JPH0722714A - レーザガス及び放電励起型ｃｏガスレーザ - Google Patents
レーザガス及び放電励起型ｃｏガスレーザInfo
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- JPH0722714A JPH0722714A JP16488393A JP16488393A JPH0722714A JP H0722714 A JPH0722714 A JP H0722714A JP 16488393 A JP16488393 A JP 16488393A JP 16488393 A JP16488393 A JP 16488393A JP H0722714 A JPH0722714 A JP H0722714A
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザガス及び放電励起型ＣＯガスレーザに
係るもので、室温雰囲気で高出力のレーザ発振を行な
い、レーザガスの組成、放電及びレーザ出力を安定化さ
せるとともに、電極等への炭素の付着を防止する。 【構成】 放電励起型レーザにあって、レーザガス流路
を挿通するレーザガス中に、モル分率でＣＯ量の２５％
よりも少量のＣＯ2 を付加し、ＣＯ2 濃度を平衡状態に
して安定化を図る。
係るもので、室温雰囲気で高出力のレーザ発振を行な
い、レーザガスの組成、放電及びレーザ出力を安定化さ
せるとともに、電極等への炭素の付着を防止する。 【構成】 放電励起型レーザにあって、レーザガス流路
を挿通するレーザガス中に、モル分率でＣＯ量の２５％
よりも少量のＣＯ2 を付加し、ＣＯ2 濃度を平衡状態に
して安定化を図る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザガス及び放電励
起型ＣＯガスレーザに係り、特に、放電部におけるレー
ザガスの組成及び放電を安定化して、一定なレーザ出力
を得るとともに、電極等への炭素の付着を防止する技術
に関するものである。
起型ＣＯガスレーザに係り、特に、放電部におけるレー
ザガスの組成及び放電を安定化して、一定なレーザ出力
を得るとともに、電極等への炭素の付着を防止する技術
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】放電励起型ＣＯガスレーザにあっては、
Ｈｅ、Ｎ2 、Ｏ2 及びＣＯを主組成とするレーザガスを
亜音速で循環または超音速膨張させて、放電部における
自己持続放電によって、レーザガスを励起してレーザの
連続発振を行なうようにしている。
Ｈｅ、Ｎ2 、Ｏ2 及びＣＯを主組成とするレーザガスを
亜音速で循環または超音速膨張させて、放電部における
自己持続放電によって、レーザガスを励起してレーザの
連続発振を行なうようにしている。
【０００３】ＣＯガスレーザとしては、例えば特公平
１−３３９５６号公報、実開平３−４３７５５号公
報、実開平３−５６１６５号公報、文献：Ｓ．Ｋｒ
ａｕｓａｎｄ Ｆ．Ｍａｉｓｅｎｈａｅｌｄｅｒ，Ａｐ
ｐｌ．Ｐｈｙｓｉｃｓ，ｖｏｌ．２２ ４２１（１９８
０）、特公平４−５８７１７号公報が提案されてい
る。
１−３３９５６号公報、実開平３−４３７５５号公
報、実開平３−５６１６５号公報、文献：Ｓ．Ｋｒ
ａｕｓａｎｄ Ｆ．Ｍａｉｓｅｎｈａｅｌｄｅｒ，Ａｐ
ｐｌ．Ｐｈｙｓｉｃｓ，ｖｏｌ．２２ ４２１（１９８
０）、特公平４−５８７１７号公報が提案されてい
る。
【０００４】また、ＣＯガスレーザは、励起機構上、低
温で作動させる方が高効率を得やすくなるものの、取り
扱い性の点で、冷却手段の簡素化を図ることや、例えば
室温に近い温度で作動させることが望ましい。
温で作動させる方が高効率を得やすくなるものの、取り
扱い性の点で、冷却手段の簡素化を図ることや、例えば
室温に近い温度で作動させることが望ましい。
【０００５】冷却手段に関して、の文献の開示技術で
は、レーザガスを超音速膨張させて冷却する方法を採用
しており、室温レーザ発振に関して、の公報の開示技
術では、ＣＯガスの濃度をＮ2 ガスの濃度に対して６倍
以上とする方法、の公報の開示技術では、Ｏ2 ガスを
付加してＣＯ2 を除去する方法、の公報の開示技術で
は、酸素濃度をＣＯ濃度の７〜２５％とする方法、の
公報の開示技術では、Ｘｅを添加する方法等が採用され
ている。
は、レーザガスを超音速膨張させて冷却する方法を採用
しており、室温レーザ発振に関して、の公報の開示技
術では、ＣＯガスの濃度をＮ2 ガスの濃度に対して６倍
以上とする方法、の公報の開示技術では、Ｏ2 ガスを
付加してＣＯ2 を除去する方法、の公報の開示技術で
は、酸素濃度をＣＯ濃度の７〜２５％とする方法、の
公報の開示技術では、Ｘｅを添加する方法等が採用され
ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの技術
では、室温に近い温度で大きなレーザ出力を得る点や、
安定したレーザ発振を行なわせる点で改良の余地が残さ
れている。つまり、超音速膨張やその他の冷却手段は、
いずれも大掛かりでかつ取り扱い性が悪くなる傾向があ
り、ＣＯガスの濃度、Ｏ2 ガスの濃度を制御する方法で
は、レーザガスの品質維持に難点があり、そして、Ｘｅ
を添加する方法では、Ｘｅが希ガスであるために高価と
なり、運転コストの面から実用性が損われる。なお、Ｘ
ｅ以外に例えばＨｇを添加する場合には、Ｈｇが液体で
あるために、レーザガス中への封入が技術的に困難であ
り、Ｈｇが共振器や放電電極に付着する問題が生じ、実
用性が損われ易い。
では、室温に近い温度で大きなレーザ出力を得る点や、
安定したレーザ発振を行なわせる点で改良の余地が残さ
れている。つまり、超音速膨張やその他の冷却手段は、
いずれも大掛かりでかつ取り扱い性が悪くなる傾向があ
り、ＣＯガスの濃度、Ｏ2 ガスの濃度を制御する方法で
は、レーザガスの品質維持に難点があり、そして、Ｘｅ
を添加する方法では、Ｘｅが希ガスであるために高価と
なり、運転コストの面から実用性が損われる。なお、Ｘ
ｅ以外に例えばＨｇを添加する場合には、Ｈｇが液体で
あるために、レーザガス中への封入が技術的に困難であ
り、Ｈｇが共振器や放電電極に付着する問題が生じ、実
用性が損われ易い。
【０００７】本発明は、これらの事情に鑑がみてなされ
たもので、室温程度の温度雰囲気で高出力のレーザ発振
を行なうこと、レーザガスの組成、放電及びレーザ出力
の安定化を図ること、電極等への炭素の付着を防止する
ことを目的としている。
たもので、室温程度の温度雰囲気で高出力のレーザ発振
を行なうこと、レーザガスの組成、放電及びレーザ出力
の安定化を図ること、電極等への炭素の付着を防止する
ことを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】これらの課題を解決する
ために以下の提案をしている。第１の発明に係る放電励
起型ＣＯガスレーザ用レーザガスにあっては、Ｈｅ、Ｎ
2 及びＣＯに、モル分率でＣＯ量の２５％よりも少量の
ＣＯ2 を付加してなるものとしている。第２の発明に係
る放電励起型ＣＯガスレーザにあっては、レーザガスを
挿通させるレーザガス流路に対して交差状態にレーザ管
が配され、レーザガス流路及びレーザ管の交差箇所に放
電部が配されるとともに、レーザガスが、Ｈｅ、Ｎ2 及
びＣＯに、モル分率でＣＯ量の２５％よりも少量のＣＯ
2 を付加してなる構成を採用している。第３の発明に係
る放電励起型ＣＯガスレーザにあっては、第１の発明及
び第２の発明に、レーザガスが、Ｏ2 を含む構成を付加
している。
ために以下の提案をしている。第１の発明に係る放電励
起型ＣＯガスレーザ用レーザガスにあっては、Ｈｅ、Ｎ
2 及びＣＯに、モル分率でＣＯ量の２５％よりも少量の
ＣＯ2 を付加してなるものとしている。第２の発明に係
る放電励起型ＣＯガスレーザにあっては、レーザガスを
挿通させるレーザガス流路に対して交差状態にレーザ管
が配され、レーザガス流路及びレーザ管の交差箇所に放
電部が配されるとともに、レーザガスが、Ｈｅ、Ｎ2 及
びＣＯに、モル分率でＣＯ量の２５％よりも少量のＣＯ
2 を付加してなる構成を採用している。第３の発明に係
る放電励起型ＣＯガスレーザにあっては、第１の発明及
び第２の発明に、レーザガスが、Ｏ2 を含む構成を付加
している。
【０００９】
【作用】放電励起型ＣＯガスレーザにおいて、Ｈｅ、Ｎ
2 及びＣＯを主組成とするレーザガス中で放電励起を行
なうと、次の反応が生じる。 ２ＣＯ→ＣＯ2 ＋Ｃ …………（１） ２ＣＯ＋Ｏ2 →２ＣＯ2 …………（２） この反応が主な原因となってＣＯ2 分子が生成される
と、ＣＯ2 分子が励起状態にあるＣＯ分子と衝突するこ
とにより、レーザ発振に必要なエネルギを奪ってしまう
ために、レーザ出力が低下する傾向を示す。Ｏ2 を添加
していないレーザガスでは、（１）の反応が支配的とな
り、ＣＯ2分子がＣＯ分子のエネルギを奪うだけでな
く、生成された炭素が放電部の放電電極に付着して、放
電の不安定性を誘発したり、共振器を構成する光学部品
に付着してレーザ出力を著しく低下させる原因となる。
適当量のＯ2 を添加した場合には、（２）の反応が支配
的となり、生成されたＣＯ2 分子が励起状態にあるＣＯ
分子と衝突してエネルギを奪うため、レーザ発振を妨げ
る主要因となる。一方、モル分率でＣＯ量の２５％より
も少量のＣＯ2 を付加することによって、ＣＯ2 濃度が
一定領域に保持されていると、ＣＯ2 の生成反応が飽和
状態となるとともに、レーザ出力が一定となる。この現
象は、次のような逆反応を考慮することで説明できる。 ２ＣＯ2 →２ＣＯ＋Ｏ2 …………（３） このとき、放電部では、放電によってＣＯ2 分子がＣＯ
分子とＣＯ2 分子とに解離する反応も同時におきるた
め、反応（１）、（２）と（３）が平衡に達すれば、放
電部での組成変化は一定となり、レーザ出力が安定す
る。したがって、予め組成の平衡時の濃度に近いＣＯ2
を添加しておくと、ＣＯ、Ｏ2 の減少及びＣＯ2 の過剰
な生成を抑制して、レーザ出力の安定化を図ることがで
きる。
2 及びＣＯを主組成とするレーザガス中で放電励起を行
なうと、次の反応が生じる。 ２ＣＯ→ＣＯ2 ＋Ｃ …………（１） ２ＣＯ＋Ｏ2 →２ＣＯ2 …………（２） この反応が主な原因となってＣＯ2 分子が生成される
と、ＣＯ2 分子が励起状態にあるＣＯ分子と衝突するこ
とにより、レーザ発振に必要なエネルギを奪ってしまう
ために、レーザ出力が低下する傾向を示す。Ｏ2 を添加
していないレーザガスでは、（１）の反応が支配的とな
り、ＣＯ2分子がＣＯ分子のエネルギを奪うだけでな
く、生成された炭素が放電部の放電電極に付着して、放
電の不安定性を誘発したり、共振器を構成する光学部品
に付着してレーザ出力を著しく低下させる原因となる。
適当量のＯ2 を添加した場合には、（２）の反応が支配
的となり、生成されたＣＯ2 分子が励起状態にあるＣＯ
分子と衝突してエネルギを奪うため、レーザ発振を妨げ
る主要因となる。一方、モル分率でＣＯ量の２５％より
も少量のＣＯ2 を付加することによって、ＣＯ2 濃度が
一定領域に保持されていると、ＣＯ2 の生成反応が飽和
状態となるとともに、レーザ出力が一定となる。この現
象は、次のような逆反応を考慮することで説明できる。 ２ＣＯ2 →２ＣＯ＋Ｏ2 …………（３） このとき、放電部では、放電によってＣＯ2 分子がＣＯ
分子とＣＯ2 分子とに解離する反応も同時におきるた
め、反応（１）、（２）と（３）が平衡に達すれば、放
電部での組成変化は一定となり、レーザ出力が安定す
る。したがって、予め組成の平衡時の濃度に近いＣＯ2
を添加しておくと、ＣＯ、Ｏ2 の減少及びＣＯ2 の過剰
な生成を抑制して、レーザ出力の安定化を図ることがで
きる。
【００１０】
【実施例】以下、レーザガスとこのレーザガスを使用し
た放電励起型ＣＯガスレーザの例について、図１ないし
図３に基づき説明する。なお、図３に示す放電励起型Ｃ
Ｏガスレーザにおいて、符号１はレーザガス流路（ガス
ダクト）、２はレーザ管、３は放電部、４Ａ，４Ｂは放
電用電極、５は電源部、６はガス供給源、７はガス排気
系、８は送風機、９Ａ，９Ｂは熱交換器、Ｇはレーザガ
スである。
た放電励起型ＣＯガスレーザの例について、図１ないし
図３に基づき説明する。なお、図３に示す放電励起型Ｃ
Ｏガスレーザにおいて、符号１はレーザガス流路（ガス
ダクト）、２はレーザ管、３は放電部、４Ａ，４Ｂは放
電用電極、５は電源部、６はガス供給源、７はガス排気
系、８は送風機、９Ａ，９Ｂは熱交換器、Ｇはレーザガ
スである。
【００１１】図３例の放電励起型ＣＯガスレーザにあっ
ては、後述する所要組成のレーザガスＧを挿通させる閉
ループ状態のレーザガス流路１に対してレーザ管２が交
差状態に配され、これらレーザガス流路１とレーザ管２
との交差箇所に放電部３の放電用電極４Ａ，４Ｂが配さ
れ、該放電用電極４Ａ，４Ｂに放電を生じさせるための
電源部５が接続され、さらに、レーザガス流路１には、
レーザガスＧを供給するためのガス供給源６と、不要ガ
スを排出するためのガス排気系７と、レーザガスＧを駆
動して矢印で示すように循環させるための送風機８と、
循環するレーザガスの冷却を行なうための熱交換器９
Ａ，９Ｂとが配される。
ては、後述する所要組成のレーザガスＧを挿通させる閉
ループ状態のレーザガス流路１に対してレーザ管２が交
差状態に配され、これらレーザガス流路１とレーザ管２
との交差箇所に放電部３の放電用電極４Ａ，４Ｂが配さ
れ、該放電用電極４Ａ，４Ｂに放電を生じさせるための
電源部５が接続され、さらに、レーザガス流路１には、
レーザガスＧを供給するためのガス供給源６と、不要ガ
スを排出するためのガス排気系７と、レーザガスＧを駆
動して矢印で示すように循環させるための送風機８と、
循環するレーザガスの冷却を行なうための熱交換器９
Ａ，９Ｂとが配される。
【００１２】前記レーザガスＧにあっては、運転開始前
等において、ガス排気系７の作動等によって真空引きし
て、レーザガス流路１の内部空気を排除し、残留空気の
組成を勘案して、所要組成となるように調整される。該
レーザガスＧは、例えばＨｅ：７８．３％，Ｎ2 ：１６
％，ＣＯ：５％，ＣＯ2 ：０．５％，Ｏ2 ：０．２％
（モル分率）の組成比に設定される。この場合にあっ
て、ＣＯ2 量は、ＣＯ量の２５％よりも少量となるよう
に設定される。
等において、ガス排気系７の作動等によって真空引きし
て、レーザガス流路１の内部空気を排除し、残留空気の
組成を勘案して、所要組成となるように調整される。該
レーザガスＧは、例えばＨｅ：７８．３％，Ｎ2 ：１６
％，ＣＯ：５％，ＣＯ2 ：０．５％，Ｏ2 ：０．２％
（モル分率）の組成比に設定される。この場合にあっ
て、ＣＯ2 量は、ＣＯ量の２５％よりも少量となるよう
に設定される。
【００１３】〔ＣＯガスレーザの室温発振実験例１〕図
１は、ＣＯガスレーザを発振させた場合の入力電力とレ
ーザ出力との時間変化を示すものである。ただし、レー
ザ発振条件を下記のように設定した。 ガス組成（Ｈｅ／Ｎ2 ／ＣＯ／ＣＯ2 ／Ｏ2 ）：78.8−
ｘ／16／5／ｘ／0.2 （モル分率） 動作ガス圧力：８０ｈＰａ ＣＯ2 濃度（ｘ）：０．２〜１．０％ 放電部入口温度：２９６Ｋ ここでは、放電開始時刻を０分としている。
１は、ＣＯガスレーザを発振させた場合の入力電力とレ
ーザ出力との時間変化を示すものである。ただし、レー
ザ発振条件を下記のように設定した。 ガス組成（Ｈｅ／Ｎ2 ／ＣＯ／ＣＯ2 ／Ｏ2 ）：78.8−
ｘ／16／5／ｘ／0.2 （モル分率） 動作ガス圧力：８０ｈＰａ ＣＯ2 濃度（ｘ）：０．２〜１．０％ 放電部入口温度：２９６Ｋ ここでは、放電開始時刻を０分としている。
【００１４】図１に示す実験結果において、 ａ） ＣＯ2 ＝０．３％（ＣＯ2 濃度が低い条件）で
は、放電開始とともにレーザ出力が徐々に減少するが、
３分程度で安定領域に入って以後一定出力となり、室温
条件で約１７５ワットの高出力が得られた。 ｂ） ＣＯ2 ＝０．５％（最適なＣＯ2 濃度条件）で
は、放電開始直後と２０分経過後とのレーザ出力の変化
がほとんどなく、出力が安定しており、室温条件で約１
７０ワットの高出力が得られた。 ｃ） ＣＯ2 ＝１．０％（ＣＯ2 濃度が高い条件）で
は、放電開始とともにレーザ出力が徐々に上昇するが、
３分程度で安定領域に入って以後一定出力となり、室温
条件で約１２５ワットの高出力が得られた。しかし、Ｃ
Ｏ2 濃度が高くなると、安定した領域での出力値が低く
なる傾向を示した。 ｄ） ＣＯ2 濃度とレーザ出力との関係より、ＣＯ2 ＝
０．５％の近傍に最適条件が存在する。
は、放電開始とともにレーザ出力が徐々に減少するが、
３分程度で安定領域に入って以後一定出力となり、室温
条件で約１７５ワットの高出力が得られた。 ｂ） ＣＯ2 ＝０．５％（最適なＣＯ2 濃度条件）で
は、放電開始直後と２０分経過後とのレーザ出力の変化
がほとんどなく、出力が安定しており、室温条件で約１
７０ワットの高出力が得られた。 ｃ） ＣＯ2 ＝１．０％（ＣＯ2 濃度が高い条件）で
は、放電開始とともにレーザ出力が徐々に上昇するが、
３分程度で安定領域に入って以後一定出力となり、室温
条件で約１２５ワットの高出力が得られた。しかし、Ｃ
Ｏ2 濃度が高くなると、安定した領域での出力値が低く
なる傾向を示した。 ｄ） ＣＯ2 濃度とレーザ出力との関係より、ＣＯ2 ＝
０．５％の近傍に最適条件が存在する。
【００１５】〔ＣＯガスレーザの室温発振実験例２〕図
２は、図１の実験と同一条件でＣＯ2 濃度の時間経過を
質量分析計により測定したものである。図２に示す実験
結果において、 ａ） ＣＯ2 ＝０．３％（ＣＯ2 濃度が低い条件）で
は、放電開始とともに、ＣＯ2 濃度が徐々に増加する
が、１分程度で飽和状態となり、以後安定領域となる。 ｂ） ＣＯ2 ＝０．５％（最適なＣＯ2 濃度条件）で
は、放電開始直後と２０分経過後のＣＯ2 濃度の変化が
なく、組成が安定状態になっている。 ｃ） ＣＯ2 ＝１．０％（ＣＯ2 濃度が高い条件）で
は、放電開始後にＣＯ2 濃度が徐々に減少し、３分程度
で飽和状態となる。 ｄ） 初期ＣＯ2 濃度が高い場合には、レーザガス組成
の安定領域におけるＣＯ2 濃度の絶対値が高くなり、初
期ＣＯ2 濃度によって、運転開始後のＣＯ2 濃度が左右
されるものの、いずれも短時間で安定領域に入る。
２は、図１の実験と同一条件でＣＯ2 濃度の時間経過を
質量分析計により測定したものである。図２に示す実験
結果において、 ａ） ＣＯ2 ＝０．３％（ＣＯ2 濃度が低い条件）で
は、放電開始とともに、ＣＯ2 濃度が徐々に増加する
が、１分程度で飽和状態となり、以後安定領域となる。 ｂ） ＣＯ2 ＝０．５％（最適なＣＯ2 濃度条件）で
は、放電開始直後と２０分経過後のＣＯ2 濃度の変化が
なく、組成が安定状態になっている。 ｃ） ＣＯ2 ＝１．０％（ＣＯ2 濃度が高い条件）で
は、放電開始後にＣＯ2 濃度が徐々に減少し、３分程度
で飽和状態となる。 ｄ） 初期ＣＯ2 濃度が高い場合には、レーザガス組成
の安定領域におけるＣＯ2 濃度の絶対値が高くなり、初
期ＣＯ2 濃度によって、運転開始後のＣＯ2 濃度が左右
されるものの、いずれも短時間で安定領域に入る。
【００１６】〔他の実施態様〕本発明にあっては、上述
した実施例に代えて、以下の技術を採用することができ
る。 組成の変化が平衡課程となっているため、ガス循環装
置を用いない封じ切り型のＣＯガスレーザに対して適用
すること。 Ｘｅガスを添加したレーザガスに対して適用するこ
と。
した実施例に代えて、以下の技術を採用することができ
る。 組成の変化が平衡課程となっているため、ガス循環装
置を用いない封じ切り型のＣＯガスレーザに対して適用
すること。 Ｘｅガスを添加したレーザガスに対して適用するこ
と。
【００１７】
【発明の効果】本発明に係るレーザガス及び放電励起型
ＣＯガスレーザによれば、以下のような効果を奏する。 （１） 放電励起型レーザにあって、ＣＯ量よりも少量
のＣＯ2 を付加したレーザガスを使用することにより、
放電励起時のＣやＣＯ2 の生成と、その逆反応であるＣ
ＯやＯ2 の生成とを平衡させた状態にして、室温雰囲気
での高出力のレーザ発振を行なうことができる。 （２） ＣＯ2 濃度の安定化によりＣの生成反応を抑制
し、電極等への炭素の付着による弊害の発生を低減する
ことができる。
ＣＯガスレーザによれば、以下のような効果を奏する。 （１） 放電励起型レーザにあって、ＣＯ量よりも少量
のＣＯ2 を付加したレーザガスを使用することにより、
放電励起時のＣやＣＯ2 の生成と、その逆反応であるＣ
ＯやＯ2 の生成とを平衡させた状態にして、室温雰囲気
での高出力のレーザ発振を行なうことができる。 （２） ＣＯ2 濃度の安定化によりＣの生成反応を抑制
し、電極等への炭素の付着による弊害の発生を低減する
ことができる。
【図１】本発明に係るレーザガスによるＣＯガスレーザ
発振時のレーザ出力と経過時間との関係曲線図である。
発振時のレーザ出力と経過時間との関係曲線図である。
【図２】本発明に係るレーザガスによるＣＯガスレーザ
発振時のＣＯ2 濃度と経過時間との関係曲線図である。
発振時のＣＯ2 濃度と経過時間との関係曲線図である。
【図３】本発明に係る放電励起型ＣＯガスレーザの一実
施例を示すブロック図を併記した正断面図である。
施例を示すブロック図を併記した正断面図である。
１ レーザガス流路（ガスダクト） ２ レーザ管 ３ 放電部 ４Ａ，４Ｂ 放電用電極 ５ 電源部 ６ ガス供給源 ７ ガス排気系 ８ 送風機 ９Ａ，９Ｂ 熱交換器 Ｇ レーザガス
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｈｅ、Ｎ2 及びＣＯに、モル分率でＣＯ
量の２５％よりも少量のＣＯ2 を付加してなる放電励起
型ＣＯガスレーザ用レーザガス。 - 【請求項２】 レーザガスを挿通させるレーザガス流路
に対して交差状態にレーザ管が配され、レーザガス流路
及びレーザ管の交差箇所に放電部が配される放電励起型
レーザであって、レーザガスが、Ｈｅ、Ｎ2 及びＣＯ
に、モル分率でＣＯ量の２５％よりも少量のＣＯ2 を付
加してなることを特徴とする放電励起型ＣＯガスレー
ザ。 - 【請求項３】 レーザガスが、Ｏ2 を含むことを特徴と
する請求項１または２記載の放電励起型ＣＯガスレー
ザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16488393A JPH0722714A (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | レーザガス及び放電励起型ｃｏガスレーザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16488393A JPH0722714A (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | レーザガス及び放電励起型ｃｏガスレーザ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0722714A true JPH0722714A (ja) | 1995-01-24 |
Family
ID=15801716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16488393A Withdrawn JPH0722714A (ja) | 1993-07-02 | 1993-07-02 | レーザガス及び放電励起型ｃｏガスレーザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0722714A (ja) |
-
1993
- 1993-07-02 JP JP16488393A patent/JPH0722714A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000905 |