JPH07226647A - 圧電共振子及びそれを用いたチップ型圧電部品 - Google Patents
圧電共振子及びそれを用いたチップ型圧電部品Info
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- JPH07226647A JPH07226647A JP1656194A JP1656194A JPH07226647A JP H07226647 A JPH07226647 A JP H07226647A JP 1656194 A JP1656194 A JP 1656194A JP 1656194 A JP1656194 A JP 1656194A JP H07226647 A JPH07226647 A JP H07226647A
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- piezoelectric
- piezoelectric resonator
- chip
- resonator
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 圧電基板11の両面の中央部に互いに対向す
るように帯状の振動電極12a、12bが形成され、厚
み滑り振動モードを利用した圧電共振子10において、
圧電共振子10の厚さをt(mm)、圧電共振子10の
幅をw(mm)、圧電共振子10の長さをn(mm)及
び振動電極12a、12bの長さをk(mm)とした場
合、これらの値が、 0.12≦t≦1.25、0.6≦k、1.6≦w/t
≦5.2、8.0≦n/t≦42 で示される範囲に設定されている圧電共振子。 【効果】 リップルの発生を防止することができ、従っ
て所望の発振周波数からずれることがなく、安定した発
振周波数で発振が可能な圧電共振子10を提供すること
ができる。
るように帯状の振動電極12a、12bが形成され、厚
み滑り振動モードを利用した圧電共振子10において、
圧電共振子10の厚さをt(mm)、圧電共振子10の
幅をw(mm)、圧電共振子10の長さをn(mm)及
び振動電極12a、12bの長さをk(mm)とした場
合、これらの値が、 0.12≦t≦1.25、0.6≦k、1.6≦w/t
≦5.2、8.0≦n/t≦42 で示される範囲に設定されている圧電共振子。 【効果】 リップルの発生を防止することができ、従っ
て所望の発振周波数からずれることがなく、安定した発
振周波数で発振が可能な圧電共振子10を提供すること
ができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は圧電共振子及びそれを用
いたチップ型圧電部品に関し、より詳細には情報処理、
通信等の分野において、レゾネータ等に用いられる圧電
共振子及び該圧電共振子が用いられたケース型構造のチ
ップ型圧電部品に関する。
いたチップ型圧電部品に関し、より詳細には情報処理、
通信等の分野において、レゾネータ等に用いられる圧電
共振子及び該圧電共振子が用いられたケース型構造のチ
ップ型圧電部品に関する。
【0002】
【従来の技術】一般にレゾネータの市場は現在のところ
樹脂モールドタイプのもので占められている。
樹脂モールドタイプのもので占められている。
【0003】図8(a)はレゾネータとして使用される
該樹脂モールドタイプの圧電部品を模式的に示した一部
切欠き正面図であり、(b)は(a)に示した圧電部品
のb−b線断面図である。
該樹脂モールドタイプの圧電部品を模式的に示した一部
切欠き正面図であり、(b)は(a)に示した圧電部品
のb−b線断面図である。
【0004】セラミックス等から構成される平板状の圧
電共振子30を構成する圧電基板11の一面((a)に
示した圧電共振子10の手前側の面)には、その中央部
分一帯に圧電基板11を振動させるための振動電極32
aが、左端部分にはリード端子35aと接続するための
端子電極34aがそれぞれ形成され、さらに振動電極3
2aと端子電極34aとの間には両者を接続するための
帯状のリード電極33aが形成されている。また、圧電
基板11の他の一面((a)に示した圧電共振子10の
向こう側の面)にはその中央部分一帯に反対側に形成さ
れた振動電極32aと重複するように振動電極32bが
形成され、右端部分には端子電極34bが形成され、さ
らに振動電極32bと端子電極34bとを接続するため
のリード電極33bが形成されている。
電共振子30を構成する圧電基板11の一面((a)に
示した圧電共振子10の手前側の面)には、その中央部
分一帯に圧電基板11を振動させるための振動電極32
aが、左端部分にはリード端子35aと接続するための
端子電極34aがそれぞれ形成され、さらに振動電極3
2aと端子電極34aとの間には両者を接続するための
帯状のリード電極33aが形成されている。また、圧電
基板11の他の一面((a)に示した圧電共振子10の
向こう側の面)にはその中央部分一帯に反対側に形成さ
れた振動電極32aと重複するように振動電極32bが
形成され、右端部分には端子電極34bが形成され、さ
らに振動電極32bと端子電極34bとを接続するため
のリード電極33bが形成されている。
【0005】このような構成を有する圧電共振子30の
端子電極34a、34b部分にはリード端子35a、3
5bが圧電共振子10とほぼ垂直になるように接着、固
定され、この圧電共振子30の周囲は、圧電共振子30
の振動を妨げないように振動電極32a、32bが形成
されている部分を除いて、他の部分全体が樹脂36によ
り被覆されている。
端子電極34a、34b部分にはリード端子35a、3
5bが圧電共振子10とほぼ垂直になるように接着、固
定され、この圧電共振子30の周囲は、圧電共振子30
の振動を妨げないように振動電極32a、32bが形成
されている部分を除いて、他の部分全体が樹脂36によ
り被覆されている。
【0006】上記したように、このタイプの圧電部品は
圧電共振子30の周りが樹脂36でしっかり固定されて
いるので、リップルなどの不要振動の発生が抑制され、
安定した周波数特性を得ることができるという特徴を有
する。
圧電共振子30の周りが樹脂36でしっかり固定されて
いるので、リップルなどの不要振動の発生が抑制され、
安定した周波数特性を得ることができるという特徴を有
する。
【0007】しかし、上記した構成の圧電部品を実装す
る場合には、リード端子35a、35bを回路基板上に
形成されたスルーホール部分に貫通させて固定させなけ
ればならないため、接続作業が後述する他のチップ型圧
電部品と比較して簡単ではなく、また圧電部品を回路基
板上に立てるようにして接続、固定するため、電子機器
の低背化、小型化には適していないという問題点があっ
た。
る場合には、リード端子35a、35bを回路基板上に
形成されたスルーホール部分に貫通させて固定させなけ
ればならないため、接続作業が後述する他のチップ型圧
電部品と比較して簡単ではなく、また圧電部品を回路基
板上に立てるようにして接続、固定するため、電子機器
の低背化、小型化には適していないという問題点があっ
た。
【0008】一方、近年のセット部品の軽薄短小化に伴
い、各種電子部品のチップ化が急速に進められており、
レゾネータにおいてもチップ化の要求が多大なものとな
ってきている。このため、上記した構造の圧電部品に代
わって、例えば円筒型構造を有するチップ型圧電部品や
ケース型構造を有するチップ型圧電部品がそれぞれ開発
されている。
い、各種電子部品のチップ化が急速に進められており、
レゾネータにおいてもチップ化の要求が多大なものとな
ってきている。このため、上記した構造の圧電部品に代
わって、例えば円筒型構造を有するチップ型圧電部品や
ケース型構造を有するチップ型圧電部品がそれぞれ開発
されている。
【0009】図9は前記円筒型構造を有するチップ型圧
電部品を模式的に示した断面図である。
電部品を模式的に示した断面図である。
【0010】このチップ型圧電部品では、図8に示した
圧電部品に用いられている圧電共振子30と同様の構成
の圧電共振子が使用されており、この圧電共振子30の
両端が導電性接着剤41a、41bを介して円筒形状の
導電性キャップ42a、42bに固定され、これら導電
性キャップ42a、42bは絶縁性の円筒状ケース43
に固定されており、この円筒状ケース43と導電性キャ
ップ42a、42bとは導電性接着剤41a、41bを
介して互いに接着され、これにより圧電共振子30が密
封されている。導電性接着剤41a、41bにより固定
されている圧電共振子30の右端部分及び左端部分には
端子電極34a、34bがそれぞれ形成されているの
で、これにより圧電共振子30の両面に形成された振動
電極32a、32bは外部と接続されることとなり、導
電性キャップ42a、42bを外部の回路と接続するこ
とにより、圧電振動子30が作動するようになってい
る。
圧電部品に用いられている圧電共振子30と同様の構成
の圧電共振子が使用されており、この圧電共振子30の
両端が導電性接着剤41a、41bを介して円筒形状の
導電性キャップ42a、42bに固定され、これら導電
性キャップ42a、42bは絶縁性の円筒状ケース43
に固定されており、この円筒状ケース43と導電性キャ
ップ42a、42bとは導電性接着剤41a、41bを
介して互いに接着され、これにより圧電共振子30が密
封されている。導電性接着剤41a、41bにより固定
されている圧電共振子30の右端部分及び左端部分には
端子電極34a、34bがそれぞれ形成されているの
で、これにより圧電共振子30の両面に形成された振動
電極32a、32bは外部と接続されることとなり、導
電性キャップ42a、42bを外部の回路と接続するこ
とにより、圧電振動子30が作動するようになってい
る。
【0011】このような構成の圧電部品においては、圧
電共振子30が導電性接着剤41a、41bで固定され
ているため、導電性接着剤41a、41bの量が多すぎ
ると圧電共振子30の振動が抑圧されてその発振強度が
低下し、また導電性接着剤41a、41bの量が少なす
ぎると、圧電共振子30の支持が弱くなり、例えば落下
等の衝撃により圧電共振子30が外れ易く、不発振の原
因となるという問題があった。
電共振子30が導電性接着剤41a、41bで固定され
ているため、導電性接着剤41a、41bの量が多すぎ
ると圧電共振子30の振動が抑圧されてその発振強度が
低下し、また導電性接着剤41a、41bの量が少なす
ぎると、圧電共振子30の支持が弱くなり、例えば落下
等の衝撃により圧電共振子30が外れ易く、不発振の原
因となるという問題があった。
【0012】さて一方、前記ケース型構造を有するチッ
プ型圧電部品は、以下に示すような構成を有している。
プ型圧電部品は、以下に示すような構成を有している。
【0013】図10(a)は前記ケース型構造を有する
チップ型圧電部品を模式的に示した平面図であり、
(b)はその縦断面図である。
チップ型圧電部品を模式的に示した平面図であり、
(b)はその縦断面図である。
【0014】このチップ型圧電部品に用いられている圧
電共振子10では、圧電基板11の上面に左側の端部を
帯形状に残して端子電極13a及び振動電極12aが連
続的に形成され、一方圧電基板11の下面に上面と反対
側の右側の端部を帯形状に残して端子電極13b及び振
動電極12bが連続的に形成されている。ここで振動電
極12a、12bは両面に形成された電極の重なり部分
をいう。
電共振子10では、圧電基板11の上面に左側の端部を
帯形状に残して端子電極13a及び振動電極12aが連
続的に形成され、一方圧電基板11の下面に上面と反対
側の右側の端部を帯形状に残して端子電極13b及び振
動電極12bが連続的に形成されている。ここで振動電
極12a、12bは両面に形成された電極の重なり部分
をいう。
【0015】このような構成の圧電共振子10が、圧電
基板11の電極形成面が絶縁基板21の表面と平行にな
るように絶縁基板21上に配設され、圧電基板11の下
面に形成された振動電極12b及び端子電極13bは絶
縁基板21に形成された接続電極25bに、圧電基板1
1の上面に形成された振動電極12a及び端子電極13
aは絶縁基板21に形成された接続電極25aに、それ
ぞれ導電性接着剤23を介して接続され、固定されてい
る。接続電極26a、26bは絶縁基板21の下面にも
同様に形成され、上部の接続電極25a、25bと下部
の接続電極26a、26bとは接続されており、この接
続電極26a、26bを配線基板上の配線と接続して配
線基板等(図示せず)に実装することによりチップ型圧
電部品が作動するようになる。
基板11の電極形成面が絶縁基板21の表面と平行にな
るように絶縁基板21上に配設され、圧電基板11の下
面に形成された振動電極12b及び端子電極13bは絶
縁基板21に形成された接続電極25bに、圧電基板1
1の上面に形成された振動電極12a及び端子電極13
aは絶縁基板21に形成された接続電極25aに、それ
ぞれ導電性接着剤23を介して接続され、固定されてい
る。接続電極26a、26bは絶縁基板21の下面にも
同様に形成され、上部の接続電極25a、25bと下部
の接続電極26a、26bとは接続されており、この接
続電極26a、26bを配線基板上の配線と接続して配
線基板等(図示せず)に実装することによりチップ型圧
電部品が作動するようになる。
【0016】また、絶縁基板21上には、絶縁基板21
上の圧電共振子10を保護するために箱型の保護キャッ
プ22が被せられ、絶縁性接着剤24により絶縁基板2
1に固定されている。
上の圧電共振子10を保護するために箱型の保護キャッ
プ22が被せられ、絶縁性接着剤24により絶縁基板2
1に固定されている。
【0017】このようなケース型構造を有するチップ型
圧電部品は、円筒型構造を有するチップ型圧電部品に比
べ部品点数が少なく低コストであり、絶縁基板21にし
っかりと固定されているために圧電共振子10が離脱す
ることがなく、また厚み縦振動モードにおいてはその振
動が抑制されることもない。さらに前記チップ型圧電部
品は、回路基板上へのチップ型圧電部品のマウント性に
も優れている。
圧電部品は、円筒型構造を有するチップ型圧電部品に比
べ部品点数が少なく低コストであり、絶縁基板21にし
っかりと固定されているために圧電共振子10が離脱す
ることがなく、また厚み縦振動モードにおいてはその振
動が抑制されることもない。さらに前記チップ型圧電部
品は、回路基板上へのチップ型圧電部品のマウント性に
も優れている。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記ケ
ース型構造を有するチップ型圧電部品で、厚み滑り振動
モードを利用したものにおいては、リップルは十分に抑
圧されず、共振点と反共振点との間(発振領域)にリッ
プルが生じ、該リップルにより発振周波数がずれてしま
い、所定の発振周波数が得難いという課題があった。
ース型構造を有するチップ型圧電部品で、厚み滑り振動
モードを利用したものにおいては、リップルは十分に抑
圧されず、共振点と反共振点との間(発振領域)にリッ
プルが生じ、該リップルにより発振周波数がずれてしま
い、所定の発振周波数が得難いという課題があった。
【0019】また、前記ケース型構造を有するチップ型
圧電部品において、圧電共振子の幅を小さくしてゆくと
共振点と反共振点との間(発振領域)にリップルが生
じ、該リップルにより発振周波数がずれてしまい、発振
周波数が不安定となるため、圧電共振子の幅を小さくす
ることができないという課題もあった。
圧電部品において、圧電共振子の幅を小さくしてゆくと
共振点と反共振点との間(発振領域)にリップルが生
じ、該リップルにより発振周波数がずれてしまい、発振
周波数が不安定となるため、圧電共振子の幅を小さくす
ることができないという課題もあった。
【0020】
【課題を解決するための手段】本発明者らはこのような
課題に鑑み、低コストで量産性に優れるケース型構造を
有するチップ型圧電部品で、リップルの発生がなく、従
って所定の発振周波数からずれることがなく、安定した
発振周波数で発振するチップ型圧電部品及びそれに使用
することができる圧電共振子を得ることを目的として検
討を行った。その結果、厚み滑り振動モードを利用した
圧電共振子が使用されているチップ型圧電部品でリップ
ルが発生する原因は、厚み滑り振動モード以外の厚み縦
振動モード、拡がり振動モード、長さ振動モードなどの
各振動モードにおける高調波が、発振領域に入ってくる
ためであることがわかり、前記した原因を排除するため
に、前記圧電共振子の振動電極の長さ及び前記圧電共振
子の形状、特に前記圧電共振子の幅(w)や長さ(n)
を一定の範囲内にすると、このリップルを発振領域外に
排除することができることを見い出し、本発明を完成す
るに至った。
課題に鑑み、低コストで量産性に優れるケース型構造を
有するチップ型圧電部品で、リップルの発生がなく、従
って所定の発振周波数からずれることがなく、安定した
発振周波数で発振するチップ型圧電部品及びそれに使用
することができる圧電共振子を得ることを目的として検
討を行った。その結果、厚み滑り振動モードを利用した
圧電共振子が使用されているチップ型圧電部品でリップ
ルが発生する原因は、厚み滑り振動モード以外の厚み縦
振動モード、拡がり振動モード、長さ振動モードなどの
各振動モードにおける高調波が、発振領域に入ってくる
ためであることがわかり、前記した原因を排除するため
に、前記圧電共振子の振動電極の長さ及び前記圧電共振
子の形状、特に前記圧電共振子の幅(w)や長さ(n)
を一定の範囲内にすると、このリップルを発振領域外に
排除することができることを見い出し、本発明を完成す
るに至った。
【0021】すなわち本発明に係る圧電共振子は、圧電
基板の両面の中央部に互いに対向するように帯状の振動
電極が形成され、厚み滑り振動モードを利用した圧電共
振子において、前記圧電共振子の厚さをt(mm)、前
記圧電共振子の幅をw(mm)、前記圧電共振子の長さ
をn(mm)及び前記振動電極の長さをk(mm)とし
た場合、これらの値が、 0.12≦t≦1.25、0.6≦k、1.6≦w/t
≦5.2、8.0≦n/t≦42 で示される範囲に設定されていることを特徴としてい
る。
基板の両面の中央部に互いに対向するように帯状の振動
電極が形成され、厚み滑り振動モードを利用した圧電共
振子において、前記圧電共振子の厚さをt(mm)、前
記圧電共振子の幅をw(mm)、前記圧電共振子の長さ
をn(mm)及び前記振動電極の長さをk(mm)とし
た場合、これらの値が、 0.12≦t≦1.25、0.6≦k、1.6≦w/t
≦5.2、8.0≦n/t≦42 で示される範囲に設定されていることを特徴としてい
る。
【0022】また本発明に係るチップ型圧電部品は、前
記圧電共振子が保護ケースに収納、固定されたチップ型
圧電部品において、前記チップ型圧電部品の幅をW(m
m)、前記チップ型圧電部品の長さをL(mm)、前記
チップ型圧電部品の厚さをT(mm)とした場合、これ
らの値が 0.8≦T、2.19≦W、2.96≦L で示される範囲に設定されていることを特徴としてい
る。
記圧電共振子が保護ケースに収納、固定されたチップ型
圧電部品において、前記チップ型圧電部品の幅をW(m
m)、前記チップ型圧電部品の長さをL(mm)、前記
チップ型圧電部品の厚さをT(mm)とした場合、これ
らの値が 0.8≦T、2.19≦W、2.96≦L で示される範囲に設定されていることを特徴としてい
る。
【0023】
【作用】上記構成の圧電共振子によれば、圧電基板の両
面の中央部に互いに対向するように帯状の振動電極が形
成され、厚み滑り振動モードを利用した圧電共振子にお
いて、前記圧電共振子の厚さをt(mm)、前記圧電共
振子の幅をw(mm)、前記圧電共振子の長さをn(m
m)及び前記振動電極の長さをk(mm)とした場合、
これらの値が、 0.12≦t≦1.25、0.6≦k、1.6≦w/t
≦5.2、8.0≦n/t≦42 で示される範囲に設定されているので、リップルの発生
がなく、従って所望の発振周波数からずれることがな
く、安定した発振周波数で発振が可能な圧電共振子とな
る。
面の中央部に互いに対向するように帯状の振動電極が形
成され、厚み滑り振動モードを利用した圧電共振子にお
いて、前記圧電共振子の厚さをt(mm)、前記圧電共
振子の幅をw(mm)、前記圧電共振子の長さをn(m
m)及び前記振動電極の長さをk(mm)とした場合、
これらの値が、 0.12≦t≦1.25、0.6≦k、1.6≦w/t
≦5.2、8.0≦n/t≦42 で示される範囲に設定されているので、リップルの発生
がなく、従って所望の発振周波数からずれることがな
く、安定した発振周波数で発振が可能な圧電共振子とな
る。
【0024】また上記構成のチップ型圧電部品によれ
ば、前記圧電共振子が保護ケースに収納、固定されたチ
ップ型圧電部品において、前記チップ型圧電部品の幅を
W(mm)、前記チップ型圧電部品の長さをL(m
m)、前記チップ型圧電部品の厚さをT(mm)とした
場合、これらの値が 0.8≦T、2.19≦W、2.96≦L で示される範囲に設定されているので、前記圧電共振子
を収納するケースが最小となる最適値が容易に設定さ
れ、前記チップ型圧電部品の小型化が図られると共に、
リップルの発生がなく、安定した発振周波数で発振が可
能なチップ型圧電部品となる。
ば、前記圧電共振子が保護ケースに収納、固定されたチ
ップ型圧電部品において、前記チップ型圧電部品の幅を
W(mm)、前記チップ型圧電部品の長さをL(m
m)、前記チップ型圧電部品の厚さをT(mm)とした
場合、これらの値が 0.8≦T、2.19≦W、2.96≦L で示される範囲に設定されているので、前記圧電共振子
を収納するケースが最小となる最適値が容易に設定さ
れ、前記チップ型圧電部品の小型化が図られると共に、
リップルの発生がなく、安定した発振周波数で発振が可
能なチップ型圧電部品となる。
【0025】
【実施例】以下、実施例に係る圧電共振子及びそれを用
いたチップ型圧電部品の実施例を図面に基づいて説明す
る。
いたチップ型圧電部品の実施例を図面に基づいて説明す
る。
【0026】まず、本発明に係る圧電共振子の実施例を
図面に基づいて説明する。図1(a)は実施例に係る圧
電共振子を模式的に示した平面図であり、(b)はその
側面図である。
図面に基づいて説明する。図1(a)は実施例に係る圧
電共振子を模式的に示した平面図であり、(b)はその
側面図である。
【0027】この圧電共振子10では、圧電基板11の
上面に左側の端部を帯形状に残して端子電極13a及び
振動電極12aが連続的に形成され、一方圧電基板11
の下面に上面と反対側の右側の端部を帯形状に残して端
子電極13b及び振動電極12bが連続的に形成されて
いる。ここで振動電極12a、12bは、図1に示して
いるように、電極の重なり部分をいい、この長さをkで
示している。また、この図において、tは圧電共振子1
0の厚さを、nは圧電共振子10の長さを、wは圧電共
振子10の幅を示している。
上面に左側の端部を帯形状に残して端子電極13a及び
振動電極12aが連続的に形成され、一方圧電基板11
の下面に上面と反対側の右側の端部を帯形状に残して端
子電極13b及び振動電極12bが連続的に形成されて
いる。ここで振動電極12a、12bは、図1に示して
いるように、電極の重なり部分をいい、この長さをkで
示している。また、この図において、tは圧電共振子1
0の厚さを、nは圧電共振子10の長さを、wは圧電共
振子10の幅を示している。
【0028】次に、実施例に係る圧電共振子10の形状
及び振動電極12a、12bの長さについて説明する。
及び振動電極12a、12bの長さについて説明する。
【0029】これらの圧電共振子10はチタン酸ジルコ
ン酸鉛系の圧電セラミックスより構成されており、この
圧電共振子10の厚さ(t)が0.12mm未満である
と、ラッピング等により前記圧電共振子10を作製する
際にヒビや割れが生じやすくなるために歩留りが著しく
低下し、また作製された圧電共振子10自身も強度等に
おいて問題が生じる。他方、圧電共振子10の厚さ
(t)が1.25mmを超えると、発振強度が著しく低
下し、不発振を引き起こす原因となる。このため圧電共
振子10の厚さ(t)は0.12≦t≦1.25(m
m)の範囲に設定するのが好ましい。
ン酸鉛系の圧電セラミックスより構成されており、この
圧電共振子10の厚さ(t)が0.12mm未満である
と、ラッピング等により前記圧電共振子10を作製する
際にヒビや割れが生じやすくなるために歩留りが著しく
低下し、また作製された圧電共振子10自身も強度等に
おいて問題が生じる。他方、圧電共振子10の厚さ
(t)が1.25mmを超えると、発振強度が著しく低
下し、不発振を引き起こす原因となる。このため圧電共
振子10の厚さ(t)は0.12≦t≦1.25(m
m)の範囲に設定するのが好ましい。
【0030】次に、振動電極の長さ(k)について説明
する。通常、厚み滑り振動モードを利用した共振を行わ
せる場合には1〜4MHzの周波数帯域を使用するが、
この発振周波数と圧電共振子10の厚さ(t)とは略反
比例の関係にあるため、発振周波数が低くなる程、圧電
共振子10の厚さ(t)を大きくとる必要がある。前記
した周波数帯域において低周波を利用する場合には、高
周波を利用する場合と比較して圧電共振子10の厚さ
(t)を大きくとる必要があり、この圧電共振子10の
厚さ(t)の増大により低下する発振強度を補うために
は、振動電極の長さ(k)を大きくしなければならな
い。
する。通常、厚み滑り振動モードを利用した共振を行わ
せる場合には1〜4MHzの周波数帯域を使用するが、
この発振周波数と圧電共振子10の厚さ(t)とは略反
比例の関係にあるため、発振周波数が低くなる程、圧電
共振子10の厚さ(t)を大きくとる必要がある。前記
した周波数帯域において低周波を利用する場合には、高
周波を利用する場合と比較して圧電共振子10の厚さ
(t)を大きくとる必要があり、この圧電共振子10の
厚さ(t)の増大により低下する発振強度を補うために
は、振動電極の長さ(k)を大きくしなければならな
い。
【0031】圧電共振子10の厚さ(t)が最も薄い
0.12mmの場合、振動電極の長さ(k)は0.6m
mでも共振させることが可能である。このため振動電極
の長さ(k)は0.6≦k(mm)の範囲に設定するの
が好ましい。なお、実施例では振動電極12a、12b
と端子電極13a、13bとは連続して形成されている
が、端子電極13a、13bは必ずしもこのような形状
でなくてもよく、図5に示したような形状のリード電極
33a、33bと端子電極34a、34bから構成され
ていてもよい。
0.12mmの場合、振動電極の長さ(k)は0.6m
mでも共振させることが可能である。このため振動電極
の長さ(k)は0.6≦k(mm)の範囲に設定するの
が好ましい。なお、実施例では振動電極12a、12b
と端子電極13a、13bとは連続して形成されている
が、端子電極13a、13bは必ずしもこのような形状
でなくてもよく、図5に示したような形状のリード電極
33a、33bと端子電極34a、34bから構成され
ていてもよい。
【0032】厚み滑り振動モードを利用して圧電共振子
10を振動させる場合、前記厚み滑り振動モードの基本
波以外に、圧電共振子10の軸方向と長さ方向に関する
高調波が発生し易くなる。特に、圧電共振子10の幅
(w)や圧電共振子10の長さ(n)が大きくなる程、
圧電共振子10の幅や長さに対する振動モードの共振周
波数が低周波側にシフトする。このため発生したこれら
リップルを発振領域以外にシフトさせるために圧電共振
子10の幅(w)は1.6≦w/t≦5.2の範囲に、
また圧電共振子10長さは8.0≦n/t≦42の範囲
に設定するのが好ましい。さらに部品サイズの小型化の
観点から圧電共振子10の長さは20mm以内とするの
が好ましい。
10を振動させる場合、前記厚み滑り振動モードの基本
波以外に、圧電共振子10の軸方向と長さ方向に関する
高調波が発生し易くなる。特に、圧電共振子10の幅
(w)や圧電共振子10の長さ(n)が大きくなる程、
圧電共振子10の幅や長さに対する振動モードの共振周
波数が低周波側にシフトする。このため発生したこれら
リップルを発振領域以外にシフトさせるために圧電共振
子10の幅(w)は1.6≦w/t≦5.2の範囲に、
また圧電共振子10長さは8.0≦n/t≦42の範囲
に設定するのが好ましい。さらに部品サイズの小型化の
観点から圧電共振子10の長さは20mm以内とするの
が好ましい。
【0033】以上より、圧電共振子10の幅(w)と圧
電共振子10の厚さ(t)との関係として、図2(a)
に示したABCDの四角形で囲まれる範囲内が好ましい
範囲となり、圧電共振子10の長さ(n)と圧電共振子
10の厚さ(t)との関係として、図2(b)に示した
EFGHIの五角形で囲まれる範囲内が好ましい範囲と
なる。
電共振子10の厚さ(t)との関係として、図2(a)
に示したABCDの四角形で囲まれる範囲内が好ましい
範囲となり、圧電共振子10の長さ(n)と圧電共振子
10の厚さ(t)との関係として、図2(b)に示した
EFGHIの五角形で囲まれる範囲内が好ましい範囲と
なる。
【0034】次に本発明に係るチップ型圧電部品の実施
例を図面に基づいて説明する。図3(a)は実施例に係
るチップ型圧電部品を模式的に示した平面図であり、
(b)はその縦断面図である。
例を図面に基づいて説明する。図3(a)は実施例に係
るチップ型圧電部品を模式的に示した平面図であり、
(b)はその縦断面図である。
【0035】上記したようにその形状や振動電極12
a、12bの長さが一定の範囲内に特定された圧電共振
子10は、圧電基板11の電極形成面が絶縁基板21の
表面と平行になるように絶縁基板21上に配設され、圧
電基板11の下面に形成された振動電極12b及び端子
電極13bは絶縁基板21に形成された接続電極25b
に、圧電基板22の上面に形成された振動電極12a及
び端子電極13aは絶縁基板21に形成された接続電極
25aに、それぞれ導電性接着剤23を介して接続さ
れ、固定されている。接続電極26a、26bは絶縁基
板21の下面にも同様に形成され、上部の接続電極25
a、25bと接続されており、この接続電極26a、2
6bを配線基板上の配線と接続して配線基板等(図示せ
ず)に実装することによりチップ型圧電部品が作動する
ようになる。
a、12bの長さが一定の範囲内に特定された圧電共振
子10は、圧電基板11の電極形成面が絶縁基板21の
表面と平行になるように絶縁基板21上に配設され、圧
電基板11の下面に形成された振動電極12b及び端子
電極13bは絶縁基板21に形成された接続電極25b
に、圧電基板22の上面に形成された振動電極12a及
び端子電極13aは絶縁基板21に形成された接続電極
25aに、それぞれ導電性接着剤23を介して接続さ
れ、固定されている。接続電極26a、26bは絶縁基
板21の下面にも同様に形成され、上部の接続電極25
a、25bと接続されており、この接続電極26a、2
6bを配線基板上の配線と接続して配線基板等(図示せ
ず)に実装することによりチップ型圧電部品が作動する
ようになる。
【0036】また、絶縁基板21上には、絶縁基板21
上の圧電共振子10を保護するために箱型の保護キャッ
プ22が絶縁性接着剤24により固定されている。
上の圧電共振子10を保護するために箱型の保護キャッ
プ22が絶縁性接着剤24により固定されている。
【0037】次に、上記した構成のチップ型圧電部品の
サイズについて説明する。
サイズについて説明する。
【0038】図4(a)は実施例に係るチップ型圧電部
品を示した水平断面図であり、(b)はその縦断面図で
あり、この場合、両者ともそれぞれの部分のサイズを書
き込めるよう概略的な図面としている。
品を示した水平断面図であり、(b)はその縦断面図で
あり、この場合、両者ともそれぞれの部分のサイズを書
き込めるよう概略的な図面としている。
【0039】まずチップ型圧電部品の幅(W)及び長さ
(L)について検討する。
(L)について検討する。
【0040】圧電共振子10は絶縁基板21と保護キャ
ップ22とからなる保護ケースにより保護されている
が、落下などの衝撃に対して割れたりすることがないよ
うに、それら絶縁基板21と保護キャップ22との厚さ
は、それぞれ0.3mm以上は必要である。またチップ
型圧電部品の自動組立を行うために、圧電共振子10と
保護キャップ22との水平方向のギャップは0.5mm
は必要であり、絶縁基板21の幅や長さは、保護キャッ
プの外周より0.2mmずつ、幅広くしておく必要があ
る。
ップ22とからなる保護ケースにより保護されている
が、落下などの衝撃に対して割れたりすることがないよ
うに、それら絶縁基板21と保護キャップ22との厚さ
は、それぞれ0.3mm以上は必要である。またチップ
型圧電部品の自動組立を行うために、圧電共振子10と
保護キャップ22との水平方向のギャップは0.5mm
は必要であり、絶縁基板21の幅や長さは、保護キャッ
プの外周より0.2mmずつ、幅広くしておく必要があ
る。
【0041】従って、チップ型圧電部品の幅(W)の適
切な範囲は下記の数1式のようになる。
切な範囲は下記の数1式のようになる。
【0042】
【数1】 W≧(0.2+0.3+0.5)×2+w=2.0+w ここで、圧電共振子10の幅(w)は、上記したように
下記の数2式で示した範囲が適切な範囲となり、これを
数1式に代入し、さらに圧電共振子10の厚さ(t)に
ついても上記した適切な範囲の下限値を代入して計算す
ると下記の数3式の関係が得られる。
下記の数2式で示した範囲が適切な範囲となり、これを
数1式に代入し、さらに圧電共振子10の厚さ(t)に
ついても上記した適切な範囲の下限値を代入して計算す
ると下記の数3式の関係が得られる。
【0043】
【数2】1.6t≦w≦5.2t
【0044】
【数3】W≧2.0+1.6t≧2.0+1.6×0.
12=2.19 また、チップ型圧電部品の長さ(L)についても前記の
チップ型圧電部品の幅(W)と同様に計算すると下記の
数4式で示した範囲になり、その適切な範囲は数5式の
ようになる。
12=2.19 また、チップ型圧電部品の長さ(L)についても前記の
チップ型圧電部品の幅(W)と同様に計算すると下記の
数4式で示した範囲になり、その適切な範囲は数5式の
ようになる。
【0045】
【数4】L≧(0.2+0.3+0.5)×2+n=
2.0+8.0t≧2.0+8.0×0.12
2.0+8.0t≧2.0+8.0×0.12
【0046】
【数5】L≧2.96 次に、チップ型圧電部品の厚さ(T)について検討す
る。前述したように保護キャップ22と絶縁性基板21
との厚さはそれぞれ0.3mmは必要であり、自動組立
の作業性を考慮に入れると、保護キャップ22の内壁と
絶縁基板21とのギャップは0.2mmは必要である。
この場合圧電共振子10の厚さ(t)の最小値は0.1
2mmなので、前記ギャップの大きさの最小値を0.2
mmとしても問題はない。これよりチップ型圧電部品の
厚さ(T)の適切な範囲は、下記の数6式のようにな
る。
る。前述したように保護キャップ22と絶縁性基板21
との厚さはそれぞれ0.3mmは必要であり、自動組立
の作業性を考慮に入れると、保護キャップ22の内壁と
絶縁基板21とのギャップは0.2mmは必要である。
この場合圧電共振子10の厚さ(t)の最小値は0.1
2mmなので、前記ギャップの大きさの最小値を0.2
mmとしても問題はない。これよりチップ型圧電部品の
厚さ(T)の適切な範囲は、下記の数6式のようにな
る。
【0047】
【数6】T≧0.3+0.3+0.2=0.8(mm) 以上、チップ型圧電部品の長さ(L)、チップ型圧電部
品の幅(W)、チップ型圧電部品の厚さ(T)の範囲を
まとめると下記のようになる。
品の幅(W)、チップ型圧電部品の厚さ(T)の範囲を
まとめると下記のようになる。
【0048】 2.19≦W、2.96≦L、0.80≦T(mm) 次に上記した実施例に係るチップ型圧電部品の製造方法
について説明する。
について説明する。
【0049】まず圧電共振子10の原料として、Pb3
O4 、ZrO2 、TiO2 、MnCO3 、Nb2 O5 の
各種酸化物粉末を用い、これら酸化物粉末を所定の組成
になるように配合し、ポットミルで24時間湿式混合を
行う。
O4 、ZrO2 、TiO2 、MnCO3 、Nb2 O5 の
各種酸化物粉末を用い、これら酸化物粉末を所定の組成
になるように配合し、ポットミルで24時間湿式混合を
行う。
【0050】次に混合した原料を乾燥させた後、700
〜950℃の温度範囲で仮焼合成する。
〜950℃の温度範囲で仮焼合成する。
【0051】次に、仮焼合成した粉末を解砕した後、適
量の有機バインダを加えて乾式混合し、特定のメッシュ
の篩に通して整粒する。その後整粒した粉体を1000
〜1500kg/cm2 の圧力で加圧成形して、20
(mm)×30(mm)×1(mm)の板状体を作製
し、この成形体を1200〜1300℃の温度範囲で焼
成することにより焼結体を製造する。
量の有機バインダを加えて乾式混合し、特定のメッシュ
の篩に通して整粒する。その後整粒した粉体を1000
〜1500kg/cm2 の圧力で加圧成形して、20
(mm)×30(mm)×1(mm)の板状体を作製
し、この成形体を1200〜1300℃の温度範囲で焼
成することにより焼結体を製造する。
【0052】さらに、この焼結体にラッピング処理を施
して、厚さ(t)を調整した後、この焼結体の幅(w)
方向に4kV/mmの直流電圧を印加して分極処理を施
し、両主面の全体に銀蒸着を行って電極を形成する。
して、厚さ(t)を調整した後、この焼結体の幅(w)
方向に4kV/mmの直流電圧を印加して分極処理を施
し、両主面の全体に銀蒸着を行って電極を形成する。
【0053】その後、形成された電極にエッチング処理
を施し、電極の長さ(振動電極12a、12b部分)も
調整し、圧電共振子10の製造を完了した。
を施し、電極の長さ(振動電極12a、12b部分)も
調整し、圧電共振子10の製造を完了した。
【0054】このようにして製造した圧電共振子10を
用いて、図3に示したチップ型圧電部品を作製する。
用いて、図3に示したチップ型圧電部品を作製する。
【0055】まず圧電共振子10と絶縁性基板21に導
電性接着剤23を塗布して、圧電共振子10を絶縁性基
板21上の接続電極25a、25bに接着した後、15
0℃で1時間乾燥させる。その後、保護キャップ22の
エッジに絶縁性接着剤24を塗布し、保護キャップ22
を絶縁基板21にかぶせ、150℃で1時間乾燥して接
着し、チップ型圧電部品の製造を完了する。
電性接着剤23を塗布して、圧電共振子10を絶縁性基
板21上の接続電極25a、25bに接着した後、15
0℃で1時間乾燥させる。その後、保護キャップ22の
エッジに絶縁性接着剤24を塗布し、保護キャップ22
を絶縁基板21にかぶせ、150℃で1時間乾燥して接
着し、チップ型圧電部品の製造を完了する。
【0056】上記した圧電共振子の製造方法により圧電
共振子10の厚さ(t)、圧電共振子10の幅(w)、
圧電共振子10の長さ(n)及び振動電極の長さ(k)
を種々に変化させた圧電共振子10を製造し、保護ケー
スに組み込んでチップ型圧電部品を製造し、その振動状
態の測定を行った。製造した圧電共振子10の前記形状
に関する条件及び前記振動電極の長さ(k)及びそれを
用いたチップ型圧電部品の振動状態の測定結果を下記の
表1に示した。また、図5〜7は、表1に示したものの
うち、実施例2、比較例4及び比較例6の共振周波数が
2MHzのものに関し、振動周波数とインピーダンスと
の関係を示したグラフである。
共振子10の厚さ(t)、圧電共振子10の幅(w)、
圧電共振子10の長さ(n)及び振動電極の長さ(k)
を種々に変化させた圧電共振子10を製造し、保護ケー
スに組み込んでチップ型圧電部品を製造し、その振動状
態の測定を行った。製造した圧電共振子10の前記形状
に関する条件及び前記振動電極の長さ(k)及びそれを
用いたチップ型圧電部品の振動状態の測定結果を下記の
表1に示した。また、図5〜7は、表1に示したものの
うち、実施例2、比較例4及び比較例6の共振周波数が
2MHzのものに関し、振動周波数とインピーダンスと
の関係を示したグラフである。
【0057】
【表1】
【0058】表1よりわかるように、実施例に係る圧電
共振子10の形状及び振動電極の長さが、0.12≦圧
電共振子10の厚さ(t)≦1.25、0.6≦振動電
極12a、12bの長さ(k)、1.6≦圧電共振子1
0の幅(w)/圧電共振子10の厚さ(t)≦5.2、
8.0≦圧電共振子10の長さ(n)/圧電共振子10
の厚さ(t)≦42の範囲にある場合、リップルが生じ
ることなく、良好に発振するが、一方この範囲をはずれ
ると、リップルが発生して安定した発振周波数で発振さ
せることができない等の不都合が生じる。
共振子10の形状及び振動電極の長さが、0.12≦圧
電共振子10の厚さ(t)≦1.25、0.6≦振動電
極12a、12bの長さ(k)、1.6≦圧電共振子1
0の幅(w)/圧電共振子10の厚さ(t)≦5.2、
8.0≦圧電共振子10の長さ(n)/圧電共振子10
の厚さ(t)≦42の範囲にある場合、リップルが生じ
ることなく、良好に発振するが、一方この範囲をはずれ
ると、リップルが発生して安定した発振周波数で発振さ
せることができない等の不都合が生じる。
【0059】以上説明したように実施例に係るチップ型
圧電部品にあっては、圧電共振子10の厚さをt(m
m)、圧電共振子10の幅をw(mm)、圧電共振子1
0の長さをn(mm)及び振動電極12a、12bの長
さをk(mm)とした場合、これらの値が、 0.12≦t≦1.25、0.6≦k、1.6≦w/t
≦5.2、8.0≦n/t≦42 で示される範囲に設定されているので、リップルの発生
を防止することができ、従って所望の発振周波数からず
れることがなく、安定した発振周波数で発振が可能な圧
電共振子10を提供することができる。
圧電部品にあっては、圧電共振子10の厚さをt(m
m)、圧電共振子10の幅をw(mm)、圧電共振子1
0の長さをn(mm)及び振動電極12a、12bの長
さをk(mm)とした場合、これらの値が、 0.12≦t≦1.25、0.6≦k、1.6≦w/t
≦5.2、8.0≦n/t≦42 で示される範囲に設定されているので、リップルの発生
を防止することができ、従って所望の発振周波数からず
れることがなく、安定した発振周波数で発振が可能な圧
電共振子10を提供することができる。
【0060】また実施例に係るチップ型圧電部品にあっ
ては、前記圧電共振子10が保護ケースに収納、固定さ
れたチップ型圧電部品において、前記チップ型圧電部品
の幅をW(mm)、前記チップ型圧電部品の長さをL
(mm)、前記チップ型圧電部品の厚さをT(mm)と
した場合、これらの値が 0.8≦T、2.19≦W、2.96≦L で示される範囲に設定されているので、圧電共振子10
を収納するケースを最小にできる最適値を容易に設定す
ることができ、チップ型圧電部品の小型化を図ることが
できると共に、リップルの発生を防止することができ、
安定した発振周波数で発振が可能なチップ型圧電部品を
提供することができる。
ては、前記圧電共振子10が保護ケースに収納、固定さ
れたチップ型圧電部品において、前記チップ型圧電部品
の幅をW(mm)、前記チップ型圧電部品の長さをL
(mm)、前記チップ型圧電部品の厚さをT(mm)と
した場合、これらの値が 0.8≦T、2.19≦W、2.96≦L で示される範囲に設定されているので、圧電共振子10
を収納するケースを最小にできる最適値を容易に設定す
ることができ、チップ型圧電部品の小型化を図ることが
できると共に、リップルの発生を防止することができ、
安定した発振周波数で発振が可能なチップ型圧電部品を
提供することができる。
【0061】
【発明の効果】以上詳述したように本発明に係る圧電共
振子にあっては、圧電基板の両面の中央部に互いに対向
するように帯状の振動電極が形成され、厚み滑り振動モ
ードを利用した圧電共振子において、前記圧電共振子の
厚さをt(mm)、前記圧電共振子の幅をw(mm)、
前記圧電共振子の長さをn(mm)及び前記振動電極の
長さをk(mm)とした場合、これらの値が、 0.12≦t≦1.25、0.6≦k、1.6≦w/t
≦5.2、8.0≦n/t≦42 で示される範囲に設定されているので、リップルの発生
を防止することができ、従って所望の発振周波数からず
れることがなく、安定した発振周波数で発振が可能な圧
電共振子を提供することができる。。
振子にあっては、圧電基板の両面の中央部に互いに対向
するように帯状の振動電極が形成され、厚み滑り振動モ
ードを利用した圧電共振子において、前記圧電共振子の
厚さをt(mm)、前記圧電共振子の幅をw(mm)、
前記圧電共振子の長さをn(mm)及び前記振動電極の
長さをk(mm)とした場合、これらの値が、 0.12≦t≦1.25、0.6≦k、1.6≦w/t
≦5.2、8.0≦n/t≦42 で示される範囲に設定されているので、リップルの発生
を防止することができ、従って所望の発振周波数からず
れることがなく、安定した発振周波数で発振が可能な圧
電共振子を提供することができる。。
【0062】また本発明に係るチップ型圧電部品にあっ
ては、前記圧電共振子が保護ケースに収納、固定された
チップ型圧電部品において、前記チップ型圧電部品の幅
をW(mm)、前記チップ型圧電部品の長さをL(m
m)、前記チップ型圧電部品の厚さをT(mm)とした
場合、これらの値が 0.8≦T、2.19≦W、2.96≦L で示される範囲に設定されているので、前記圧電共振子
を収納するケースを最小にできる最適値を容易に設定す
ることができ、前記チップ型圧電部品の小型化を図るこ
とができると共に、リップルの発生を防止することがで
き、安定した発振周波数で発振が可能なチップ型圧電部
品を提供することができる。
ては、前記圧電共振子が保護ケースに収納、固定された
チップ型圧電部品において、前記チップ型圧電部品の幅
をW(mm)、前記チップ型圧電部品の長さをL(m
m)、前記チップ型圧電部品の厚さをT(mm)とした
場合、これらの値が 0.8≦T、2.19≦W、2.96≦L で示される範囲に設定されているので、前記圧電共振子
を収納するケースを最小にできる最適値を容易に設定す
ることができ、前記チップ型圧電部品の小型化を図るこ
とができると共に、リップルの発生を防止することがで
き、安定した発振周波数で発振が可能なチップ型圧電部
品を提供することができる。
【図1】(a)は本発明の実施例に係る圧電共振子を模
式的に示した平面図であり、(b)はその側面図であ
る。
式的に示した平面図であり、(b)はその側面図であ
る。
【図2】(a)は実施例に係る圧電共振子の厚さと幅と
に関する適切な範囲を示したグラフであり、(b)は前
記圧電共振子の厚さと長さとに関する適切な範囲を示し
たグラフである。
に関する適切な範囲を示したグラフであり、(b)は前
記圧電共振子の厚さと長さとに関する適切な範囲を示し
たグラフである。
【図3】(a)は実施例に係るチップ型圧電部品を模式
的に示した平面図であり、(b)はその縦断面図であ
る。
的に示した平面図であり、(b)はその縦断面図であ
る。
【図4】(a)は実施例に係るチップ型圧電部品を概略
的に示した断面図であり、(b)はその縦断面図であ
る。
的に示した断面図であり、(b)はその縦断面図であ
る。
【図5】実施例2に係るチップ型圧電部品の振動周波数
とインピーダンスとの関係を示したグラフである。
とインピーダンスとの関係を示したグラフである。
【図6】比較例4に係るチップ型圧電部品の振動周波数
とインピーダンスとの関係を示したグラフである。
とインピーダンスとの関係を示したグラフである。
【図7】比較例6に係るチップ型圧電部品の振動周波数
とインピーダンスとの関係を示したグラフである。
とインピーダンスとの関係を示したグラフである。
【図8】(a)はレゾネータとして使用される樹脂モー
ルドタイプの圧電部品を模式的に示した一部切欠き正面
図であり、(b)は(a)に示した圧電部品のb−b線
断面図である。
ルドタイプの圧電部品を模式的に示した一部切欠き正面
図であり、(b)は(a)に示した圧電部品のb−b線
断面図である。
【図9】円筒型構造を有するチップ型圧電部品を模式的
に示した断面図である。
に示した断面図である。
【図10】(a)は従来のケース型構造を有するチップ
型圧電部品を模式的に示した平面図であり、(b)はそ
の縦断面図である。
型圧電部品を模式的に示した平面図であり、(b)はそ
の縦断面図である。
10 圧電共振子 11 圧電基板 12a、12b 振動電極 21 絶縁基板 22 保護キャップ
Claims (2)
- 【請求項1】 圧電基板の両面の中央部に互いに対向す
るように帯状の振動電極が形成され、厚み滑り振動モー
ドを利用した圧電共振子において、前記圧電共振子の厚
さをt(mm)、前記圧電共振子の幅をw(mm)、前
記圧電共振子の長さをn(mm)及び前記振動電極の長
さをk(mm)とした場合、これらの値が、 0.12≦t≦1.25、0.6≦k、1.6≦w/t
≦5.2、 8.0≦n/t≦42 で示される範囲に設定されていることを特徴とする圧電
共振子。 - 【請求項2】 請求項1記載の圧電共振子が保護ケース
に収納、固定されたチップ型圧電部品において、前記チ
ップ型圧電部品の幅をW(mm)、前記チップ型圧電部
品の長さをL(mm)、前記チップ型圧電部品の厚さを
T(mm)とした場合、これらの値が 0.8≦T、2.19≦W、2.96≦L で示される範囲に設定されていることを特徴とするチッ
プ型圧電部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1656194A JPH07226647A (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | 圧電共振子及びそれを用いたチップ型圧電部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1656194A JPH07226647A (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | 圧電共振子及びそれを用いたチップ型圧電部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07226647A true JPH07226647A (ja) | 1995-08-22 |
Family
ID=11919702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1656194A Pending JPH07226647A (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | 圧電共振子及びそれを用いたチップ型圧電部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07226647A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5942836A (en) * | 1997-01-10 | 1999-08-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Energy-trapping thickness-shear resonator and electronic components using the same |
| US6967432B2 (en) | 2001-12-04 | 2005-11-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric shear resonator, composite piezoelectric shear resonator, and piezoelectric resonator component |
| JP2008011295A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子及び圧電振動装置 |
| JP2011066650A (ja) * | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電デバイス |
| JP2017098887A (ja) * | 2015-11-27 | 2017-06-01 | 京セラ株式会社 | 圧電部品 |
-
1994
- 1994-02-10 JP JP1656194A patent/JPH07226647A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5942836A (en) * | 1997-01-10 | 1999-08-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Energy-trapping thickness-shear resonator and electronic components using the same |
| DE19758033C2 (de) * | 1997-01-10 | 1999-10-14 | Murata Manufacturing Co | Piezoelektrischer Dickenscherungsresonator |
| US6967432B2 (en) | 2001-12-04 | 2005-11-22 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric shear resonator, composite piezoelectric shear resonator, and piezoelectric resonator component |
| JP2008011295A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子及び圧電振動装置 |
| JP2011066650A (ja) * | 2009-09-17 | 2011-03-31 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電デバイス |
| JP2017098887A (ja) * | 2015-11-27 | 2017-06-01 | 京セラ株式会社 | 圧電部品 |
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