JPH07235032A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

Info

Publication number
JPH07235032A
JPH07235032A JP6324155A JP32415594A JPH07235032A JP H07235032 A JPH07235032 A JP H07235032A JP 6324155 A JP6324155 A JP 6324155A JP 32415594 A JP32415594 A JP 32415594A JP H07235032 A JPH07235032 A JP H07235032A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
recording medium
thin film
magnetic recording
magnetic
ferromagnetic thin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6324155A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinji Miyazaki
真司 宮崎
Jiro Yoshinari
次郎 吉成
Koji Kobayashi
康二 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP6324155A priority Critical patent/JPH07235032A/ja
Publication of JPH07235032A publication Critical patent/JPH07235032A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】電磁変換特性、スチル特性に優れ、発錆が少な
く、耐久性のある磁気記録媒体を提供する。 【構成】非磁性基体上に斜め蒸着法により形成された磁
性層を有し、この磁性層が少なくとも2層の強磁性薄膜
から構成され、この強磁性薄膜がCoおよびNiを主成
分として含有する強磁気記録媒体であって、最下層の強
磁性薄膜のCo含有率が70原子%未満であることを特
徴とする磁気記録媒体。 【効果】電磁変換特性、スチル特性、カッピングにおい
て優れ、且つ発錆が少なく、耐久性の高いものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は強磁性薄膜を磁性層とす
る磁気記録媒体、特に電磁変換特性と共にスチル特性、
耐久性および耐食性に優れた磁気記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】近年磁気記録媒体はますます高密度化し
ており、それに伴い、記録媒体の薄膜化が行われてい
る。強磁性薄膜を磁性層とする磁気記録媒体において、
従来から、スチル特性、耐久性及び耐食性を上げるため
に、種々の磁気記録媒体が提案されている。例えば、高
分子成形物を基材としその基材の表面に金、銀、銅のう
ちいずれかひとつの材料からなる蒸着層を形成し、その
上に酸素親和性の大きい材料からなる蒸着層を形成し、
さらにその上に磁性層を形成したことを特徴とする磁気
記録媒体(特開昭54−145505号公報)、基体上
に下地膜を形成し、該下地膜の上に、強磁性金属材料を
斜め蒸着させて成膜した磁性層を有する磁気記録媒体に
おいて、上記下地膜は、アルミニウム、クロム、チタ
ン、銅のうちより選ばれる少なくとも1種の元素を含む
金属もしくは合金からなり、上記磁性層は、コバルトも
しくはコバルトを主成分とする強磁性金属材料からな
り、かつ上記基体の法線にたいして傾斜した柱状磁性粒
子の集合体からなることを特徴とする磁気記録媒体(特
開平1−124115号公報)、非磁性基体上に、モー
ス硬度5以上の材料をペーパーデポジションすることに
より形成された非磁性下地層を有し、該下地層上に、軟
磁性層を介するか、または介さずに記録磁性層が設けら
れていることを特徴とする薄膜型磁気記録媒体(特開平
2−68712号公報)、非磁性の基体上に強磁性金属
薄膜を形成してなる磁気記録媒体であって、前記非磁性
の基体と強磁性金属薄膜との間にチタンからなる下地層
を有し、さらに、強磁性金属薄膜の表面にチタン層とダ
イヤモンド状硬質炭素被膜層とを積層して成る磁気記録
媒体(特開平2−179917号公報)、非磁性基体上
に斜め蒸着法により形成された磁性層を有し、この磁性
層が少なくとも2層の強磁性金属薄膜から構成され、こ
の強磁性金属薄膜がCoおよびNiを主成分として含有
する強磁気気記録媒体であって、最下層の強磁性金属薄
膜のCo含有率が最上層の強磁性金属薄膜のCo含有率
よりも低いことを特徴とする強磁気記録媒体(特開平4
−26914号公報)等が知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の磁気記録媒体、例えば特開昭54−145505号
公報記載の磁気記録媒体、特開平1−124115号公
報記載の磁気記録媒体、特開平2−68712号公報記
載の磁気記録媒体及び特開平2−179917号公報記
載の磁気記録媒体では、スチル特性、耐久性、耐食性を
上げるために、非磁性基体と強磁性薄膜の間に下地層を
設け、磁性膜の接着、強度を上げる試みをしているが、
強磁性薄膜の下層に非磁性膜を設けているために、低密
度における再生出力は低下する。また、前記特開平4−
26914号公報記載の磁気記録媒体では強磁性薄膜を
多層化することにより、スチル特性、耐久性及び低密度
から高密度にわたっての再生出力を上げる試みがなされ
ているが、高密度における出力、スチル特性、及び耐久
性の点では改善される余地のあるものであった。したが
って、再生出力、スチル特性、耐久性及び耐食性を兼ね
備えた磁気記録媒体が要望されるところである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記の課題
を解決すべく、鋭意研究の結果、磁気記録媒体におい
て、斜め蒸着法により形成された少なくとも2層の強磁
性薄膜からなる磁性層を有し、この強磁性薄膜がCo、
Niを主成分とし、最下層のCo含有率を特定のものに
することにより該課題が解決できることを見出し、本発
明に到達した。即ち、本発明は(1)非磁性基体上に斜
め蒸着法により形成された磁性層を有し、この磁性層が
少なくとも2層の強磁性薄膜から構成され、この強磁性
薄膜がCoおよびNiを主成分として含有する強磁気記
録媒体であって、最下層の強磁性薄膜のCo含有率が7
0at%未満であることを特徴とする磁気記録媒体、
(2)最上層の強磁性薄膜のCo含有率が75at%以
上である上記(1)記載の磁気記録媒体、(3)磁性層
の強磁性薄膜を構成する柱状結晶粒子の成長方向と基体
主面とのなす角度の平均値θが、最下層のものが最上層
のものよりも大きい値を有するものである上記(1)又
は(2)記載の磁気記録媒体、に関する。
【0005】本発明では磁性層が斜め蒸着法により形成
された2層以上の強磁性薄膜からなる磁性層を有する。
そして、該強磁性薄膜がCo及びNiを主成分とするも
のである。Co及びNiを主成分とする強磁性薄膜は記
録媒体として、電磁変換特性(磁気特性)及び物性(耐
久性、耐熱性)の点で優れている。そして、本発明では
複数の強磁性薄膜のうち、最下層の強磁性薄膜はCo含
有率が70原子%未満である。そして好ましくは0〜5
0原子%である。そして、最下層の強磁性薄膜の好まし
い組成はCo/Ni 0/10〜5/5である。このC
o含有率が70原子%以上であるとスチル耐久性の点で
好ましくない。また本発明では最上層の強磁性薄膜がC
o含有率75原子%以上であることが好ましい。そして
好ましくは90〜100原子%である。そして、最上層
の強磁性薄膜の好ましい組成はCo/Ni=9/ 1〜
10/0である。Coが75原子%以上とすると、保磁
力が増加し、特に短波長における電磁変換特性が優れ、
極めて好ましいものとなる。さらに、本発明では磁性層
の強磁性薄膜を構成する柱状結晶粒子の成長方向と基体
主面とのなす角度の平均値θが、最下層のものが最上層
のものよりも大きい値を有するものであり、これによ
り、電磁変換特性及びスチル耐久性が向上するものであ
る。又、強磁性薄膜の厚さは最下層で300〜1500
Å、最上層で400〜1500Åである。非磁性基体と
しては、通常のものが用いられ、強磁性金属薄膜蒸着時
の熱に耐える各種フィルムが用いることができる。例え
ばポリエステル、ポリイミド、アミラド、ポリサルフォ
ン、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、等のフ
ィルムであり、ポリエチレンテレフタレート(PE
T)、ポリエチレンナフタレート(PEN)のフィルム
等が用いられる。
【0006】本発明の強磁性薄膜からなる複数層の磁性
層は、例えば非磁性基体フィルムを回転する円筒状冷却
ドラムの周囲上に這わせて移動させ、先ず所望する組成
のCo−Niを主成分とする合金からなる強磁性金属を
酸素雰囲気下で斜め蒸着して強磁性薄膜を形成し、ロー
ルに巻き取り、この強磁性薄膜を形成した磁性上に同様
にCoを主成分とする強磁性金属を酸素雰囲気下で斜め
蒸着する。そして最下層及び最上層の磁性層における所
望するコバルト含有率を調整した強磁性薄膜を形成す
る。コバルトの含有率は蒸着源の材料組成によって調整
することができる。又強磁性金属薄膜の蒸着にあたり、
酸素雰囲気下で行なうことができる。
【0007】
【作用】非磁性基体上に斜め蒸着法によって、少なくと
も2層のCo及びNiを主成分とする強磁性薄膜から構
成される磁性層を有し、最下層の強磁性薄膜のCo含有
率が70原子%未満とされた磁気記録媒体により、低密
度から高密度にわたり優れた電磁変換特性とすることが
できると共に、スチル特性、耐久性及び耐食性のすぐれ
たものとすることができる。
【0008】
【実施例】以下に実施例を説明する。なお、磁気記録テ
ープの特性測定は以下の方法によった。 (1)発錆 60℃90%RHの環境で1週間保存後、テープの磁性
層側の変色度を目視で判定した。評価基準は下記のとお
りにした。 ◎:変化無し ○:薄い黄色に変色 △:黄色に変色 ×:青色に変色 (2)カッピング 60℃90%RHの環境で1週間保存後、テープを平面
上に設置し、テープ幅方向端部のそり高さhを測定し
た。評価基準は下記のとおりとした。 ◎:h=0 ○:0<h<=0.2mm △:0.2<h<0.5mm ×:h>=0.5mm (3)電特 Hi8規格のVTRのSONY EV−S900を用
い、0.75MHzの単一信号を記録したときのRF出
力を基準テープのRF出力と比較し、下記の評価基準に
より判定した。 ◎:RF出力>=2.0dB ○:0dB<=RF出力<2.0dB △:−1.0dB<=RF出力<0dB ×:RF出力<−1.0dB (4)スチル耐久性 Hi8規格のVTRのSONY EV−S900を用
い、温度0℃の条件下で出力が6dB低下するまでの時
間を求めた。
【0009】◎:スチル=>60min ○:30<=スチル<60min △:10<=スチル<30min ×:スチル<=10min (5)θ測定方法 柱状結晶粒子の成長方向と基体主面とのなす角度の平均
値θは、下記のようにして測定する。まず、磁気記録媒
体を柱状結晶粒子の成長方向を含む平面(通常、媒体主
面に垂直で磁気ヘッドの走行方向を含む平面)で切断す
る。その断面には、各強磁性金属薄膜を構成する柱状結
晶粒子の断面が弧状に現れる。この断面に現れた柱状結
晶粒子の側面(隣り合う柱状結晶粒子の境界線)と基体
主面のなす角度を各強磁性金属薄膜ごとに少なくとも柱
状結晶粒子100個について測定し、各強磁性金属薄膜
におけるそれらの平均値を求める。これら、各平均値を
各強磁性金属薄膜における柱状結晶粒子の成長方向と基
体主面とのなす角度とし、さらにこれらの平均値を求め
てθとする。なお、θの測定位値は強磁性金属薄膜の厚
さ方向の中間点である。
【0010】実施例1〜11、比較例1〜5 10~4TorrのAr雰囲気中で、供給ロールから厚さ
6μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィル
ムを繰り出して、回転する円筒状冷却ドラムの周囲に這
わせて移動させ、強磁性金属を酸素雰囲気下で斜め蒸着
して、強磁性薄膜を形成し、巻き取りロールに巻とっ
た。次いで、この巻取りロールを別のロールに巻き直
し、このロールを供給ロールとして強磁性金属を酸素雰
囲気下で再度斜め蒸着して、強磁性薄膜を形成し、2層
構成の磁性層を有する磁気記録媒体を得た。上層形成お
よび下層形成に用いた強磁性金属の種類、酸素量、膜
厚、θを変えて、下記表1に示すサンプルを得た。
【0011】
【表1】
【0012】
【発明の効果】本発明の磁気記録媒体は、低密度から高
密度にわたって優れた電磁変換特性を有し、特に高密度
における再生出力の低下が小さく、また、スチル、耐久
性ともに極めて良好な特性を得ることができる。従っ
て、高記録密度用の媒体としては非常に好適である。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】非磁性基体上に斜め蒸着法により形成され
    た磁性層を有し、この磁性層が少なくとも2層の強磁性
    薄膜から構成され、この強磁性薄膜がCoおよびNiを
    主成分として含有する強磁気記録媒体であって、最下層
    の強磁性薄膜のCo含有率が70原子%未満であること
    を特徴とする磁気記録媒体。
  2. 【請求項2】最上層の強磁性薄膜のCo含有率が75原
    子%以上である請求項1記載の磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】磁性層の強磁性薄膜を構成する柱状結晶粒
    子の成長方向と基体主面とのなす角度の平均値θが、最
    下層のものが最上層のものよりも大きい値を有するもの
    である請求項1または2記載の磁気記録媒体。
JP6324155A 1993-12-28 1994-12-27 磁気記録媒体 Pending JPH07235032A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6324155A JPH07235032A (ja) 1993-12-28 1994-12-27 磁気記録媒体

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5-334144 1993-12-28
JP33414493 1993-12-28
JP6324155A JPH07235032A (ja) 1993-12-28 1994-12-27 磁気記録媒体

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07235032A true JPH07235032A (ja) 1995-09-05

Family

ID=26571402

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6324155A Pending JPH07235032A (ja) 1993-12-28 1994-12-27 磁気記録媒体

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07235032A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0053811B1 (en) Magnetic recording media
US5558945A (en) Magnetic recording medium
KR940009728B1 (ko) 자기 기록매체
US5674637A (en) Magnetic recording medium
JPH03185623A (ja) 蒸着磁気記録媒体
HK1008966B (en) Magnetic recording medium
JPH04259909A (ja) 磁気記録媒体
JPS59119534A (ja) 磁気記録媒体
JP3491778B2 (ja) 磁気記録媒体
JP3167128B2 (ja) 磁気記録媒体
JPH0221046B2 (ja)
JP3093818B2 (ja) 磁気記録媒体
JPH07192245A (ja) 磁気記録媒体
JP2000195035A (ja) 磁気記録媒体およびその製造方法
HK1006659B (en) Magnetic recording medium
JP3167129B2 (ja) 磁気記録媒体
JPH06139541A (ja) 磁気記録媒体
KR960000822B1 (ko) 자기기록매체
JP2760906B2 (ja) 磁気記録媒体およびその製造方法
JP2006134370A (ja) 金属薄膜型磁気記録媒体
JPH0954945A (ja) 磁気記録媒体
JPH0798853A (ja) 磁気記録媒体の製造方法
JPH06282841A (ja) 磁気記録媒体及びその製造方法
JPH0954938A (ja) 磁気記録媒体
JPH0836750A (ja) 磁気記録媒体の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20020515