JPH0723272U - 半導体ウェハの目視検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】半導体ウェハのエッジ部に発生する割れやチッ
ピング等を目視により検査する際、その全周を確実に目
視することができると共に、容易且つ迅速に作業するこ
ができる半導体ウェハの目視検査装置を提供する。 【構成】載置台底板１３の両端に載置台側板１１及び１
２を立設してキャリア載置台１ａを形成する。キャリア
載置台１ａを囲んで略コの字状のローラ保持枠１ｂの両
開放端部をピンを介して上下動可能に連結する。キャリ
ア載置台１ａの略中央にローラ３をその軸線を載置台側
板１１及び１２と略直角にして配置する。キャリア載置
台１ａ上にローラ３を挟んで左右に平列して載置板９及
び１０を配置する。ローラ３及び載置板９及び１０はロ
ーラ３の軸線方向に任意の角度θをもって傾斜させて設
ける。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ウェハキャリアに収納された半導体ウェハのエッジ部を目視により 検査する際に使用される検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

半導体ウェハは単結晶インゴットの切断から始まり、種々の工程を経て製造さ れる。その際、各工程中に受ける衝撃等により半導体ウェハのエッジ部にカケや チッピングが生じることがあり、次工程での加工の無駄を省くためカケやチッピ ングが生じた不良品を取り除く必要がある。このため、目視によるエッジ部の検 査が行われている。 従来、この作業は複数の半導体ウェハを収納した状態のウェハキャリアを人手 により保持して動かし、その上方、側方及び下方から目視して行われている。 また、その際に目視し易くするためにオリフラ合わせ装置が使用されている。 これは、回動軸を半導体ウェハの下方からそのエッジ部に接触させて回転させ、 オリフラが下端に揃うと、ウェハが回動軸から離れて停止することによりオリフ ラを一定の位置に一括して揃えることができるというものである。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、従来の方法においては、人手によりウェハキャリアを保持して 動かすため、検査にかなりの時間と労力を費やすばかりでなく半導体ウェハがキ ャリア内で振動するため、傷を発生させるおそれがあった。また、オリフラ合わ せ装置は元来オリフラを一定の位置に一括して揃えるという目的のみに使用され ているものであり、一旦オリフラが揃った半導体ウェハを再び回転させることが できないため半導体ウェハの全周を確実に目視することは困難であるばかりでな く、ウェハキャリアが回動軸に対して垂直に接触保持される構造をしているため 、回動中のウェハに前後の振動が生じてしまい目視しづらく充分に検査できない おそれがあった。 本考案は上記問題点に鑑み、半導体ウェハを目視により検査する際、その全周 を確実に目視することができると共に、容易且つ迅速に作業することができる半 導体ウェハの目視検査装置を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

このため本考案では、ウェハキャリアを載置する載置部と、該載置部上に設け られ前記ウェハキャリアに収納された半導体ウェハを下方からそのエッジ部に接 触して回転させる回動軸とからなる半導体ウェハの目視検査装置において、前記 回動軸を軸方向に傾斜させると共に、前記半導体ウェハのオリフラとは接触しな い位置に設け、前記回動軸をその軸線と直交する方向に上下動可能に設けたこと より構成したものである。

【０００５】

【作用】

回動軸を軸方向に傾斜させて設けたので、ウェハキャリアに収納された半導体 ウェハがキャリア溝の壁面に係止された状態で回転するため半導体ウェハが前後 に振動することがない。

【０００６】 回動軸を半導体ウェハのオリフラとは接触しない位置に設けると共に、その軸 線と直交する方向に上下動可能に設けたので、半導体ウェハのオリフラを一旦一 括して揃えた後、回動軸を上動してオリフラに接触させることができる。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。 図１は本考案に係る半導体ウェハの目視検査装置の斜視図、図２は図１の正面 図、図３は図１の平面図、図４は図１の右側面図、図５は図２のＡ−Ａ断面図、 図６は図２のＢ−Ｂ断面図、図７は図２のＣ−Ｃ断面図、図８は図３のＤ−Ｄ断 面図、図９は図８の状態からハンドルを持ち上げた状態を示す図、図１０は図３ のＥ−Ｅ断面図である。

【０００８】 図１、図２、図３及び図４に示すように、本考案に係る半導体ウェハの目視検 査装置は、キャリア載置部１と支持台２から構成されている。 キャリア載置部１は、載置台底板１３の両端に載置台側板１１及び１２を立設 して形成されたキャリア載置台１ａにキャリア載置台１ａを囲んで設けられた略 コの字状のローラ保持枠１ｂの両開放端部がピン１５及び１６を介して連結され 上下動できるようにされている。

【０００９】 キャリア載置台１ａの略中央には、ローラ３がその軸線を載置台側板１１及び １２と略直角にして配置され、その一端に設けられたローラ固定軸３ａは載置台 側板１１に穿設された長孔１１ａを通過してローラ保持枠１ｂの保持枠側板４に 設けられた凹孔に嵌入されており、他端のローラ駆動軸３ｂは載置台側板１２に 穿設された長孔１２ａとローラ保持枠１ｂの保持枠側板５に穿設された丸孔５ｂ を通過して保持枠側板５の外側略中央に設けられたモータ６に連結され、ローラ ３を保持すると共に回動するようにされている。

【００１０】 ローラ保持枠１ｂのハンドル７にはモータ６に接続された押釦スイッチ８が取 り付けられており、そのＯＮ、ＯＦＦによりローラ３の駆動及び停止を行うこと ができるようにされている。

【００１１】 また、キャリア載置台１ａ上にはローラ３を挟んで左右に平列して載置板９及 び１０が配置されており、その長手方向の両端を載置台側板１１及び１２に固着 して設けられている。 図３及び図８に示すように、載置板９及び１０はローラ３の軸線を中心にして 左右対称に配置されており、７６ｍｍφウェハキャリア用載置部９ａ及び１０ａ 、１００ｍｍφウェハキャリア用載置部９ｂ及び１０ｂ、１２５ｍｍφウェハキ ャリア用載置部９ｃ及び１０ｃ、１５０ｍｍφウェハキャリア用載置部９ｄ及び １０ｄがそれぞれ任意の高さを持って凹凸を呈して形成されており、各種ウェハ キャリアを載置した状態において、収納されたウェハとローラ３との距離がその エッジ部とは適度に接触して、オリフラとは非接触になるように設定されている 。

【００１２】 さらに、図４に示すようにローラ３及び載置板９及び１０は、ローラ３の軸線 方向に任意の角度θをもって傾斜されておりウェハキャリアを載置した際にその 中に収納された半導体ウェハがキャリア溝の傾斜側の壁面に係止できるようにさ れている。その際、上記傾斜角度θは２度〜５度にするのが好ましい。

【００１３】 図６に示すように、載置台底板１３の下面略中央には円筒形の載置台連結凸部 １３ａが設けられ、支持台２の上面略中央に形成された円形の凹部内に取り付け られたベアリング１４に嵌合され、キャリア載置部１が水平方向に回転可能に連 結されている。 さらに、図２及び図４に示すように載置台底板１３の下面端部には係止片１３ ｂが取り付けられ、支持台２の上面両端部にはストッパー２ａ及び２ｂが対向し て取り付けられている。ここで、係止片１３ｂ、ストッパー２ａ及び２ｂには磁 石が内装されており、キャリア載置部１が１８０度回転する毎に係止片１３ｂと ストッパー２ａ及び２ｂがそれぞれ接触し、これらの磁力によりキャリア載置部 １を支持台２に固定できるようにされている。

【００１４】 図５及び図１０に示すように、ローラ保持枠１ｂの保持枠側板４及び５のハン ドル７側の端部内面にはガイド突起４ａ及び５ａが設けられ、載置台側板１１及 び１２側に形成された長凹部１１ｂおよび１２ｂに嵌入され、その内部を上下に 摺動可能にされており、ローラ保持枠１ｂの上動を規制できるようにされている 。

【００１５】 次に、本実施例の使用方法について説明する。 図６、図８及び図９に示すように、複数の半導体ウェハ１８を収納したウェハ キャリア１７を載置板９及び１０に載置する。ここで半導体ウェハ１８は１２５ ｍｍφでありウェハキリア１７も１２５ｍｍφウェハ用のものを使用している。 ウェハキリア１７の脚１７ｂ及び１７ｃを１２５ｍｍφウェハ用キャリア載置 部９ｃ及び１０ｃに載置すると、ローラー３がウェハキリア１７の底開放部から 露出している半導体ウェハ１８下端のエッジ部１８ｂに接触し、若干押し上げた 状態で支持する。 この状態で押釦スイッチ８をＯＮにしてモーター６を駆動させるとローラー３ が回動し半導体ウェハ１８を回転させる。半導体ウェハ１８が回転しそのオリフ ラ１８ａが真下に移動した時、ローラー３とオリフラ１８ａは非接触となり半導 体ウェハ１８の回転は停止する。これによりオリフラの位置が無秩序な状態で収 納されていた複数の半導体ウェハ１８は、収納された全部がそのオリフラを下向 きにして一括に揃えられる。 次いで、図９に示すように、ハンドル７を把持し、ローラ保持枠１ｂを上方に 持ち上げる。これによりローラー３をオリフラ１８ａと接触させることができる 。 この状態で押釦スイッチ８をＯＮにして半導体ウェハ１８を回転させ、エッジ 部１８ｂを目視し、割れやチッピングの検査を行う。ここで、ローラ３及び載置 板９及び１０は、ローラ３の軸線方向に任意の角度θをもって傾斜されているた め収納された半導体ウェハ１８はキャリア溝１７ａの傾斜側の壁面に係止され、 前後に振動することなく回転する。 上述の操作で半導体ウェハ１８の片面の検査をした後、キャリア載置部１を１ ８０度回転させて上記と同様にして半導体ウェハ１８を裏面から目視し検査を行 う。

【００１６】

【考案の効果】

本考案の半導体ウェハの目視検査装置よれば、以下の効果が得られる。 （１）．回動軸を軸方向に傾斜させて設けたので、ウェハキャリアに収納された 半導体ウェハが前後に振動することがなく目視を容易に行うことができると共に 傷の発生を防止することができる。 （２）．回動軸を半導体ウェハのオリフラとは接触しない位置に設け、その軸線 と直交する方向に上下動可能に設けたので、ウェハキャリアに収納された複数の 半導体ウェハをそのオリフラを一旦一括して揃えた後に再び回転させることがで き半導体ウェハのエッジ部全周を確実に目視することができる （３）．各種サイズのウェハキャリアに対応させた凹凸を形成して載置板を設け たので、検査装置の交換が不要になる。 （４）．載置部を水平方向に回転可能に設けたので、半導体ウェハの両面を迅速 に検査することができる。

【００１７】

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る半導体ウェハの目視検査装置の斜
視図である。

【図２】図１の正面図である。

【図３】図１の平面図である。

【図４】図１の右側面図である。

【図５】図２のＡ−Ａ断面図である。

【図６】図２のＢ−Ｂ断面図である。

【図７】図２のｃ−ｃ断面図である。

【図８】図３のＤ−Ｄ断面図である。

【図９】図８の状態からハンドルを持ち上げた状態を示
す図である。

【図１０】図３のＥ−Ｅ断面図である。

【符号の説明】

１ キャリア載置部 １ａ キャリア載置台 １ｂ ローラ保持枠 ２ 支持台 ２ａ ストッパー ２ｂ ストッパー ３ ローラ ３ａ ローラ固定軸 ３ｂ ローラ駆動軸 ４ 保持枠側板 ４ａ ガイド突起 ５ 保持枠側板 ５ａ ガイド突起 ５ｂ 丸孔 ６ モータ ７ ハンドル ８ 押し釦スイッチ ９ 載置板 ９ａ ７６ｍｍφウェハキャリア用載置部 ９ｂ １００ｍｍφウェハキャリア用載置部 ９ｃ １２５ｍｍφウェハキャリア用載置部 ９ｄ １５０ｍｍφウェハキャリア用載置部 １０ 載置板 １０ａ ７６ｍｍφウェハキャリア用載置部 １０ｂ １００ｍｍφウェハキャリア用載置部 １０ｃ １２５ｍｍφウェハキャリア用載置部 １０ｄ １５０ｍｍφウェハキャリア用載置部 １１ 載置台側板 １１ａ 長孔 １１ｂ 長凹部 １２ 載置台側板 １２ａ 長孔 １２ｂ 長凹部 １３ 載置台底板 １３ａ 載置台連結凸部 １３ｂ 係止片 １４ ベアリング １５ ピン １６ ピン １７ ウェハキャリア １７ａ キャリア溝 １７ｂ 脚 １７ｃ 脚 １８ 半導体ウェハ １８ａ オリフラ １８ｂ エッジ部

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ウェハキャリアを載置する載置部と、該載
   置部上に設けられ前記ウェハキャリアに収納された半導
   体ウェハを下方からそのエッジ部に接触して回転させる
   回動軸とからなる半導体ウェハの目視検査装置におい
   て、前記回動軸を軸方向に傾斜させると共に、前記半導
   体ウェハのオリフラとは接触しない位置に設け、前記回
   動軸をその軸線と直交する方向に上下動可能に設けたこ
   とを特徴とする半導体ウェハの目視検査装置。
2. 【請求項２】回動軸の傾斜角度は２度〜５度であること
   を特徴とする請求項１記載の半導体ウェハの目視検査装
   置。
3. 【請求項３】ウェハキャリアを載置する載置部と、該載
   置部上に設けられ前記ウェハキャリアに収納された半導
   体ウェハを下方からそのエッジ部に接触して回転させる
   回動軸とからなる半導体ウェハの目視検査装置におい
   て、前記載置部を水平方向に回転可能に設けたことを特
   徴とする半導体ウェハの目視検査装置。