、バリアン・アソシエーツ会社から入手可能な型番が
ＮＷ１６ １２４３−Ｌ６２８１−３０１のアルミニウ
ム阻止弁がある。
を密封することができ、かつ毎秒約１０-12ｃｃ感度の
漏れ率を有する。適当な試験チャンバ弁４８には、バリ
アン・アソシエーツ会社から入手可能な可変リーク弁
や、バリアン・アソシエーツ会社から入手可能な型番が
ＮＷ１６ １２４３−Ｌ６２８１−３０１のアルミニウ
ム阻止弁がある。
【００２７】制御装置６５が貯蔵弁６４に接続されてい
て、貯蔵弁６４を開弁位置と閉弁位置との間で駆動す
る。制御装置６５は、貯蔵チャンバ４４内に所定圧力が
達成されたときか又は貯蔵チャンバ４４にとって所定の
真空引き時間が経過した後で、貯蔵弁６４を閉弁位置に
設定することができる。適当な制御装置６５には、バリ
アン・アソシエーツ会社から入手可能なバリアン・マル
チ圧力計がある。
て、貯蔵弁６４を開弁位置と閉弁位置との間で駆動す
る。制御装置６５は、貯蔵チャンバ４４内に所定圧力が
達成されたときか又は貯蔵チャンバ４４にとって所定の
真空引き時間が経過した後で、貯蔵弁６４を閉弁位置に
設定することができる。適当な制御装置６５には、バリ
アン・アソシエーツ会社から入手可能なバリアン・マル
チ圧力計がある。
【００２８】好ましい実施例では、漏れ検出装置１０は
また、貯蔵制限導管７２と試験チャンバ制限導管８２と
を含んでいる。貯蔵制限導管７２は、貯蔵容器１８と貯
蔵チャンバ導管５８の一端部７４との間に延びている。
端部７４は、ガス分析計器２０に向かって貯蔵弁６４の
下流に位置している。貯蔵制限導管７２は、貯蔵チャン
バ４４をガス分析計器２０に流体連通させることができ
る。貯蔵制限導管７２は、貯蔵制限導管７２を通るガス
流に対して抵抗を与える小さな断面流領域寸法を有す
る。ガス分析計器２０の真空装置の容量は十分に高く、
試験操作の間にガスが貯蔵制限導管７２を通って流れる
間は、ガス分析計器２０内の真空圧力を２００ミリトル
以下に保つ。真空装置により引き起こされる貯蔵制限導
管７２内のガス流体の流量は、概ね最低でも毎分約４５
ｃｃである。かくして、貯蔵制限導管７２の流体領域寸
法は、真空装置の容量を視野に入れて選択され、それに
より貯蔵制限導管７２のガス分析計器２０にガス流を供
給する能力は、ガス分析計器２０を真空にする真空装置
の能力に対して拮抗する。貯蔵制限導管７２は、典型的
にはステンレス毛管のような管である。
また、貯蔵制限導管７２と試験チャンバ制限導管８２と
を含んでいる。貯蔵制限導管７２は、貯蔵容器１８と貯
蔵チャンバ導管５８の一端部７４との間に延びている。
端部７４は、ガス分析計器２０に向かって貯蔵弁６４の
下流に位置している。貯蔵制限導管７２は、貯蔵チャン
バ４４をガス分析計器２０に流体連通させることができ
る。貯蔵制限導管７２は、貯蔵制限導管７２を通るガス
流に対して抵抗を与える小さな断面流領域寸法を有す
る。ガス分析計器２０の真空装置の容量は十分に高く、
試験操作の間にガスが貯蔵制限導管７２を通って流れる
間は、ガス分析計器２０内の真空圧力を２００ミリトル
以下に保つ。真空装置により引き起こされる貯蔵制限導
管７２内のガス流体の流量は、概ね最低でも毎分約４５
ｃｃである。かくして、貯蔵制限導管７２の流体領域寸
法は、真空装置の容量を視野に入れて選択され、それに
より貯蔵制限導管７２のガス分析計器２０にガス流を供
給する能力は、ガス分析計器２０を真空にする真空装置
の能力に対して拮抗する。貯蔵制限導管７２は、典型的
にはステンレス毛管のような管である。
【００２９】貯蔵キャピラリ弁７８が、貯蔵制限導管７
２内に配設されている。貯蔵キャピラリ弁７８は、開弁
位置と閉弁位置とを有する。貯蔵キャピラリ弁７８が開
弁位置にあるときは、貯蔵チャンバ４４とガス分析計器
２０の間で貯蔵制限導管７２を介して流体連通がなされ
る。貯蔵キャピラリ弁７８が開弁位置にあるときは、貯
蔵チャンバ４４とガス分析計器２０との間の流体の流れ
は、生ずる流体の流れが比較的少ないために、ガス分析
計器２０内にさしたる圧力上昇を伴うことはない。貯蔵
キャピラリ弁７８が閉弁位置にあるときは、貯蔵制限導
管７２を介する貯蔵チャンバ４４とガス分析計器２０と
の間の流体連通は阻止される。適当な貯蔵キャピラリ弁
７８には、コールパーマー会社から入手可能な型番がＬ
−０３２３５−００かＬ−０３２３７−３３又はＬ−０
３２３７−２３のテフロン・キャピラリ弁がある。
２内に配設されている。貯蔵キャピラリ弁７８は、開弁
位置と閉弁位置とを有する。貯蔵キャピラリ弁７８が開
弁位置にあるときは、貯蔵チャンバ４４とガス分析計器
２０の間で貯蔵制限導管７２を介して流体連通がなされ
る。貯蔵キャピラリ弁７８が開弁位置にあるときは、貯
蔵チャンバ４４とガス分析計器２０との間の流体の流れ
は、生ずる流体の流れが比較的少ないために、ガス分析
計器２０内にさしたる圧力上昇を伴うことはない。貯蔵
キャピラリ弁７８が閉弁位置にあるときは、貯蔵制限導
管７２を介する貯蔵チャンバ４４とガス分析計器２０と
の間の流体連通は阻止される。適当な貯蔵キャピラリ弁
７８には、コールパーマー会社から入手可能な型番がＬ
−０３２３５−００かＬ−０３２３７−３３又はＬ−０
３２３７−２３のテフロン・キャピラリ弁がある。
【００３０】調整装置７９は、貯蔵キャピラリ弁７８に
接続されていて貯蔵キャピラリ弁７８を制御する。調整
装置７９は、手動で制御されてキャピラリ弁７８を開弁
位置と閉成位置との間で駆動する。
接続されていて貯蔵キャピラリ弁７８を制御する。調整
装置７９は、手動で制御されてキャピラリ弁７８を開弁
位置と閉成位置との間で駆動する。
【００３１】試験チャンバ制限導管８２が、試験容器１
６と貯蔵弁６４下流の貯蔵チャンバ導管５８の端部７４
との間に延びている。試験チャンバ制限導管８２は、試
験チャンバ２４をガス分析計器２０に流体連通させるこ
とができる。試験チャンバ制限導管８２は、試験チャン
バ制限導管８２を通るガス流に抵抗を与える小さな断面
流体領域寸法を有する。ガス分析計器２０の容量は十分
に大きく、試験操作の間にガスが試験チャンバ束導管８
２を通って流れる間は、ガス分析計器２０内の真空圧力
を２００ミリトル以下に保つ。真空装置により引き起こ
される貯蔵制限導管７２内のガス流体の流量は、概ね毎
分約４５ｃｃである。かくして、試験チャンバ制限導管
８２の流体領域寸法は、真空装置の容量を視野に入れて
選択され、これにより試験チャンバ制限導管８２のガス
分析計器２０にガス流を供給する能力は、ガス分析計器
２０を真空にする真空装置の能力に対して拮抗する。試
験チャンバ制限導管８２は、典型的にはステンレス毛管
のような管である。
６と貯蔵弁６４下流の貯蔵チャンバ導管５８の端部７４
との間に延びている。試験チャンバ制限導管８２は、試
験チャンバ２４をガス分析計器２０に流体連通させるこ
とができる。試験チャンバ制限導管８２は、試験チャン
バ制限導管８２を通るガス流に抵抗を与える小さな断面
流体領域寸法を有する。ガス分析計器２０の容量は十分
に大きく、試験操作の間にガスが試験チャンバ束導管８
２を通って流れる間は、ガス分析計器２０内の真空圧力
を２００ミリトル以下に保つ。真空装置により引き起こ
される貯蔵制限導管７２内のガス流体の流量は、概ね毎
分約４５ｃｃである。かくして、試験チャンバ制限導管
８２の流体領域寸法は、真空装置の容量を視野に入れて
選択され、これにより試験チャンバ制限導管８２のガス
分析計器２０にガス流を供給する能力は、ガス分析計器
２０を真空にする真空装置の能力に対して拮抗する。試
験チャンバ制限導管８２は、典型的にはステンレス毛管
のような管である。
【００３２】試験チャンバキャピラリ弁８８が、試験チ
ャンバ制限導管８２に沿って配設されている。試験チャ
ンバキャピラリ弁８８は、開弁位置と閉弁位置とを有す
る。試験チャンバキャピラリ弁８８が開弁位置にあると
きは、試験チャンバ制限導管８２を介して試験チャンバ
２４とガス分析計器２０の間で流体連通がなされる。試
験チャンバキャピラリ弁８８が開弁位置にあるときは、
試験チャンバ２４とガス分析計器２０との間の流体の流
れは、流体の流れが比較的少ないために、ガス分析計器
２０内にさしたる圧力上昇を伴うことはない。試験チャ
ンバキャピラリ弁８８が閉弁位置にあるときは、試験チ
ャンバ制限導管８２を介する試験チャンバ２４とガス分
析計器２０との間の流体連通は阻止される。適当な試験
チャンバキャピラリ弁８８には、コールパーマー会社か
ら入手可能な型番がＬ−０３２３５−００やＬ−０３２
３７−３３やＬ−０３２３７−２３のテフロン・キャピ
ラリ弁がある。
ャンバ制限導管８２に沿って配設されている。試験チャ
ンバキャピラリ弁８８は、開弁位置と閉弁位置とを有す
る。試験チャンバキャピラリ弁８８が開弁位置にあると
きは、試験チャンバ制限導管８２を介して試験チャンバ
２４とガス分析計器２０の間で流体連通がなされる。試
験チャンバキャピラリ弁８８が開弁位置にあるときは、
試験チャンバ２４とガス分析計器２０との間の流体の流
れは、流体の流れが比較的少ないために、ガス分析計器
２０内にさしたる圧力上昇を伴うことはない。試験チャ
ンバキャピラリ弁８８が閉弁位置にあるときは、試験チ
ャンバ制限導管８２を介する試験チャンバ２４とガス分
析計器２０との間の流体連通は阻止される。適当な試験
チャンバキャピラリ弁８８には、コールパーマー会社か
ら入手可能な型番がＬ−０３２３５−００やＬ−０３２
３７−３３やＬ−０３２３７−２３のテフロン・キャピ
ラリ弁がある。
【００３３】試験チャンバキャピラリ弁８８を制御する
調整装置８９が、試験チャンバキャピラリ弁８２に接続
されている。調整装置８９は、手動で制御されてキャピ
ラリ弁７８を開弁位置と閉弁位置との間で駆動する。
調整装置８９が、試験チャンバキャピラリ弁８２に接続
されている。調整装置８９は、手動で制御されてキャピ
ラリ弁７８を開弁位置と閉弁位置との間で駆動する。
【００３４】漏れ検出装置１０を稼動させる場合、物品
１２は試験容器１６の試験チャンバ２４内に配置され
る。試験チャンバ弁４８と貯蔵チャンバ弁６４と貯蔵キ
ャピラリ弁７８と試験チャンバキャピラリ弁８８とブリ
ード弁３２は、それぞれの閉弁位置に置かれている。か
くして、物品１２は、試験チャンバ２４内にあって外部
の圧力変化から隔絶されている。ガス分析計器２０が起
動され、物品１２内の特定の追跡子ガスすなわちヘリウ
ムを検出し始める。
１２は試験容器１６の試験チャンバ２４内に配置され
る。試験チャンバ弁４８と貯蔵チャンバ弁６４と貯蔵キ
ャピラリ弁７８と試験チャンバキャピラリ弁８８とブリ
ード弁３２は、それぞれの閉弁位置に置かれている。か
くして、物品１２は、試験チャンバ２４内にあって外部
の圧力変化から隔絶されている。ガス分析計器２０が起
動され、物品１２内の特定の追跡子ガスすなわちヘリウ
ムを検出し始める。
【００３５】貯蔵弁６４は制御装置６５によって開弁さ
れる。貯蔵チャンバ４４は、ガス分析計器２０の真空装
置によって約５ミリトルから５００ミリトルの範囲の真
空圧力にまで真空とされる。貯蔵弁６４はそこで制御装
置６５により閉弁される。かくして、貯蔵チャンバ４４
内で生成された真空は、外部圧力の影響から隔絶され
る。貯蔵チャンバ４４に対する真空引き時間は、約３０
秒から５分である。チャンバ４４が真空引きされると、
適当な所要の真空がガス分析計器２０内に生成される。
れる。貯蔵チャンバ４４は、ガス分析計器２０の真空装
置によって約５ミリトルから５００ミリトルの範囲の真
空圧力にまで真空とされる。貯蔵弁６４はそこで制御装
置６５により閉弁される。かくして、貯蔵チャンバ４４
内で生成された真空は、外部圧力の影響から隔絶され
る。貯蔵チャンバ４４に対する真空引き時間は、約３０
秒から５分である。チャンバ４４が真空引きされると、
適当な所要の真空がガス分析計器２０内に生成される。
【００３６】試験チャンバ弁４８は、制御装置５０によ
り開弁され、貯蔵チャンバ４４内の隔絶された真空を試
験チャンバ２４に作用させ、試験チャンバ２４を真空引
きする。かくして、隔絶されていた真空が物品１２に作
用する。試験チャンバ２４内に確立された圧力は、約８
トルから４３トルの範囲にある。物品１２内に僅かでも
漏れ流路が存在する場合は、物品１２内の追跡子ガスが
物品１２から試験チャンバ２４内に漏洩するが、これは
試験チャンバ２４内の圧力が物品１２内部の圧力よりも
さらに小さくなるからである。
り開弁され、貯蔵チャンバ４４内の隔絶された真空を試
験チャンバ２４に作用させ、試験チャンバ２４を真空引
きする。かくして、隔絶されていた真空が物品１２に作
用する。試験チャンバ２４内に確立された圧力は、約８
トルから４３トルの範囲にある。物品１２内に僅かでも
漏れ流路が存在する場合は、物品１２内の追跡子ガスが
物品１２から試験チャンバ２４内に漏洩するが、これは
試験チャンバ２４内の圧力が物品１２内部の圧力よりも
さらに小さくなるからである。
【００３７】試験チャンバ２４が隔絶された真空により
真空引きされる間、試験チャンバ２４と貯蔵チャンバ４
４との間に圧力差が存在する。この圧力差は、試験チャ
ンバ２４内に存在する追跡子ガスのどんな漏れをも含む
何らかのガス性内容物を貯蔵チャンバ４４内に流入させ
る。試験チャンバ２４内の圧力が約８トルから４３トル
の範囲に降下すると、試験チャンバ弁４８は制御装置５
０により閉弁される。試験チャンバ弁４８が閉弁する
と、試験チャンバ２４が貯蔵チャンバ４４内に隔絶され
ていた真空によってそれ以上真空引きされることはな
い。
真空引きされる間、試験チャンバ２４と貯蔵チャンバ４
４との間に圧力差が存在する。この圧力差は、試験チャ
ンバ２４内に存在する追跡子ガスのどんな漏れをも含む
何らかのガス性内容物を貯蔵チャンバ４４内に流入させ
る。試験チャンバ２４内の圧力が約８トルから４３トル
の範囲に降下すると、試験チャンバ弁４８は制御装置５
０により閉弁される。試験チャンバ弁４８が閉弁する
と、試験チャンバ２４が貯蔵チャンバ４４内に隔絶され
ていた真空によってそれ以上真空引きされることはな
い。
【００３８】貯蔵チャンバ４４内の追跡子ガスの存在
は、物品１２が密封性をもたないことを示すものであ
る。貯蔵チャンバ４４内の追跡子ガスの存在は、どんな
漏れガスをも含む貯蔵チャンバ４４内のガス性内容物を
貯蔵チャンバ導管５８を介してガス分析計器２０に送り
込むことによって判定される。これを成し遂げるため、
貯蔵チャンバ導管５８の貯蔵弁６４が制御装置６５によ
って開弁される。
は、物品１２が密封性をもたないことを示すものであ
る。貯蔵チャンバ４４内の追跡子ガスの存在は、どんな
漏れガスをも含む貯蔵チャンバ４４内のガス性内容物を
貯蔵チャンバ導管５８を介してガス分析計器２０に送り
込むことによって判定される。これを成し遂げるため、
貯蔵チャンバ導管５８の貯蔵弁６４が制御装置６５によ
って開弁される。
【００３９】漏洩したどんな追跡子ガスをも含む貯蔵チ
ャンバ４４内のガス性内容物は、ガス分析計器２０の真
空装置（図示せず）によるさらなる真空引きにより、貯
蔵チャンバ導管５８を介してガス分析計器２０に送り込
まれる。ガス分析計器２０は、たとえ僅かでも追跡子ガ
スの存在を検出してその量を測定する。追跡子ガスが特
定量検出される場合は、物品１２は密封性を欠くことに
なる。ガス分析計器２０は、貯蔵チャンバ４４から運び
込まれた追跡子ガスの量に比例した出力信号をもたら
す。
ャンバ４４内のガス性内容物は、ガス分析計器２０の真
空装置（図示せず）によるさらなる真空引きにより、貯
蔵チャンバ導管５８を介してガス分析計器２０に送り込
まれる。ガス分析計器２０は、たとえ僅かでも追跡子ガ
スの存在を検出してその量を測定する。追跡子ガスが特
定量検出される場合は、物品１２は密封性を欠くことに
なる。ガス分析計器２０は、貯蔵チャンバ４４から運び
込まれた追跡子ガスの量に比例した出力信号をもたら
す。
【００４０】さもなくば、貯蔵チャンバ４４内の追跡子
ガスの存在は、貯蔵制限導管７２を介してガス分析計器
２０にガス性内容物を送り込むことにより貯蔵チャンバ
４４の捕捉されたガス性内容物の過剰な減耗なしに判定
することもできる。これを成し遂げるため、貯蔵キャピ
ラリ弁７８は、調整装置７９を手動で作動させることで
開弁され、貯蔵制限導管７２を介して貯蔵チャンバ４４
とガス分析計器２０との間の流体の流れが確立される。
貯蔵弁６４は、閉弁位置に保たれる。漏れたどんな追跡
子ガスをも含む貯蔵チャンバ４４内のガス性内容物のう
ちのあるものは、貯蔵制限導管７２を介してガス分析計
器２０へと流れる。追跡子ガスの検出は、ガス分析計器
２０によって遂行される。
ガスの存在は、貯蔵制限導管７２を介してガス分析計器
２０にガス性内容物を送り込むことにより貯蔵チャンバ
４４の捕捉されたガス性内容物の過剰な減耗なしに判定
することもできる。これを成し遂げるため、貯蔵キャピ
ラリ弁７８は、調整装置７９を手動で作動させることで
開弁され、貯蔵制限導管７２を介して貯蔵チャンバ４４
とガス分析計器２０との間の流体の流れが確立される。
貯蔵弁６４は、閉弁位置に保たれる。漏れたどんな追跡
子ガスをも含む貯蔵チャンバ４４内のガス性内容物のう
ちのあるものは、貯蔵制限導管７２を介してガス分析計
器２０へと流れる。追跡子ガスの検出は、ガス分析計器
２０によって遂行される。
【００４１】また、物品１２外部の試験チャンバ２４内
の追跡子ガスのいかなる量も、物品１２が密封性をもた
ないことを示すものである。かくして、物品１２内の漏
れの存在は、物品１２外部の試験チャンバ２４内のガス
性内容物を調べることにより判定される。試験チャンバ
２４内のガス性内容物は、試験チャンバ制限導管８２を
介してガス分析計器へと運び込まれる。これを成し遂げ
るため、試験チャンバキャピラリ弁８８は、調整装置８
９手動で作動させることにより開弁され、試験チャンバ
２４とガス分析計器２０との間に流体の流れが確立す
る。どんな追跡子ガスをも含む試験チャンバ２４内のガ
ス性内容物のうちのあるものは、試験チャンバ制限導管
８２を介してガス分析計器２０へと搬送される。ガス分
析計器２０は、どんな追跡子ガスの存在をも検出する。
の追跡子ガスのいかなる量も、物品１２が密封性をもた
ないことを示すものである。かくして、物品１２内の漏
れの存在は、物品１２外部の試験チャンバ２４内のガス
性内容物を調べることにより判定される。試験チャンバ
２４内のガス性内容物は、試験チャンバ制限導管８２を
介してガス分析計器へと運び込まれる。これを成し遂げ
るため、試験チャンバキャピラリ弁８８は、調整装置８
９手動で作動させることにより開弁され、試験チャンバ
２４とガス分析計器２０との間に流体の流れが確立す
る。どんな追跡子ガスをも含む試験チャンバ２４内のガ
ス性内容物のうちのあるものは、試験チャンバ制限導管
８２を介してガス分析計器２０へと搬送される。ガス分
析計器２０は、どんな追跡子ガスの存在をも検出する。
【００４２】他の操作モードにあっては、漏れ検出装置
１０を一定期間の時間をかけて物品１２内の漏れを試験
するのに用いることもできる。物品１２は、試験容器１
６の試験チャンバ２４内に置かれる。試験チャンバ弁４
８と貯蔵チャンバ弁６４と貯蔵キャピラリ弁７８と試験
チャンバキャピラリ弁８８とブリード弁３２は、それぞ
れ閉弁位置に置かれる。
１０を一定期間の時間をかけて物品１２内の漏れを試験
するのに用いることもできる。物品１２は、試験容器１
６の試験チャンバ２４内に置かれる。試験チャンバ弁４
８と貯蔵チャンバ弁６４と貯蔵キャピラリ弁７８と試験
チャンバキャピラリ弁８８とブリード弁３２は、それぞ
れ閉弁位置に置かれる。
【００４３】ガス分析計器２０を起動し、貯蔵弁６４が
開弁され、これにより貯蔵チャンバ４４内に真空が生成
される。貯蔵弁６４は閉弁されて真空を閉じ込める。試
験チャンバ弁４８は開弁され、試験チャンバ２４と物品
１２に対し隔絶された真空を作用させる。試験チャンバ
弁４８は閉弁され、真空圧力が物品１２の周りに保持さ
れる。試験チャンバ２４内の真空圧力は、真空圧力計２
８を監視しながら、ブリード弁３２を開弁して外気を試
験チャンバ２４内に取り入れることにより調整すること
ができる。
開弁され、これにより貯蔵チャンバ４４内に真空が生成
される。貯蔵弁６４は閉弁されて真空を閉じ込める。試
験チャンバ弁４８は開弁され、試験チャンバ２４と物品
１２に対し隔絶された真空を作用させる。試験チャンバ
弁４８は閉弁され、真空圧力が物品１２の周りに保持さ
れる。試験チャンバ２４内の真空圧力は、真空圧力計２
８を監視しながら、ブリード弁３２を開弁して外気を試
験チャンバ２４内に取り入れることにより調整すること
ができる。
【００４４】試験チャンバ２４内の真空圧力は、所定期
間の時間をかけて維持され、物品１２はこの所定期間を
通じて真空圧力にさらされる。かくして、物品１２は、
真空圧力中に「浸され」、追跡子ガスが物品１２内のど
んな小さな漏れ流路からも這い出るのに十分な時間を与
える。物品１２が真空に「浸され」た後、試験チャンバ
キャピラリ弁８８を開弁してガス分析計器２０に向けた
流体の流れを確立することができる。さもなくば、試験
チャンバ弁４８と貯蔵チャンバ弁６４か貯蔵キャピラリ
弁７８のどちらかとを開弁し、ガス分析計器２０への流
体の流れを確立する。
間の時間をかけて維持され、物品１２はこの所定期間を
通じて真空圧力にさらされる。かくして、物品１２は、
真空圧力中に「浸され」、追跡子ガスが物品１２内のど
んな小さな漏れ流路からも這い出るのに十分な時間を与
える。物品１２が真空に「浸され」た後、試験チャンバ
キャピラリ弁８８を開弁してガス分析計器２０に向けた
流体の流れを確立することができる。さもなくば、試験
チャンバ弁４８と貯蔵チャンバ弁６４か貯蔵キャピラリ
弁７８のどちらかとを開弁し、ガス分析計器２０への流
体の流れを確立する。
【００４５】本発明は、ガス分析計器の適正な操作条件
が確立する前に追跡子ガスを損失する可能性を防止する
ものである。特に、ガス分析計器を始動して真空引きす
るさいに、追跡子ガスがガス分析計器によって大気中に
放出されることはない。
が確立する前に追跡子ガスを損失する可能性を防止する
ものである。特に、ガス分析計器を始動して真空引きす
るさいに、追跡子ガスがガス分析計器によって大気中に
放出されることはない。
【００４６】物品１２の試験が完了した後、ブリード弁
３２を開弁させて試験チャンバ２４内の圧力を大気圧に
戻すようにすることができる。試験した物品１２は、試
験チャンバ２４から取り除かれる。試験物品１２が取り
除かれた後、試験チャンバ２４はパージガスによって満
たされ、あらゆる漏洩追跡子ガスは取り除かれる。パー
ジガスは試験チャンバ２４内に導入され、ブリード弁３
２を通って流出させられる。パージガスは、純度の高い
窒素又は乾燥空気のどちらでもよい。パージガスを使用
することにより、前回の試験物品１２から漏れた追跡子
ガスの検出を防止するのに役立ち、かつガス分析計器２
０によりもたらされる試験結果の精度を改善することが
できる。
３２を開弁させて試験チャンバ２４内の圧力を大気圧に
戻すようにすることができる。試験した物品１２は、試
験チャンバ２４から取り除かれる。試験物品１２が取り
除かれた後、試験チャンバ２４はパージガスによって満
たされ、あらゆる漏洩追跡子ガスは取り除かれる。パー
ジガスは試験チャンバ２４内に導入され、ブリード弁３
２を通って流出させられる。パージガスは、純度の高い
窒素又は乾燥空気のどちらでもよい。パージガスを使用
することにより、前回の試験物品１２から漏れた追跡子
ガスの検出を防止するのに役立ち、かつガス分析計器２
０によりもたらされる試験結果の精度を改善することが
できる。
【００４７】製造された多くの物品は、物品内に封入さ
れた追跡子ガスを有しており、本装置及び方法とをもっ
て密封性を試験することができる。そうした物品は、例
えばエアバッグのような車載乗員拘束具用のインフレー
タ、センサ、燃料タンク、燃料システム、起爆素子、自
動変速機、トルクコンバータ、電子装置、ペースメーカ
などの医療用生体埋め込み装置を含む。
れた追跡子ガスを有しており、本装置及び方法とをもっ
て密封性を試験することができる。そうした物品は、例
えばエアバッグのような車載乗員拘束具用のインフレー
タ、センサ、燃料タンク、燃料システム、起爆素子、自
動変速機、トルクコンバータ、電子装置、ペースメーカ
などの医療用生体埋め込み装置を含む。
【００４８】本発明の上記の記述から、当業者は発明の
改良と変形と修正とを想到するであろう。そうした当業
者による改良と変形と修正は、添付の特許請求の範囲に
より覆われるよう意図するものである。
改良と変形と修正とを想到するであろう。そうした当業
者による改良と変形と修正は、添付の特許請求の範囲に
より覆われるよう意図するものである。
【００４９】
【発明の効果】本発明によれば、ガス分析計器の適正な
操作条件が確立する前に追跡子ガスを損失する可能性を
防止することができる。
操作条件が確立する前に追跡子ガスを損失する可能性を
防止することができる。
【図１】本発明を具体化する概略図である。
１０ 漏れ検出装置 １２ 物品 １６ 試験容器 １８ 貯蔵容器 ２０ ガス分析計器 ２４ 試験チャンバ ２８ 真空圧力計 ３２ ブリード弁 ３８ 試験チャンバ導管 ４４ 貯蔵チャンバ ４８ 試験チャンバ弁 ５０ 制御装置 ５８ 貯蔵チャンバ導管 ６４ 貯蔵弁 ６５ 制御装置 ７２ 貯蔵制限導管 ７４ 一端部 ７８ 貯蔵キャピラリ弁 ７９ 調整装置 ８２ 試験室制限導管 ８８ 試験室キャピラリ弁 ８９ 調整装置
Claims (18)
- 【請求項１】 物品内に含まれる追跡子流体を有する物
品の密封性を調べる装置において、 物品を受け入れる試験チャンバと、 真空圧力を保持する貯蔵チャンバと、 追跡子流体の存在を検出する分析計器であって、前記貯
蔵チャンバ内に真空を生成する手段を具備する前記分析
計器と、 前記貯蔵チャンバと前記分析計器との間を結ぶ第１の導
管と、 前記第１の導管中の第１の弁であって、前記貯蔵チャン
バと前記分析計器との間の流体連通を可能にし、かつ前
記貯蔵チャンバ内の真空生成を可能にする開弁位置と、
前記貯蔵チャンバ内に真空が生成された後で前記分析計
器から前記貯蔵チャンバを隔絶する閉弁位置とを有する
前記第１の弁と、 前記試験チャンバと前記貯蔵チャンバとの間を結ぶ第２
の導管と、 前記第２の導管中の第２の弁であって、前記貯蔵チャン
バ内に真空を生成する間は前記試験チャンバと前記貯蔵
チャンバとの間の流体連通を阻止して該試験チャンバ内
の圧力変化を防止する閉弁位置と、前記真空にされた貯
蔵チャンバから前記試験チャンバ内の物品に真空を作用
させ、物品内のどんな漏れ流路からも追跡子流体が抽出
されるようにする開弁位置とを有する前記第２の弁とを
具備する、 ことを特徴とする前記装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の装置において、 前記ガス分析計器は、追跡子流体を検出するよう較正さ
れた質量分光計であり、 前記ガス流体は、アルゴン又はヘリウムを含むガスであ
る、 ことを特徴とする前記装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の装置において、 前記試験チャンバは、試験容器により画成されており、
該試験容器は、ステンレス鋼合金やアルミニウム合金や
ガラス等からなるグループから選択された材料で出来て
いる、 ことを特徴とする前記装置。 - 【請求項４】 請求項１記載の装置において、 前記貯蔵チャンバは貯蔵容器により画成されており、前
記貯蔵容器は、ステンレス鋼合金やアルミニウム合金や
ガラス等からなるグループから選択された材料で出来て
いる、 ことを特徴とする前記装置。 - 【請求項５】 請求項１記載の装置において、 前記第１及び第２の弁は、約１０-11トルの密封能力が
ある、 ことを特徴とする前記装置。 - 【請求項６】 請求項１記載の装置において、 前記試験チャンバと前記分析計器との間を結ぶ制限的な
第３の導管と、該制限的な第３の導管中のキャピラリ弁
とをさらに具備しており、 該キャピラリ弁は、前記試験チャンバの流体内容物の前
記分析計器への搬送を可能にする開弁位置と、前記制限
的な第３の導管を介する前記試験チャンバと前記分析計
器との間の流体連通を阻止する閉弁位置とを有する、 ことを特徴とする前記装置。 - 【請求項７】 請求項６記載の装置において、 前記制限的な第３の導管は、制限的な断面流領域を有し
ており、 前記真空を生成する手段は、前記制限的な第３の導管を
介して前記追跡子流体を少なくとも毎分約４５ｃｃの流
量で流れさせ、かつ前記分析計器における圧力を２００
ミリトル以下に維持する容量を有する、 ことを特徴とする前記装置。 - 【請求項８】 請求項１記載の装置において、 前記貯蔵チャンバと前記分析計器との間を結ぶ制限的な
第３の導管と該制限的な第３の導管中のキャピラリ弁と
をさらに具備しており、 該キャピラリ弁は、前記貯蔵チャンバの内容物を前記分
析計器に搬送する開弁位置と、前記制限的な第３の導管
を介する前記貯蔵チャンバと前記分析計器との間の流体
連通を阻止する閉弁位置とを有する、 ことを特徴とする前記装置。 - 【請求項９】 請求項８記載の装置において、 前記制限的な第３の導管は、制限的な断面流領域を有し
ており、 前記真空を生成する手段は、前記制限的な第３の導管を
介して前記追跡子流体を少なくとも毎分約４５ｃｃの流
量で流れさせ、かつ前記分析計器における圧力を２００
ミリトル以下に維持する容量を有する、 ことを特徴とする前記装置。 - 【請求項１０】 物品内に含まれる追跡子流体を有する
物品の密封性を調べる方法において、 物品を第１のチャンバ内に封入して物品を隔離するステ
ップと、 第２のチャンバ内における真空生成中に物品が圧力変化
を蒙らないよう前記第１のチャンバから密封された第２
のチャンバ内に真空を生成するステップと、 第２のチャンバを密封して第２のチャンバ内に真空を保
持し、第２のチャンバ内に真空を閉じ込めるステップ
と、 その後に前記第１と第２のチャンバの間の流体連通を確
立し、第２のチャンバ内に閉じ込められた真空を第１の
チャンバ内の物品に作用させて物品内のどんな漏れ流路
からも追跡子流体を抽出させるステップと、 分析計器に向けて物品から抽出されたどんな追跡子流体
の流れをも確立するステップと、 流体の流れを分析して追跡子流体の存在を判定するステ
ップとを具備する、 ことを特徴とする前記方法。 - 【請求項１１】 請求項１０記載の方法において、 前記真空を生成するステップは、第２のチャンバと分析
計器との間を結ぶ導管内の第１の弁を開弁し、分析計器
により第２のチャンバを真空にするステップを含んでお
り、 前記第２のチャンバを密封するステップは、真空にされ
た第２のチャンバと分析計器との間を結ぶ導管内の第１
の弁を閉弁し、第２のチャンバを隔絶するステップを含
んでおり、 前記第１と第２のチャンバとの間に流体連通を確立する
手段は、第１のチャンバと第２のチャンバとの間を結ぶ
導管中の第２の弁を開弁し、物品内のどんな漏れ流路を
も通して追跡子流体を第２のチャンバ内に抽出するステ
ップを含んでおり、 前記方法は、第１のチャンバと第２のチャンバとの間を
結ぶ導管中の第２の弁を閉弁し、物品に真空が作用した
後で第１のチャンバと第２のチャンバとを隔絶するステ
ップを含んでおり、 前記物品から抽出されたどんな追跡子流体の流れをも分
析計器に向けて確立する前記ステップは、第２のチャン
バと分析計器との間を結ぶ導管の第１の弁を開弁し、漏
洩したどんな追跡子流体をも含む第２のチャンバの内容
物を分析計器に向けて搬送するステップを含む、 ことを特徴とする前記方法。 - 【請求項１２】 請求項１０記載の方法において、 前記第１のチャンバ内に物品を密封するステップは、エ
アバッグインフレータを、第１のチャンバ内でエアバッ
グインフレータに含まれるヘリウム又はアルゴンをもっ
て密封するステップを含む、 ことを特徴とする前記方法。 - 【請求項１３】 請求項１０記載の方法において、 前記流体の流れを分析して追跡子流体の存在を判定する
ステップは、追跡子流体を質量分光計に導くステップを
含む、 ことを特徴とする前記方法。 - 【請求項１４】 請求項１０記載の方法において、 第２のチャンバ内に真空を生成するステップは、第２の
チャンバを５ミリトルから５００ミリトルの範囲の圧力
へ真空引きするステップを含む、 ことを特徴とする前記方法。 - 【請求項１５】 請求項１０記載の方法において、 前記第１のチャンバ内の物品に真空を作用させるステッ
プは、第１のチャンバと真空引きされた第２のチャンバ
との間を結ぶ導管の弁を開弁することにより第１のチャ
ンバ内で８トルから４３トルの範囲の圧力を確立するス
テップを含む、 ことを特徴とする前記方法。 - 【請求項１６】 請求項１０記載の方法において、 前記真空を生成するステップは、第２のチャンバと分析
計器との間を結ぶ第１の導管中の第１の弁を開弁し、分
析計器により第２のチャンバを真空にするステップを含
んでおり、 前記第２のチャンバを密封するステップは、真空引きさ
れた第２のチャンバと分析計器との間を結ぶ導管中の第
１の弁を閉弁し、第２のチャンバを分析計器から隔絶す
るステップを含んでおり、 前記第１と第２のチャンバとの間の流体連通を確立する
ステップは、第１のチャンバと第２のチャンバとを結ぶ
導管中の第２の弁を開弁し、物品内のどんな漏れ流路を
も通して第２のチャンバ内に追跡子流体を抽出するステ
ップを含んでおり、 前記方法は、第１のチャンバと第２のチャンバとの間を
結ぶ導管中の第２の弁を閉弁し、物品に真空が作用した
後で第１のチャンバを第２のチャンバから隔絶するステ
ップを含んでおり、 前記分析計器に向けて物品から抽出されたどんな追跡子
流体の流れをも確立するステップは、第２のチャンバと
分析計器との間を結ぶ第２の導管中の第３の弁を開弁
し、漏洩したどんな追跡子流体をも含む第２のチャンバ
の内容物を分析計器に向けて搬送するステップを含む、 ことを特徴とする前記方法。 - 【請求項１７】 請求項１０記載の方法において、 前記真空を生成するステップは、第２のチャンバと分析
計器との間を結ぶ導管中の第１の弁を開弁し、分析計器
により第２のチャンバを真空にするステップを含んでお
り、 前記第２のチャンバを密封するステップは、真空引きさ
れた第２のチャンバと分析計器との間を結ぶ導管中の第
１の弁を閉弁し、第２のチャンバを分析計器から隔絶す
るステップを含んでおり、 前記第１と第２のチャンバとの間の流体連通を確立する
ステップは、第１のチャンバと第２のチャンバとの間を
結ぶ導管中の第２の弁を開弁し、物品内のどんな漏れ流
路をも通して隔絶された真空内に追跡子流体を抽出する
ステップを含んでおり、 前記方法は、第１のチャンバと第２のチャンバとの間を
結ぶ導管中の第２の弁を閉弁し、物品に真空が作用した
後で第１のチャンバを第２のチャンバから隔絶するステ
ップを含んでおり、 前記分析計器に向けて物品から抽出されたどんな追跡子
流体の流れをも確立するステップは、第１のチャンバと
分析計器との間を結ぶ導管中の第３の弁を開弁し、漏洩
したどんな追跡子流体をも含む第２のチャンバの内容物
を分析計器に向けて搬送するステップを含む、 ことを特徴とする前記方法。 - 【請求項１８】 請求項１０記載の方法において、 隔絶された真空は、一定期間の時間をかけて物品に作用
させられ、 物品から抽出されたどんな追跡子流体の流れをも分析計
器に向けて確立するステップは、該一定期間の後に行わ
れる、 ことを特徴とする前記方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US154176 | 1993-11-18 | ||
| US08/154,176 US5375456A (en) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | Leak testing apparatus and method |
Publications (2)
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|---|---|
| JPH07218376A true JPH07218376A (ja) | 1995-08-18 |
| JP2660165B2 JP2660165B2 (ja) | 1997-10-08 |
Family
ID=22550310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6285490A Expired - Lifetime JP2660165B2 (ja) | 1993-11-18 | 1994-11-18 | 漏れ試験装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5375456A (ja) |
| JP (1) | JP2660165B2 (ja) |
| KR (1) | KR0171635B1 (ja) |
| DE (1) | DE4441182A1 (ja) |
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