JPH0724337Y2 - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
- Publication number
- JPH0724337Y2 JPH0724337Y2 JP1989092324U JP9232489U JPH0724337Y2 JP H0724337 Y2 JPH0724337 Y2 JP H0724337Y2 JP 1989092324 U JP1989092324 U JP 1989092324U JP 9232489 U JP9232489 U JP 9232489U JP H0724337 Y2 JPH0724337 Y2 JP H0724337Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- pulleys
- transmission means
- pulley
- traveling rack
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Separation, Sorting, Adjustment, Or Bending Of Sheets To Be Conveyed (AREA)
- Reciprocating Conveyors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この考案は半導体ウエハ、フォトマスク等（以下単に基
板と称する）の製造ラインで基板を移送するのに用いら
れる基板搬送装置に関し、殊に、Ｌ字状搬送路やＵ字状
搬送路のような屈曲部を有する搬送路に沿って基板を搬
送するのに適した基板搬送装置に関するものである。
板と称する）の製造ラインで基板を移送するのに用いら
れる基板搬送装置に関し、殊に、Ｌ字状搬送路やＵ字状
搬送路のような屈曲部を有する搬送路に沿って基板を搬
送するのに適した基板搬送装置に関するものである。
〈従来の技術〉 Ｌ字状搬送路やＵ字状搬送路は基板の製造ラインの機能
性を高めるために適宜配置されるものであるが、この種
の搬送路に沿って基板等を搬送する装置として、従来よ
り例えば、第４図に示すもの（実公昭61−30284号公
報）が知られている。
性を高めるために適宜配置されるものであるが、この種
の搬送路に沿って基板等を搬送する装置として、従来よ
り例えば、第４図に示すもの（実公昭61−30284号公
報）が知られている。
それは、屈曲部Ｃを有するＬ字状搬送路Ｒの基板導入部
Ａと、屈曲部Ｃと、基板搬出部Ｂとにそれぞれ外側プー
リP1〜P3と内側プーリP4〜P7を配置し、外側プーリP1〜
P3に無端ベルトV1を巻き掛け、内側プーリP4・P5及びP6
・P7にそれぞれ無端ベルトV2・V3を巻き掛け、導入部Ａ
の外側プーリP1と内側プーリP4を伝動軸D1で連結して駆
動モータＭに伝動連結し、導出部Ｂの外側プーリP3と内
側プーリP7を伝動軸D2で伝動可能に連結し、無端ベルト
V1・V2〜V1・V3上に基板Ｗを載置してＬ字状搬送路Ｒに
沿って基板Ｗを搬送するように構成されている。
Ａと、屈曲部Ｃと、基板搬出部Ｂとにそれぞれ外側プー
リP1〜P3と内側プーリP4〜P7を配置し、外側プーリP1〜
P3に無端ベルトV1を巻き掛け、内側プーリP4・P5及びP6
・P7にそれぞれ無端ベルトV2・V3を巻き掛け、導入部Ａ
の外側プーリP1と内側プーリP4を伝動軸D1で連結して駆
動モータＭに伝動連結し、導出部Ｂの外側プーリP3と内
側プーリP7を伝動軸D2で伝動可能に連結し、無端ベルト
V1・V2〜V1・V3上に基板Ｗを載置してＬ字状搬送路Ｒに
沿って基板Ｗを搬送するように構成されている。
〈考案が解決しようとする課題〉 上記従来例のものは、基板Ｗを無端ベルトV1〜V3で支持
する構造であるため、屈曲部Ｃで無端ベルトV1〜V3が基
板Ｗの裏面にこすれ塵埃が発生する。また、基板Ｗが各
プーリP1〜P7に接近する低い位置で搬送されるため、当
該プーリP1〜P7の軸支部等から発生する塵埃が搬送中の
基板に付着し易い。このような塵埃の付着は基板製造処
理において歩留まりの低下をもたらす。しかも、屈曲部
Ｃで無端ベルトが基板Ｗの裏面にこすれ、迅速で円滑な
搬送動作が期待出来ない。
する構造であるため、屈曲部Ｃで無端ベルトV1〜V3が基
板Ｗの裏面にこすれ塵埃が発生する。また、基板Ｗが各
プーリP1〜P7に接近する低い位置で搬送されるため、当
該プーリP1〜P7の軸支部等から発生する塵埃が搬送中の
基板に付着し易い。このような塵埃の付着は基板製造処
理において歩留まりの低下をもたらす。しかも、屈曲部
Ｃで無端ベルトが基板Ｗの裏面にこすれ、迅速で円滑な
搬送動作が期待出来ない。
本考案はこのような事情を考慮してなされたもので、 イ．基板に塵埃が付着するのを回避して、歩留まりの向
上を図ること、 ロ．迅速かつ円滑な搬送動作を確保すること、 を技術課題とする。
上を図ること、 ロ．迅速かつ円滑な搬送動作を確保すること、 を技術課題とする。
〈課題を解決するための手段〉 本考案に係る基板搬送装置は、上記課題を解決するもの
として以下のように構成される。
として以下のように構成される。
即ち、回転軸回りで回転する複数のプーリと、該プーリ
に巻き掛けて曲げられた巻掛伝動手段と、該巻掛伝動手
段に取り付けられて該巻掛伝動手段に沿って走行する走
行架とを有し、該走行架上に基板を支持して搬送すると
共に前記巻掛伝動手段の曲げ方向に基板の搬送方向を転
換する基板搬送装置において、前記走行架に、基板の中
央部が前記プーリの前記回転軸の上方を通過する位置に
基板を支持する基板支持手段を設けたことを特徴とす
る。
に巻き掛けて曲げられた巻掛伝動手段と、該巻掛伝動手
段に取り付けられて該巻掛伝動手段に沿って走行する走
行架とを有し、該走行架上に基板を支持して搬送すると
共に前記巻掛伝動手段の曲げ方向に基板の搬送方向を転
換する基板搬送装置において、前記走行架に、基板の中
央部が前記プーリの前記回転軸の上方を通過する位置に
基板を支持する基板支持手段を設けたことを特徴とす
る。
〈作用〉 本考案では、走行架上に設けた基板支持手段で基板を支
持し、基板はプーリと巻掛伝動手段との摺動部位や走行
架よりも高い位置で支持されて搬送される。
持し、基板はプーリと巻掛伝動手段との摺動部位や走行
架よりも高い位置で支持されて搬送される。
巻掛伝動手段がプーリに巻き掛けられて曲げられた屈曲
部においては、走行架は巻掛伝動手段の屈曲に応じて円
弧状に旋回するが、基板支持手段で支持された基板の中
央部は、プーリの回転軸上を通過する。これにより、屈
曲部における基板の中央部の移動軌跡は、円弧状ではな
く、折れ線状となる。つまり、屈曲部を通過する際にお
いては、基板はプーリの回転軸を中心として回転し、そ
の回転により基板には回転モーメントが作用するが、基
板の中央部はプーリの回転軸上に位置しているので、基
板はその中央部を回転中心として自転することになり、
基板全体に対して屈曲の外側に向けた遠心力が作用する
ことはない。しかも、かかる搬送方向の転換は連続で円
滑になされる。
部においては、走行架は巻掛伝動手段の屈曲に応じて円
弧状に旋回するが、基板支持手段で支持された基板の中
央部は、プーリの回転軸上を通過する。これにより、屈
曲部における基板の中央部の移動軌跡は、円弧状ではな
く、折れ線状となる。つまり、屈曲部を通過する際にお
いては、基板はプーリの回転軸を中心として回転し、そ
の回転により基板には回転モーメントが作用するが、基
板の中央部はプーリの回転軸上に位置しているので、基
板はその中央部を回転中心として自転することになり、
基板全体に対して屈曲の外側に向けた遠心力が作用する
ことはない。しかも、かかる搬送方向の転換は連続で円
滑になされる。
〈実施例〉 以下、図面に基づいて本考案の実施例を説明する。
第１図は基板搬送装置の一部を切欠いて示す平面図、第
２図は第１図のII-II線矢視正面図、第３図は第１図のI
II-III線矢視正面図である。
２図は第１図のII-II線矢視正面図、第３図は第１図のI
II-III線矢視正面図である。
この基板搬送装置は、回転軸回りで回転可能に設けられ
た複数のプーリ20〜27と、これらのプーリ20〜27に巻き
掛けられた無端伝動ベルト28と、無端伝動ベルト28に取
り付けられ無端伝動ベルト28にそって走行する走行架10
と、走行架10上に設けられた基板支持手段５とを備えて
成り、走行架10を無端伝動ベルト28で牽引して基板支持
手段５で支持した基板Ｗを搬送する。平面視においてプ
ーリ20・21・22・23の回転中心を順次結んだ直線上に略
コ字状の搬送路Ｒを想定したとき、基板支持手段５は基
板Ｗを搬送路Ｒの始点RAからRBまで搬送し、その後同じ
経路を腹動するように構成される。なお、無端伝動ベル
ト28はプーリ21・22に巻き掛けられることによって曲げ
られることになり、そのプーリ21・22の近傍を屈曲部C1
・C2と称する。
た複数のプーリ20〜27と、これらのプーリ20〜27に巻き
掛けられた無端伝動ベルト28と、無端伝動ベルト28に取
り付けられ無端伝動ベルト28にそって走行する走行架10
と、走行架10上に設けられた基板支持手段５とを備えて
成り、走行架10を無端伝動ベルト28で牽引して基板支持
手段５で支持した基板Ｗを搬送する。平面視においてプ
ーリ20・21・22・23の回転中心を順次結んだ直線上に略
コ字状の搬送路Ｒを想定したとき、基板支持手段５は基
板Ｗを搬送路Ｒの始点RAからRBまで搬送し、その後同じ
経路を腹動するように構成される。なお、無端伝動ベル
ト28はプーリ21・22に巻き掛けられることによって曲げ
られることになり、そのプーリ21・22の近傍を屈曲部C1
・C2と称する。
搬送路Ｒは、第２図及び第３図に示すように、基枠の一
部を構成する上板１と下板２とにそれぞれ平面視Ｕ字状
の走行用スリットS1、S2を切設し、各スリットS1・S2内
をそれぞれ基板支持手段５と走行架10を通過させ、基板
導入分Ａの始点RAから２ヶ所の屈曲部C1・C2を経て基板
導出部Ｂの終点RBへ向けて基板Ｗを搬送するように構成
されている。
部を構成する上板１と下板２とにそれぞれ平面視Ｕ字状
の走行用スリットS1、S2を切設し、各スリットS1・S2内
をそれぞれ基板支持手段５と走行架10を通過させ、基板
導入分Ａの始点RAから２ヶ所の屈曲部C1・C2を経て基板
導出部Ｂの終点RBへ向けて基板Ｗを搬送するように構成
されている。
上記複数のプーリ20〜27は下板２の下側に、スリットS2
に沿って配置され、２ヶ所の屈曲部C1・C2に配置された
各外側プーリ21・22は、第１図〜第３図に示すように、
ベルト接触面21aの幅を無端伝動ベルト28の略半分の幅
に形成し、且つ上端側のつばを省き、走行架10のベルト
係止部14b・17bがこの外側プーリ21・22と接触しないよ
うに構成されている。また、その他のプーリ20・23〜27
は両端部につばを有するつば付きプーリが用いられ、こ
れらのプーリのうち、符号25は駆動プーリ、26はテンシ
ョンプーリである。
に沿って配置され、２ヶ所の屈曲部C1・C2に配置された
各外側プーリ21・22は、第１図〜第３図に示すように、
ベルト接触面21aの幅を無端伝動ベルト28の略半分の幅
に形成し、且つ上端側のつばを省き、走行架10のベルト
係止部14b・17bがこの外側プーリ21・22と接触しないよ
うに構成されている。また、その他のプーリ20・23〜27
は両端部につばを有するつば付きプーリが用いられ、こ
れらのプーリのうち、符号25は駆動プーリ、26はテンシ
ョンプーリである。
なお、上記無端伝動ベルト28に代えて、適宜チェーンや
ワイヤ等の無端伝動手段を用いることができ、また無端
に限ることなく、単なる巻掛式の伝動手段であれば走行
架10を牽引して走行させることができる。
ワイヤ等の無端伝動手段を用いることができ、また無端
に限ることなく、単なる巻掛式の伝動手段であれば走行
架10を牽引して走行させることができる。
基板支持手段５は走行架10に支柱６を立設し、支柱６の
上端部に一対の基板支持棒８・８を固設した枢支用ボス
７を固定して成り、基板支持棒８・８で基板Ｗを走行架
10より高い位置で支持するように構成されている。従っ
て、搬送路Ｒで発生した塵埃は上方で支持された基板に
付着しにくくなる。なお上板１は塵埃の舞い上がりを阻
止する防塵カバーの機能をも備える。
上端部に一対の基板支持棒８・８を固設した枢支用ボス
７を固定して成り、基板支持棒８・８で基板Ｗを走行架
10より高い位置で支持するように構成されている。従っ
て、搬送路Ｒで発生した塵埃は上方で支持された基板に
付着しにくくなる。なお上板１は塵埃の舞い上がりを阻
止する防塵カバーの機能をも備える。
走行架10は上記支柱６の下端を固定支持する架台11と、
左右一対の上側車輪13・13を備え架台11を支える車台ブ
ロック12と、下側車輪15備え車台ブロック12に垂下付設
した係止用ブロック14と、左右一対の上側連行車輪18・
18及び下側連行車輪19・19を備え、連結軸16を介して架
台11の後部へ左右揺動可能に連結された側面視逆Ｌ字状
の連行ブロック17とを具備して成る。
左右一対の上側車輪13・13を備え架台11を支える車台ブ
ロック12と、下側車輪15備え車台ブロック12に垂下付設
した係止用ブロック14と、左右一対の上側連行車輪18・
18及び下側連行車輪19・19を備え、連結軸16を介して架
台11の後部へ左右揺動可能に連結された側面視逆Ｌ字状
の連行ブロック17とを具備して成る。
この走行架10は上側と下側の各車輪の組13・15及び18・
19で下板２に形成されたガイドレール部2aを挟持するこ
とにより、基板支持手段５を立設した架台11を安定走行
させるとともに、係止用ブロック14と連行ブロック17の
各ベルト係止部14b・17bを無端伝動ベルト28の上端部に
係止することにより、屈曲部C1・C2を円滑に走行し得る
ように構成されている。
19で下板２に形成されたガイドレール部2aを挟持するこ
とにより、基板支持手段５を立設した架台11を安定走行
させるとともに、係止用ブロック14と連行ブロック17の
各ベルト係止部14b・17bを無端伝動ベルト28の上端部に
係止することにより、屈曲部C1・C2を円滑に走行し得る
ように構成されている。
上記基板支持手段５は第２図に示すように、その軸心Z0
が屈曲部C1・C2に配置された外側プーリ21・22の回転中
心Ｚの上を通過する位置に、架台11上に偏位させて固定
されており、基板支持手段５で支持した基板Ｗの中央部
が当該プーリ21・22の回転中心Ｚの上方を通過するよう
に構成されている。これにより屈曲部C1・C2を通過する
際に、基板Ｗには遠心力が作用することなく、円滑に方
向転換が行える。従って第１図に示すように、略コ字状
搬送路Ｒは屈曲部C1・C2でその進路を直角に方向転換す
るものとなる。
が屈曲部C1・C2に配置された外側プーリ21・22の回転中
心Ｚの上を通過する位置に、架台11上に偏位させて固定
されており、基板支持手段５で支持した基板Ｗの中央部
が当該プーリ21・22の回転中心Ｚの上方を通過するよう
に構成されている。これにより屈曲部C1・C2を通過する
際に、基板Ｗには遠心力が作用することなく、円滑に方
向転換が行える。従って第１図に示すように、略コ字状
搬送路Ｒは屈曲部C1・C2でその進路を直角に方向転換す
るものとなる。
また基板支持手段５の支柱６には第２図に示すように、
被検体30が付設されており、略コ字状搬送路Ｒの始点RA
及び始点RBに対向配置された位置検出器31A・31Bで被検
体30を検知することにより、走行架10を始点RA及び終点
RBで停止させるように構成されている。なお位置検出器
31A・31Bとしては光センサや、磁気センサを用いること
ができる。
被検体30が付設されており、略コ字状搬送路Ｒの始点RA
及び始点RBに対向配置された位置検出器31A・31Bで被検
体30を検知することにより、走行架10を始点RA及び終点
RBで停止させるように構成されている。なお位置検出器
31A・31Bとしては光センサや、磁気センサを用いること
ができる。
上記実施例では略コ字状搬送路に沿って基板を搬送する
ものについて例示したが、これに限るものではなく、Ｌ
字状搬送路を備えるもの等、少なくとも一以上の屈曲部
を有する搬送路に広く実施できる。
ものについて例示したが、これに限るものではなく、Ｌ
字状搬送路を備えるもの等、少なくとも一以上の屈曲部
を有する搬送路に広く実施できる。
また、上記実施例では基板支持手段を略コ字状搬送路Ｒ
の始点RAから終点RBまで往動させた後、同じ経路を復動
させるものについて例示したが、巻掛伝動手段の形態に
応じて周回動させることも可能であり、また基板支持手
段や走行架についても適宜変更を加えて実施できる。
の始点RAから終点RBまで往動させた後、同じ経路を復動
させるものについて例示したが、巻掛伝動手段の形態に
応じて周回動させることも可能であり、また基板支持手
段や走行架についても適宜変更を加えて実施できる。
〈考案の効果〉 以上の説明で明らかなように、本考案では基板支持手段
を走行架上に設け、かつ基板支持手段で支持した基板の
中央部が屈曲部に配置したプーリの回転軸上を通過する
ようにしたので、以下のような効果を奏する。
を走行架上に設け、かつ基板支持手段で支持した基板の
中央部が屈曲部に配置したプーリの回転軸上を通過する
ようにしたので、以下のような効果を奏する。
イ．基板をプーリと無端伝動手段との摺動部位や走行架
よりも高い位置で搬送することができるので、塵埃が基
板に付着するのを極力回避して基板処理工程における歩
留まりを向上させることができる。
よりも高い位置で搬送することができるので、塵埃が基
板に付着するのを極力回避して基板処理工程における歩
留まりを向上させることができる。
ロ．基板支持手段で支持された基板には、屈曲部を通過
する際に、遠心力が作用することはなく、屈曲部での方
向転換を迅速かつ円滑に行える。
する際に、遠心力が作用することはなく、屈曲部での方
向転換を迅速かつ円滑に行える。
第１図は本考案の一実施例を示す基板搬送装置の平面
図、第２図は第１図のII−II線矢視正面図、第３図は第
１図のIII−III線矢視側面図、第４図は従来例の平面図
である。 ５……基板支持手段、10……走行架、20〜27……プー
リ、28……巻掛伝動手段、C1・C2……屈曲部、Ｒ……搬
送路、Ｗ……基板、Ｚ……プーリの回転中心。
図、第２図は第１図のII−II線矢視正面図、第３図は第
１図のIII−III線矢視側面図、第４図は従来例の平面図
である。 ５……基板支持手段、10……走行架、20〜27……プー
リ、28……巻掛伝動手段、C1・C2……屈曲部、Ｒ……搬
送路、Ｗ……基板、Ｚ……プーリの回転中心。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−93112（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−44576（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−32051（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】回転軸回りで回転する複数のプーリと、 該プーリに巻き掛けて曲げられた巻掛伝動手段と、 該巻掛伝動手段に取り付けられて該巻掛伝動手段に沿っ
て走行する走行架とを有し、 該走行架上に基板を支持して搬送すると共に前記巻掛伝
動手段の曲げ方向に基板の搬送方向を転換する基板搬送
装置において、 前記走行架に、基板の中央部が前記プーリの前記回転軸
の上方を通過する位置に基板を支持する基板支持手段を
設けた ことを特徴とする基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989092324U JPH0724337Y2 (ja) | 1989-08-04 | 1989-08-04 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989092324U JPH0724337Y2 (ja) | 1989-08-04 | 1989-08-04 | 基板搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0331146U JPH0331146U (ja) | 1991-03-26 |
| JPH0724337Y2 true JPH0724337Y2 (ja) | 1995-06-05 |
Family
ID=31641761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989092324U Expired - Lifetime JPH0724337Y2 (ja) | 1989-08-04 | 1989-08-04 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0724337Y2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5944576U (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-24 | 日産自動車株式会社 | コンベア装置 |
| JPS6232051U (ja) * | 1985-08-10 | 1987-02-25 | ||
| JPS6293112A (ja) * | 1985-10-18 | 1987-04-28 | Kazuo Kimata | 搬送装置 |
-
1989
- 1989-08-04 JP JP1989092324U patent/JPH0724337Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0331146U (ja) | 1991-03-26 |
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