JPH0724584U - クリーンロボットのカバー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 クリーンロボットに必要とされるクリーン度
を確保しながら、メンテナンス調整を行い易いようにす
る。 【構成】 モータ３５の動力を駆動部分に伝達するタイ
ミングベルト４１を、ベルト専用カバー本体４２と蓋体
４３よりなるタイミングベルト専用カバーによって覆
い、さらにその外側を外周カバーで覆う。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、クリーンルームで作業を行うために使用されるクリーンロボットに おいて、クリーンロボット自体からごみやほこりを出さないようにするクリーン ロボットのカバー装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

近年、ハードディスクの製造や半導体ウエハの製造等を行うためのクリーンル ームでは、ごみやほこりを出さずに作業を行うために、クリーンロボットが用い られている。 図８はクリーンロボットの外観を示す斜視図である。このクリーンロボットは 、ベース１０と、このベース１０上に設けられ、矢印１方向に回転可能な回転テ ーブル１１と、この回転テーブル１１に取り付けられ、矢印２方向に揺動可能な 垂直アーム１２と、この垂直アーム１２の上端部に取り付けられ、矢印３方向に 揺動可能な上部アーム１３と、この上部アーム１３に連結され、矢印４方向に回 転可能な先端アーム１４と、この先端アーム１４の先端部に取り付けられ、矢印 ５方向に揺動可能なハンド支持部１５と、このハンド支持部１５に取り付けられ 、矢印６方向に回転可能なハンド部１６とを備えている。このようなクリーンロ ボットは、それ自体がごみやほこりを出さないことが要求される。

【０００３】 ところで、このクリーンロボットでは、アーム等を動かすために、モータの動 力をタイミングベルトを用いて回転部に伝達するものがある。このタイミングベ ルトはごみやほこりを出すため、従来のクリーンロボットでは、内側にタイミン グベルトが存在する部分の外周カバーに対して、シーリングを行っていた。 図９は、図８において垂直アーム１２を矢印２方向に揺動させるための駆動部 分の一部を示す断面図である。 この図に示すように、回転テーブル１１に対して垂直に、モータ取り付けプレ ート２１が固定され、このモータ取り付けプレート２１にモータ２２が取り付け られている。このモータ２２の出力軸２３にはプーリ２４が取り付けられ、垂直 アーム１２を揺動させるための回転軸２５にもプーリ２６が取り付けられ、両プ ーリ２４、２６間にタイミングベルト２７が掛け渡されている。また、タイミン グベルト２７を含むクリーンロボットの外周部は、カバー２８によって覆われて いる。このカバー２８に対しては、パッキンを介装したりシリコンゴムで貼った りして、シーリングを行っている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、カバー２８に対してシーリングを行うと、カバー２８が外しにくく なり、メンテナンス調整が行いにくいという問題点があった。 また、クリーン度を確保するために、カバー２８を多くのねじを使用して固定 する必要があるが、ねじが多いと清掃がしにくく、またねじの部分にほこりが溜 まりやすいという問題点があった。 その結果、品質が不安定になり、組み立てコストもアップしていた。

【０００５】 そこで、本考案の目的は、クリーンロボットに必要とされるクリーン度を確保 しながら、メンテナンス調整を行い易いようにしたクリーンロボットのカバー装 置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

請求項１記載の考案のクリーンロボットのカバー装置は、モータと、このモー タの動力を駆動部分に伝達するベルトとを備えたクリーンロボットに用いられ、 クリーンロボットの外周部を覆う外周カバーと、この外周カバーの内側に設けら れ、ベルトを覆うベルト専用カバーとを備えたものである。 請求項２記載の考案のクリーンロボットのカバー装置は、請求項１記載の考案 において、ベルト専用カバーが、モータを取り付けるためのモータ取り付けプレ ートと一体化されているものである。

【０００７】

【作用】 請求項１記載の考案では、ベルトはベルト専用カバーによって覆われ、さらに 外周カバーによって覆われる。 請求項２記載の考案では、ベルト専用カバーがモータ取り付けプレートと一体 化され、部品点数が減少する。

【０００８】

【実施例】

以下、本考案のクリーンロボットのカバー装置における一実施例を図１ないし 図７を参照して詳細に説明する。 図１はクリーンロボットの回転テーブルにおける垂直アームの駆動部分を示す 分解斜視図、図２は図１の垂直アームの駆動部分の外周カバーを示す分解斜視図 である。 なお、本実施例に係るクリーンロボットの全体の構成は図８に示すものと同様 であり、その説明は省略する。

【０００９】 図１に示すように、回転テーブル１１の本体３１には、モータ取り付け部３２ と、垂直アーム取り付け部３３が設けられている。モータ取り付け部３２には、 モータ取り付けプレート３４によってモータ３５が取り付けられている。このモ ータ３５の出力軸３６には、プーリ３７が取り付けられている。 また、垂直アーム取り付け部３３には、垂直アーム１２を揺動させるための回 転軸３９が、ベアリング９１およびベアリングホルダ９２を介して取り付けられ ている。この回転軸３９には、プーリ４０が取り付けられている。そして、プー リ３７とプーリ４０の間にタイミングベルト４１が掛け渡されている。

【００１０】 また、本体３１のタイミングベルト４１側の側部には、ベルト専用カバー本体 ４２が取り付けられている。このベルト専用カバー本体４２は、板状のプレート 部４２ａと、それぞれこのプレート部４２ａに形成されたプーリ３７用の孔４２ ｂおよびプーリ４０用の孔４２ｃと、プレート部４２ａに対して垂直方向に形成 されタイミングベルト４１の外側を囲う側壁部４２ｄとを有している。 ベルト専用カバー本体４２は、孔４２ｃ外周部とベアリングホルダ９２間に第 １のＯリング３８ａを介し、また、孔４２ｂの外周部とモータ取り付けプレート ３４間に第２のＯリング３８ｂを介して、本体３１に取り付けられている。

【００１１】 プーリ３７、４０はそれぞれ孔４２ｂ、４２ｃを通って側壁部４２ｄ側に突出 し、タイミングベルト４１は側壁部４２ｄ内に収納されている。そして、側壁部 ４２ｄ側の端部には、シーリング用パッキン４４を介して、蓋体４３が取り付け られている。ベルト専用カバー本体４２と蓋体４３はタイミングベルト専用カバ ーを構成し、これによってタイミングベルト４１を覆っている。また、蓋体４３ は単純な形状として、脱着、シーリングが容易にできるようにしている。 図２に示すように、本体３１の外周部には４つの外周カバー４５、４６、４７ 、４８が取り付けられている。外周カバー４７は、ベルト専用カバー本体４２と 蓋体４３よりなるタイミングベルト専用カバーを覆っているため、タイミングベ ルト４１は二重のカバーによって覆われていることになる。

【００１２】 このように、本実施例では、外周カバーの内側に、タイミングベルト専用カバ ーを設けたので、このタイミングベルト専用カバーで厳密なシーリングを行えば 、外周カバーのシーリングは比較的簡単で済むので、外周カバーが外し易くなる 。また、外周カバーを固定するねじも少なくて済むので、ほこりが溜まることが 少なくなり、清掃も容易になる。また、厳密なシーリングを行うのが、外周カバ ー全体ではなく、タイミングベルト専用カバーだけで済むので、シーリングの作 業が容易になり、かつシーリングの性能を向上させることができる。以上のこと から、メンテナンス調整が行い易くなり、また、品質が安定し、組み立てコスト もダウンする。

【００１３】 図３ないし図５はベルト専用カバー本体の変形例を示すものである。これらの 図は、図１におけるモータ取り付けプレート３４とベルト専用カバー本体４２と を一体化したベルト専用カバー本体５０を示すもので、図３は平面図、図４は断 面図、図５は底面図である。 このベルト専用カバー本体５０は、板状のプレート部５０ａと、それぞれこの プレート部４２ａに形成されたプーリ３７用の孔５０ｂおよびプーリ４０用の孔 ５０ｃと、プレート部５０ａに対して垂直方向に形成されタイミングベルト４１ の外側を囲う側壁部５０ｄと、孔５０ｃの外周部に形成されたＯリング用溝５０ ｈとを有している。また、図４に示すように、プレート部５０ａには、孔５０ｂ に対応する位置にモータ取り付け部５０ｅが設けられ、その周囲に４つのモータ 取り付け用ねじ孔５０ｆが設けられている。

【００１４】 また、このモータ取り付け用ねじ孔５０ｆの外側には、ベルト専用カバー本体 ５０を、回転テーブル１１の本体３１に取り付けるための４つの長孔５０ｇが設 けられている。長孔としているのは、タイミングベルト４１の張力を調整するた めにベルト専用カバー本体５０の位置を調整できるようにするためである。また 、同様にタイミングベルト４１の張力を調整できるように、孔５０ｃの径は、多 少大きく形成されている。

【００１５】 このベルト専用カバー本体５０では、図４の下側より、プーリ３７、４０がそ れぞれ孔５０ｂ、５０ｃを通って側壁部５０ｄ側に突出し、タイミングベルト４ １は側壁部５０ｄ内に収納される。また、モータ３５はモータ取り付け部５０ｅ に取り付けられる。 なお、側壁部５０ｄ側の端部には、図示しないシーリング用パッキンを介して 、蓋体が取り付けられる。 この変形例によれば、部品点数が減少するという効果がある。

【００１６】 図６はクリーンロボットの先端アーム１４におけるハンド支持部１５の駆動部 分を示す分解斜視図である。 この図に示すように、先端アーム１４の本体６１には、モータ取り付け部６２ と、ハンド支持部取り付け部６３が設けられている。モータ取り付け部６２には 、モータ取り付けプレート６４によってモータ６５が取り付けられている。この モータ６５の出力軸６６には、プーリ６７が取り付けられている。また、ハンド 支持部取り付け部６３には、ハンド支持部１５が取り付けられている。そして、 プーリ６７とハンド支持部１５の回転軸７０の間にタイミングベルト７１が掛け 渡されている。

【００１７】 また、本体６１のタイミングベルト７１側の側部には、ベルト専用カバー本体 ７２が取り付けられている。このベルト専用カバー本体７２の端部には図示しな いシーリング用パッキン７４を介して、蓋体７３が取り付けられている。ベルト 専用カバー本体７２と蓋体７３はタイミングベルト専用カバーを構成し、これに よってタイミングベルト７１を覆っている。 また、本体６１の外周部には４つの外周カバー７５、７６、７７、７８が取り 付けられている。外周カバー７７は、ベルト専用カバー本体７２と蓋体７３より なるタイミングベルト専用カバーを覆っているため、タイミングベルト７１は二 重のカバーによって覆われていることになる。

【００１８】 このタイミングベルト専用カバーによる効果は、垂直アーム駆動部分における タイミングベルト専用カバーの場合と同様である。 なお、この実施例においても、図３から図５で示すベルト専用カバー本体と同 様に、モータ取り付けプレート６４とベルト専用カバー本体７２とを一体化した 構造とすることも可能である。

【００１９】 図７は、本実施例の変形例におけるクリーンロボットの一部を示す側面図であ る。なお、この図は、上部アーム１３の駆動部分における外周カバーを取り外し た状態を示している。 図８に示したクリーンロボットでは、上部アーム１３の揺動を、一端が上部ア ーム１３に連結されたロッドを上下することによって行うようになっているが、 図７に示す変形例では、垂直アーム１２に設けられたモータ８１の動力をタイミ ングベルト８２によって上部アーム１３の回転軸８３に伝達して上部アーム１３ の揺動を行うようになっている。 そして、この変形例では、タイミングベルト８２をタイミングベルト専用カバ ー８４で覆い、さらにその外側を図示しない外周カバーで覆っている。 このタイミングベルト専用カバー８４による効果は、垂直アーム駆動部分にお けるタイミングベルト専用カバーの場合と同様である。 なお、上記実施例に示した部分以外の部分でもタイミングベルトが使用される 場合には、その部分に、タイミングベルト専用カバーを設けても良い。

【００２０】

【考案の効果】

以上説明したように、請求項１記載の考案によれば、ベルトをベルト専用カバ ーによって覆い、さらにその外側を外周カバーによって覆うようにしたので、ベ ルト専用カバーで厳密なシーリングを行えば、外周カバーのシーリングは比較的 簡単で済むので、外周カバーが外し易くなり、また、外周カバーを固定するねじ も少なくて済むので、ほこりが溜まることが少なくなり、清掃も容易になる。ま た、厳密なシーリングを行うのが、外周カバー全体ではなく、ベルト専用カバー だけで済むので、シーリングの作業が容易になり、かつシーリングの性能を向上 させることができる。従って、クリーンロボットに必要とされるクリーン度を確 保しながら、メンテナンス調整を行い易くなるという効果がある。 また、請求項２記載の考案によれば、ベルト専用カバーとモータ取り付けプレ ートとを一体化したので、上記効果に加え、部品点数が減少するという効果があ る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例に係るクリーンロボットの回
転テーブルにおける垂直アームの駆動部分を示す分解斜
視図である。

【図２】図１の垂直アームの駆動部分の外周カバーを示
す分解斜視図である。

【図３】図１におけるベルト専用カバー本体の変形例を
示す平面図である。

【図４】図３のベルト専用カバー本体の断面図である。

【図５】図３のベルト専用カバー本体の底面図である。

【図６】本考案の一実施例に係るクリーンロボットの先
端アームにおけるハンド支持部の駆動部分を示す分解斜
視図である。

【図７】本考案の一実施例の変形例におけるクリーンロ
ボットの一部を示す側面図である。

【図８】本考案が適用されるクリーンロボットの外観を
示す斜視図である。

【図９】従来のクリーンロボットにおけるカバーを示す
断面図である。

【符号の説明】

１１ 回転テーブル １２ 垂直アーム １３ 上部アーム １４ 先端アーム １５ ハンド支持部 ３５ モータ ３７、４０ プーリ ３８ａ、３８ｂ Ｏリング ４１ タイミングベルト ４２ ベルト専用カバー本体 ４３ 蓋体 ４４ シーリング用パッキン

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 モータと、このモータの動力を駆動部分
   に伝達するベルトとを備えたクリーンロボットに用いら
   れ、 クリーンロボットの外周部を覆う外周カバーと、 この外周カバーの内側に設けられ、前記ベルトを覆うベ
   ルト専用カバーとを具備することを特徴とするクリーン
   ロボットのカバー装置。
2. 【請求項２】 前記ベルト専用カバーは、前記モータを
   取り付けるためのモータ取り付けプレートと一体化され
   ていることを特徴とする請求項１記載のクリーンロボッ
   トのカバー装置。