JPH07253385A

JPH07253385A - 試料カプセル

Info

Publication number: JPH07253385A
Application number: JP6043731A
Authority: JP
Inventors: Hisao Ozeki; 尚夫大関
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1994-03-15
Filing date: 1994-03-15
Publication date: 1995-10-03

Abstract

(57)【要約】【目的】試料面と結像光学系との距離を短縮できる試
料カプセルを提供する。【構成】Ｘ線透過窓２１ｄ，２２ｄにより一端が封止
されたＸ線通過穴２１ｃ，２２ｃを有する一対の割型２
１，２２がＸ線通過穴２１ｃ，２２ｃの方向に重ね合わ
されてＸ線透過窓２１ｄ，２２ｄ間に試料室ＴＣが画成
される試料カプセル２０において、一方の割型２１のＸ
線透過窓２１ｄが両割型２１，２２の対向面２１ｆ，２
２ｆ側と反対側を向くようにして一対の割型２１，２２
を重ね合わせる。好ましくは、一方の割型２１のＸ線通
過穴２１ｃに他方の割型２２のＸ線透過窓２２ｄを挿入
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、観察試料を装填するＸ
線顕微鏡用試料カプセルに関する。

【０００２】

【従来の技術】医学や生物工学等における生体の光倍率
観察に対する要求の高まりに対応して、波長２〜５ｎｍ
程度の軟Ｘ線を用いるＸ線顕微鏡が注目されている。こ
の軟Ｘ線顕微鏡を用いて生体観察を行うための試料カプ
セルとしては特開平３−１９７８３７号公報、同３−１
９７８３８号公報や同３−２９５４４０号公報に示され
るものが知られている。

【０００３】図７は、軟Ｘ線を用いるＸ線顕微鏡の一例
の構造を簡単に示し、また、図８（ａ），（ｂ）は、種
々の材料における軟Ｘ線の波長と線吸収係数の関係を示
す。軟Ｘ線は、Ｘ線と呼ばれる波長１ｐｍ〜１０ｎｍの
領域の電磁波のうち、通常は、２００ｐｍ以上の波長を
有するものとされ、波長４００〜８００ｎｍの可視光線
よりも２桁以上も短い波長の電磁波である。また、この
軟Ｘ線は、通過する物質に良く吸収され、種々の物質内
における光路単位長さ当りの吸収率、即ち線吸収係数
は、物質の密度に比例し、一般的には波長が長くなる程
高くなるが、図８（ａ），（ｂ）にも示されるように、
各物質の分子構造に応じた波長の、低い線吸収係数の領
域を幾つか有する。なお、図８（ａ）において、Ｏ端、
Ｎ端、Ｃ端とは、それぞれ酸素の吸収端、窒素の吸収
端、および炭素の吸収端を示し、この吸収端とは、Ｘ線
の波長を変化させた場合に、Ｘ線の吸収率が極端に変化
する箇所のＸ線の波長をいう。

【０００４】図７において、コンデンサー光学系２と試
料容器３と結像光学系４と撮像装置５は、Ｘ線発生器１
の出力光軸上に直列に配置され、Ｘ線発生器１から撮像
装置５までのＸ線光学系の光路長は約２ｍである。ま
た、この光学系全体は、排気系６を有する真空槽７内に
納められている。

【０００５】さて、観察試料を装填した試料カプセル８
を試料容器内３にセットした後、排気系６を動作して真
空槽７内を真空排気し、真空度を４．８×１０^-2Ｐａ以
下に維持した状態で観察を行う。Ｘ線発生器１から射出
された軟Ｘ線ビームは、コンデンサー光学系２により収
束され、試料容器３にセットされた試料カプセル８を通
過する。通過した軟Ｘ線は、結像光学系４により撮像装
置５上に結像して真空槽７外のモニタ装置９に観察像を
与える。一般的に、結像光学系の倍率βは、結像光学系
の焦点距離ｆ、試料面から結像光学系までの距離ＳＯ、
撮像面から結像光学系までの距離ＯＤとすると、

【数１】 β＝ＯＤ／ＳＯ ……（１）

【数２】（１／ＳＯ）＋（１／ＯＤ）＝１／ｆ ……（２）で与えられる。

【０００６】軟Ｘ線を用いたＸ線顕微鏡は、軟Ｘ線に対
し１気圧下で２×１０^-3μｍ^-1程度の吸収率を有する大
気による吸収を避けるために、光学系全体をその光路長
に応じた高い真空度に保つ必要があり、軟Ｘ線の収束に
係るレンズ素子に性能の良いものが得にくい等の欠点を
有するが、可視光線より格段に短い波長のＸ線を用いる
ため、従来の光学顕微鏡よりも高い解像度を期待でき
る。また、生体の直接観察を透過材料越しに行うことが
可能で、組織培養液と共に生体を液封した試料カプセル
を用いれば、生体試料を損傷することなく長時間にわた
るその生理観察を実行できる。従って、電子顕微鏡の場
合のような、試料の乾燥や金属蒸着等、観察物にダメー
ジを与える前処理を不要とすることができる。

【０００７】また、図８（ａ）の水に対する線吸収係数
においてＶ字状に示されている、水の窓と呼ばれる水に
対し同係数が低い波長領域（２．３〜４．４ｎｍ）にお
いては、図８（ａ）に示されるように、軟Ｘ線の水に対
する吸収率と、生体を構成するタンパク質等に対する吸
収率との差が大きい。従って、この波長領域の軟Ｘ線を
使用すれば、例えば細胞内に浮遊する小器管等を観察す
る場合にその観察画像のコントラストが良いという利点
もある。

【０００８】ところで、上述したように軟Ｘ線は、種々
の物質により簡単に吸収されてしまうから、軟Ｘ線光路
中に挿入される観察試料を気密封入した試料カプセルに
おいては、その試料層の厚さを薄く採るとともに、気密
を兼ねた観察窓材の軟Ｘ線の吸収量を極力小さくする必
要がある。従って、この窓材には、軟Ｘ線に対する線吸
収係数が低くて膜強度も高い材料、例えば図８（ｂ）の
窒化シリコン（Ｓｉ₃Ｎ₄）等を薄膜形成したものが一般
的に採用されている。

【０００９】図９は、従来の試料カプセルの構造を説明
するためのもので、図９（ａ）は、この試料カプセルの
試料封入部分の平面構造を、また、図９（ｂ）はこの試
料カプセルの断面構造をその試料容器とともに示す。本
従来例は、Ｘ線透過窓１０ｃ、１１ｃを形成した２枚の
チップ１０、１１の間でリング状のスペーサ１２の内側
の密閉空間に観察試料を保持するものである。

【００１０】図９（ａ），（ｂ）において、チップ１
０、１１は、シリコン板１０ａ、１１ａ上に窒化シリコ
ン（Ｓｉ₃Ｎ₄）の薄膜１０ｂ、１１ｂを形成した後に、
Ｘ線透過窓１０ｃ、１１ｃに相当する部分のシリコン板
をエッチングにより除去したものである。ここで、薄膜
１０ｂ、１１ｂの張られたＸ線透過窓１０ｃ、１１ｃは
２００μｍ角の正方形であり、その膜厚は、０．０５〜
０．１μｍである。また、チップ１０、１１の対向する
薄膜面の間に挿入されている円環上のスペーサ１２は、
試料層の厚さを保持するもので、用途に応じて１〜１５
μｍの範囲で適切な厚さのものが選択される。例えば、
軟Ｘ線の波長を２．３ｎｍに選択して、窒化シリコン
（Ｓｉ₃Ｎ₄）の薄膜１０ｂ、１１ｂの膜厚をそれぞれ
０．１μｍ、試料層（水）の厚さを１０μｍとすれば、
それぞれの軟Ｘ線透過率は３９％、１２．３％となり、
全体では約１１％の透過率が確保される。

【００１１】一方、スペーサ１２は、表裏表面にシール
面を有し、２枚のチップ１０、１１と密着して円環の内
側の試料空間の密閉を行う機能を兼ね備えている。ま
た、試料容器１３、１４は、ねじ１５により相互に固定
されるとともに、Ｏリング１６を介して、その内部に納
めたチップ１０、１１を対向方向に押圧するもので、こ
の押圧力によりスペーサ１２とチップ１０、１１の接触
面に、試料カプセルを真空中で保持するために必要な密
着力が付与される。

【００１２】また、スペーサ１２を超えて（通過して）
その外側に試料液が逃げるような場合や、図１０（ａ）
のようにスペーサ１２Ａ、１２Ｂが円環状ではなく、ス
ペーサ１２Ａ自身で試料空間の密閉を行えない場合は、
その試料容器は、図１０（ｂ）に示すように、Ｏリング
１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃを備えてシーリングを行う試料
容器が用いられる。上記のようなセッティングは、観察
対象の毎に行なわれ、試料容器を図７の真空槽７内の試
料観察位置に配置する。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来例のＸ
線顕微鏡の試料カプセルにおいて、式（１），（２）か
ら明らかなように、焦点距離ｆの結像光学系の倍率βを
拡大するためには試料面と結像光学系の距離ＳＯを短く
するか、または、撮像面と結像光学系の距離ＯＤを長く
しなければならない。しかし、撮像面と結像光学系の距
離ＯＤを長くするということは、言い換えるとＸ線顕微
鏡本体を大きくしてしまい、Ｘ線顕微鏡の設置面積や重
量等を考慮すると得策とはいえない。

【００１４】また、試料面と結像光学系の距離ＳＯを短
くすることを考えた場合、最大限に近づけた距離は、試
料面と試料容器の結像光学系側の外側の壁面までの距離
である。従来の試料カプセルでは、Ｘ線透過窓を有した
２枚のチップをＸ線透過窓がある面を内側にして対向さ
せた配置としているので、そのチップの厚さ分だけ試料
面と試料容器の結像光学系側の外側の壁面と距離が長く
なってしまう。言い換えれば、試料カプセルを形成する
チップの厚さ以上に試料面と結像光学系の距離ＳＯを短
くすることできない。試料カプセル自体にこのような制
限があるため、結像光学系の倍率を拡大することが制限
され、実用的なＸ線顕微鏡システム開発を遅らせる原因
の一つとなっている。

【００１５】本発明では、試料面と結像光学系の距離Ｓ
Ｏを短縮できる試料カプセルを提供することを目的とす
る。

【００１６】

【課題を解決するための手段】一実施例を示す図１に対
応付けて説明すると、請求項１の発明は、Ｘ線透過窓２
１ｄ，２２ｄにより一端が封止されたＸ線通過穴２１
ｃ，２２ｃを有する一対の割型２１，２２がＸ線通過穴
２１ｃ，２２ｃの方向に重ね合わされてＸ線透過窓２１
ｄ，２２ｄ間に試料室ＴＣが画成される試料カプセル２
０に適用され、一方の割型２１のＸ線透過窓２１ｄが両
割型２１，２２の対向面２１ｆ，２２ｆ側と反対側を向
くようにして一対の割型２１，２２を重ね合わせること
により上述した目的を達成する。請求項２の発明では、
請求項１の試料カプセルにおいて、一方の割型２１のＸ
線通過穴２１ｃに他方の割型２２のＸ線透過窓２２ｄを
挿入した。図２に対応付けて説明すると、請求項３の発
明では、請求項２の試料カプセルにおいて、他方の割型
３２を、一方の割型２１のＸ線通過穴２１ｃへの挿入部
３２０と、真空に対する気密性が保持されるように挿入
部３２０と接合される基部３２１とを備える構造とし
た。図４に対応付けて説明すると、請求項４の発明で
は、請求項２または３の試料カプセルにおいて、一方の
割型４１のＸ線透過窓４１ｄを、当該一方の割型４１の
他方の割型２２に対する対向面４１ｆと反対側の面の外
周部４１ｇよりも突出させた。図５に対応付けて説明す
ると、請求項５の発明では、請求項４の試料カプセルに
おいて、一方の割型５１が、前記の外周部からの突出部
５１０と、真空に対する気密性が保持されるように突出
部５１０と接合される基部５１１とを備える構造とし
た。図６に対応付けて説明すると、請求項６の発明で
は、請求項１〜５のいずれか１項の試料カプセルにおい
て、一対の割型２１，２２の対向面２１ｆ，２２ｆが試
料室ＴＣを外界から密封するように当該試料室ＴＣの廻
りに全周に渡って密着している。

【００１７】

【作用】本発明の試料カプセルでは、一方の割型２１の
Ｘ線透過窓２１ｄを結像光学系に向けて使用したとき、
試料面を一方の割型２１の厚さ分だけ従来よりも結像光
学系側に接近させることができる。請求項２の発明で
は、他方の割型２２のＸ線透過窓２２ｄの挿入量に応じ
て両割型２１，２２のＸ線透過窓２１ｄ，２２ｄの間隔
が変化する。Ｘ線透過窓２１ｄ，２２ｄの間隔を、一方
の割型２１の厚さよりも小さく設定することも可能であ
る。請求項３の発明では、他方の割型３２を挿入部３２
０と基部３２１とに分けて両者の形状を単純化した上
で、別々の工程により製造できる。請求項４の発明で
は、一方の割型４１のＸ線透過窓４１ｄを結像光学系に
向けたとき、Ｘ線透過窓４１ｄよりも外周側４１ｇが結
像光学系と反対方向へ後退する。このとき生じたスペー
スに試料カプセルの保持部材（例えば図９の試料容器１
３）を設ければ、試料面から結像光学系までの最小距離
をＸ線透過窓１枚分の厚さと略等しい値まで短縮でき
る。請求項５の発明では、一方の割型５１を突出部５１
０と基部５１１とに分けて両者の形状を単純化した上
で、別々の工程により製造できる。請求項６の発明で
は、一対の割型２１，２２の対向面２１ｆ，２２ｆが密
着して試料室ＴＣが密封される。Ｘ線透過窓２１ｄ，２
２ｄの間隔は、割型２１，２２の厚さを変えて調整でき
る。

【００１８】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段と作用の項では、本発明を分かり易
くするために実施例の図を用いたが、これにより本発明
が実施例に限定されるものではない。

【００１９】

【実施例】以下図１〜図６により本発明の実施例を説明
する。なお、上述した図９，図１０に示す従来例や各実
施例間での共通部分には同一符号を付し、重複説明は省
略する。

【００２０】−第１実施例− 図１は本発明の第１実施例の試料カプセルを示すもので
ある。図から明らかなように、本実施例の試料カプセル
２０は一対のチップ２１，２２を備える。チップ２１，
２２は、シリコン基板２１ａ，２２ａの両面に窒化シリ
コンの薄膜２１ｂ，２２ｂを形成した後、シリコン基板
２１ａ，２２ａの中央部をエッチングしてＸ線通過穴２
１ｃ，２２ｃを形成するとともに、Ｘ線通過穴２１ｃ，
２２ｃの一端側の薄膜２１ｂ，２２ｂを残してＸ線透過
窓２１ｄ，２２ｄを形成したものである。図の下側のチ
ップ２２の中央部にはチップ２１のＸ線通過穴２１ｃに
挿入可能な大きさの突起２２ｅが形成され、Ｘ線透過窓
２２ｄはこの突起２２ｅの頂面に設けられている。チッ
プ２１，２２やＸ線透過窓２１ｄ，２２ｄの形状は矩
形、円形等、必要に応じて種々選択してよい。

【００２１】チップ２１，２２は、一方のチップ２１の
Ｘ線透過窓２１ｄがチップ２１，２２の対向面２１ｆ，
２２ｆの反対側に位置し、かつチップ２１のＸ線透過穴
２１ｃにチップ２２のＸ線透過窓２２ｄ部分が挿入した
状態でスペーサ１２を介して重ね合わされる。これによ
り、Ｘ線透過窓２１ｄ，２２ｄの間には、スペーサ１２
でシールされた試料室ＴＣが画成される。チップ２１，
２２を重ね合せる際には試料室ＴＣに観察試料が封入さ
れる。試料室ＴＣの隙間量（Ｘ線透過窓２１ｄ，２２ｄ
の間隔）はスペーサ１２の厚さの調整により所望量に設
定される。

【００２２】以上のようにチップ２１，２２を重ね合せ
た状態で、チップ２１のＸ線透過窓２１ｄが結像光学系
側（図の上側）を向くようにして試料容器１３（図７参
照）に試料カプセル２０を装着する。この状態では、Ｘ
線透過窓２１ｄから試料容器１３の結像光学系側の壁面
１３ｆまでの距離Ａがシリコン基板２１ａの厚さの影響
を受けない。このため、試料面から結像光学系までの距
離を従来よりも短縮できる。

【００２３】−第２実施例− 図２は本発明の第２実施例を示すものである。本実施例
の試料カプセル３０では、チップ２１およびスペーサ１
２が第１実施例のものと共通するが、下側のチップ３２
が、Ｘ線通過穴２１ｃへの挿入部３２０と、この挿入部
３２０に接合される基部３２１とを備える点で第１実施
例と異なる。挿入部３２０および基部３２１はいずれも
シリコン基板３２０ａ，３２１ａの両面に窒化シリコン
の薄膜３２０ｂ，３２１ｂを形成したもので、両者の中
央部にはエッチングによりＸ線通過穴３２ｃが形成さ
れ、その一端に薄膜３２０ｂが残されてＸ線透過窓３２
ｄが形成されている。挿入部３２０と基部３２１との接
合には、エポキシ樹脂接着剤による接合や陽極接合等、
真空に対する試料室ＴＣの気密性を維持できる方法を用
いる。Ｘ線通過穴３２ｃは、挿入部３２０および基部３
２１の接合前に形成しておく場合と、挿入部３２０およ
び基部３２１の接合後に形成する場合のいずれでもよ
い。

【００２４】以上の構成によれば、チップ３２を挿入部
３２０と基部３２１とに分けて別々の工程で製造でき
る。挿入部３２０および基部３２１はともに平板状であ
るため製造が容易である。なお、基部３２１側にはＸ線
透過窓を設ける必要がないため、図３に示すように基部
３２１の両面から薄膜を省略してもよい。この場合、基
部３２１の材質としては、シリコン以外にも金属や硝子
等を使用してよい。

【００２５】−第３実施例− 図４は本発明の第３実施例を示すものである。本実施例
の試料カプセル４０では、チップ４１，２２がスペーサ
１２を介して重ね合わされる。チップ４１はシリコン基
板４１ａの両面に薄膜４１ｂを形成した後、中央部をエ
ッチングしてＸ線通過穴４１ｃを形成するとともに、そ
の一端側に薄膜４１ｂを残してＸ線透過窓４１ｄを形成
した点で第１実施例のチップ２１と共通するが、シリコ
ン基板４１ａのＸ線透過窓４１ｄの形成部分に、チップ
２２との対向面４１ｆと反対方向へ突出する突起４１ｅ
が形成され、これによりＸ線透過窓４１ｄがそれよりも
外周側の面４１ｇから突出する点が第１実施例のチップ
２１と相違する。チップ２２は第１実施例と共通する
が、チップ４１のＸ線透過窓４１ｄの突出に伴って試料
室ＴＣの適正間隔を維持すべく突起２２ｅの高さが変更
され得る。

【００２６】以上の構成によれば、チップ４１のＸ線透
過窓４１ｄが面４１ｇから突出するので、面４１ｇを試
料容器１３の内面に当接させた状態で試料容器１３の壁
面１３ｆよりもＸ線透過窓４１ｄや試料室ＴＣを結像光
学系側（図の上側）に突出させることができる。これに
より、試料面から結像光学系迄の距離をＸ線透過窓４１
ｄの膜厚と略等しい寸法まで短縮できる。なお、試料室
ＴＣに封入される水や気体等と試料とのＸ線透過率の相
違や撮像のコントラストとの関係から試料室ＴＣの厚さ
を大きくしてもよい場合は、チップ４１の突起４１ｅを
高くし、あるいはチップ２２の突起２２ｅの高さを小さ
くする。この場合、第１実施例よりも試料室ＴＣの間隔
を大きく設定することが可能である。

【００２７】−第４実施例− 図５は本発明の第４実施例を示すものである。本実施例
の試料カプセル５０では、第４実施例の突起４１ｅに相
当する突出部５１０と、突起４１ｅ以外の部分に相当す
る基部５１１とを接合したチップ５１と第２実施例のチ
ップ３２とがスペーサ１２を介して重ね合わされる。チ
ップ５１の突出部５１０および基部５１１は、チップ３
２と同様に、シリコン基板５１０ａ，５１１ａの両面に
窒化シリコンの薄膜５１０ｂ，５１１ｂを形成したもの
で、両者の中央部にはＸ線通過穴５１が形成されてい
る。Ｘ線通過穴５１ｃの突出部５１０側の端部は薄膜５
１０ｂによるＸ線透過窓５１ｄで封止される。突出部５
１０と基部５１１との接合には、エポキシ樹脂接着剤に
よる接合や陽極接合等、真空に対する試料室ＴＣの気密
性を維持できる方法を用いる。以上の構成によれば、チ
ップ５１のＸ線透過窓５１ｄの突出により試料面から結
像光学系までの距離を最短にでき、かつチップ５１，３
２を容易に製造できるので、実用性が極めて高い。

【００２８】−第５実施例− 図６は本発明の第５実施例を示すものである。この実施
例の試料カプセル６０は、第１実施例の試料カプセル２
０からスペーサ１２（図１参照）を省略し、チップ２
１，２２の対向面２１ｆ，２２ｆを全周に渡って密着さ
せて試料室ＴＣを密封したものである。試料室ＴＣの間
隔は、チップ２１のＸ線透過窓２１ｄから対向面２１ｆ
までの厚さ寸法Ｂやチップ２２の突起２２ｅの対向面２
２ｆからの突出高さＣを両チップ２１，２２の製造工程
で調整すれば任意に設定できる。なお、試料室ＴＣの適
正間隔と上述の厚さ寸法Ｂが等しいときは突起２２ｅが
不要となる。

【００２９】本実施例によれば、試料カプセルの部品点
数が減ってコストダウンが可能となる。ちなみに、図
９，１０の従来例ではＸ線透過窓同士が向い合うため、
両チップ間のスペーサが必須である。仮にスペーサ１２
をチップと一体化したところで、チップの製造工程にス
ペーサの形成工程が追加されるためコストダウンは難し
い。なお、上述した第２〜第４実施例の試料カプセル３
０〜５０でも同様にスペーサ１２を省略してよい。

【００３０】上述した各実施例の試料カプセルを図１０
に示す試料容器１３に取り付ける場合、Ｏリング１６ｃ
を用いることなく、チップの結像光学系との対向面と試
料容器の内面とを真空に対して気密性を維持できる結合
方法で貼り合わせれば、Ｏリング１６ｃのＯリング溝の
厚さ分だけ試料容器１３を薄くできる。これにより試料
面と結像光学系の距離ＳＯが一層短縮される。

【００３１】以上の実施例では、チップ２１，２２，３
２，４１，５１が割型に、チップ２１，４１，５１が一
方の割型に、チップ２２，３２が他方の割型に相当す
る。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の試料カプ
セルによれば、一方の割型のＸ線透過窓を結像光学系に
向けて使用することにより、試料面を一方の割型の厚さ
分だけ従来よりも結像光学系側に接近させることができ
るので、従来よりも試料の結像倍率を大きくできる。請
求項２の発明によれば、他方の割型のＸ線透過窓の挿入
量に応じて両割型のＸ線透過窓の間隔を調整できるの
で、一方の割型のＸ線透過窓を結像光学系に向けても試
料室の間隔が一方の割型の厚さの制限を受けることがな
い。請求項３の発明によれば、挿入部と基部の形状を単
純化して他方の割型を容易に製造できる請求項４の発明
によれば、一方の割型のＸ線透過窓を結像光学系に向
け、このときＸ線透過窓よりも外周側に生じたスペース
に試料カプセルの保持部材を設けることにより、試料面
から結像光学系までの最小距離をＸ線透過窓１枚分の厚
さと略等しい値まで短縮できる。また、試料室の間隔を
大きくすることも容易である。請求項５の発明によれ
ば、突出部と基部の形状を単純化して一方の割型を容易
に製造できる。請求項６の発明によれば、Ｘ線透過窓の
間隔を割型の厚さにより調整でき、割型間に寸法調整用
のスペーサを介装する必要がないので、部品点数を減ら
してコストダウンを図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の試料カプセルの断面図。

【図２】本発明の第２実施例の試料カプセルの断面図。

【図３】図２の変形例の断面図。

【図４】本発明の第３実施例の試料カプセルの断面図。

【図５】本発明の第４実施例の試料カプセルの断面図。

【図６】本発明の第５実施例の試料カプセルの断面図。

【図７】従来のＸ線顕微鏡の概要を示す図。

【図８】各種物質の軟Ｘ線に対する線吸収係数を示す
図。

【図９】従来のＸ線顕微鏡用試料カプセルの構造を示す
図。

【図１０】他の従来のＸ線顕微鏡用試料カプセルの構造
を示す図。

【符号の説明】

２０，３０，４０，５０，６０試料カプセル２１，２２，３２，４１，５１チップ２１ｃ，２２ｃ，３２ｃ，４１ｃ，５１ｃＸ線通過穴２１ｄ，２２ｄ，３２ｄ，４１ｄ，５１ｄＸ線通過窓３２０挿入部３２１，５１１基部５２０突出部ＴＣ試料室

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】Ｘ線透過窓により一端が封止されたＸ線
通過穴を有する一対の割型が前記Ｘ線通過穴の方向に重
ね合わされて前記Ｘ線透過窓間に試料室が画成される試
料カプセルにおいて、一方の割型のＸ線透過窓が両割型の対向面側と反対側を
向くようにして前記一対の割型が重ね合わされているこ
とを特徴とする試料カプセル。
【請求項２】請求項１記載の試料カプセルにおいて、前記一方の割型の前記Ｘ線通過穴に他方の割型のＸ線透
過窓が挿入されていることを特徴とする試料カプセル。
【請求項３】請求項２記載の試料カプセルにおいて、前記他方の割型が、前記一方の割型のＸ線通過穴への挿
入部と、真空に対する気密性が保持されるように前記挿
入部と接合される基部とを備えることを特徴とする試料
カプセル。
【請求項４】請求項２または３記載の試料カプセルに
おいて、前記一方の割型の前記Ｘ線透過窓が、当該一方の割型の
前記対向面と反対側の面の外周部よりも突出しているこ
とを特徴とする試料カプセル。
【請求項５】請求項４記載の試料カプセルにおいて、前記一方の割型が、前記外周部からの突出部と、真空に
対する気密性が保持されるように前記突出部と接合され
る基部とを備えることを特徴とする試料カプセル。
【請求項６】請求項１〜５のいずれか１項に記載の試
料カプセルにおいて、前記一対の割型の前記対向面が前記試料室を外界から密
封するように当該試料室の廻りに全周に渡って密着して
いることを特徴とする試料カプセル。