JPH0722896A - 弾性表面波発生装置及びその組立方法 - Google Patents
弾性表面波発生装置及びその組立方法Info
- Publication number
- JPH0722896A JPH0722896A JP15936793A JP15936793A JPH0722896A JP H0722896 A JPH0722896 A JP H0722896A JP 15936793 A JP15936793 A JP 15936793A JP 15936793 A JP15936793 A JP 15936793A JP H0722896 A JPH0722896 A JP H0722896A
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- Japan
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- surface acoustic
- acoustic wave
- electrode
- circuit element
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- Pending
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 回路素子による機能回路を有している上、小
型、薄型にし、製品価格を大幅に低減する。 【構成】 パッケージ1内底部に凹部2を設け、この凹
部2に弾性表面波素子3を収容し、パッケージ1内底部
に回路素子4を配設し、パッケージ1内底部のパッケー
ジ電極5と回路素子4のパッケージ接続用電極6及び回
路素子4の弾性表面波素子接続用電極7と弾性表面波素
子3の電極8をそれぞれワイヤレスボンディングで接続
してなる。
型、薄型にし、製品価格を大幅に低減する。 【構成】 パッケージ1内底部に凹部2を設け、この凹
部2に弾性表面波素子3を収容し、パッケージ1内底部
に回路素子4を配設し、パッケージ1内底部のパッケー
ジ電極5と回路素子4のパッケージ接続用電極6及び回
路素子4の弾性表面波素子接続用電極7と弾性表面波素
子3の電極8をそれぞれワイヤレスボンディングで接続
してなる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、通信機器に用いられる
弾性表面波素子を収容した弾性表面波発生装置に関す
る。
弾性表面波素子を収容した弾性表面波発生装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】図2は従来装置の1例を示す斜視図、図
3は同じくその縦断面図である。この従来例はパッケー
ジ1内底部に弾性表面波素子3を収容して導電樹脂接着
剤11で固定し、パッケージ電極5と弾性表面波素子3
の電極8をAu(金)あるいは、Al(アルミニウム)
のワイヤー12によりボンディング接続し、金属キャッ
プ10で封止してなる構成になっている。
3は同じくその縦断面図である。この従来例はパッケー
ジ1内底部に弾性表面波素子3を収容して導電樹脂接着
剤11で固定し、パッケージ電極5と弾性表面波素子3
の電極8をAu(金)あるいは、Al(アルミニウム)
のワイヤー12によりボンディング接続し、金属キャッ
プ10で封止してなる構成になっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例にあっては、ワイヤーボンディング接続のためのワ
イヤー12のループ形状に制約がありワイヤーループ自
体の高さがパッケージ1の薄型化の障害になっている。
ワイヤーボンディング接続のワイヤー12とキャップ
10の機械的・電気的接続を防ぐためにワイヤー12と
キャップ10との間にクリアランス(隙間)が必要にな
り小型化への障害になっている。Auあるいは、Al
のワイヤー12によるワイヤーボンディング接続が製品
価格の低減の障害になっている。
例にあっては、ワイヤーボンディング接続のためのワ
イヤー12のループ形状に制約がありワイヤーループ自
体の高さがパッケージ1の薄型化の障害になっている。
ワイヤーボンディング接続のワイヤー12とキャップ
10の機械的・電気的接続を防ぐためにワイヤー12と
キャップ10との間にクリアランス(隙間)が必要にな
り小型化への障害になっている。Auあるいは、Al
のワイヤー12によるワイヤーボンディング接続が製品
価格の低減の障害になっている。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するためになされたものであって、小型で薄型の安価
な表面弾性波発生装置を提供しようとするものである。
即ち、本発明装置は、パッケージ1内底部に凹部2を設
け、この凹部2に弾性表面波素子3を収容し、パッケー
ジ1内底部に回路素子4を配設し、パッケージ1内底部
のパッケージ電極5と回路素子4のパッケージ接続用電
極6及び回路素子4の弾性表面波素子接続用電極7と弾
性表面波素子3の電極8をそれぞれワイヤレスボンディ
ングで接続してなる。又、本発明方法はパッケージ1内
底部に配設される回路素子4の弾性表面波素子接続用電
極7又はパッケージ1内部に設けた凹部2に収容される
弾性表面波素子3の電極8上に金属バンプ9を形成して
両者を接続し、弾性表面波素子3を接続した回路素子4
のパッケージ接続用電極6又はパッケージ1のパッケー
ジ電極5上に金属バンプ9を形成して両者を接続するこ
とを特徴とする。
決するためになされたものであって、小型で薄型の安価
な表面弾性波発生装置を提供しようとするものである。
即ち、本発明装置は、パッケージ1内底部に凹部2を設
け、この凹部2に弾性表面波素子3を収容し、パッケー
ジ1内底部に回路素子4を配設し、パッケージ1内底部
のパッケージ電極5と回路素子4のパッケージ接続用電
極6及び回路素子4の弾性表面波素子接続用電極7と弾
性表面波素子3の電極8をそれぞれワイヤレスボンディ
ングで接続してなる。又、本発明方法はパッケージ1内
底部に配設される回路素子4の弾性表面波素子接続用電
極7又はパッケージ1内部に設けた凹部2に収容される
弾性表面波素子3の電極8上に金属バンプ9を形成して
両者を接続し、弾性表面波素子3を接続した回路素子4
のパッケージ接続用電極6又はパッケージ1のパッケー
ジ電極5上に金属バンプ9を形成して両者を接続するこ
とを特徴とする。
【0005】
【作 用】このようにパッケージ1内底部に凹部2を設
けて弾性表面波素子3を収容したこと、パッケージ1内
底部の電極5と該底部に配設した回路素子4の電極6及
び回路素子4の電極7と弾性表面波素子3の電極8をそ
れぞれワイヤレスボンディングにより接続したことによ
り回路素子4による機能回路を有している上、小型、薄
型にすることができ、製品価格を大幅に低減することが
できることになる。
けて弾性表面波素子3を収容したこと、パッケージ1内
底部の電極5と該底部に配設した回路素子4の電極6及
び回路素子4の電極7と弾性表面波素子3の電極8をそ
れぞれワイヤレスボンディングにより接続したことによ
り回路素子4による機能回路を有している上、小型、薄
型にすることができ、製品価格を大幅に低減することが
できることになる。
【0006】
【実施例】図1は本発明実施例の1実施例の構成を示す
縦断面図で、1はパッケージ、10は金属キャップであ
る。パッケージ1内底部に凹部2が設けられ、この凹部
2に弾性表面波素子3が収容されており、パッケージ1
内底部には回路を形成したSiチップやICチップ等の
回路素子4が配置されている。パッケージ1内底部のパ
ッケージ電極5と回路素子4のパッケージ接続用電極6
及び回路素子4の弾性表面波素子接続用電極7と弾性表
面波素子3の電極8がそれぞれAu等のバンプ9を形成
してワイヤレスボンディングで接続されている。
縦断面図で、1はパッケージ、10は金属キャップであ
る。パッケージ1内底部に凹部2が設けられ、この凹部
2に弾性表面波素子3が収容されており、パッケージ1
内底部には回路を形成したSiチップやICチップ等の
回路素子4が配置されている。パッケージ1内底部のパ
ッケージ電極5と回路素子4のパッケージ接続用電極6
及び回路素子4の弾性表面波素子接続用電極7と弾性表
面波素子3の電極8がそれぞれAu等のバンプ9を形成
してワイヤレスボンディングで接続されている。
【0007】上記の構成において、本実施例の組立てに
ついて説明する。まず、回路素子4の弾性表面波素子接
続用電極7あるいは弾性表面波素子3の電極8上にAu
等のバンプ9を形成し、回路素子4と弾性表面波素子3
の接続を行い、弾性表面波素子3を接続した回路素子4
のパッケージ接続用電極6もしくは、パッケージ1のパ
ッケージ電極5上にAu等のバンプ9を形成し、回路素
子4とパッケージ1の接続を行う。しかる後、金属の薄
板でできたキャップ10をパッケージ1上部に載せ封止
を行い、組立てを終了する(但し、接続強度の関係上、
補強のためチップ周囲に樹脂を塗布したり、又は封止を
キャップではなく樹脂等でコートする場合もある)。回
路素子4と弾性表面波素子3の接続、回路素子4とパッ
ケージ1の接続工法は、超音波加熱圧着又は半田等の金
属溶融や接着剤(導電性樹脂)等の方法により行われ
る。このようにパッケージ1内底部に凹部2を設けて弾
性表面波素子3を収容したこと、パッケージ1内底部の
電極5と該底部に配設した回路素子4の電極6及び回路
素子4の電極7と弾性表面波素子3の電極8をそれぞれ
ワイヤレスボンディングにより接続したことにより回路
素子4による機能回路を有している上、小型、薄型にす
ることができ、製品価格を大幅に低減することができる
ことになる。
ついて説明する。まず、回路素子4の弾性表面波素子接
続用電極7あるいは弾性表面波素子3の電極8上にAu
等のバンプ9を形成し、回路素子4と弾性表面波素子3
の接続を行い、弾性表面波素子3を接続した回路素子4
のパッケージ接続用電極6もしくは、パッケージ1のパ
ッケージ電極5上にAu等のバンプ9を形成し、回路素
子4とパッケージ1の接続を行う。しかる後、金属の薄
板でできたキャップ10をパッケージ1上部に載せ封止
を行い、組立てを終了する(但し、接続強度の関係上、
補強のためチップ周囲に樹脂を塗布したり、又は封止を
キャップではなく樹脂等でコートする場合もある)。回
路素子4と弾性表面波素子3の接続、回路素子4とパッ
ケージ1の接続工法は、超音波加熱圧着又は半田等の金
属溶融や接着剤(導電性樹脂)等の方法により行われ
る。このようにパッケージ1内底部に凹部2を設けて弾
性表面波素子3を収容したこと、パッケージ1内底部の
電極5と該底部に配設した回路素子4の電極6及び回路
素子4の電極7と弾性表面波素子3の電極8をそれぞれ
ワイヤレスボンディングにより接続したことにより回路
素子4による機能回路を有している上、小型、薄型にす
ることができ、製品価格を大幅に低減することができる
ことになる。
【0008】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、パッケー
ジ1内底部に凹部2を設け、この凹部2に弾性表面波素
子3を収容し、パッケージ1内底部に回路素子4を配設
し、パッケージ1内底部のパッケージ電極5と回路素子
4のパッケージ接続用電極6及び回路素子4の弾性表面
波素子接続用電極7と弾性表面波素子3の電極8をそれ
ぞれワイヤレスボンディングで接続してなるので、パッ
ケージ1内底部の凹部2にパッケージ1内底部に凹部2
を設けて弾性表面波素子3を収容したこと、パッケージ
1内底部の電極5と該底部に配設した回路素子4の電極
6及び回路素子4の電極7と弾性表面波素子3の電極8
をそれぞれワイヤレスボンディングにより接続したこと
により回路素子4による機能回路を有している上、小
型、薄型にすることができ、製品価格を大幅に低減する
ことができる。
ジ1内底部に凹部2を設け、この凹部2に弾性表面波素
子3を収容し、パッケージ1内底部に回路素子4を配設
し、パッケージ1内底部のパッケージ電極5と回路素子
4のパッケージ接続用電極6及び回路素子4の弾性表面
波素子接続用電極7と弾性表面波素子3の電極8をそれ
ぞれワイヤレスボンディングで接続してなるので、パッ
ケージ1内底部の凹部2にパッケージ1内底部に凹部2
を設けて弾性表面波素子3を収容したこと、パッケージ
1内底部の電極5と該底部に配設した回路素子4の電極
6及び回路素子4の電極7と弾性表面波素子3の電極8
をそれぞれワイヤレスボンディングにより接続したこと
により回路素子4による機能回路を有している上、小
型、薄型にすることができ、製品価格を大幅に低減する
ことができる。
【図1】本発明装置の1実施例の構成を示す縦断面図で
ある。
ある。
【図2】従来装置の1例を示す斜視図である。
【図3】同じくその縦断面図である。
1 パッケージ 2 凹部 3 弾性表面波素子 4 回路素子 5 パッケージ電極 6 パッケージ接続用電極 7 弾性表面波素子接続用電極 8 電極
Claims (2)
- 【請求項1】 パッケージ(1)内底部に凹部(2)を
設け、この凹部(2)に弾性表面波素子(3)を収容
し、パッケージ(1)内底部に回路素子(4)を配設
し、パッケージ(1)内底部のパッケージ電極(5)と
回路素子(4)のパッケージ接続用電極(6)及び回路
素子(4)の弾性表面波素子接続用電極(7)と弾性表
面波素子(3)の電極(8)をそれぞれワイヤレスボン
ディングで接続してなる弾性表面波発生装置。 - 【請求項2】 パッケージ(1)内底部に配設される回
路素子(4)の弾性表面波素子接続用電極(7)又はパ
ッケージ(1)内部に設けた凹部(2)に収容される弾
性表面波素子(3)の電極(8)上に金属バンプ(9)
を形成して両者を接続し、弾性表面波素子(3)を接続
した回路素子(4)のパッケージ接続用電極(6)又は
パッケージ(1)のパッケージ電極(5)上に金属バン
プ(9)を形成して両者を接続することを特徴とする弾
性表面波発生装置の組立方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15936793A JPH0722896A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 弾性表面波発生装置及びその組立方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15936793A JPH0722896A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 弾性表面波発生装置及びその組立方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0722896A true JPH0722896A (ja) | 1995-01-24 |
Family
ID=15692293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15936793A Pending JPH0722896A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | 弾性表面波発生装置及びその組立方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0722896A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102892930A (zh) * | 2010-03-25 | 2013-01-23 | 三菱丽阳株式会社 | 阳极氧化处理装置、处理槽、压印用辊状模具的制造方法以及在表面具有多个凸部的物体的制造方法 |
| JP2019050478A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | 株式会社大真空 | Mems発振器 |
-
1993
- 1993-06-29 JP JP15936793A patent/JPH0722896A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102892930A (zh) * | 2010-03-25 | 2013-01-23 | 三菱丽阳株式会社 | 阳极氧化处理装置、处理槽、压印用辊状模具的制造方法以及在表面具有多个凸部的物体的制造方法 |
| CN102892930B (zh) * | 2010-03-25 | 2015-10-21 | 三菱丽阳株式会社 | 压印用辊状模具的制造方法 |
| JP2019050478A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | 株式会社大真空 | Mems発振器 |
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