JPH07218447A - 欠陥検査装置の誤検査判定方法 - Google Patents
欠陥検査装置の誤検査判定方法Info
- Publication number
- JPH07218447A JPH07218447A JP1148494A JP1148494A JPH07218447A JP H07218447 A JPH07218447 A JP H07218447A JP 1148494 A JP1148494 A JP 1148494A JP 1148494 A JP1148494 A JP 1148494A JP H07218447 A JPH07218447 A JP H07218447A
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は異物や汚れ等の外的要因による誤検査
を防止する誤検査防止方法を提供することにある。 【構成】検査結果、出力される欠陥座標を、毎回比較す
る（１０６）。設定した回数連続して同一座標に欠陥が
あるかどうかを判定する（１０９）。設定した回数連続
して同一座標に欠陥がある場合、欠陥座標を出力し（１
１１）、検査を終了する（１１０）。 【効果】本発明により、異物や汚れ等の外的要因による
誤検査を防止することができる。
を防止する誤検査防止方法を提供することにある。 【構成】検査結果、出力される欠陥座標を、毎回比較す
る（１０６）。設定した回数連続して同一座標に欠陥が
あるかどうかを判定する（１０９）。設定した回数連続
して同一座標に欠陥がある場合、欠陥座標を出力し（１
１１）、検査を終了する（１１０）。 【効果】本発明により、異物や汚れ等の外的要因による
誤検査を防止することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、画像処理を利用した欠
陥検査装置の誤検査判定方法、特に検査結果、座標を出
力する欠陥検査装置で、外的な要因、例えば装置内の汚
れ、異物による誤検査判定方法に関する。
陥検査装置の誤検査判定方法、特に検査結果、座標を出
力する欠陥検査装置で、外的な要因、例えば装置内の汚
れ、異物による誤検査判定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、画像処理装置が正しく動作してい
るかどうかダミーの被検査対象物を使用して調べる方法
あるいは、画像メモリの異常を検査する画像処理装置の
自己診断方法などがあるが、画像処理装置以外の例えば
検出系やワークホルダなどへの異物、汚れ付着などによ
る誤検査を防止する方法はない。
るかどうかダミーの被検査対象物を使用して調べる方法
あるいは、画像メモリの異常を検査する画像処理装置の
自己診断方法などがあるが、画像処理装置以外の例えば
検出系やワークホルダなどへの異物、汚れ付着などによ
る誤検査を防止する方法はない。
【０００３】本発明の出願前に知られている例として
は、特開昭５８−１１５７００公報に記載されるよう
に、自己診断用の基準パターンを使った画像処理装置の
自己診断方法がある。
は、特開昭５８−１１５７００公報に記載されるよう
に、自己診断用の基準パターンを使った画像処理装置の
自己診断方法がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一般に画像処理を使っ
た欠陥検査装置では、外的要因、例えば、検出系や、ワ
ークホルダなどへの汚れ、異物付着による誤検査を防止
する機能は付いておらず、一連の検査結果から誤検査が
あることを判断し、原因を追求解除し再検査を実施する
という非効率的な作業を繰り返していたため、この非効
率的な作業を排除するための誤検査防止方法を考えた。
た欠陥検査装置では、外的要因、例えば、検出系や、ワ
ークホルダなどへの汚れ、異物付着による誤検査を防止
する機能は付いておらず、一連の検査結果から誤検査が
あることを判断し、原因を追求解除し再検査を実施する
という非効率的な作業を繰り返していたため、この非効
率的な作業を排除するための誤検査防止方法を考えた。
【０００５】従って、本発明の一つの目的は、任意回数
同一座標に連続して欠陥があるかどうかを判定し、判定
結果を出力する誤検査防止方法を提供することにある。
同一座標に連続して欠陥があるかどうかを判定し、判定
結果を出力する誤検査防止方法を提供することにある。
【０００６】本発明の他の目的は、判定結果が任意回数
連続して同一座標の場合、検査を終了することを特徴と
する誤検査防止方法を提供することにある。
連続して同一座標の場合、検査を終了することを特徴と
する誤検査防止方法を提供することにある。
【０００７】本発明の他の目的は、判定結果が任意回数
連続して同一座標の場合、該座標の欠陥を無効とするこ
とを特徴とする誤検査防止方法を提供することにある。
連続して同一座標の場合、該座標の欠陥を無効とするこ
とを特徴とする誤検査防止方法を提供することにある。
【０００８】本発明の更に他の目的は、任意回数同一座
標に連続して欠陥があるかどうかを判定し、判定結果を
出力する欠陥検査装置を提供することにある。
標に連続して欠陥があるかどうかを判定し、判定結果を
出力する欠陥検査装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、検査毎
に欠陥座標を比較する手段と、任意回数同一座標に連続
して欠陥があるかどうかを判定する手段と判定結果を出
力する手段を設けた誤検査防止法が提供される。
に欠陥座標を比較する手段と、任意回数同一座標に連続
して欠陥があるかどうかを判定する手段と判定結果を出
力する手段を設けた誤検査防止法が提供される。
【００１０】また本発明によれば、任意回数同一座標に
連続して欠陥がある場合、検査を終了する手段を設けた
欠陥検査方法が提供される。
連続して欠陥がある場合、検査を終了する手段を設けた
欠陥検査方法が提供される。
【００１１】更に本発明によれば、任意回数同一座標に
連続して欠陥がある場合、該座標の欠陥を無効とする手
段を設けた欠陥検査方法が提供される。
連続して欠陥がある場合、該座標の欠陥を無効とする手
段を設けた欠陥検査方法が提供される。
【００１２】
【作用】本発明によれば、検査結果の欠陥座標を毎回比
較し、連続して欠陥が同一座標に任意回数発生した場
合、外的要因による誤検査であると仮定し、座標を出力
することにより、誤検査の座標がわかる。
較し、連続して欠陥が同一座標に任意回数発生した場
合、外的要因による誤検査であると仮定し、座標を出力
することにより、誤検査の座標がわかる。
【００１３】さらに、外的要因による誤検査であるとい
う判定結果から、検査を終了することにより、再検査を
防止できる。
う判定結果から、検査を終了することにより、再検査を
防止できる。
【００１４】さらに、外的要因による誤検査であるとい
う判定結果から、その欠陥座標の欠陥を無効とすること
により、検査を中断することなく続けられる。
う判定結果から、その欠陥座標の欠陥を無効とすること
により、検査を中断することなく続けられる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の一実施例を詳細に説明する。
【００１６】図１は、本発明の欠陥検査装置の検査手順
の一実施例を示すフローチャートであり、図２は、本発
明に係る欠陥検査装置を示す構成図である。また図３は
図２の欠陥検査装置の斜視図である。図４は、結果出力
データを示した図である。
の一実施例を示すフローチャートであり、図２は、本発
明に係る欠陥検査装置を示す構成図である。また図３は
図２の欠陥検査装置の斜視図である。図４は、結果出力
データを示した図である。
【００１７】図２において、１０は検査対象物の画像を
取り込む画像検出部であり、検出した画像データは、１
１の画像メモリに記憶される。１２は画像データに操作
を加え検査対象物の欠陥を検出し、欠陥座標を出力する
画像処理部である。１３，１４は座標メモリで欠陥座標
を一時保存する。１５は座標比較部で前回検査結果の欠
陥座標と今回検査結果の欠陥座標を比較し、同一座標が
あるかどうかを判断する。１６は比較結果同一座標があ
った場合カウントアップし、同一座標がなかった場合カ
ウントを０にクリアする。１７は制御部で１８のワーク
搬送部の制御、１２の画像処理部の制御、１６のカウン
ト数の設定、解除を行う。１９は欠陥座標出力部で各検
査結果の出力と、任意回数連続して検出された欠陥座標
を出力する。
取り込む画像検出部であり、検出した画像データは、１
１の画像メモリに記憶される。１２は画像データに操作
を加え検査対象物の欠陥を検出し、欠陥座標を出力する
画像処理部である。１３，１４は座標メモリで欠陥座標
を一時保存する。１５は座標比較部で前回検査結果の欠
陥座標と今回検査結果の欠陥座標を比較し、同一座標が
あるかどうかを判断する。１６は比較結果同一座標があ
った場合カウントアップし、同一座標がなかった場合カ
ウントを０にクリアする。１７は制御部で１８のワーク
搬送部の制御、１２の画像処理部の制御、１６のカウン
ト数の設定、解除を行う。１９は欠陥座標出力部で各検
査結果の出力と、任意回数連続して検出された欠陥座標
を出力する。
【００１８】図３において、２０は搬送用パレットで検
査前のシート４０をセットする。２１は良品用パレット
で検査結果により良品と判断されたシートをセットす
る。２２は不良品パレットで検査結果により不良品と判
断されたシートをセットする。２３はワークホルダであ
る。２４はカメラで、シートの画像を取り込む。２５は
斜方照明で、シート表面を照らす。２６は透過照明で、
シートを透かす。２７は吸着ハンドでシートの吸着保持
を行なう。２８はロボットでシートを搬送する。２９は
カウンタ設定用ボタンで、３０は設定値を表示するカウ
ンタである。３１は連続一致回数カウンタで、検査途中
の状態を表示するカウンタである。３２は検査結果出力
口であり、３３は結果出力データである。
査前のシート４０をセットする。２１は良品用パレット
で検査結果により良品と判断されたシートをセットす
る。２２は不良品パレットで検査結果により不良品と判
断されたシートをセットする。２３はワークホルダであ
る。２４はカメラで、シートの画像を取り込む。２５は
斜方照明で、シート表面を照らす。２６は透過照明で、
シートを透かす。２７は吸着ハンドでシートの吸着保持
を行なう。２８はロボットでシートを搬送する。２９は
カウンタ設定用ボタンで、３０は設定値を表示するカウ
ンタである。３１は連続一致回数カウンタで、検査途中
の状態を表示するカウンタである。３２は検査結果出力
口であり、３３は結果出力データである。
【００１９】図４において、５０，５１は、欠陥座標で
あり、５２は連続一致回数である。
あり、５２は連続一致回数である。
【００２０】次に図１のフローチャートに基いて図２及
び図３の各部の動作を説明する。
び図３の各部の動作を説明する。
【００２１】まず、作業者がカウンタ設定用ボタン２９
を設定したい数だけ押す。（ステップ１００）検査を開
始すると吸着ハンド２７によりシート４０を吸着搬送し
ワークホルダ２３にセットし検査を行なう。（ステップ
１０１）カメラ２４で検出された画像データは、画像メ
モリ１３，１４に記憶され画像処理部１２により欠陥検
出される。制御部１７により欠陥があるかないかを判定
する。（ステップ１０２）欠陥がない場合は欠陥座標メ
モリ（１）１３と欠陥座標メモリ（２）１４の内容をク
リアする。（ステップ１２０）また連続一致回数カウン
タ３１を０クリアする。（ステップ１０３）欠陥がある
場合、検査枚数目により、欠陥座標メモリ（１）１３に
記憶させるか、欠陥座標メモリ（２）１４に記憶させる
かを判断し、（ステップ１０４）記憶する。（ステップ
１０５）次に連続して同一座標に欠陥が存在するかを座
標比較部１５にて比較し（ステップ１０６）同一座標が
ある場合、連続一致回数カウンタ３０に１加算し、（ス
テップ１０８）同一座標がない場合０クリアする。（ス
テップ１０３）その後カウンタ３０と連続一致回数カウ
ンタ３１の値を比較し（ステップ１０９）同じであれば
制御部１７よりワーク搬送部１８へ終了メッセージを送
り検査を終了させ、（ステップ１１０）検査結果出力口
３２より図４結果出力データを出力する。（ステップ１
１１）また、それと同時に、ブザを鳴らし、作業者に検
査が途中終了したことを伝える。カウンタ３０と連続一
致回数カウンタ３１の値が一致していない場合、未検査
シートがあるかないか判断し（ステップ１１２）ある場
合次の検査に移り、ない場合、ブザを鳴らし（ステップ
１１３）作業者に検査が終了したことを伝える。
を設定したい数だけ押す。（ステップ１００）検査を開
始すると吸着ハンド２７によりシート４０を吸着搬送し
ワークホルダ２３にセットし検査を行なう。（ステップ
１０１）カメラ２４で検出された画像データは、画像メ
モリ１３，１４に記憶され画像処理部１２により欠陥検
出される。制御部１７により欠陥があるかないかを判定
する。（ステップ１０２）欠陥がない場合は欠陥座標メ
モリ（１）１３と欠陥座標メモリ（２）１４の内容をク
リアする。（ステップ１２０）また連続一致回数カウン
タ３１を０クリアする。（ステップ１０３）欠陥がある
場合、検査枚数目により、欠陥座標メモリ（１）１３に
記憶させるか、欠陥座標メモリ（２）１４に記憶させる
かを判断し、（ステップ１０４）記憶する。（ステップ
１０５）次に連続して同一座標に欠陥が存在するかを座
標比較部１５にて比較し（ステップ１０６）同一座標が
ある場合、連続一致回数カウンタ３０に１加算し、（ス
テップ１０８）同一座標がない場合０クリアする。（ス
テップ１０３）その後カウンタ３０と連続一致回数カウ
ンタ３１の値を比較し（ステップ１０９）同じであれば
制御部１７よりワーク搬送部１８へ終了メッセージを送
り検査を終了させ、（ステップ１１０）検査結果出力口
３２より図４結果出力データを出力する。（ステップ１
１１）また、それと同時に、ブザを鳴らし、作業者に検
査が途中終了したことを伝える。カウンタ３０と連続一
致回数カウンタ３１の値が一致していない場合、未検査
シートがあるかないか判断し（ステップ１１２）ある場
合次の検査に移り、ない場合、ブザを鳴らし（ステップ
１１３）作業者に検査が終了したことを伝える。
【００２２】この実施例によれば、ワークホルダ２３上
に異物、汚れ等が付着していた場合でも早期に対処する
ことが可能であり、再検査の枚数を低減することができ
る。
に異物、汚れ等が付着していた場合でも早期に対処する
ことが可能であり、再検査の枚数を低減することができ
る。
【００２３】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、任
意回数連続して同一座標に欠陥があった場合、検査を途
中終了させることにより、異物や汚れ等による誤検査を
防止し、再検査の工数を低減することができる。
意回数連続して同一座標に欠陥があった場合、検査を途
中終了させることにより、異物や汚れ等による誤検査を
防止し、再検査の工数を低減することができる。
【図１】本発明の検査手順の一実施例を示すフローチャ
ートである。
ートである。
【図２】本発明に係る検査装置のシステムブロック図で
ある。
ある。
【図３】図２における検査装置の斜視図である。
【図４】結果出力図である。
１００…連続カウンタ値のセット、 １０４…検査枚数は偶数枚目か、 １０５…欠陥座標をメモリ（１），（２）に記憶、 １０６…メモリ（１）と（２）の内容を比較、 １０７…同一座標の欠陥はあるか、 １２０…欠陥座標メモリ（１），（２）クリア、 １１０…検査終了、 １１１…欠陥座標出力、 １１３…ブザを鳴らす。
フロントページの続き (72)発明者 高木 啓至 神奈川県秦野市堀山下１番地 日立コンピ ュータエンジニアリング株式会社内 (72)発明者 美尾 恵己 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社日 立製作所汎用コンピュータ事業部内
Claims (4)
- 【請求項１】被検査対象物に対して外観検査を行ない欠
陥がある場合欠陥座標を出力する欠陥検査装置におい
て、 前記欠陥座標を記憶しておき、該欠陥座標と次に検査さ
れ出力された欠陥座標とを比較し任意回数同一座標に連
続して欠陥があるかどうかを判定し、判定結果を出力す
ることを特徴とする誤検査判定方法。 - 【請求項２】前記判定結果が任意回数連続して同一座標
の場合、検査を終了することを特徴とする誤検査判定方
法。 - 【請求項３】請求項１の判定結果が任意回数連続して同
一座標の場合、該座標の欠陥を無効とすることを特徴と
する誤検査判定方法。 - 【請求項４】被検査対象物に対して外観検査を行ない欠
陥がある場合欠陥座標を出力する欠陥検査装置におい
て、 前記欠陥座標を記憶しておき、該欠陥座標と次に検査さ
れ出力された欠陥座標とを比較し任意回数同一座標に連
続して欠陥があるかどうかを判定し、判定結果を出力す
ることを特徴とする欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1148494A JPH07218447A (ja) | 1994-02-03 | 1994-02-03 | 欠陥検査装置の誤検査判定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1148494A JPH07218447A (ja) | 1994-02-03 | 1994-02-03 | 欠陥検査装置の誤検査判定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07218447A true JPH07218447A (ja) | 1995-08-18 |
Family
ID=11779333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1148494A Pending JPH07218447A (ja) | 1994-02-03 | 1994-02-03 | 欠陥検査装置の誤検査判定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07218447A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101620190A (zh) * | 2008-07-01 | 2010-01-06 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 缺陷检查方法以及缺陷检查装置 |
-
1994
- 1994-02-03 JP JP1148494A patent/JPH07218447A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101620190A (zh) * | 2008-07-01 | 2010-01-06 | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 | 缺陷检查方法以及缺陷检查装置 |
| JP2010014436A (ja) * | 2008-07-01 | 2010-01-21 | Micronics Japan Co Ltd | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
| TWI407096B (zh) * | 2008-07-01 | 2013-09-01 | Nihon Micronics Kk | 缺陷檢查方法及缺陷檢查裝置 |
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