JPH07252246A - 多官能ビニルエーテル化合物 - Google Patents
多官能ビニルエーテル化合物Info
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- JPH07252246A JPH07252246A JP4370994A JP4370994A JPH07252246A JP H07252246 A JPH07252246 A JP H07252246A JP 4370994 A JP4370994 A JP 4370994A JP 4370994 A JP4370994 A JP 4370994A JP H07252246 A JPH07252246 A JP H07252246A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】感光性樹脂として利用する場合、速硬化性を有
し、酸素による重合阻害がないという、良好な表面硬化
特性を有し、さらに、分子中のフェノール性水酸基とビ
ニルオキシアルキル基のバランスを調整することによ
り、希アルカリ水への溶解性をも付与し得る（後者は特
にネガティブ型フォトレジストに使用する場合必要であ
る）多官能ビニルエーテル化合物を提供すること。 【構成】 一般式（Ｉ） 〔式中、Ｑは、水素原子または一般式−ＲＯＣＨ＝ＣＨ
2 （式中、Ｒは１ないし１２の炭素原子を含むアルキレ
ン基を示す。）で表されるビニルオキシアルキル基を示
し、Ｒ1 は、水素原子、炭素数１０以下のアルキル基も
しくはシクロアルキル基、炭素数１５以下のアリール基
またはハロゲン原子を示す。Ｒ2 は、炭素数１０以下の
アルキル基を示す。ｎは、０〜３の整数を示す。またＱ
において、水素原子／ビニルオキシアルキル基の比は、
平均値として０／１００〜９０／１０（モル比）の範囲
の値である。〕で表される多官能ビニルエーテル化合
物。
し、酸素による重合阻害がないという、良好な表面硬化
特性を有し、さらに、分子中のフェノール性水酸基とビ
ニルオキシアルキル基のバランスを調整することによ
り、希アルカリ水への溶解性をも付与し得る（後者は特
にネガティブ型フォトレジストに使用する場合必要であ
る）多官能ビニルエーテル化合物を提供すること。 【構成】 一般式（Ｉ） 〔式中、Ｑは、水素原子または一般式−ＲＯＣＨ＝ＣＨ
2 （式中、Ｒは１ないし１２の炭素原子を含むアルキレ
ン基を示す。）で表されるビニルオキシアルキル基を示
し、Ｒ1 は、水素原子、炭素数１０以下のアルキル基も
しくはシクロアルキル基、炭素数１５以下のアリール基
またはハロゲン原子を示す。Ｒ2 は、炭素数１０以下の
アルキル基を示す。ｎは、０〜３の整数を示す。またＱ
において、水素原子／ビニルオキシアルキル基の比は、
平均値として０／１００〜９０／１０（モル比）の範囲
の値である。〕で表される多官能ビニルエーテル化合
物。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、新規な多官能ビニルエ
ーテル化合物に関するものである。本化合物は、ルイス
酸、プロトン酸等の光カチオン重合開始剤の添加により
光硬化が可能であり、産業上の利用分野としては、例え
ばネガティブ型フォトレジスト、塗料、インキ等の感光
性樹脂としての利用があげられる。
ーテル化合物に関するものである。本化合物は、ルイス
酸、プロトン酸等の光カチオン重合開始剤の添加により
光硬化が可能であり、産業上の利用分野としては、例え
ばネガティブ型フォトレジスト、塗料、インキ等の感光
性樹脂としての利用があげられる。
【０００２】
【従来の技術】感光性樹脂として、実用化されている化
合物としては、エポキシアクリレート、ウレタンアクリ
レート等に代表されるアクリレート樹脂がある。
合物としては、エポキシアクリレート、ウレタンアクリ
レート等に代表されるアクリレート樹脂がある。
【０００３】しかし、これら従来のアクリレート樹脂
は、硬化時に酸素による重合阻害が避けられず、硬化膜
表面の硬化性が著しく悪いこと、また、酸素による重合
阻害の見られないエポキシ基の光カチオン重合を硬化反
応に利用した感光性樹脂については、硬化速度が非常に
遅いという別の問題点を有しており、いずれも感光性樹
脂としての要求特性は十分に満足されていない。
は、硬化時に酸素による重合阻害が避けられず、硬化膜
表面の硬化性が著しく悪いこと、また、酸素による重合
阻害の見られないエポキシ基の光カチオン重合を硬化反
応に利用した感光性樹脂については、硬化速度が非常に
遅いという別の問題点を有しており、いずれも感光性樹
脂としての要求特性は十分に満足されていない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、感光
性樹脂として利用する場合、速硬化性を有し、酸素によ
る重合阻害がないという、良好な表面硬化特性を有し、
さらに、分子中のフェノール性水酸基とビニルオキシア
ルキル基のバランスを調整することにより、希アルカリ
水への溶解性をも付与し得る（後者は特にネガティブ型
フォトレジストに使用する場合必要である）多官能ビニ
ルエーテル化合物を提供することである。
性樹脂として利用する場合、速硬化性を有し、酸素によ
る重合阻害がないという、良好な表面硬化特性を有し、
さらに、分子中のフェノール性水酸基とビニルオキシア
ルキル基のバランスを調整することにより、希アルカリ
水への溶解性をも付与し得る（後者は特にネガティブ型
フォトレジストに使用する場合必要である）多官能ビニ
ルエーテル化合物を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するために鋭意検討した結果、特定の構造を有す
る化合物が、上記目的を満足することを見いだし、本発
明を完成させるに至った。すなわち、本発明は次のとお
りである。 一般式（Ｉ）
を解決するために鋭意検討した結果、特定の構造を有す
る化合物が、上記目的を満足することを見いだし、本発
明を完成させるに至った。すなわち、本発明は次のとお
りである。 一般式（Ｉ）
【０００６】
【化２】 〔式中、Ｑは、水素原子または一般式−ＲＯＣＨ＝ＣＨ
2 （式中、Ｒは１ないし１２の炭素原子を含むアルキレ
ン基を示す。）で表されるビニルオキシアルキル基を示
し、Ｒ1 は、水素原子、炭素数１０以下のアルキル基も
しくはシクロアルキル基、炭素数１５以下のアリール基
またはハロゲン原子を示し、かつＲ1 は、同一環内で、
また異なる環内で互いに同一であっても異なっていても
よい。Ｒ2は、炭素数１０以下のアルキル基を示し、か
つＲ2 は、互いに同一であっても異なっていてもよい。
ｎは、０〜３の整数を示す。またＱにおいて、水素原子
／ビニルオキシアルキル基の比は、平均値として０／１
００〜９０／１０（モル比）の範囲の値である。〕で表
される多官能ビニルエーテル化合物。
2 （式中、Ｒは１ないし１２の炭素原子を含むアルキレ
ン基を示す。）で表されるビニルオキシアルキル基を示
し、Ｒ1 は、水素原子、炭素数１０以下のアルキル基も
しくはシクロアルキル基、炭素数１５以下のアリール基
またはハロゲン原子を示し、かつＲ1 は、同一環内で、
また異なる環内で互いに同一であっても異なっていても
よい。Ｒ2は、炭素数１０以下のアルキル基を示し、か
つＲ2 は、互いに同一であっても異なっていてもよい。
ｎは、０〜３の整数を示す。またＱにおいて、水素原子
／ビニルオキシアルキル基の比は、平均値として０／１
００〜９０／１０（モル比）の範囲の値である。〕で表
される多官能ビニルエーテル化合物。
【０００７】以下に本発明を詳細に説明する。一般式
（Ｉ）において、置換基Ｒ1 としては、水素原子；フッ
素、塩素及び臭素等のハロゲン原子；メチル基、エチル
基、プロピル基、ブチル基、アミル基、ヘキシル基、ヘ
プチル基、ノニル基及びデシル基等の炭素数１０以下の
直鎖または分岐鎖のアルキル基；フェニル基、トリル基
及びナフチル基等の炭素数１５以下のアリール基；シク
ロペンチル基、シクロヘキシル基等の炭素数１０以下の
シクロアルキル基等が例示される。置換基Ｒ2 として
は、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、アミ
ル基、ヘキシル基、ヘプチル基、ノニル基及びデシル基
等の炭素数１０以下の直鎖または分岐鎖のアルキル基等
が例示される。また、Ｒ1 は、同一環内で、また異なる
環内で互いに同一であっても異なっていてもよい。Ｒ2
は、互いに同一であっても異なっていてもよい。ｎは、
０〜３の整数を示す。Ｒ1 の置換位置は特に限定されて
いない。
（Ｉ）において、置換基Ｒ1 としては、水素原子；フッ
素、塩素及び臭素等のハロゲン原子；メチル基、エチル
基、プロピル基、ブチル基、アミル基、ヘキシル基、ヘ
プチル基、ノニル基及びデシル基等の炭素数１０以下の
直鎖または分岐鎖のアルキル基；フェニル基、トリル基
及びナフチル基等の炭素数１５以下のアリール基；シク
ロペンチル基、シクロヘキシル基等の炭素数１０以下の
シクロアルキル基等が例示される。置換基Ｒ2 として
は、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、アミ
ル基、ヘキシル基、ヘプチル基、ノニル基及びデシル基
等の炭素数１０以下の直鎖または分岐鎖のアルキル基等
が例示される。また、Ｒ1 は、同一環内で、また異なる
環内で互いに同一であっても異なっていてもよい。Ｒ2
は、互いに同一であっても異なっていてもよい。ｎは、
０〜３の整数を示す。Ｒ1 の置換位置は特に限定されて
いない。
【０００８】Ｑは、それぞれ独立に、水素原子または上
記の式で表されるビニルオキシアルキル基であり、同式
中のアルキレン基Ｒとしては、メチレン、ジメチレン、
トリメチレン、テトラメチレン、ヘキサメチレン、ヘプ
タメチレン、オクタメチレン、ノナメチレン、デカメチ
レン、ドデカメチレンまたはこれらの分岐を有する異性
体等が例示される。水素原子／ビニルオキシアルキル基
の比は、平均値として０／１００〜９０／１０（モル
比）の範囲で任意に設定できる。一般式（Ｉ）で表され
る化合物の一般的な合成方法としては、一般式（ＩＩ）
記の式で表されるビニルオキシアルキル基であり、同式
中のアルキレン基Ｒとしては、メチレン、ジメチレン、
トリメチレン、テトラメチレン、ヘキサメチレン、ヘプ
タメチレン、オクタメチレン、ノナメチレン、デカメチ
レン、ドデカメチレンまたはこれらの分岐を有する異性
体等が例示される。水素原子／ビニルオキシアルキル基
の比は、平均値として０／１００〜９０／１０（モル
比）の範囲で任意に設定できる。一般式（Ｉ）で表され
る化合物の一般的な合成方法としては、一般式（ＩＩ）
【０００９】
【化３】 （式中、Ｒ1 、Ｒ2 の定義は、一般式（Ｉ）のそれと同
じである。）で表される多価フェノール化合物（Ｓ）
と、一般式ＸＲＯＣＨ＝ＣＨ2 （式中、Ｘはハロゲン原
子、Ｒは１ないし１２の炭素原子を含むアルキレン基を
示す。）で表されるハロアルキルビニルエーテル（Ｔ）
を接触させて得ることができる。
じである。）で表される多価フェノール化合物（Ｓ）
と、一般式ＸＲＯＣＨ＝ＣＨ2 （式中、Ｘはハロゲン原
子、Ｒは１ないし１２の炭素原子を含むアルキレン基を
示す。）で表されるハロアルキルビニルエーテル（Ｔ）
を接触させて得ることができる。
【００１０】一般式（ＩＩ）で表される多価フェノール
化合物（Ｓ）は、レゾルシノール類と、脂肪族ケトン類
との酸触媒による脱水縮合反応により得ることができ
る。レゾルシノール類の例としては、レゾルシノール、
メチルレゾルシノール、エチルレゾルシノール、ｎ−プ
ロピルレゾルシノール、イソプロピルレゾルシノール、
ｎ−ブチルレゾルシノール、イソブチルレゾルシノー
ル、ｔ−ブチルレゾルシノール、アミルレゾルシノー
ル、ヘキシルレゾルシノール、シクロヘキシルレゾルシ
ノール、メチル−シクロヘキシルレゾルシノール、メチ
ルブチルレゾルシノール、フェニルレゾルシノール、ナ
フチルレゾルシノール等があげられる。これらのレゾル
シノール類は、単独のみならず二種類以上の混合使用も
可能である。
化合物（Ｓ）は、レゾルシノール類と、脂肪族ケトン類
との酸触媒による脱水縮合反応により得ることができ
る。レゾルシノール類の例としては、レゾルシノール、
メチルレゾルシノール、エチルレゾルシノール、ｎ−プ
ロピルレゾルシノール、イソプロピルレゾルシノール、
ｎ−ブチルレゾルシノール、イソブチルレゾルシノー
ル、ｔ−ブチルレゾルシノール、アミルレゾルシノー
ル、ヘキシルレゾルシノール、シクロヘキシルレゾルシ
ノール、メチル−シクロヘキシルレゾルシノール、メチ
ルブチルレゾルシノール、フェニルレゾルシノール、ナ
フチルレゾルシノール等があげられる。これらのレゾル
シノール類は、単独のみならず二種類以上の混合使用も
可能である。
【００１１】またもう一方の原料である脂肪族ケトン類
の例としては、アセトン、メチルエチルケトン、２−ペ
ンタノン、３−ペンタノン、２−ヘキサノン、３−ヘキ
サノン、メチルイソブチルケトン等、分子中のカルボニ
ル炭素原子に結合する２つの直鎖、または分岐鎖を有す
るアルキル基のそれぞれが炭素数１０以下である脂肪族
ケトン類をあげることができる。これらの脂肪族ケトン
類は、単独のみならず二種類以上の混合使用も可能であ
る。
の例としては、アセトン、メチルエチルケトン、２−ペ
ンタノン、３−ペンタノン、２−ヘキサノン、３−ヘキ
サノン、メチルイソブチルケトン等、分子中のカルボニ
ル炭素原子に結合する２つの直鎖、または分岐鎖を有す
るアルキル基のそれぞれが炭素数１０以下である脂肪族
ケトン類をあげることができる。これらの脂肪族ケトン
類は、単独のみならず二種類以上の混合使用も可能であ
る。
【００１２】多価フェノール化合物（Ｓ）とハロアルキ
ルビニルエーテル（Ｔ）との縮合反応に際しては、適当
な縮合促進剤、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリ
ウム、水素化ナトリウム等のアルカリ金属化合物；金属
ナトリウム；ナトリウムメチラート等のアルカリ金属ア
ルコラート；トリエチルベンジルアンモニウムクロライ
ド、テトラエチルアンモニウムクロライド、トリブチル
ベンジルアンモニウムクロライド等の四級アンモニウム
塩；炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の金属塩等を添加
して反応を促進させることができる。
ルビニルエーテル（Ｔ）との縮合反応に際しては、適当
な縮合促進剤、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリ
ウム、水素化ナトリウム等のアルカリ金属化合物；金属
ナトリウム；ナトリウムメチラート等のアルカリ金属ア
ルコラート；トリエチルベンジルアンモニウムクロライ
ド、テトラエチルアンモニウムクロライド、トリブチル
ベンジルアンモニウムクロライド等の四級アンモニウム
塩；炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の金属塩等を添加
して反応を促進させることができる。
【００１３】これらの縮合促進剤を使用する場合、塩基
の仕込比としては、化合物（Ｓ）のＯＨ基１．０モル当
量に対し、縮合促進剤を０．１〜１０．０モルの範囲、
好ましくは０．３〜２．０モルの範囲にすることで高い
反応促進効果が得られる。
の仕込比としては、化合物（Ｓ）のＯＨ基１．０モル当
量に対し、縮合促進剤を０．１〜１０．０モルの範囲、
好ましくは０．３〜２．０モルの範囲にすることで高い
反応促進効果が得られる。
【００１４】反応は、不活性溶媒、例えばエチルセロソ
ルブ、ジメチルスルホキシド、エチレングリコールモノ
メチルエーテル、ジメチルアセトアミドの様な溶媒中で
行なうことができる。また、反応温度に制限はないが、
室温から１００℃の範囲が好ましい。
ルブ、ジメチルスルホキシド、エチレングリコールモノ
メチルエーテル、ジメチルアセトアミドの様な溶媒中で
行なうことができる。また、反応温度に制限はないが、
室温から１００℃の範囲が好ましい。
【００１５】前記反応終了後の目的物の単離精製法は、
公知の方法を採用できる。例えば、反応液を室温まで冷
却後、トルエン或いはメチルイソブチルケトンで有機層
を抽出し数回水洗することで、未反応化合物（Ｓ）、無
機塩を除き、有機層を無水硫酸ナトリウム等の乾燥剤で
乾燥した後、減圧濃縮することにより目的物を取得する
方法等があげられるが、この方法に限定されるものでは
ない。本発明により得られた多官能ビニルエーテル化合
物は、感光性樹脂として種々の用途がある。
公知の方法を採用できる。例えば、反応液を室温まで冷
却後、トルエン或いはメチルイソブチルケトンで有機層
を抽出し数回水洗することで、未反応化合物（Ｓ）、無
機塩を除き、有機層を無水硫酸ナトリウム等の乾燥剤で
乾燥した後、減圧濃縮することにより目的物を取得する
方法等があげられるが、この方法に限定されるものでは
ない。本発明により得られた多官能ビニルエーテル化合
物は、感光性樹脂として種々の用途がある。
【００１６】
【実施例】以下に本発明を実施例によって更に詳細に説
明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものでは
ない。
明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものでは
ない。
【００１７】実施例１ レゾルシノールとアセトンの縮合反応により得た３官能
フェノール（ＯＨ当量：１００）３０．０ｇ、ジメチル
スルホキシド１２０．０ｇ、臭化テトラブチルアンモニ
ウム４．５ｇを還流冷却器、温度計、撹拌器及び窒素導
入装置を付した反応器に仕込み溶解せしめた後、粉末状
水酸化ナトリウム１３．３ｇを加え、６０℃で３０分撹
拌する。次に２−クロルエチルビニルエーテル３８．４
ｇを反応器内温度を６０℃に保持したまま１５分で滴下
し、更に、７０℃で９時間保温することにより反応を完
結させた。
フェノール（ＯＨ当量：１００）３０．０ｇ、ジメチル
スルホキシド１２０．０ｇ、臭化テトラブチルアンモニ
ウム４．５ｇを還流冷却器、温度計、撹拌器及び窒素導
入装置を付した反応器に仕込み溶解せしめた後、粉末状
水酸化ナトリウム１３．３ｇを加え、６０℃で３０分撹
拌する。次に２−クロルエチルビニルエーテル３８．４
ｇを反応器内温度を６０℃に保持したまま１５分で滴下
し、更に、７０℃で９時間保温することにより反応を完
結させた。
【００１８】８５％リン酸水溶液２．９ｇで過剰の水酸
化ナトリウムを中和した後、メチルイソブチルケトン１
００．０ｇ、水２００．０ｇを加え、有機層への目的物
の抽出及び無機塩の水層への溶解を行なった。この後、
２０％塩化ナトリウム水溶液２００．０ｇによる塩水洗
を５回繰り返し、無水硫酸ナトリウムにより有機層を乾
燥、濾過、更に、メチルイソブチルケトンを減圧留去す
ることにより目的物４８．７ｇを得た。
化ナトリウムを中和した後、メチルイソブチルケトン１
００．０ｇ、水２００．０ｇを加え、有機層への目的物
の抽出及び無機塩の水層への溶解を行なった。この後、
２０％塩化ナトリウム水溶液２００．０ｇによる塩水洗
を５回繰り返し、無水硫酸ナトリウムにより有機層を乾
燥、濾過、更に、メチルイソブチルケトンを減圧留去す
ることにより目的物４８．７ｇを得た。
【００１９】その赤外吸収スペクトルから、１６１０ｃ
ｍ-1と９７５ｃｍ-1にビニル基による吸収、１２００ｃ
ｍ-1にエーテル結合に基づく吸収が認められた。また、
３４００ｃｍ-1付近の水酸基による吸収が完全に消失
し、フェノール性水酸基の水素原子が完全にビニルオキ
シエチル基に置換されたことを確認した。得られた化合
物は、次式で表される多官能ビニルエーテル化合物〔以
下、化合物（１）という〕である。
ｍ-1と９７５ｃｍ-1にビニル基による吸収、１２００ｃ
ｍ-1にエーテル結合に基づく吸収が認められた。また、
３４００ｃｍ-1付近の水酸基による吸収が完全に消失
し、フェノール性水酸基の水素原子が完全にビニルオキ
シエチル基に置換されたことを確認した。得られた化合
物は、次式で表される多官能ビニルエーテル化合物〔以
下、化合物（１）という〕である。
【００２０】
【化４】 （式中、Ｑは全て−ＣＨ2 ＣＨ2 ＯＣＨ＝ＣＨ2 であ
る。Ｍｅはメチル基を示す。）
る。Ｍｅはメチル基を示す。）
【００２１】実施例２ レゾルシノールとアセトンの縮合反応により得た３官能
フェノール（ＯＨ当量：１００）３０．０ｇ、ジメチル
スルホキシド１２０．０ｇ、臭化テトラブチルアンモニ
ウム４．５ｇを還流冷却器、温度計、撹拌器及び窒素導
入装置を付した反応器に仕込み、溶解せしめた後、粉末
状水酸化ナトリウム４．０ｇを加え、６０℃で３０分撹
拌する。次に２−クロルエチルビニルエーテル１２．８
ｇを反応器内温度を６０℃に保持したまま１０分で滴下
し、更に、７０℃で５時間保温することにより反応を完
結させた。
フェノール（ＯＨ当量：１００）３０．０ｇ、ジメチル
スルホキシド１２０．０ｇ、臭化テトラブチルアンモニ
ウム４．５ｇを還流冷却器、温度計、撹拌器及び窒素導
入装置を付した反応器に仕込み、溶解せしめた後、粉末
状水酸化ナトリウム４．０ｇを加え、６０℃で３０分撹
拌する。次に２−クロルエチルビニルエーテル１２．８
ｇを反応器内温度を６０℃に保持したまま１０分で滴下
し、更に、７０℃で５時間保温することにより反応を完
結させた。
【００２２】８５％リン酸水溶液２．９ｇで過剰の水酸
化ナトリウムを中和した後、メチルイソブチルケトン１
００．０ｇ、水２００．０ｇを加え、有機層への目的物
の抽出及び無機塩の水層への溶解を行なった。この後、
２０％塩化ナトリウム水溶液２００．０ｇによる塩水洗
を５回繰り返し、無水硫酸ナトリウムにより有機層を乾
燥、濾過、更に、メチルイソブチルケトンを減圧留去す
ることにより目的物３６．４ｇを得た。
化ナトリウムを中和した後、メチルイソブチルケトン１
００．０ｇ、水２００．０ｇを加え、有機層への目的物
の抽出及び無機塩の水層への溶解を行なった。この後、
２０％塩化ナトリウム水溶液２００．０ｇによる塩水洗
を５回繰り返し、無水硫酸ナトリウムにより有機層を乾
燥、濾過、更に、メチルイソブチルケトンを減圧留去す
ることにより目的物３６．４ｇを得た。
【００２３】その赤外吸収スペクトルから、１６１０ｃ
ｍ-1と９７５ｃｍ-1にビニル基による吸収、１２００ｃ
ｍ-1にエーテル結合に基づく吸収が認められた。また、
中和滴定法により残存フェノール性水酸基を定量し、ビ
ニルオキシエチル基置換率を算出した結果、置換率は３
０％であった。得られた化合物は、次式で表される多官
能ビニルエーテル化合物〔以下、化合物（２）という〕
である。
ｍ-1と９７５ｃｍ-1にビニル基による吸収、１２００ｃ
ｍ-1にエーテル結合に基づく吸収が認められた。また、
中和滴定法により残存フェノール性水酸基を定量し、ビ
ニルオキシエチル基置換率を算出した結果、置換率は３
０％であった。得られた化合物は、次式で表される多官
能ビニルエーテル化合物〔以下、化合物（２）という〕
である。
【００２４】
【化５】 （式中、Ｑは−Ｈまたは−ＣＨ2 ＣＨ2 ＯＣＨ＝ＣＨ2
であり、両者の比は７０／３０である。Ｍｅはメチル基
を示す。）
であり、両者の比は７０／３０である。Ｍｅはメチル基
を示す。）
【００２５】参考例１ 実施例１によって得た、化合物（１）を下記のような配
合により、感光性樹脂組成物とした。
合により、感光性樹脂組成物とした。
【００２６】
【表１】 Ｉｒｕｇａｃｕｒｅ ２６１：商品名、チバガイギー社
製、カチオン性光重合開始剤
製、カチオン性光重合開始剤
【００２７】本感光性樹脂組成物を、ガラス基盤上に
１．２μｍ厚でスピンコートし、６０℃、３０分プリベ
ーク後、ＫＡＳＰＥＲ ２００１Ｃ露光機（ＫＡＳＰＥ
Ｒ社製）を用い大気中でパターニング露光を実施した結
果、光量１５ｍＪ／ｃｍ2 、ポストエクスポージャベー
ク１２０℃×５分でタック（ベタつき）の無い硬化フィ
ルムを得た。これは酸素による重合阻害が無いことを示
している。更に、メチルエチルケトンにて現象したとこ
ろ、解像度５μｍの良好なパターンを得た。「解像度」
は数本の線が線幅に等しい間隔で並んでいる図形（ｌｉ
ｎｅ ＆ｓｐａｃｅ）を用い測定する。線幅を少しずつ
変えたｌｉｎｅ ＆ ｓｐａｃｅの組をマスクとし、そ
の解像限界を示したものである。
１．２μｍ厚でスピンコートし、６０℃、３０分プリベ
ーク後、ＫＡＳＰＥＲ ２００１Ｃ露光機（ＫＡＳＰＥ
Ｒ社製）を用い大気中でパターニング露光を実施した結
果、光量１５ｍＪ／ｃｍ2 、ポストエクスポージャベー
ク１２０℃×５分でタック（ベタつき）の無い硬化フィ
ルムを得た。これは酸素による重合阻害が無いことを示
している。更に、メチルエチルケトンにて現象したとこ
ろ、解像度５μｍの良好なパターンを得た。「解像度」
は数本の線が線幅に等しい間隔で並んでいる図形（ｌｉ
ｎｅ ＆ｓｐａｃｅ）を用い測定する。線幅を少しずつ
変えたｌｉｎｅ ＆ ｓｐａｃｅの組をマスクとし、そ
の解像限界を示したものである。
【００２８】参考例２ 実施例２によって得た、化合物（２）を下記のような配
合により、感光性樹脂組成物とした。
合により、感光性樹脂組成物とした。
【００２９】
【表２】 本感光性樹脂組成物を、ガラス基盤上に１．２μｍ厚で
スピンコートし、６０℃、５分プリべーク後、ＫＡＳＰ
ＥＲ ２００１Ｃ露光機（ＫＡＳＰＥＲ社製）を用い大
気中でパターニング露光を実施した結果、光量５００ｍ
Ｊ／ｃｍ2 、ポストエクスポージャベーク１２０℃×５
分でタックの無い硬化フィルムを得た。更に、６％水酸
化ナトリウム水溶液にて現象したところ、解像度１０μ
ｍの良好なパターンを得た。
スピンコートし、６０℃、５分プリべーク後、ＫＡＳＰ
ＥＲ ２００１Ｃ露光機（ＫＡＳＰＥＲ社製）を用い大
気中でパターニング露光を実施した結果、光量５００ｍ
Ｊ／ｃｍ2 、ポストエクスポージャベーク１２０℃×５
分でタックの無い硬化フィルムを得た。更に、６％水酸
化ナトリウム水溶液にて現象したところ、解像度１０μ
ｍの良好なパターンを得た。
【００３０】
【発明の効果】本発明の多官能ビニルエーテル化合物
は、それを感光性樹脂として利用する場合、従来のアク
リレート樹脂を使用した感光性樹脂と同等以上の硬化速
度、硬化物物性、さらに、酸素による重合阻害の全く無
い良好な表面硬化性、更に、化合物中のフェノール性水
酸基とビニルオキシアルキル基のバランスの最適化によ
り、それをネガティブ型フォトレジストとして使用する
場合に必要な性質である希アルカリ水への溶解性（現象
特性）を付与できるという非常に優れた感光性樹脂特性
を発現できる。
は、それを感光性樹脂として利用する場合、従来のアク
リレート樹脂を使用した感光性樹脂と同等以上の硬化速
度、硬化物物性、さらに、酸素による重合阻害の全く無
い良好な表面硬化性、更に、化合物中のフェノール性水
酸基とビニルオキシアルキル基のバランスの最適化によ
り、それをネガティブ型フォトレジストとして使用する
場合に必要な性質である希アルカリ水への溶解性（現象
特性）を付与できるという非常に優れた感光性樹脂特性
を発現できる。
Claims (1)
- 【請求項１】一般式（Ｉ） 【化１】 〔式中、Ｑは、水素原子または一般式−ＲＯＣＨ＝ＣＨ
2 （式中、Ｒは１以上１２以下の炭素原子を含むアルキ
レン基を示す。）で表されるビニルオキシアルキル基を
示し、Ｒ1 は、水素原子、炭素数１０以下のアルキル基
もしくはシクロアルキル基、炭素数１５以下のアリール
基またはハロゲン原子を示し、かつＲ1 は、同一環内
で、また異なる環内で互いに同一であっても異なってい
てもよい。Ｒ 2 は、炭素数１０以下のアルキル基を示
し、かつＲ2 は、互いに同一であっても異なっていても
よい。ｎは、０〜３の整数を示す。またＱにおいて、水
素原子／ビニルオキシアルキル基の比は、平均値として
０／１００〜９０／１０（モル比）の範囲の値であ
る。〕で表される多官能ビニルエーテル化合物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4370994A JPH07252246A (ja) | 1994-03-15 | 1994-03-15 | 多官能ビニルエーテル化合物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4370994A JPH07252246A (ja) | 1994-03-15 | 1994-03-15 | 多官能ビニルエーテル化合物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07252246A true JPH07252246A (ja) | 1995-10-03 |
Family
ID=12671345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4370994A Pending JPH07252246A (ja) | 1994-03-15 | 1994-03-15 | 多官能ビニルエーテル化合物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07252246A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006522183A (ja) * | 2003-04-04 | 2006-09-28 | バイエル・マテリアルサイエンス・アクチェンゲゼルシャフト | 改良した流動性を有する高度に分岐したポリカーボネートおよびコポリカーボネート、並びにそれらの製造方法および使用 |
-
1994
- 1994-03-15 JP JP4370994A patent/JPH07252246A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006522183A (ja) * | 2003-04-04 | 2006-09-28 | バイエル・マテリアルサイエンス・アクチェンゲゼルシャフト | 改良した流動性を有する高度に分岐したポリカーボネートおよびコポリカーボネート、並びにそれらの製造方法および使用 |
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