JPH0538892U - 偏平物体のセンタリング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数の大きさの異なる偏平物体があっても一
つのセンタリング部材でセンタリングが行えるようにす
る。 【構成】 偏平物体の側面に対応する当接面２９ａ、２
９ｂを持つ第１センタリング部材１１ａ、１１ｂに、取
り外し可能に第２センタリング部材１２ａ、１２ｂを設
けた。第２センタリング部材１２ａ、１２ｂは第１セン
タリング部材１１ａ、１１ｂの当接面２９ａ、２９ｂと
同一形状をした接触面２８ａ、２８ｂと、外周の大きさ
が異なった複数の偏平物体の外周に対応した形状を有す
る複数の当接面２７ａ、２７ｂと、から形成されてお
り、第２センタリング部材１２ａ、１２ｂの接触面２８
ａ、２８ｂは第１センタリング部材１１ａ、１１ｂの当
接面２９ａ、２９ｂに接触し位置決めされるような構成
の偏平物体のセンタリング装置である。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の技術分野】

本考案は、半導体ウェハ、角型ガラス基盤等の偏平物体をセンタリングするセ ンタリング装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来のこの種装置は、半導体ウェハ（以下、ウェハという）の曲率とほぼ同じ 曲率をもつセンタリング部材をウェハが載置される回転台（以下、回転台という ）の中心に対象に一対設け、一対のセンタリング部材の各々を回転台の中心と逆 方向へ移動させるような構成をもつ装置であった。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上記の如き従来の技術においては、ウェハの曲率に応じて、ウェハの曲率とほ ぼ同じ曲率をもつセンタリング部材を複数使用してきたが、ウェハの曲率が変わ った場合、センタリング部材を装置の載置台にネジで固定してあるため、ネジを 取り外してウェハの曲率に合ったセンタリング部材を再度ネジで固定するという 手間がかかった。

【０００４】 そこで本考案は、手間がかからずかつ簡単な構成で異なった大きさの偏平物体 をセンタリングすることを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

請求項１における本考案は、第１センタリング部材（１１ａ、１１ｂ）に取り 外し可能に第２センタリング部材（１２ａ、１２ｂ）を設け、第２センタリング 部材（１２ａ、１２ｂ）は、第１センタリング部材（１１ａ、１１ｂ）の当接面 （２９ａ、２９ｂ）と同一形状をした接触面（２８ａ、２８ｂ）と、外周の大き さが異なった複数の偏平物体の外周形状に対応した形状を有する複数の当接面（ ２７ａ、２７ｂ）とから形成したものである。

【０００６】 請求項２における本考案は、第１センタリング部材（１１ａ、１１ｂ）を第２ センタリング部材（１２ａ、１２ｂ）を載置する基部（１３ａ、１３ｂ）と、基 部（１３ａ、１３ｂ）から突出するように形成され、第２センタリング部材（１ ２ａ、１２ｂ）の接触面（２８ａ、２８ｂ）と同一形状をしている当接面（２９ ａ、２９ｂ）を有する位置決め部とから構成したものである。

【０００７】

【作用】

本考案では、一つのセンタリング部材で複数の異なった大きさの偏平物体のセ ンタリングが行える。

【０００８】

【実施例】

図１は本考案の実施例の平面図であり、図２は、図１のａ−ｂ矢視断面図であ る。 モータ２５の回転軸と一体に取り付けられた第１プーリ２４をベルト２３を介 して第２プーリ２２に接続し、モータ２５を回転させることによって、第２プー リ２２を回転させる。第２プーリ２２には第２プーリ２２に対象なカム溝２１ａ 、２１ｂをもつ円筒カム２１が嵌合している。図１、図２において回転台１７の 左右に対象に設けた基部１３ａ、１３ｂに板状のカムフォロワー２０ａ、２０ｂ がビス４２ａ、４２ｂ、４２ａ′、４２ｂ′で固定されている。基部１３ａ、１ ３ｂには第１センタリング部材１１ａ、１１ｂがビス１８ａ、１８ｂによって固 定されており、かつ位置決めピン１４ａ、１４ｂも固定されている。カムフォロ ワー２０ａ、２０ｂには円筒カム２１のカム溝２１ａ、２１ｂに嵌入するベアリ ング４０ａ、４０ｂが保持部材４１ａ、４１ｂによって保持されている。また、 カムフォロワー２０ａ、２０ｂには図中左右に延びたガイド棒１９ａと、図１に おいて回転台１７を挟んで反対側にガイド棒１９ａと平行に設けられたガイド棒 １９ｂとに嵌合して回転止め兼移動案内されるための切り欠きが設けられている 。

【０００９】 第１センタリング部材１１ａ、１１ｂにはセンタリングの対象となる複数のウ ェハの内最大の曲率を有するウェハとほぼ同じ曲率をもつ当接面２９ａ、２９ｂ が形成され、この当接面２９ａ、２９ｂから回転台１７に向けてボールが突出す るように、ボールプランジャ１５ａ、１５ｂが配設されている。 一対の第２センタリング部材１２ａ、１２ｂは、曲率の違うウェハに当接する 複数の当接面２７ａ、２７ｂと、第１センタリング部材１１ａ、１１ｂの当接面 ２９ａ、２９ｂとほぼ同じ曲率をもつ接触面２８ａ、２８ｂ及び貫通孔２６ａ、 ２６ｂとをもっている。貫通孔２６ａ、２６ｂには、基部１３ａ、１３ｂに固定 された位置決めピン１４ａ、１４ｂが嵌入する。基部１３ａ、１３ｂに第２セン タリング部材１２ａ、１２ｂの上面又は下面がウェハの曲率に応じて選択して載 置されるようになっている。また、このようにして第２センタリング部材１２ａ 、１２ｂの貫通孔２６ａ、２６ｂに基部１３ａ、１３ｂに固定された位置決めピ ン１４ａ、１４ｂが嵌入することによって載置される時、第１センタリング部材 １１ａ、１１ｂの当接面２９ａ、２９ｂに沿って第２センタリング部材１２ａ、 １２ｂが位置決めされることになる。この時、第１センタリング部材１１ａ、１ １ｂに固定されたボールプランジャ１５ａ、１５ｂの先端からバネの付勢力によ り付勢されて突出しているボールは、第２センタリング部材１２ａ、１２ｂの側 面により押されて一度当接面２９ａ、２９ｂから引っ込み、第２センタリング部 材１２ａ、１２ｂが基部１３ａ、１３ｂの載置面に当接する直前に第２センタリ ング部材１２ａ、１２ｂの側面に形成した窪みに入り込む。付勢力は基部１３ａ 、１３ｂに固定された位置決めピン１４ａ、１４ｂと基部とに向かって発生して いる。その結果、第２センタリング部材１２ａ、１２ｂは位置決めされて基部１ ３ａ、１３ｂ上に押圧固定される。

【００１０】 上記の様に構成されたセンタリング装置は、ウェハを回転台１７上に載置し、 モータ２５を正回転させると円筒カム２１が回転し、カムフォロワー２０ａ、２ ０ｂがガイド棒１９ａをガイドとして互いに反対の方向へ直線運動をする（接近 する方向を図２の矢印ｐ、ｑで示した）。すなわち、モータ２５を回転させると 第１センタリング部材１１ａ、１１ｂが回転台１７上に載置されたウェハの外周 に向けて移動する。このとき、ウェハが載置される回転台１７を中心とし、かつ 、上記ウェハの外周にほぼ一致する円弧上の位置にくるまで第１センタリング部 材１１ａ、１１ｂを移動させることにより上記ウェハの中心を回転台１７の中心 に一致させている。また、モータ２５を負回転させればカムフォロワー２０ａ、 ２０ｂは矢印ｐ、ｑとは逆の方向へそれぞれ移動する。

【００１１】 図３は複数のウェハのうち最小径をもつウェハの曲率とほぼ同じ曲率の当接面 ２７ａ、２７ｂをもつ第２センタリング部材１２ａ、１２ｂを基部１３ａ、１３ ｂに取り付けたものである。ウェハ１６を回転台１７上に載置し、基部１３ａ、 １３ｂに載置されている第２センタリング部材１２ａ、１２ｂを、モータ２５に よってウェハ１６の外周に向けて移動させつつ、第２センタリング部材１２ａ、 １２ｂの当接面２７ａ、２７ｂをウェハ１６の外周に当接させる。このとき、回 転台１７を中心とし、かつ、ウェハ１６の外周にほぼ一致する円弧上の位置にく るまで第２センタリング部材１２ａ、１２ｂを移動させることによりウェハ１６ の中心を回転台１７の中心に一致させている。

【００１２】 図４は上記のウェハ１６の曲率とは異なる曲率のウェハのセンタリングを行う ために、第２センタリング部材１２ａ、１２ｂの上面と下面とを裏返したもので ある。（図１における第２センタリング部材１２ａ、１２ｂの状態を上面とする と下面には上面にある曲率の当接面２７ａ、２７ｂとは異なる曲率の当接面３０ ａ、３０ｂを形成したものである。） 図５は上記の２つのウェハの曲率より大きいウェハのセンタリングを行うため に、第２センタリング部材１２ａ、１２ｂを取り外し、第１センタリング部材１ １ａ、１１ｂの当接面２９ａ、２９ｂにウェハを当接することによってセンタリ ングを行うものである。

【００１３】 本実施例では第１センタリング部材１１ａ、１１ｂは基部１３ａ、１３ｂとを わけているが、第１センタリング部材１１ａ、１１ｂは基部１３ａ、１３ｂと一 体になっていてもよい。 また、第２センタリング部材１２ａ、１２ｂは、基部１３ａ、１３ｂに着脱自 在に載置する代わりに、第１センタリング部材１１ａ、１１ｂに設けた取り付け 溝にはまりこむ突出部を設ける等によって、第１センタリング部材１１ａ、１１ ｂに着脱自在に設けてもよい。

【００１４】

【考案の効果】

以上の様に本考案によれば、一つのセンタリング部材で複数の偏平物体のセン タリングが行うことができる。 従って、装置に付属させる部品数が減るのでコストダウンの効果がある。また 、取り付け時にネジを使用しないので作業性向上の効果もある。更に本考案は、 当接面を円弧状ではなくコ字状又は角形状にすることにより、ウェハのセンタリ ングばかりでなく、角型ガラス基板等、他の形状の偏平物体にも適用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例による装置の平面図である。

【図２】図１のａ−ｂ矢視断面図である。

【図３】本考案の一実施例によるセンタリング部材の取
り付けの様子を示す要部斜視図である。

【図４】図３におけるセンタリング部材の上下を反転さ
せて取り付ける様子を示す要部斜視図である。

【図５】図１におけるセンタリング部材を取り除いた時
の斜視図である。

【符号の説明】

１〜１０は無し １１ａ、１１ｂ 第１センタリング部材 １２ａ、１２ｂ 第２センタリング部材 １３ａ、１３ｂ 基部 １４ａ、１４ｂ 位置決めピン １５ａ、１５ｂ ボールプランジャ １６ ウェハ １７ 回転台 １８ａ、１８ｂ ビス １９ａ、１９ｂ ガイド棒 ２０ａ、２０ｂ カムフォロワー ２１ 円筒カム ２１ａ、２１ｂ カム溝 ２２ 第２プーリ ２３ ベルト ２４ 第１プーリ ２５ モータ ２６ａ、２６ｂ 貫通孔 ２７ａ、２７ｂ 当接面 ２８ａ、２８ｂ 接触面のうちの側面 ２９ａ、２９ｂ 当接面 ３０ａ、３０ｂ 当接面 ４０ａ、４０ｂ ベアリング ４１ａ、４１ｂ 保持部材

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】偏平物体の側面に対応する当接面を有し、
   前記当接面が互いに対向するように配置された一対の第
   １センタリング部材と、 前記一対の第１センタリング部材を互いに接近及び離間
   するように駆動する駆動部材と、 を具備し、 前記偏平物体を前記第１センタリング部材の間に載置
   し、前記当接面を前記偏平物体の側面に当接させ位置決
   めを行うセンタリング装置において、 前記第１センタリング部材に取り外し可能に設けられる
   第２センタリング部材を具備し、 前記第２センタリング部材は、 前記当接面と同一形状をした接触面と、 外周の大きさが異なった複数の偏平物体の外周形状に対
   応した形状を有する複数の当接面と、 を有しており、前記第２センタリング部材の前記接触面
   は、前記第１センタリング部材の当接面に接触し位置決
   めされることを特徴とするセンタリング装置。
2. 【請求項２】前記第１センタリング部材は前記第２セン
   タリング部材を載置する基部と、 前記基部から突出するように形成され、前記当接面を有
   する位置決め部と、 から構成され、前記当接面は前記第２センタリング部材
   の接触面と同一形状をしていることを特徴とする請求項
   １に記載のセンタリング装置。