JPH07218464A - ガスセンサ - Google Patents
ガスセンサInfo
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- JPH07218464A JPH07218464A JP1198894A JP1198894A JPH07218464A JP H07218464 A JPH07218464 A JP H07218464A JP 1198894 A JP1198894 A JP 1198894A JP 1198894 A JP1198894 A JP 1198894A JP H07218464 A JPH07218464 A JP H07218464A
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- resistance temperature
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ペアリングが容易なガスセンサを得る。
【構成】同一の基板１１上に第１の測温抵抗体１８と第
２の測温抵抗体１９を積層するとともに第１の測温抵抗
体１８と第２の測温抵抗体１９の少なくとも一つにトリ
ミング部４７を設ける。
２の測温抵抗体１９を積層するとともに第１の測温抵抗
体１８と第２の測温抵抗体１９の少なくとも一つにトリ
ミング部４７を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はガスセンサの構造に係
り、特にペアリング容易な接触燃焼式ガスセンサの構造
に関する。
り、特にペアリング容易な接触燃焼式ガスセンサの構造
に関する。
【０００２】
【従来の技術】温度変化に伴う測温抵抗体の抵抗変化を
利用して可燃性ガスを検出する接触燃焼式ガスセンサが
知られている。図４は従来の接触燃焼式ガスセンサのガ
ス検知素子を示す要部破断斜視図である。白金コイル３
１の周囲に貴金属の担持されたアルミナ担体３２が固着
される。
利用して可燃性ガスを検出する接触燃焼式ガスセンサが
知られている。図４は従来の接触燃焼式ガスセンサのガ
ス検知素子を示す要部破断斜視図である。白金コイル３
１の周囲に貴金属の担持されたアルミナ担体３２が固着
される。
【０００３】図５は従来の接触燃焼式ガスセンサの検出
回路を示す結線図である。Ｒ1,Ｒ2,はそれぞれ固定抵抗
の抵抗値であり、Ｒ3,Ｒ4,はそれぞれ補償素子３３とガ
ス検知素子３４の抵抗値を示す。補償素子３３はガス検
知素子３４と同一の構造であるがガス検知素子の貴金属
に替えて酸化鉛PbO が担持されている。可燃性ガスが存
在しないときはホィートストンブリッジ回路はバランス
して、Ｒ1 ×Ｒ4 ＝Ｒ2 ×Ｒ3 の状態にあり、負荷３５
の出力は０Ｖである。雰囲気にアルコールを除く可燃性
ガスが含まれるとガス検知素子３４において可燃性ガス
が燃焼し、白金コイルの温度が上昇しその抵抗値Ｒ4,が
増大する。これに対し補償素子３３においてはアルコー
ルを除く可燃性ガスは燃焼せず従ってアルコールを除く
可燃性ガスにより温度上昇が起こらないのでその抵抗値
Ｒ3,は可燃性ガスにより変化しない。このようにしてホ
ィートストンブリッジ回路の平衡が破れて負荷３５に出
力が発生する。
回路を示す結線図である。Ｒ1,Ｒ2,はそれぞれ固定抵抗
の抵抗値であり、Ｒ3,Ｒ4,はそれぞれ補償素子３３とガ
ス検知素子３４の抵抗値を示す。補償素子３３はガス検
知素子３４と同一の構造であるがガス検知素子の貴金属
に替えて酸化鉛PbO が担持されている。可燃性ガスが存
在しないときはホィートストンブリッジ回路はバランス
して、Ｒ1 ×Ｒ4 ＝Ｒ2 ×Ｒ3 の状態にあり、負荷３５
の出力は０Ｖである。雰囲気にアルコールを除く可燃性
ガスが含まれるとガス検知素子３４において可燃性ガス
が燃焼し、白金コイルの温度が上昇しその抵抗値Ｒ4,が
増大する。これに対し補償素子３３においてはアルコー
ルを除く可燃性ガスは燃焼せず従ってアルコールを除く
可燃性ガスにより温度上昇が起こらないのでその抵抗値
Ｒ3,は可燃性ガスにより変化しない。このようにしてホ
ィートストンブリッジ回路の平衡が破れて負荷３５に出
力が発生する。
【０００４】雰囲気にアルコールガスが含まれると、ア
ルコールガスはガス検知素子３４と補償素子３３の両方
で燃焼する。そのために抵抗Ｒ3,Ｒ4,はともに増大して
ホィートストンブリッジ回路のバランスは崩れず出力を
生じない。このようにしてアルコールガスに対する補償
が行われる。またこの補償素子３３は温度に対する補償
も行う。室温の変化により補償素子３３またはガス検知
素子３４の白金コイルの温度が変化しても両者が同一の
温度にあるかぎり温度係数が同一であるためにホィート
ストンブリッジ回路の平衡は崩れない。
ルコールガスはガス検知素子３４と補償素子３３の両方
で燃焼する。そのために抵抗Ｒ3,Ｒ4,はともに増大して
ホィートストンブリッジ回路のバランスは崩れず出力を
生じない。このようにしてアルコールガスに対する補償
が行われる。またこの補償素子３３は温度に対する補償
も行う。室温の変化により補償素子３３またはガス検知
素子３４の白金コイルの温度が変化しても両者が同一の
温度にあるかぎり温度係数が同一であるためにホィート
ストンブリッジ回路の平衡は崩れない。
【０００５】このような従来の接触燃焼式ガスセンサの
ガス検知素子３４および補償素子３３は次のようにして
調製される。直径０．０６ｍｍの白金線を用い外径０．
６ｍｍ，巻回数１０ターン，長さ１．５ｍｍのコイルを
製造する。白金コイルにアルミナ粉末とアルミナゾルの
混合したペーストを付着させ８００℃で焼成してアルミ
ナ担体を白金コイルに固着させる。アルミナ担体に酸化
パラジウムと酸化白金の混合触媒溶液を含浸し、５００
℃で加熱分解して、酸化パラジウムと酸化白金の混合触
媒をアルミナ担体に担持してガス検知素子３４を製造し
た。
ガス検知素子３４および補償素子３３は次のようにして
調製される。直径０．０６ｍｍの白金線を用い外径０．
６ｍｍ，巻回数１０ターン，長さ１．５ｍｍのコイルを
製造する。白金コイルにアルミナ粉末とアルミナゾルの
混合したペーストを付着させ８００℃で焼成してアルミ
ナ担体を白金コイルに固着させる。アルミナ担体に酸化
パラジウムと酸化白金の混合触媒溶液を含浸し、５００
℃で加熱分解して、酸化パラジウムと酸化白金の混合触
媒をアルミナ担体に担持してガス検知素子３４を製造し
た。
【０００６】白金コイルにアルミナ粉末とアルミナゾル
の混合したペーストを付着させ８００℃で焼成してアル
ミナ担体を白金コイルに固着させる。アルミナ担体に酢
酸鉛溶液を含浸し、加熱分解して補償素子３３を製作し
た。上述のような従来の接触燃焼式ガスセンサは動作原
理が簡単なこと、長期の安定性に優れていること、周囲
温度や湿度による影響が少ない等の特徴を有し、爆発災
害防止用として約３００ｍＷの消費電力で０．１ないし
１．０％の濃度範囲のガス検知に広く使用されている。
の混合したペーストを付着させ８００℃で焼成してアル
ミナ担体を白金コイルに固着させる。アルミナ担体に酢
酸鉛溶液を含浸し、加熱分解して補償素子３３を製作し
た。上述のような従来の接触燃焼式ガスセンサは動作原
理が簡単なこと、長期の安定性に優れていること、周囲
温度や湿度による影響が少ない等の特徴を有し、爆発災
害防止用として約３００ｍＷの消費電力で０．１ないし
１．０％の濃度範囲のガス検知に広く使用されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述のよ
うな従来の接触燃焼式ガスセンサにおいては得られたガ
ス検知素子と補償素子の抵抗にばらつきがあり、可燃性
ガスが存在しないときのホィートストンブリッジ回路の
平衡出力を小さくするためにペアリングと称して抵抗特
性の近い素子を組み合わせる作業を行う必要があった。
この際にペアリング作業工程の煩雑さやペアリング作業
工程に伴う歩留りの低下からペアリングは接触燃焼式ガ
スセンサの製造コストを高める一因となっていた。
うな従来の接触燃焼式ガスセンサにおいては得られたガ
ス検知素子と補償素子の抵抗にばらつきがあり、可燃性
ガスが存在しないときのホィートストンブリッジ回路の
平衡出力を小さくするためにペアリングと称して抵抗特
性の近い素子を組み合わせる作業を行う必要があった。
この際にペアリング作業工程の煩雑さやペアリング作業
工程に伴う歩留りの低下からペアリングは接触燃焼式ガ
スセンサの製造コストを高める一因となっていた。
【０００８】この発明は上述の点に鑑みてなされその第
１の目的は接触燃焼式ガスセンサの構造に改良を加える
ことによりペアリング工程が簡易でコストダウンが容易
なガスセンサを提供することにある。第２の目的はペア
リング工程が簡易な上に可燃性ガスに対する感度の大き
なガスセンサを提供することにある。
１の目的は接触燃焼式ガスセンサの構造に改良を加える
ことによりペアリング工程が簡易でコストダウンが容易
なガスセンサを提供することにある。第２の目的はペア
リング工程が簡易な上に可燃性ガスに対する感度の大き
なガスセンサを提供することにある。
【０００９】第３の目的はペアリング工程が簡易な上に
省スペース化が可能なガスセンサを提供することにあ
る。
省スペース化が可能なガスセンサを提供することにあ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上述の第１の目的は基板
と、第１の測温抵抗体と、第２の測温抵抗体と、ガス検
知用被覆層と、補償用被覆層と、複数のパッドを有し、
第１の測温抵抗体は金属の厚膜であり、基板上に積層さ
れ、第２の測温抵抗体は金属の厚膜であり、基板上に積
層され、第１と第２の測温抵抗体は少なくともその一つ
がトリミング部を備え、前記パッドは前記第１の測温抵
抗体の一端と前記第２の測温抵抗体の一端を共通に接続
する第１のパッドと、第１の測温抵抗体の他端に接続さ
れる第２のパッドと、第２の測温抵抗体の他端に接続さ
れる第３のパッドを有し、前記基板上にそれぞれ離間し
て積層され、ガス検知用被覆層は第１の測温抵抗体と基
板の上に選択的に積層され、可燃性ガスを接触的に燃焼
して第１の測温抵抗体の温度を上昇させるものであり、
補償用被覆層は第２の測温抵抗体と基板の上に選択的に
積層されてなるとすることにより達成される。
と、第１の測温抵抗体と、第２の測温抵抗体と、ガス検
知用被覆層と、補償用被覆層と、複数のパッドを有し、
第１の測温抵抗体は金属の厚膜であり、基板上に積層さ
れ、第２の測温抵抗体は金属の厚膜であり、基板上に積
層され、第１と第２の測温抵抗体は少なくともその一つ
がトリミング部を備え、前記パッドは前記第１の測温抵
抗体の一端と前記第２の測温抵抗体の一端を共通に接続
する第１のパッドと、第１の測温抵抗体の他端に接続さ
れる第２のパッドと、第２の測温抵抗体の他端に接続さ
れる第３のパッドを有し、前記基板上にそれぞれ離間し
て積層され、ガス検知用被覆層は第１の測温抵抗体と基
板の上に選択的に積層され、可燃性ガスを接触的に燃焼
して第１の測温抵抗体の温度を上昇させるものであり、
補償用被覆層は第２の測温抵抗体と基板の上に選択的に
積層されてなるとすることにより達成される。
【００１１】第２の目的は基板は少なくともガス検知用
被覆層と補償用被覆層とを分割する位置にその表面に形
成された溝を備えるとすることにより達成される。第３
の目的は第１の発明の構成に加えて基板はさらに第１の
固定抵抗と第２の固定抵抗を備え、第１の固定抵抗と第
２の固定抵抗は少なくともその一つがトリミング部を備
えるとすることにより達成される。
被覆層と補償用被覆層とを分割する位置にその表面に形
成された溝を備えるとすることにより達成される。第３
の目的は第１の発明の構成に加えて基板はさらに第１の
固定抵抗と第２の固定抵抗を備え、第１の固定抵抗と第
２の固定抵抗は少なくともその一つがトリミング部を備
えるとすることにより達成される。
【００１２】
【作用】第１の発明の構成によれば第１の測温抵抗体と
第２の測温抵抗体の少なくとも一つがトリミング部を有
するので、このトリミング部を用いて第１の測温抵抗体
と第２の測温抵抗体につき抵抗の整合を図ることができ
る。第２の発明の構成によれば基板の表面の溝は測温抵
抗体で発生した熱の移動を妨げる熱抵抗となる。
第２の測温抵抗体の少なくとも一つがトリミング部を有
するので、このトリミング部を用いて第１の測温抵抗体
と第２の測温抵抗体につき抵抗の整合を図ることができ
る。第２の発明の構成によれば基板の表面の溝は測温抵
抗体で発生した熱の移動を妨げる熱抵抗となる。
【００１３】第３の発明の構成によれば第１の固定抵抗
と第２の固定抵抗の少なくとも一つがトリミング部を有
するので、このトリミング部を用いて第１の固定抵抗と
第２の固定抵抗につき抵抗の整合を図ることができる。
と第２の固定抵抗の少なくとも一つがトリミング部を有
するので、このトリミング部を用いて第１の固定抵抗と
第２の固定抵抗につき抵抗の整合を図ることができる。
【００１４】
【実施例】次にこの発明の実施例を図面に基づいて説明
する。 実施例１ 図１は第１と第２の発明の実施例に係るガスセンサを示
す要部透視平面図である。
する。 実施例１ 図１は第１と第２の発明の実施例に係るガスセンサを示
す要部透視平面図である。
【００１５】図２は図１に示すガスセンサのＡ―Ａ矢視
断面図である。溝２２を有するアルミナ等の絶縁性の基
板１１上に第１の測温抵抗体１８，第２の測温抵抗体１
９，１８の一端と１９の一端を共通につなぐ第１のパッ
ド１２，第３のパッド１２Ａ，第２のパッド１２Ｂ，ガ
ス検知用被覆層２０，補償用被覆層２１，が形成され、
第２の測温抵抗体１９には抵抗調節部２３があり、抵抗
調節部２３にトリミング部４７が形成される。
断面図である。溝２２を有するアルミナ等の絶縁性の基
板１１上に第１の測温抵抗体１８，第２の測温抵抗体１
９，１８の一端と１９の一端を共通につなぐ第１のパッ
ド１２，第３のパッド１２Ａ，第２のパッド１２Ｂ，ガ
ス検知用被覆層２０，補償用被覆層２１，が形成され、
第２の測温抵抗体１９には抵抗調節部２３があり、抵抗
調節部２３にトリミング部４７が形成される。
【００１６】このようなガスセンサは以下のようにして
作製される。即ちアルミナ等の絶縁性の基板１１の上に
白金ペーストが図示された第１の測温抵抗体１８と第２
の測温抵抗体１９と第１のパッド１２，第３のパッド１
２Ａ，第２のパッド１２Ｂのパターンでスクリーン印刷
され、乾燥後に１１００℃の温度で焼成され第１の測温
抵抗体１８．第２の測温抵抗体１９，第１のパッド１
２，第３のパッド１２Ａ，第２のパッド１２Ｂが基板１
１の上に焼き付けられる。
作製される。即ちアルミナ等の絶縁性の基板１１の上に
白金ペーストが図示された第１の測温抵抗体１８と第２
の測温抵抗体１９と第１のパッド１２，第３のパッド１
２Ａ，第２のパッド１２Ｂのパターンでスクリーン印刷
され、乾燥後に１１００℃の温度で焼成され第１の測温
抵抗体１８．第２の測温抵抗体１９，第１のパッド１
２，第３のパッド１２Ａ，第２のパッド１２Ｂが基板１
１の上に焼き付けられる。
【００１７】ガス検知用被覆層２０と補償用被覆層２１
は次のようにして形成される。先ずガス検知用被覆層２
０はアルミナ粉体を塩化白金酸H2PtCl6 の水溶液に浸漬
し、乾燥して空気中で５００℃の温度で塩化白金酸H2Pt
Cl6 を熱分解し白金触媒を２重量％の割合でアルミナ粉
体に担持した。白金触媒の担持されたアルミナ粉体にバ
インダを加えエチルカルビトールに分散してガス検知用
被覆層のペーストを得た。
は次のようにして形成される。先ずガス検知用被覆層２
０はアルミナ粉体を塩化白金酸H2PtCl6 の水溶液に浸漬
し、乾燥して空気中で５００℃の温度で塩化白金酸H2Pt
Cl6 を熱分解し白金触媒を２重量％の割合でアルミナ粉
体に担持した。白金触媒の担持されたアルミナ粉体にバ
インダを加えエチルカルビトールに分散してガス検知用
被覆層のペーストを得た。
【００１８】得られたガス検知用被覆層のペーストを所
定のパターンでスクリーン印刷しガス検知用被覆層の成
型体を得た。補償用被覆層２１はアルミナ粉体を酢酸鉛
(CH3COO)2Pb の水溶液に浸漬し、乾燥して空気中で５０
０℃の温度で酢酸鉛(CH3COO)2Pb を熱分解し酸化鉛PbO
を２重量％の割合でアルミナ粉体に担持した。酸化鉛Pb
O の担持されたアルミナ粉体にバインダを加えエチルカ
ルビトールに分散して補償用被覆層のペーストを得た。
定のパターンでスクリーン印刷しガス検知用被覆層の成
型体を得た。補償用被覆層２１はアルミナ粉体を酢酸鉛
(CH3COO)2Pb の水溶液に浸漬し、乾燥して空気中で５０
０℃の温度で酢酸鉛(CH3COO)2Pb を熱分解し酸化鉛PbO
を２重量％の割合でアルミナ粉体に担持した。酸化鉛Pb
O の担持されたアルミナ粉体にバインダを加えエチルカ
ルビトールに分散して補償用被覆層のペーストを得た。
【００１９】得られた補償用被覆層のペーストを所定の
パターンでスクリーン印刷し、補償用被覆層の成型体を
得た。前記したガス検知用被覆層と補償用被覆層の成型
体を６００℃の温度で同時焼成し、ガス検知用被覆層２
０と補償用被覆層２１をそれぞれ第１の測温抵抗体１８
と第２の測温抵抗体１９の上に積層した。
パターンでスクリーン印刷し、補償用被覆層の成型体を
得た。前記したガス検知用被覆層と補償用被覆層の成型
体を６００℃の温度で同時焼成し、ガス検知用被覆層２
０と補償用被覆層２１をそれぞれ第１の測温抵抗体１８
と第２の測温抵抗体１９の上に積層した。
【００２０】続いて抵抗調節部２３に相当する部分にレ
ーザを照射してトリミング部４７を形成し、第１のパッ
ド１２と第３のパッド１２Ａの間、第１のパッド１２と
第２のパッド１２Ｂの間の抵抗を等しくした。トリミン
グはＹＡＧレーザを用い、出力１００ｍＷ／ｃｍ2 、走
査速度５０ｍｍ／ｓの条件で行った。
ーザを照射してトリミング部４７を形成し、第１のパッ
ド１２と第３のパッド１２Ａの間、第１のパッド１２と
第２のパッド１２Ｂの間の抵抗を等しくした。トリミン
グはＹＡＧレーザを用い、出力１００ｍＷ／ｃｍ2 、走
査速度５０ｍｍ／ｓの条件で行った。
【００２１】トリミングされない状態では抵抗調節部２
３により第２の測温抵抗体１９の抵抗は第１の測温抵抗
体１８の抵抗よりも小さくなっている。抵抗調節部２３
にトリミング部４７を形成していくと第２の測温抵抗体
の抵抗が次第に増大し第１の測温抵抗体の抵抗と等しく
なったところでトリミングを終了する。トリミングの工
程は室温においてもまた通電状態においても実施するこ
とができる。
３により第２の測温抵抗体１９の抵抗は第１の測温抵抗
体１８の抵抗よりも小さくなっている。抵抗調節部２３
にトリミング部４７を形成していくと第２の測温抵抗体
の抵抗が次第に増大し第１の測温抵抗体の抵抗と等しく
なったところでトリミングを終了する。トリミングの工
程は室温においてもまた通電状態においても実施するこ
とができる。
【００２２】トリミングは第１のパッド１２と第３のパ
ッド１２Ａの間、第１のパッド１２と第２のパッド１２
Ｂの間の抵抗を等しくする工程であるから操作が簡易で
あり、また抵抗の整合が必ず実現されガスセンサ製造の
歩留りは良好となる。ガス検知用被覆層においては可燃
性ガスが燃焼しその燃焼熱により第１の測温抵抗体の抵
抗が上昇する。溝２２はこの燃焼熱の伝導を妨げ第２の
測温抵抗体の抵抗上昇を防止してホィートストンブリッ
ジ回路の非平衡出力を大きくする。溝２２はできるだけ
深さを深くする。溝２２は相互に交差することができ
る。また溝２２は基板の表裏いずれに形成してもよい。
溝２２とともに球状の凹部を複数個形成することができ
る。球状の凹部を作ると凹部と凹部の間が熱抵抗の大き
い箇所となる。基板材料は熱伝導率の小さいことが好ま
しいがアルミナに替えて部分安定化ジルコニアを用いる
ことができる。
ッド１２Ａの間、第１のパッド１２と第２のパッド１２
Ｂの間の抵抗を等しくする工程であるから操作が簡易で
あり、また抵抗の整合が必ず実現されガスセンサ製造の
歩留りは良好となる。ガス検知用被覆層においては可燃
性ガスが燃焼しその燃焼熱により第１の測温抵抗体の抵
抗が上昇する。溝２２はこの燃焼熱の伝導を妨げ第２の
測温抵抗体の抵抗上昇を防止してホィートストンブリッ
ジ回路の非平衡出力を大きくする。溝２２はできるだけ
深さを深くする。溝２２は相互に交差することができ
る。また溝２２は基板の表裏いずれに形成してもよい。
溝２２とともに球状の凹部を複数個形成することができ
る。球状の凹部を作ると凹部と凹部の間が熱抵抗の大き
い箇所となる。基板材料は熱伝導率の小さいことが好ま
しいがアルミナに替えて部分安定化ジルコニアを用いる
ことができる。
【００２３】上述の例では補償用被覆層として酸化鉛を
担持したアルミナ粉体を用いているが酸化鉛に替えて酸
化銅を担持しても良く、また酸化白金を担持したアルミ
ナ粉体をガラス被覆してもよい。ガラス被覆する場合は
酸化白金を担持したアルミナ粉体を塗布したのち、ガラ
スペーストを塗布して熱処理する。実施例２図３は、第
３の発明の実施例に係るガスセンサを示す要部透視平面
図である。
担持したアルミナ粉体を用いているが酸化鉛に替えて酸
化銅を担持しても良く、また酸化白金を担持したアルミ
ナ粉体をガラス被覆してもよい。ガラス被覆する場合は
酸化白金を担持したアルミナ粉体を塗布したのち、ガラ
スペーストを塗布して熱処理する。実施例２図３は、第
３の発明の実施例に係るガスセンサを示す要部透視平面
図である。
【００２４】この実施例においては固定抵抗が測温抵抗
体とともに基板上に形成される点が実施例１と異なる。
基板１１の上に第２のパッド１２Ｂ，第３のパッド１２
Ａ，第１のパッド１２、１５の一端と１６の一端を共通
に接続する第４のパッド１２Ｄ，第１の測温抵抗体１
８，第２の測温抵抗体１９，ガス検知用被覆層２０，補
償用被覆層２１，第１の固定抵抗１５，第２の固定抵抗
１６が積層される。
体とともに基板上に形成される点が実施例１と異なる。
基板１１の上に第２のパッド１２Ｂ，第３のパッド１２
Ａ，第１のパッド１２、１５の一端と１６の一端を共通
に接続する第４のパッド１２Ｄ，第１の測温抵抗体１
８，第２の測温抵抗体１９，ガス検知用被覆層２０，補
償用被覆層２１，第１の固定抵抗１５，第２の固定抵抗
１６が積層される。
【００２５】酸化ルテニウムＲｕ０2 系の抵抗ペースト
（ＧＺＫ：田中貴金属インタナショナル製）が第１の固
定抵抗，第２の固定抵抗に示すパターンでスリーン印刷
される。乾燥したのち温度８５０℃で１０分熱処理され
基板上に膜厚１２μｍの第１の固定抵抗１５と第２の固
定抵抗１６が積層される。第１の固定抵抗１５はトリミ
ング以前は第２の固定抵抗１６よりも面積が大きく、第
１の固定抵抗１５にトリミング部１７が形成される。
（ＧＺＫ：田中貴金属インタナショナル製）が第１の固
定抵抗，第２の固定抵抗に示すパターンでスリーン印刷
される。乾燥したのち温度８５０℃で１０分熱処理され
基板上に膜厚１２μｍの第１の固定抵抗１５と第２の固
定抵抗１６が積層される。第１の固定抵抗１５はトリミ
ング以前は第２の固定抵抗１６よりも面積が大きく、第
１の固定抵抗１５にトリミング部１７が形成される。
【００２６】第１の固定抵抗と第２の固定抵抗が積層さ
れると、測温抵抗体と固定抵抗が一体化されるのでガス
センサの省スペース化が図られコンパクトなガスセンサ
が得られる。
れると、測温抵抗体と固定抵抗が一体化されるのでガス
センサの省スペース化が図られコンパクトなガスセンサ
が得られる。
【００２７】
【発明の効果】この発明によれば、同一の基板上に積層
された第１の測温抵抗体と第２の測温抵抗体の少なくと
も一つがトリミング部を有するので、このトリミング部
を用いて二つの測温抵抗体につき抵抗の整合を図ること
ができペアリング工程が簡易となる。また抵抗の整合が
必ず実現されガスセンサ製造の歩留りが良好となる。
された第１の測温抵抗体と第２の測温抵抗体の少なくと
も一つがトリミング部を有するので、このトリミング部
を用いて二つの測温抵抗体につき抵抗の整合を図ること
ができペアリング工程が簡易となる。また抵抗の整合が
必ず実現されガスセンサ製造の歩留りが良好となる。
【００２８】また基板の表面の溝は測温抵抗体で発生し
た熱の移動を妨げる熱抵抗となり隣接する他の測温抵抗
体の抵抗上昇を防止してホィートストンブリッジ回路の
非平衡出力を大きくする。さらに同一の基板上に積層さ
れた第１の測温抵抗体と第２の測温抵抗体とともに第１
の固定抵抗と第２の固定抵抗が設けられこれらの少なく
とも一つがトリミング部を有するので、このトリミング
部を用いて二つの固定抵抗につき抵抗の整合を図ること
ができる上に測温抵抗体と固定抵抗が一体化されたコン
パクトなガスセンサが得られる。
た熱の移動を妨げる熱抵抗となり隣接する他の測温抵抗
体の抵抗上昇を防止してホィートストンブリッジ回路の
非平衡出力を大きくする。さらに同一の基板上に積層さ
れた第１の測温抵抗体と第２の測温抵抗体とともに第１
の固定抵抗と第２の固定抵抗が設けられこれらの少なく
とも一つがトリミング部を有するので、このトリミング
部を用いて二つの固定抵抗につき抵抗の整合を図ること
ができる上に測温抵抗体と固定抵抗が一体化されたコン
パクトなガスセンサが得られる。
【図１】この発明の実施例に係るガスセンサを示す要部
透視平面図
透視平面図
【図２】図１に示すガスセンサのＡ―Ａ矢視断面図
【図３】この発明の異なる実施例に係るガスセンサを示
す要部透視平面図
す要部透視平面図
【図４】従来の接触燃焼式ガスセンサのガス検知素子を
示す要部破断斜視図
示す要部破断斜視図
【図５】従来の接触燃焼式ガスセンサの検出回路を示す
結線図
結線図
１１ 基板 １２ 第１のパッド １２Ａ 第３のパッド １２Ｂ 第２のパッド １２Ｄ 第４のパッド １４ トリミング部 １５ 第１の固定抵抗 １６ 第２の固定抵抗 １７ トリミング部 １８ 第１の測温抵抗体 １９ 第２の測温抵抗体 ２０ ガス検知用被覆層 ２１ 補償用被覆層 ２２ 溝 ２３ 抵抗調節部 ３１ 白金コイル ３２ アルミナ担体 ３３ 補償素子 ３４ ガス検知素子 ３５ 負荷 ３６ 電源 ４１ 基板 ４２ ガス検知素子 ４３ 補償素子 ４４ 電極 ４５ 電極 ４６ ヒータ ４７ トリミング部
Claims (3)
- 【請求項１】基板と、第１の測温抵抗体と、第２の測温
抵抗体と、ガス検知用被覆層と、補償用被覆層と、複数
のパッドを有し、 第１の測温抵抗体は金属の厚膜であり、基板上に積層さ
れ、 第２の測温抵抗体は金属の厚膜であり、基板上に積層さ
れ、 第１と第２の測温抵抗体は少なくともその一つがトリミ
ング部を備え、 前記パッドは前記第１の測温抵抗体の一端と前記第２の
測温抵抗体の一端を共通に接続する第１のパッドと、第
１の測温抵抗体の他端に接続される第２のパッドと、第
２の測温抵抗体の他端に接続される第３のパッドを有
し、前記基板上にそれぞれ離間して積層され、 ガス検知用被覆層は第１の測温抵抗体と基板の上に選択
的に積層され、可燃性ガスを接触的に燃焼して第１の測
温抵抗体の温度を上昇させるものであり、 補償用被覆層は第２の測温抵抗体と基板の上に選択的に
積層されてなることを特徴とするガスセンサ。 - 【請求項２】請求項１に記載のガスセンサにおいて、基
板は少なくともガス検知用被覆層と補償用被覆層とを分
割する位置にその表面に形成された溝を備えることを特
徴とするガスセンサ。 - 【請求項３】基板と、第１の測温抵抗体と、第２の測温
抵抗体と、ガス検知用被覆層と、補償用被覆層と、複数
のパッドと、第１の固定抵抗と、第２の固定抵抗を有
し、 第１の測温抵抗体は金属の厚膜であり、基板上に積層さ
れ、 第２の測温抵抗体は金属の厚膜であり、基板上に積層さ
れ、 第１と第２の測温抵抗体は少なくともその一つがトリミ
ング部を備え、 前記パッドは前記第１の測温抵抗体の一端と前記第２の
測温抵抗体の一端を共通に接続する第１のパッドと、第
１の測温抵抗体の他端に接続される第２のパッドと、第
２の測温抵抗体の他端に接続される第３のパッドを有
し、前記基板上にそれぞれ離間して積層され、 第１と第２の測温抵抗体は少なくともその一つがトリミ
ング部を備え、 ガス検知用被覆層は第１の測温抵抗体と基板の上に選択
的に積層され、可燃性ガスを接触的に燃焼して第１の測
温抵抗体の温度を上昇させるものであり、 補償用被覆層は第２の測温抵抗体と基板の上に選択的に
積層されてなり、 第１の固定抵抗と第２の固定抵抗は前記基板上に積層さ
れ、第１の固定抵抗の一端を前記第２のパッドに共通に
接続するとともに第２の固定抵抗の一端を前記第３のパ
ッドに共通に接続し、さらに基板上に設けられた第４の
パッドを介して第１の固定抵抗の他端と前記第２の固定
抵抗の他端を共通に接続してなることを特徴とするガス
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1198894A JPH07218464A (ja) | 1994-02-04 | 1994-02-04 | ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1198894A JPH07218464A (ja) | 1994-02-04 | 1994-02-04 | ガスセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07218464A true JPH07218464A (ja) | 1995-08-18 |
Family
ID=11792976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1198894A Pending JPH07218464A (ja) | 1994-02-04 | 1994-02-04 | ガスセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07218464A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006047276A (ja) * | 2004-07-07 | 2006-02-16 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 微細パターン形成方法 |
| JP2006284223A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Ngk Insulators Ltd | ＮＯｘ測定電極部構造及びその形成方法並びにＮＯｘセンサ素子 |
| JP2008076328A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Citizen Holdings Co Ltd | ガスセンサ |
-
1994
- 1994-02-04 JP JP1198894A patent/JPH07218464A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006047276A (ja) * | 2004-07-07 | 2006-02-16 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 微細パターン形成方法 |
| JP2006284223A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Ngk Insulators Ltd | ＮＯｘ測定電極部構造及びその形成方法並びにＮＯｘセンサ素子 |
| JP2008076328A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Citizen Holdings Co Ltd | ガスセンサ |
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