JPH07231035A - 板体の支承部材およびそれを用いた板体支承用ホルダー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ガラス基板などの板体をホルダーに収容した
状態で純水などにより洗浄したのち洗浄槽から引き上げ
たときに、板体にしみや汚染を生じないように円滑に水
切れするように工夫した支承部材を提供すること、およ
びその支承部材を用いたホルダーを提供することを目的
とする。 【構成】 金属棒(1) がインサートとして内包されかつ
その金属棒(1) を軸芯としてその周りに樹脂成形体(2)
が射出成形により一体に形成された複合構造の棒状の支
承部材(3) である。また、この支承部材(3) の複数本を
フレーム(4) に懸架して箱型または箱枠に形成したホル
ダーである。上記の樹脂成形体(2) は、正面視で手前側
に突き出た突出部(a) と奥側に引っ込んだ溝部(b) とが
交互にそろばん珠状に連設した形状の本体部(21)の軸方
向下部に、下方にいくほど薄くなりかつ片端側または両
端側にいくほど広巾となるスカート部(22)を設けた形状
に形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ガラス基板などの板体
を互いに接触しないように支承するための板体の支承部
材、およびそれを用いた板体支承用ホルダーに関するも
のである。さらに詳しくは、板体をホルダーに収容した
状態で純水により洗浄したのち洗浄槽から引き上げたと
きに、板体にしみや汚染を生じないように円滑に水切れ
するように工夫した支承部材およびホルダーに関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示用ガラス基板やプラズマ表示体
用ガラス基板、ハイブリッドＩＣ用セラミックス基板、
サーマルヘッド用ガラス基板など各種の基板の製造工程
においては、基板を処理、洗浄、乾燥するために、各基
板を互いに接触しないようにカセット（またはホルダ
ー）に収容することが必要となる。

【０００３】この目的のカセットの一つとして、そろば
ん珠の形の外観を有する溝付き丸棒の複数本をフレーム
に架設した構造のカセットが提案されあるいは使用され
ている。この溝付き丸棒は、樹脂製や金属製の丸棒を切
削加工して溝を形成することにより作製されている。

【０００４】切削加工による丸棒の形成は、製造工程の
点でも加工精度の点でも改善の余地があるが、このうち
樹脂製の溝付き丸棒を用いたカセットは、そこに基板を
収容したままで洗浄やキュア操作を行うときに、溝付き
丸棒の加熱時の伸びが大きく、しかも非加熱時に元の長
さに戻らないため、溝付き丸棒の溝ピッチが変化した
り、カセットに歪みを生じたりし、その結果カセットに
対する基板の自動出入が困難になるという問題点があ
る。

【０００５】そこでこのような問題点を解消すべく、改
良した溝付き丸棒が提案されている。すなわち、本出願
人の出願にかかる特開平３−２７３６６４号公報には、
軸方向に貫通孔を有し、中間部には多数の周方向の溝を
有し、かつ両端側には係止用の溝を有する耐熱性樹脂製
の丸棒状成形体の貫通孔に、金属棒を内挿した複合構造
の丸棒につき開示がある。この溝付き丸棒を、その係止
用の溝にロックアングルの遊端側を係止した状態で、該
ロックアングルを介して金属製のフレームに締結してカ
セットを構成すれば、基板を収容した状態で加熱処理に
供しても、溝付き丸棒の溝ピッチが変化したり、カセッ
トに歪みを生じたりするおそれがない。

【０００６】上に述べた従来の溝付き丸棒や改良した溝
付き丸棒を用いたカセットは、正面および背面がそれぞ
れフレームで構成され、両側面が前記両フレーム間に架
設された溝付き丸棒で構成され、底面または底面側は適
当なストッパ手段により基板を受けとめ可能に構成さ
れ、天井面は基板出入のための開放面となっている。基
板は、前記両側面の溝付き丸棒の対応する溝間に出入、
収容される。このカセットは、基板を加工、処理、洗
浄、乾燥、あるいは場合によっては輸送、保管するため
に用いられる。カセットにセットされた基板は、処理装
置により１枚づつロードされて枚葉処理される場合と、
カセットごとロードされてバッチ処理される場合とがあ
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】一般に基板用カセット
（ホルダー）は、そこにガラス基板などの基板を収容し
た状態で、形成した配向膜のキュア、形成した透明電極
のキュアなどの処理が行われ、その前後には純水による
洗浄がなされる。

【０００８】ところが、上に述べた従来の溝付き丸棒や
改良した溝付き丸棒を用いたカセットにあっては、純水
による洗浄に際し、ガラス基板などの基板が斜め縦姿勢
となるように洗浄槽から引き上げたときに、そろばん珠
状の溝付き丸棒のそれぞれの珠の部分の下側に付着した
個々の水滴がしたたり落ちて基板に付着し、その結果乾
燥後の基板にしみができるというトラブルを生じること
を免かれなかった。

【０００９】そこで本発明者らは、そろばん珠状の溝付
き丸棒の下側の部分を個々の珠ではなく線状に連絡する
ことにより、付着水をその線状の部分に集めることを考
えたが、集めた付着水の滴下による基板の汚染は依然と
して解消されなかった。

【００１０】本発明は、このような背景下において、ガ
ラス基板などの板体をホルダーに収容した状態で純水な
どにより洗浄したのち洗浄槽から引き上げたときに、板
体にしみや汚染を生じないように円滑に水切れするよう
に工夫した支承部材を提供すること、およびその支承部
材を用いたホルダーを提供することを目的とするもので
ある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の板体の支承部材
は、金属棒(1) がインサートとして内包されかつ該金属
棒(1) を軸芯としてその周りに樹脂成形体(2) が射出成
形により一体に形成された複合構造の棒状の部材であっ
て、前記樹脂成形体(2) を、正面視で手前側に突き出た
突出部(a) と奥側に引っ込んだ溝部(b) とが交互にそろ
ばん珠状に連設した形状の本体部(21)の軸方向下部に、
下方にいくほど薄くなりかつ片端側または両端側にいく
ほど広巾となるスカート部(22)を設けた形状に形成した
ことを特徴とするものである。

【００１２】また本発明の板体支承用ホルダーは、上記
の支承部材(3) の複数本をフレーム(4) に懸架して箱型
または箱枠に形成し、これら支承部材(3) により板体を
支承するようにしたものである。

【００１３】以下本発明を詳細に説明する。

【００１４】本発明の板体の支承部材は、金属棒(1) が
インサートとして内包されかつ該金属棒(1) を軸芯とし
てその周りに樹脂成形体(2) が射出成形により一体に形
成された複合構造の棒状の部材からなる。

【００１５】金属棒(1) としては、ステンレススチール
などの耐蝕性を有する金属の棒体が用いられる。射出成
形により形成される樹脂成形体(2) の喰いつき性を向上
しかつ成形収縮を抑制するため、金属棒(1) の外周面は
平目や綾目などのローレット目に形成されていることが
特に望ましい。また平目のローレット目の場合には、と
ころどころ周方向に溝を設けることが好ましい。

【００１６】樹脂成形体(2) 形成用の樹脂としては、射
出成形性を有する樹脂、殊に、ポリエーテルエーテルケ
トン（ＰＥＥＫ）、パーフルオロアルコキシ置換ポリテ
トラフルオロエチレン（ＰＦＡ）、ポリフッ化ビニリデ
ン（ＰＶＤＦ）、エチレン−ビニルアルコール共重合体
（ＥＶＯＨ）、ポリケトン（ＰＫ）などが用いられ、そ
のほか、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリ
フェニレンサルファイド、ポリアリレート、ポリサルホ
ン、ポリアリルサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリ
ブチレンテレフタレート、ポリアセタール、ポリプロピ
レン、ＡＢＳ樹脂、ポリフェニレンオキサイドなどを用
いることもできる。いずれの樹脂を選択するかは、発塵
防止性、耐摩耗性、表面張力、耐熱性、耐薬品性、射出
成形性、低収縮性などの要求性能を考慮して決定する。

【００１７】そして本発明においては、上記の樹脂成形
体(2) を、正面視で手前側に突き出た突出部(a) と奥側
に引っ込んだ溝部(b) とが交互にそろばん珠状に連設し
た形状の本体部(21)の軸方向下部に、下方にいくほど薄
くなりかつ片端側または両端側にいくほど広巾となるス
カート部(22)を設けた形状に形成する。

【００１８】本体部(21)の正面視で手前側に突き出た突
出部(a) の形状は、四角錐状のダイヤカット形状を有し
ていることが特に望ましいが、それに準ずる形状をして
いても差し支えない。溝部(b) の数に特に限定はない
が、８個程度から３０個程度とすることが多い。

【００１９】樹脂成形体(2) の本体部(21)は、その背面
視においても、手前側に突き出た突出部(a')と奥側に引
っ込んだ溝部(b')とが交互にそろばん珠状に連設した形
状となすことが望ましい。というのは、このようにする
と、射出成形時の溶融樹脂の流れや冷却時の収縮のバラ
ンスがとれるので歪みのない精密な樹脂成形体(2) が得
られる上、その溝部(b')の側を溝部(b) と同様に板体の
支承用に用いたり、板体を下辺において個々に独立に支
えるストッパとして用いることができるからである。こ
の場合、本体部(21)の突出部(a) および溝部(b) の形状
と、突出部(a')および溝部(b')の形状とは、同一であっ
ても同一でなくてもよい。

【００２０】本体部(21)の軸方向下部に形成するスカー
ト部(22)は、先に述べたように、下方にいくほど薄くな
りかつ片端側または両端側にいくほど広巾となるように
する。下方にいくほど薄くしてあるスカート部(22)の断
面形状は、直線状に薄くした三角形であってもよいが、
下方にいくほど負のカーブを描いて薄くなるようにする
方が付着液の流れの点でさらに好ましくなる。スカート
部(22)を両端側にいくほど広巾となるようにしたとき
は、そのスカート部(22)の下辺は正面視で「ヘ」の字形
に両側に向けて直線的に傾斜させるのが通常である。た
だし樹脂成形体(2) の軸方向の長さが比較的短かいとき
は、両端側にいくほど負のカーブを描いて広巾となるよ
うにしてもよく、「／」形に片端側に向けて直線状に傾
斜させるようにしてもよい。

【００２１】本発明の板体支承用ホルダーは、上に述べ
た金属棒(1) と樹脂成形体(2) との複合構造を有する支
承部材(3) の複数本をフレーム(4) に懸架して、箱型ま
たは箱枠に形成したものである。

【００２２】板体は、通常、真直な縦姿勢でホルダーに
収容されてホルダーごと斜め縦姿勢で吊り上げるように
するか、あるいは斜め縦姿勢の状態でホルダーに収容さ
れて真直にホルダーを吊り上げるようにするが、その際
には、板体の少なくとも一方の側辺と下辺とが上記の支
承部材(3) の本体部(21)の溝部(b) または溝部(b')の部
分で支承される。

【００２３】フレーム(4) としては、細枠状や板状の金
属製のものを組み合わせて用いることが多い。フレーム
(4) が板状であるときは、その中央領域を適当な形状に
打ち抜いて軽量化を図ることが好ましい。この場合、打
ち抜き部には液溜まりを生じないように面取り加工を施
すことが好ましい。

【００２４】本発明の板体支承用ホルダーには、各種の
ガラス基板のほか、セラミックス基板、プラスチックス
基板、ウエハなどの板体が収容される。板体の形状は、
角形であっても円板形であってもよい。

【００２５】

【作用】本発明の板体の支承部材にあっては、金属棒
(1) がインサートとして内包されかつ該金属棒(1) を軸
芯としてその周りに樹脂成形体(2) が射出成形により一
体に形成されている。

【００２６】樹脂成形体(2) は複雑な三次元形状を有す
るが、射出成形で作られているので、一旦金型作れば常
に安定して精度の良い成形体を得ることができる。従っ
て、棒体を押出成形して切削加工する方法に比し、寸法
精度が格段にすぐれたものを安定してかつ極めて低コス
トで提供することができる。寸法精度がすぐれているこ
とは、板体の出入や持ち上げを自動化する上でも有利で
ある。

【００２７】また支承部材が金属棒(1) と樹脂成形体
(2) との複合構造でできているため、金属棒(1) により
必要な強度が得られる上、樹脂成形体(2) の温度変化に
よる伸縮が金属棒(1) により顕著に抑えられる。

【００２８】そして本発明の支承部材を用いたホルダー
にあっては、樹脂成形体(2) が独特の形状を有している
ので、板体の支持（板体の側辺支持のほか、支承部材を
横姿勢にして板体の底辺を支持するストッパとして用い
ることもできる）やワークの操作に適していることはも
とより、ガラス基板などの製造工程において頻繁になさ
れる洗浄工程に際しての付着水の流れ性が極めてすぐれ
たものとなっている。すなわち、支承部材の樹脂成形体
(2) に付着した洗浄水は、支承部材の本体部(21)の突出
部(a), (a') や溝部(b), (b') から円滑にスカート部(2
2)に移行すると共に、直ちにそのスカート部(22)の端側
に向けて移行し、さらにはスカート部(22)の端部からカ
セットのサイドのフレーム(4) に移行して、該フレーム
(4) の下端に向けて伝わり落ちる。このように本発明の
支承部材を用いれば、付着水が滴下することなくサイド
のフレーム(4) に伝わり落ちるので、ガラス基板などの
板体を汚染するおそれがない。

【００２９】

【実施例】次に実施例をあげて本発明をさらに説明す
る。

【００３０】実施例１支承部材(3) 図１は本発明の支承部材の一例を示した正面図、図２は
その平面図、図３はその背面図、図４はその側面図であ
る。図５は図２のＡ−Ａ拡大断面図、図６は図１のＢ部
の拡大図、図７は図２のＣ部の拡大図である。

【００３１】金属棒(1) の一例としての長さ２２０mmの
ＳＵＳ３０４製の金属棒（その外周面は平目のローレッ
ト目に加工してあり、またところどころ周方向に溝加工
を施してある）をインサートとして用いてポリエーテル
エーテルケトン（パーフルオロアルコキシ置換ポリテト
ラフルオロエチレンやポリフッ化ビニリデンでもよい）
を射出成形することにより、金属棒(1) がインサートと
して内包されかつ該金属棒(1) を軸芯としてその周りに
樹脂成形体(2) が射出成形により一体に形成された支承
部材(3) を得た。なお、金属棒(1) の両端側各９mmはフ
レーム(4) に懸架するために雄ネジ構造としてあり、こ
の雄ネジ構造の部分には樹脂成形体(2)を設けず裸とし
てある（逆に金属棒(1) の両端側を雌ネジ構造とするこ
ともできる）。

【００３２】樹脂成形体(2) の形状は、本体部(21)の軸
方向下部にスカート部(22)を設けた形状としてある。

【００３３】このうち本体部(21)は、正面視で手前側に
突き出た突出部(a) と奥側に引っ込んだ溝部(b) とが交
互にそろばん珠状に連設した形状を有している。突出部
(a)は四角錐状のダイヤカット形状に形成してある。溝
部(b) の数はこの実施例では１６個としてある。

【００３４】また樹脂成形体(2) の本体部(21)は、背面
視においても、手前側に突き出た突出部(a')と奥側に引
っ込んだ溝部(b')とが交互にそろばん珠状に連設した形
状となしてある。この突出部(a')も四角錐状のダイヤカ
ット形状に形成してあるが、図２のように、上述の突出
部(a) よりも山の高さを若干低くしてある。

【００３５】本体部(21)の軸方向下部に連設したスカー
ト部(22)は、下方にいくほど負のカーブを描いて薄くな
りかつ両端側にいくほど広巾となる形状としてある。

【００３６】上記の構造を有する支承部材(3) の寸法
（単位はmm）は、図中に記載してある。

【００３７】ホルダー 図８は本発明の支承部材を用いたホルダーの一例を示し
た吊り下げ状態の側面図、図９はそのホルダーの正面
図、図１０はそのホルダーの平面図である。

【００３８】上に述べた支承部材(3) の６本をフレーム
(4) に懸架して箱型または箱枠に形成し、ホルダーとな
した。この場合、支承部材(3) のうちの４本について
は、突出部(a) 側が内側に向きかつスカート部(22)が下
方に向くように、ホルダーの両側に各２本を配設した。
支承部材(3) のうちの残りの２本は、突出部(a')側が上
方に向きかつスカート部(22)が外側に向くように（この
ときスカート部(22)がわずかに斜め下方に向くようにす
ることが望ましい）、ホルダーの下部に配置した。

【００３９】図８〜１０中、(41), (41)はＳＵＳ３０４
製の側壁フレームであって、種々の大きさの板体に対応
できるように支承部材受け止め用の溝(41a) を設けてあ
り、また軽量化のため大小の打ち抜き部(41b) を設けて
ある。なお側壁フレーム(41), (41)の打ち抜き部(41b)
には、液溜まりを生じないように面取り加工を施してあ
る。(42), (42)は両側を折り曲げてコの字形にした補強
フレームであって、正面側に１枚、背面側に１枚をそれ
ぞれ異なる高さの部位に設けてある。この補強フレーム
(42), (42)は、板体(G) を収容した状態のホルダー全体
を吊り下げるときの支持プレートを兼ねている。図中、
一点鎖線で示した(5) は、ホルダー吊り下げ部材であ
る。

【００４０】上記構成を有するホルダーにガラス基板な
どの板体(G) を収容した状態で温純水による洗浄を行っ
てから洗浄槽より引き上げると、補強フレーム(42), (4
2)は側壁フレーム(41), (41)の異なる高さの部位に設け
てあるためホルダーは斜めに傾いた姿勢で吊り上げら
れ、従ってそのホルダーに収容されている板体(G) も斜
め縦姿勢で吊り上げられる。

【００４１】そして樹脂成形体(2) に付着した洗浄水
は、図１、図５および図９に白抜き矢印で示したよう
に、支承部材(3) の本体部(21)の突出部(a), (a') の四
角錐の頂点や溝部(b), (b') から四角錐のダイヤカット
の基部の下端へ移行し、ついでスカート部(22)に移行す
ると共に、直ちにそのスカート部(22)の両端側に流れ、
さらにはスカート部(22)の両端部からカセットのフレー
ム(4) の側壁フレーム(41)に移行して、該側壁フレーム
(41)の下端に向けて伝わり落ちる。

【００４２】

【発明の効果】作用の項でも述べたように、本発明の支
承部材における樹脂成形体(2) は複雑の三次元形状を有
するが、射出成形で作られているので、一旦金型作れば
常に安定して精度の良い成形体とすることができる。従
って、棒体を押出成形して切削加工する方法に比し、寸
法精度が格段にすぐれたものを安定してかつ極めて低コ
ストで提供することができる。寸法精度がすぐれている
ことは、板体の出入や持ち上げを自動化する上で有利で
ある。また金属棒(1) と樹脂成形体(2) との複合構造と
なっているので、金属棒(1) により必要な強度が得られ
る上、樹脂成形体(2) の温度変化による伸縮が金属棒
(1) により確実に抑えられる。

【００４３】そして本発明の支承部材を用いたホルダー
にあっては、樹脂成形体(2) が独特の形状を有している
ので、板体の支持やワークの操作に適していることはも
とより、ガラス基板などの製造工程において頻繁になさ
れる洗浄工程に際しての付着水の流れ性が極めてすぐれ
たものとなっている。すなわち本発明の支承部材を用い
れば、付着水が滴下することなく伝わり落ちるので、ガ
ラス基板などの板体を汚染するおそれがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の支承部材の一例を示した正面図であ
る。

【図２】図１の支承部材の平面図である。

【図３】図１の支承部材の背面図である。

【図４】図１の支承部材の側面図である。

【図５】図２のＡ−Ａ拡大断面図である。

【図６】図１のＢ部の拡大図である。

【図７】図２のＣ部の拡大図である。

【図８】本発明の支承部材を用いたホルダーの一例を示
した吊り下げ状態の側面図である。

【図９】図８のホルダーの正面図である。

【図１０】図８のホルダーの平面図である。

【符号の説明】

(1) …金属棒、 (2) …樹脂成形体、 (21)…本体部、 (a), (a') …突出部、(b), (b') …溝部、 (22)…スカート部、 (3) …支承部材、 (4) …フレーム、 (41)…側壁フレーム、 (41a) …溝、(41b) …打ち抜き部、 (42)…補強フレーム、 (5) …ホルダー吊り下げ部材、 (G) …板体

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】金属棒(1) がインサートとして内包されか
   つ該金属棒(1) を軸芯としてその周りに樹脂成形体(2)
   が射出成形により一体に形成された複合構造の棒状の部
   材であって、前記樹脂成形体(2) を、正面視で手前側に
   突き出た突出部(a) と奥側に引っ込んだ溝部(b) とが交
   互にそろばん珠状に連設した形状の本体部(21)の軸方向
   下部に、下方にいくほど薄くなりかつ片端側または両端
   側にいくほど広巾となるスカート部(22)を設けた形状に
   形成したことを特徴とする板体の支承部材。
2. 【請求項２】スカート部(22)が、下方にいくほど負のカ
   ーブを描いて薄くなりかつ両端側にいくほど広巾となる
   ように設けられている請求項１記載の支承部材。
3. 【請求項３】本体部(21)の正面視で手前側に突き出た突
   出部(a) が、四角錐状のダイヤカット形状を有している
   請求項１記載の支承部材。
4. 【請求項４】樹脂成形体(2) の本体部(21)を、背面視に
   おいても、手前側に突き出た突出部(a')と奥側に引っ込
   んだ溝部(b')とが交互にそろばん球状に連設した形状と
   なしたことを特徴とする請求項１記載の支承部材。
5. 【請求項５】金属棒(1) の外周面がローレット目に形成
   されている請求項１記載の支承部材。
6. 【請求項６】請求項１の支承部材(3) の複数本をフレー
   ム(4) に懸架して箱型または箱枠に形成し、これら支承
   部材(3) により板体を支承するようにした板体支承用ホ
   ルダー。