JPS60115280A - 気体レ−ザ発振器 - Google Patents
気体レ−ザ発振器Info
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- JPS60115280A JPS60115280A JP22222683A JP22222683A JPS60115280A JP S60115280 A JPS60115280 A JP S60115280A JP 22222683 A JP22222683 A JP 22222683A JP 22222683 A JP22222683 A JP 22222683A JP S60115280 A JPS60115280 A JP S60115280A
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- laser
- straight pipe
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- Plasma & Fusion (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は気体レーザ発振器に関する。
気体レーザは気体放電によってプラズマをつくり、その
内部で各種の衝突を行って反転分布を達成するものであ
り、Ｃ０２レーザ発振器、Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器等が
その代表的なものである。
内部で各種の衝突を行って反転分布を達成するものであ
り、Ｃ０２レーザ発振器、Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器等が
その代表的なものである。
ＣＯ２レーザ発１ｉｉｓはＣ０２分子の振動と回転に基
づくエネルギ準位の藺の遷移を用い、波長１０．６μの
出力を得るレーザであり、ガス温度を下げれば下げるほ
ど反転分布と利得が増すので、普通はウォータ・ジャケ
ット等を用いて冷却水を流し冷却しつ一使用される。
づくエネルギ準位の藺の遷移を用い、波長１０．６μの
出力を得るレーザであり、ガス温度を下げれば下げるほ
ど反転分布と利得が増すので、普通はウォータ・ジャケ
ット等を用いて冷却水を流し冷却しつ一使用される。
更にＨｅを加えて、ＣＯ３−Ｎ２−ＨｅとするとＩｌｅ
の冷却作用によって、Ｃ０２ガスの態度上昇が防止され
るので能率がより向上する。
の冷却作用によって、Ｃ０２ガスの態度上昇が防止され
るので能率がより向上する。
然しながら、レーザ発振器は長時間にわたって高出力で
安定した出力を維持することが困難であると云うｌＩＲ
点があった。これはレーザ発１ｉｉｓのレーザ管内に供
給されたレーザガスの圧力、温度、組成、更には流面状
態等を長時間にねたリレーザ発振に適した一定の値に保
つことができないからである。
安定した出力を維持することが困難であると云うｌＩＲ
点があった。これはレーザ発１ｉｉｓのレーザ管内に供
給されたレーザガスの圧力、温度、組成、更には流面状
態等を長時間にねたリレーザ発振に適した一定の値に保
つことができないからである。
本発明は畝上の観点にたってなされたものであって、そ
の目的とするところは、長時間にわたり高い出力で安定
した発振を行なうことができるシンプルで、且つコンパ
クトな気体レーザ発振器を提供することにある。
の目的とするところは、長時間にわたり高い出力で安定
した発振を行なうことができるシンプルで、且つコンパ
クトな気体レーザ発振器を提供することにある。
而して、上記の目的は、ガス・フロ一式の直管の内部に
それぞれ陰極及び陽極の電極を設けると共に、上記直管
内部のガスを循環させ冷却装置にて冷却しつつレーザ発
振を行なう気体レーザ発振器に、上記レーザ発振器の発
振出力を検出する出力検出装置と、上記出力検出装置の
出力に基づい“ご上記直管の内部に給送するレーザガス
及び上記直管の内部から冷却装置に導くレーザガスの流
速又は流量を制御して、上記直管内部の圧力、温度、流
通状態、更には組成を常にレーザ発振に最適な一定値に
保つように制御する制御装置を設けることによって達成
される。
それぞれ陰極及び陽極の電極を設けると共に、上記直管
内部のガスを循環させ冷却装置にて冷却しつつレーザ発
振を行なう気体レーザ発振器に、上記レーザ発振器の発
振出力を検出する出力検出装置と、上記出力検出装置の
出力に基づい“ご上記直管の内部に給送するレーザガス
及び上記直管の内部から冷却装置に導くレーザガスの流
速又は流量を制御して、上記直管内部の圧力、温度、流
通状態、更には組成を常にレーザ発振に最適な一定値に
保つように制御する制御装置を設けることによって達成
される。
第１図は、本発明にがかるレーザ発振器の一実施例を示
す説明図、第２図は、他の実施例を示す説明図、第３図
は、更に他の実施例を示す説明図である。
す説明図、第２図は、他の実施例を示す説明図、第３図
は、更に他の実施例を示す説明図である。
第１図中、１は直管１ａとウォータ・ジャケット１ｂ等
から構成されるレーザ管、２及び３はリング状の陰極及
び陽極、４は上記ウォータ・シャケ・ノ）１ｂに冷却水
を供給する冷却水供給口、５は上記冷却水の排水口、６
は及び７は反射鏡、６ａは上記反射鏡６の中心に形成さ
れた孔、９及び１０は反射鏡６のａ整板、１１．１１は
調整ねじ、Ｉ２及び１３は反射鏡７の固定板、】４はＯ
リング、１５はＫＣＩ単結晶板で半透明な出力取出窓、
１６はＣ０２のガスが充填されたガスボンベ、１７はＮ
２のガスが充填されたガスボンベ、１ＢはＩｌｅのガス
が充填されたガスボンベ、１９．２０及び２１は減圧バ
ルブ、２２．２３及び２４はニードルバルブ、怒はガス
流量調整弁、２６はフローメータ、２７はガス導入管、
２８ガス吸入管、２９は熱交換器、３０は送気用ファン
、３１は排気用ファン、３２．３３はそのモータ、３４
は内部に触媒等が収容されているフィルタ、３５はレー
ザガス吸引用のファン、３６はフローメータ、３７はレ
ーザ発振器の出力の一部を反射してレーザ出力検出装置
３８に人力するハーフミラ−１３９は各２０−メータ２
６．３６及びレーザ出力検出装置３Ｂの出力に基づき予
め定められたプログラムに従ってガス流量調整弁２５及
びレーザガス吸引用のファン３５を制御して上記直管１
ａのレーザガスの圧力、温度、流通状態、更には組成を
所定の値に保つ制御装置である。
から構成されるレーザ管、２及び３はリング状の陰極及
び陽極、４は上記ウォータ・シャケ・ノ）１ｂに冷却水
を供給する冷却水供給口、５は上記冷却水の排水口、６
は及び７は反射鏡、６ａは上記反射鏡６の中心に形成さ
れた孔、９及び１０は反射鏡６のａ整板、１１．１１は
調整ねじ、Ｉ２及び１３は反射鏡７の固定板、】４はＯ
リング、１５はＫＣＩ単結晶板で半透明な出力取出窓、
１６はＣ０２のガスが充填されたガスボンベ、１７はＮ
２のガスが充填されたガスボンベ、１ＢはＩｌｅのガス
が充填されたガスボンベ、１９．２０及び２１は減圧バ
ルブ、２２．２３及び２４はニードルバルブ、怒はガス
流量調整弁、２６はフローメータ、２７はガス導入管、
２８ガス吸入管、２９は熱交換器、３０は送気用ファン
、３１は排気用ファン、３２．３３はそのモータ、３４
は内部に触媒等が収容されているフィルタ、３５はレー
ザガス吸引用のファン、３６はフローメータ、３７はレ
ーザ発振器の出力の一部を反射してレーザ出力検出装置
３８に人力するハーフミラ−１３９は各２０−メータ２
６．３６及びレーザ出力検出装置３Ｂの出力に基づき予
め定められたプログラムに従ってガス流量調整弁２５及
びレーザガス吸引用のファン３５を制御して上記直管１
ａのレーザガスの圧力、温度、流通状態、更には組成を
所定の値に保つ制御装置である。
而して、反射鏡６及び７は直管１ａの両端部に配置され
ており、上記反射＃１１６及び７は誘電多層膜を用いる
他、金を蒸着したものが多く使用される。
ており、上記反射＃１１６及び７は誘電多層膜を用いる
他、金を蒸着したものが多く使用される。
なお、上記直管１ａの両端部に取り付けられた２個の反
射鏡６及び７のうち反射鏡６は、動作状態に於ても外部
から調整が可能なように配置された内部ミラー形である
。
射鏡６及び７のうち反射鏡６は、動作状態に於ても外部
から調整が可能なように配置された内部ミラー形である
。
直管１ａのプラズマ部分は冷却を行なう為のウォータ・
ジャケット１ｂで覆われており、ウォータ・ジャケソ）
ｌｂには冷却水供給口４から冷却水が供給され、冷却水
排水口５から排出される。
ジャケット１ｂで覆われており、ウォータ・ジャケソ）
ｌｂには冷却水供給口４から冷却水が供給され、冷却水
排水口５から排出される。
また、直管１ａの内部には有効なプラズマガスを発生さ
せるに必要なリング状の陰極２及び陽極３が配置され、
更に片側には発振光を透過させる半透明な出力取出窓１
５が設けられている。
せるに必要なリング状の陰極２及び陽極３が配置され、
更に片側には発振光を透過させる半透明な出力取出窓１
５が設けられている。
而して、Ｃ０２、Ｎ２及びＨｅのガスは、夫々のガスボ
ンベ１６．１７及び１８から減圧バルブ１９．２０及び
２１で減圧された後、ニードルバルブ２２．２３及び２
４で各ガスの流量が調整され、必要に応じて投書ノられ
るガスミキサ及びガス溜めにおいて所定組成に混合され
、ガス流量調整弁２５及びフローメータ２６を通過して
直管ｌａ内に供給される。
ンベ１６．１７及び１８から減圧バルブ１９．２０及び
２１で減圧された後、ニードルバルブ２２．２３及び２
４で各ガスの流量が調整され、必要に応じて投書ノられ
るガスミキサ及びガス溜めにおいて所定組成に混合され
、ガス流量調整弁２５及びフローメータ２６を通過して
直管ｌａ内に供給される。
所定組成に混合された上記レーザガスが直管１８内に導
入されると、陰極２及び陽極３に図示されていない電源
回路から電圧が供給されてレーザ発振が開始される。
入されると、陰極２及び陽極３に図示されていない電源
回路から電圧が供給されてレーザ発振が開始される。
レーザ発振が開始すると、上記レーザ管ｌ内に導入され
たレーザガスは温度が上昇するとノ（に、その一部は、
放電中ＣＯと０２とに分解したり、またはＮ２が０２や
リーク流入０２と混合し“（ＮＯＸとなったり、更にま
た０２ガスも存在することになる。
たレーザガスは温度が上昇するとノ（に、その一部は、
放電中ＣＯと０２とに分解したり、またはＮ２が０２や
リーク流入０２と混合し“（ＮＯＸとなったり、更にま
た０２ガスも存在することになる。
而して、レーザ発振が開始すると同時にｉ％交換器２９
のモータ３２．３３が始動し、送気用ファン３０及び排
気用ファン３１が回動して熱交換器７が冷却作用を開始
すると共に、同時に吸引用のファン３５が回動し、上記
レーザ管１内に導入されたＣ０２ガス、ＣＯと０２とに
分解したガス又はＮ２が上記０２やリーク流入０２と結
合しＮＯｘとなったり、上記０２やリーク流入０２によ
り０２を含むようになったガス等が約５０〜１００ ｍ
／ ｓｅｃの速度で、且つ気圧が約３０〜５０Ｔｏｒ
ｒに保たれた状態でガス吸入管２８を介して上記熱交換
器２９に導かれ、熱交換器２９で充分に冷却された後、
上記ガスは触媒等が収容されたフィルタ３４に送られる
。
のモータ３２．３３が始動し、送気用ファン３０及び排
気用ファン３１が回動して熱交換器７が冷却作用を開始
すると共に、同時に吸引用のファン３５が回動し、上記
レーザ管１内に導入されたＣ０２ガス、ＣＯと０２とに
分解したガス又はＮ２が上記０２やリーク流入０２と結
合しＮＯｘとなったり、上記０２やリーク流入０２によ
り０２を含むようになったガス等が約５０〜１００ ｍ
／ ｓｅｃの速度で、且つ気圧が約３０〜５０Ｔｏｒ
ｒに保たれた状態でガス吸入管２８を介して上記熱交換
器２９に導かれ、熱交換器２９で充分に冷却された後、
上記ガスは触媒等が収容されたフィルタ３４に送られる
。
而して、上記ガスは触媒等が収容されたフィルタ３４を
通過することによって、強い酸化作用を受け上記ＣＯは
Ｃ０２に戻され、然る後、フローメータ３６で流量が検
出されたて、再び直管ｌａ内に戻される。
通過することによって、強い酸化作用を受け上記ＣＯは
Ｃ０２に戻され、然る後、フローメータ３６で流量が検
出されたて、再び直管ｌａ内に戻される。
而して、本発明にかかる気体レーザ発振器は、夫々のガ
スボンベ１６．１７及び１８内に圧入されたＣ０２、Ｎ
２及びＩｌｅのガスが、所定組成に混合された後、フロ
ーメータ２６で上記混合ガスの流量が検出されつつ直管
ｌａ内に供給され、一方、上記直管１ａから吸引され、
熱交換器２９及びフィルタ３４によって冷却及び酸化作
用を受けたレーザガスはフ１＋ −メータ３６で流量が
検出された後、直管１ａに戻され、上記両フローメータ
２６及び３６で検出された検出値は、制御装置３９に入
力される。
スボンベ１６．１７及び１８内に圧入されたＣ０２、Ｎ
２及びＩｌｅのガスが、所定組成に混合された後、フロ
ーメータ２６で上記混合ガスの流量が検出されつつ直管
ｌａ内に供給され、一方、上記直管１ａから吸引され、
熱交換器２９及びフィルタ３４によって冷却及び酸化作
用を受けたレーザガスはフ１＋ −メータ３６で流量が
検出された後、直管１ａに戻され、上記両フローメータ
２６及び３６で検出された検出値は、制御装置３９に入
力される。
また、レーザ管１から発振されたレーザ発振出力は、ハ
ーフミラ−３７によってその一部が取り出され、出力検
出装置３８で出力が検出された後、その検出値が制御装
置３９に入力される。
ーフミラ−３７によってその一部が取り出され、出力検
出装置３８で出力が検出された後、その検出値が制御装
置３９に入力される。
而して、制御装置３９は予め定められたプログラムに従
って、ガス流量調整弁５及びレーザガス吸引用のファン
３５を制御して、直管ｌａ内のレーザガスの圧力、温度
、流通状態、更には組成をそのレーザ発振に適した一定
の値に保つので、レーザ発振器を長時間にわたり高い出
力で安定し°Ｃ発１駁させることができるのである。
って、ガス流量調整弁５及びレーザガス吸引用のファン
３５を制御して、直管ｌａ内のレーザガスの圧力、温度
、流通状態、更には組成をそのレーザ発振に適した一定
の値に保つので、レーザ発振器を長時間にわたり高い出
力で安定し°Ｃ発１駁させることができるのである。
特に、本発明の如き制御を行なって、ｃｏ２−Ｎ２−Ｈ
ｅの混合ガスの全量が３５Ｔｏｒｒで８Ｏｆのものを噴
流供給量をＱ、ｉｆ／ｓｉｎとし、その直管内流量速度
を２０ ｍ ／ ｓｅｃに保ってレーザ発振を行なった
ところ、レーザ発振出力を２００Ｗで約２４分間連続放
電させることができた。なお、この時の全入力は２．６
にν八であった。
ｅの混合ガスの全量が３５Ｔｏｒｒで８Ｏｆのものを噴
流供給量をＱ、ｉｆ／ｓｉｎとし、その直管内流量速度
を２０ ｍ ／ ｓｅｃに保ってレーザ発振を行なった
ところ、レーザ発振出力を２００Ｗで約２４分間連続放
電させることができた。なお、この時の全入力は２．６
にν八であった。
これに対して、上記制御を行なうことなく、同一量のＣ
Ｏ□−Ｎ２ ｌｉｅの混合ガスを同一条件で供給し、２
００ Ｗで連続放電させるには？、８ ＫＶＡの入力々
・要で、連続発振時間がＡ以下であった。
Ｏ□−Ｎ２ ｌｉｅの混合ガスを同一条件で供給し、２
００ Ｗで連続放電させるには？、８ ＫＶＡの入力々
・要で、連続発振時間がＡ以下であった。
また、同一量のＣＯ２−Ｎ２−１１ｅの混合ガスの供給
量を０．１８４！ ／ ｍｉｎとし、その流通速度を７
０ ｍ ／ｓｅｃに保ってレーザ発振を行なったところ
、レーザ発振出力を４００Ｗで約１０分間連続放電させ
ることができた。なお、この時の全入力は４．８ ＫＶ
八であった。
量を０．１８４！ ／ ｍｉｎとし、その流通速度を７
０ ｍ ／ｓｅｃに保ってレーザ発振を行なったところ
、レーザ発振出力を４００Ｗで約１０分間連続放電させ
ることができた。なお、この時の全入力は４．８ ＫＶ
八であった。
これに対して、上記制御を行なうことなく、同一量のＣ
Ｏ２−Ｎ２− Ｈｅの混合ガスを同一条件で供給し、４
００Ｗで連続放電させるには９．２ ＫＶ＾の人力が必
要で、連続発振時間が２以下であった。
Ｏ２−Ｎ２− Ｈｅの混合ガスを同一条件で供給し、４
００Ｗで連続放電させるには９．２ ＫＶ＾の人力が必
要で、連続発振時間が２以下であった。
次に、第２図及び第３図について説明する。
第２図及び第３図中、第１図に付した番号と同一の番号
を付したものは同一の構成要素を示しており、４０．４
０はガス吸入管２日の内部の屈曲部に管路を閉塞するこ
とがないように取りイ・ｊけた触媒、４１．４１はガス
吸入管間の外周壁面の屈曲部に設けられた冷却用のフィ
ン、４２．４２は直管１ａに反射鏡６．７０反射面に向
かってレーザガスが噴射されるように設けられたガス供
給管である。
を付したものは同一の構成要素を示しており、４０．４
０はガス吸入管２日の内部の屈曲部に管路を閉塞するこ
とがないように取りイ・ｊけた触媒、４１．４１はガス
吸入管間の外周壁面の屈曲部に設けられた冷却用のフィ
ン、４２．４２は直管１ａに反射鏡６．７０反射面に向
かってレーザガスが噴射されるように設けられたガス供
給管である。
而して、第２図に示した装置は、制御装置３１）がガス
流ｉｉａ整弁２５及びレーザガス吸引用のファン３５の
制御を行ない、直管１ａ内のレーザガスの圧力をその加
工に適した一定の値に保たち、更に、ガス吸入管路の内
部の屈曲部分に管路を閉塞することが無いようにＦｅ、
Ｎｉ、 Ｃｒ、、Ｎｉのうちの少なくとも一種類以上
又は之等に希土類元素を添加したもの、又はＰｔ、 Ｐ
ｄ等の触媒４０．４０を取り付けると共に、その屈曲部
分の外周壁面には冷却用のツイン４１．４１を設けたも
のである。
流ｉｉａ整弁２５及びレーザガス吸引用のファン３５の
制御を行ない、直管１ａ内のレーザガスの圧力をその加
工に適した一定の値に保たち、更に、ガス吸入管路の内
部の屈曲部分に管路を閉塞することが無いようにＦｅ、
Ｎｉ、 Ｃｒ、、Ｎｉのうちの少なくとも一種類以上
又は之等に希土類元素を添加したもの、又はＰｔ、 Ｐ
ｄ等の触媒４０．４０を取り付けると共に、その屈曲部
分の外周壁面には冷却用のツイン４１．４１を設けたも
のである。
レーザ発振が開始するに伴って、直管ｌａ内のレーザガ
スの圧力はその加工に適した一定の値に保たれ、また、
放電中ＣＯと０２とに分解したり、またはＮ２が０２や
リーク流入０２と混合してＮ０Ｘとなったり、更にまた
０２ガスも存在するようになったレーザガスは、レーザ
管１から導き出され、ガス供給管路の内部に設けられた
触媒４０．４０部分に衝突することによって冷却される
と共に、ＣＯは強い酸化作用を受けてＣ０２に戻され、
熱交換器２９で充分に冷却された後、触媒等が収容され
たフィルタ３４でより完全なＣ０２に戻されるので、レ
ーザ発振をより効率的で且つ安定して行なうことができ
る。
スの圧力はその加工に適した一定の値に保たれ、また、
放電中ＣＯと０２とに分解したり、またはＮ２が０２や
リーク流入０２と混合してＮ０Ｘとなったり、更にまた
０２ガスも存在するようになったレーザガスは、レーザ
管１から導き出され、ガス供給管路の内部に設けられた
触媒４０．４０部分に衝突することによって冷却される
と共に、ＣＯは強い酸化作用を受けてＣ０２に戻され、
熱交換器２９で充分に冷却された後、触媒等が収容され
たフィルタ３４でより完全なＣ０２に戻されるので、レ
ーザ発振をより効率的で且つ安定して行なうことができ
る。
第３図に示した装置は、反射１１６．７の反射面にレー
ザガスを供給しフつレーザ発振を行なわせるように構成
したものである。
ザガスを供給しフつレーザ発振を行なわせるように構成
したものである。
而して、制御装置３９によってガス流ｉｉｇ整弁５及び
レーザガス吸引用のファン３５の制御が行なわれ、直管
ｌａ内のレーザガスの圧力がその加工に適した一定の値
に保たれると共に、レーザガスよって上記反射鏡６．７
の反射面の冷却と異物等のパージが行なわれるので、レ
ーザ発振器を長時間にわたり高い出力でより安定して発
振させることができるのである。
レーザガス吸引用のファン３５の制御が行なわれ、直管
ｌａ内のレーザガスの圧力がその加工に適した一定の値
に保たれると共に、レーザガスよって上記反射鏡６．７
の反射面の冷却と異物等のパージが行なわれるので、レ
ーザ発振器を長時間にわたり高い出力でより安定して発
振させることができるのである。
本発明は畝上の如く構成されるので、本発明にによると
きは、シンプルで且つコンパクトな構成にすることによ
り長時間にわたり高い出力で安定した発振を行なうこと
ができるものである。
きは、シンプルで且つコンパクトな構成にすることによ
り長時間にわたり高い出力で安定した発振を行なうこと
ができるものである。
なお、本発明は畝上の実施例に限定されるものではない
。即ち、例えば、本実施例に於てはＣＯ２レーザ発振器
としたが他の気体レーザ発振器であってもよい。また、
レーザ発振出力の一部をハーフミラ−３７によって取り
出し、その出力を出力検出装置３８に入力してレーザ発
振出力を検出するように構成したが、レーザ発振出力を
検出することができれば他の公知の方法及び装置が利用
できるものであり、その他フローメータの取り付は位置
、ガス流量調整弁及びレーザガス吸引用のファンの制御
の仕方、更にはレーザ管へ供給されるレーザガスを、フ
ローメータ３６からの循環ガスと、フローメータ２６か
らの新しい補給ガスとを予めミキサで混合、更にはガス
溜め等に溜めておいて供給する等本発明の目的のＩｉ１
囲内で自由に設計変更できるものであって、本発明はそ
れらの総てを包摂するものである。
。即ち、例えば、本実施例に於てはＣＯ２レーザ発振器
としたが他の気体レーザ発振器であってもよい。また、
レーザ発振出力の一部をハーフミラ−３７によって取り
出し、その出力を出力検出装置３８に入力してレーザ発
振出力を検出するように構成したが、レーザ発振出力を
検出することができれば他の公知の方法及び装置が利用
できるものであり、その他フローメータの取り付は位置
、ガス流量調整弁及びレーザガス吸引用のファンの制御
の仕方、更にはレーザ管へ供給されるレーザガスを、フ
ローメータ３６からの循環ガスと、フローメータ２６か
らの新しい補給ガスとを予めミキサで混合、更にはガス
溜め等に溜めておいて供給する等本発明の目的のＩｉ１
囲内で自由に設計変更できるものであって、本発明はそ
れらの総てを包摂するものである。
第１図は、本発明にかかるレーザ発振器の一実施例を示
す説明図、第２図は、他の実施例を示す説明図、第３図
は、更に他の実施例を示す説明図である。 １−−−−−−−−−−−・−−一−−−レーザ管１
ａ−−−−−−−一・・−−−一−−・−−−−一直管
１ ｂ−−−−−−−一・−・−・−−−−−一−−・
ウォータ・ジャケット２−ｍ−−−−−−・−−−−−
一一一一・−・陰極３−−−−−一−−−−−−−−−
−・陽極４−−−−−−−一−・−−一−−・−一−−
・−・冷却水供給口５−・−−−−一−−−−−−・−
−−一・−ご冷却水の排水口６．７−・−・−・−一−
−−・−−−−・反射鏡９．１０−−−−−−−−−一
・−−−−・調整板１５−−一・−・−−−−一−・−
−−一・・出力取出窓１６−−−−−−−−・−一一−
−−−−−・−Ｃ０２のガスが充填されたガ１７−−−
・−−一−・・−−−一−−−−−・−・Ｎ２のガスが
充填されたガ１Ｂ −−−−−−−一・−−−−−−−
−−−−一〜Ｈｅのガスが充填されたガス】９．２０
、２１−−−−−−−−・減圧パルプ２２、お、Ｕ・〜
・−−−−−・−ニードルバルブ２５・−・−−一一一
−−−−・−−−−−−−−−・ガス流量ａ ｇ１ｔｒ
２６．３６−・−・−・・−−−−一−−・−フローメ
ータ２７・−・−−一−・−・−・−−一−−−−・−
ガス導入管２８・−・−・−−−−−・−−−一−−・
−２８ガス吸入管２９・・−・−−−−−−−−・−・
−・−・熱交換器３０−・・−・−・−−−−・・−−
−−・−・−送気用ファン３１−−−−−−−−−−−
−−・・−・・−・−排気用ファン３２．３３−−−−
−・−・−−−一−−−−−モータ３４・−・−−−−
−一−−−・−−−−−−−−−−フィルタ３５・−・
−−−−・−・−・−−−−−−−・−レーザガス吸引
用のファン３７・−−−一−・−・−−一−−−・−・
−・・・ハーフミラ−３Ｂ −−−−一・−・−・−・
−一一−−−〜′−出力検出装置４０−−−−−一・−
・−−−−一−−−・・−・制御装置スボンベ スボンベ ボンベ 特許出願人 株式会社 井上ジャパックス研究
所代理人（７５２４）最上正太部
す説明図、第２図は、他の実施例を示す説明図、第３図
は、更に他の実施例を示す説明図である。 １−−−−−−−−−−−・−−一−−−レーザ管１
ａ−−−−−−−一・・−−−一−−・−−−−一直管
１ ｂ−−−−−−−一・−・−・−−−−−一−−・
ウォータ・ジャケット２−ｍ−−−−−−・−−−−−
一一一一・−・陰極３−−−−−一−−−−−−−−−
−・陽極４−−−−−−−一−・−−一−−・−一−−
・−・冷却水供給口５−・−−−−一−−−−−−・−
−−一・−ご冷却水の排水口６．７−・−・−・−一−
−−・−−−−・反射鏡９．１０−−−−−−−−−一
・−−−−・調整板１５−−一・−・−−−−一−・−
−−一・・出力取出窓１６−−−−−−−−・−一一−
−−−−−・−Ｃ０２のガスが充填されたガ１７−−−
・−−一−・・−−−一−−−−−・−・Ｎ２のガスが
充填されたガ１Ｂ −−−−−−−一・−−−−−−−
−−−−一〜Ｈｅのガスが充填されたガス】９．２０
、２１−−−−−−−−・減圧パルプ２２、お、Ｕ・〜
・−−−−−・−ニードルバルブ２５・−・−−一一一
−−−−・−−−−−−−−−・ガス流量ａ ｇ１ｔｒ
２６．３６−・−・−・・−−−−一−−・−フローメ
ータ２７・−・−−一−・−・−・−−一−−−−・−
ガス導入管２８・−・−・−−−−−・−−−一−−・
−２８ガス吸入管２９・・−・−−−−−−−−・−・
−・−・熱交換器３０−・・−・−・−−−−・・−−
−−・−・−送気用ファン３１−−−−−−−−−−−
−−・・−・・−・−排気用ファン３２．３３−−−−
−・−・−−−一−−−−−モータ３４・−・−−−−
−一−−−・−−−−−−−−−−フィルタ３５・−・
−−−−・−・−・−−−−−−−・−レーザガス吸引
用のファン３７・−−−一−・−・−−一−−−・−・
−・・・ハーフミラ−３Ｂ −−−−一・−・−・−・
−一一−−−〜′−出力検出装置４０−−−−−一・−
・−−−−一−−−・・−・制御装置スボンベ スボンベ ボンベ 特許出願人 株式会社 井上ジャパックス研究
所代理人（７５２４）最上正太部
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ガス・フロ一式の直管の内部にそれぞれ陰極及び陽極の
電極を設けると共に、上記直管内部のガスを循環させ冷
却装置にて冷却しつつレーザ発振を行なう気体レーザ発
振器に於て、 上記レーザ発振器の発振出力を検出する出力検出装置と
、上記出力検出装置の出力に基づいて上記直管の内部に
給送するレーザガス及び上記直管の内部から冷却装置に
導くレーザガスの流速又は流量を制御して、上記直管内
部のガスの状態を常にレーザ発振に最適な一定値に保つ
ように制御する制御装置を設けたことを特徴とする上記
気体レーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22222683A JPS60115280A (ja) | 1983-11-28 | 1983-11-28 | 気体レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22222683A JPS60115280A (ja) | 1983-11-28 | 1983-11-28 | 気体レ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60115280A true JPS60115280A (ja) | 1985-06-21 |
Family
ID=16779090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22222683A Pending JPS60115280A (ja) | 1983-11-28 | 1983-11-28 | 気体レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60115280A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62186579A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-14 | Amada Co Ltd | レ−ザ発振器のガス制御方法 |
| US4794613A (en) * | 1987-07-27 | 1988-12-27 | Prc Corporation | Laser fluid flow control apparatus and method |
| JPH01160070A (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-22 | Toshiba Corp | ガスレーザ発振器のレーザガスリフレッシュ装置 |
| US4956846A (en) * | 1987-07-07 | 1990-09-11 | Fanuc Ltd. | Gas laser device |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5267595A (en) * | 1975-12-02 | 1977-06-04 | Nec Corp | Laser output stabilizing device |
-
1983
- 1983-11-28 JP JP22222683A patent/JPS60115280A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5267595A (en) * | 1975-12-02 | 1977-06-04 | Nec Corp | Laser output stabilizing device |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62186579A (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-14 | Amada Co Ltd | レ−ザ発振器のガス制御方法 |
| US4956846A (en) * | 1987-07-07 | 1990-09-11 | Fanuc Ltd. | Gas laser device |
| US4794613A (en) * | 1987-07-27 | 1988-12-27 | Prc Corporation | Laser fluid flow control apparatus and method |
| WO1989001252A1 (en) * | 1987-07-27 | 1989-02-09 | Prc Corporation | Laser fluid flow control apparatus and method |
| EP0374164B1 (en) * | 1987-07-27 | 1994-10-19 | Prc Corporation | Laser gas flow control apparatus and method |
| JPH01160070A (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-22 | Toshiba Corp | ガスレーザ発振器のレーザガスリフレッシュ装置 |
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