JPH07257773A - 搬送装置 - Google Patents

搬送装置

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JPH07257773A
JPH07257773A JP6047379A JP4737994A JPH07257773A JP H07257773 A JPH07257773 A JP H07257773A JP 6047379 A JP6047379 A JP 6047379A JP 4737994 A JP4737994 A JP 4737994A JP H07257773 A JPH07257773 A JP H07257773A
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JP
Japan
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stator
mover
electrode
moving element
electrodes
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Application number
JP6047379A
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English (en)
Inventor
Yuko Kobayashi
祐子 小林
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】外的環境に影響されずに安定な搬送を実現で
き、しかも小型・薄型化を実現できる静電気力を利用し
た搬送装置を提供する。 【構成】絶縁材で形成された固定子11と、この固定子
11内に所定ピッチで複数配設された固定子電極12
と、固定子11に沿って固定子電極12の配設方向へ移
動自在に設けられ、固定子11に対向している面とは反
対側に位置する面を被搬送物保持面Pとする絶縁材で形
成されて移動子13と、この移動子13内に移動子の移
動方向へ所定ピッチで複数設けられた移動子電極14
と、これら移動子電極14に電圧を印加して被搬送物保
持面Pに被搬送物Xを静電吸着させるととともに固定子
電極12への印加電圧の極性を順次組合せ変化させて固
定子電極12と移動子電極14との間に生じる静電気力
で移動子13を移動させる駆動制御回路15とを備えて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、オフィスオートメーシ
ョン機器や金融機器などの情報機器分野において用いる
のに好適な薄型の搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、パーソナルコンピューター、ワー
ドプロセッサー、ファクシミリ、複写機などの情報機器
がオフィスのみならず一般家庭にも普及している。これ
に伴って、従来にもまして装置の小型軽量化・薄型化の
要望が強まっている。
【0003】パーソナルコンピューター、ワードプロセ
ッサーなどに付設されるプリンタや、ファクシミリ、複
写機などにおいては、記録媒体として紙類を用いてお
り、この記録媒体の搬送装置に対しても小型軽量化・薄
型化が要望されている。
【0004】紙類などの記録媒体を搬送する方法として
は、専ら、記録媒体をベルトで挾持して搬送する方式や
ローラ等で直接挾持して搬送する方式が採用されてい
る。しかし、これらの方式では、小型化(たとえばロー
ラを小型化)すると、搬送力や搬送精度の低下を招くた
め、あまり小型化できないという問題があった。また、
これらの方式では、駆動用モータや減速機構を必要とす
るため、この面からも小型軽量化には限界があった。
【0005】ところで、近年、小型化、薄型化、軽量化
を図り得る搬送装置として、静電気力を利用して記録媒
体を搬送する装置の提案がなされている。たとえば、特
開平2−285978号公報では、固定子に印加する電
圧を順次切換えることによってフイルムや紙類などの被
搬送物に誘導される電荷との静電気力を利用して直接、
被搬送物を搬送するものを提案している。
【0006】図12には提案されている搬送装置の概略
構成が示されている。この搬送装置は、固定子1上に載
置された被搬送物である移動子2を静電気力で図中矢印
(イ)あるいは矢印(ロ)で示す方向に搬送する構成と
なっている。すなわち、固定子1は、図13に示すよう
に、エポキシ樹脂などの絶縁体4中に銅材で帯状に形成
された電極3を所定ピッチに配置するとともに、PET
(ポリエチレンテレフタレート)フイルム5で覆った構
造となっている。
【0007】一定ピッチに設けられた各電極3は、図1
4に示すように、2つおきに同一端子に接続され、3相
にグループ分けされている。ここでは、各グループの電
極を番号3a,3b,3cで示している。そして、各グ
ループの電極3a,3b,3cに図示しない駆動制御回
路から後述する関係に電圧を印加することにより、後述
する原理で移動子2を図12中の矢印(イ)または
(ロ)で示す方向に搬送する。この搬送装置では、移動
子2自体が被搬送物であり、移動子2としては適当な大
きさの電気抵抗を有する紙などを用いることになってい
る。
【0008】この搬送装置では、固定子1のグループ分
けされた電極3a,3b,3cへの印加電圧を図14に
示すように切換えることによって搬送動作が行われる。
まず、図14(a) に示すように、電極3a,3bにそれ
ぞれ正負の電圧+V,−Vを印加する。そうすると、移
動子2側に電荷の移動が起こり、移動子2に櫛形の電荷
分布が生じる(これを充電操作と呼ぶ)。
【0009】この充電操作の後に、図14(b) に示すよ
うに、電極3aに負電圧−V、電極3b,3cに正電圧
+Vを印加する。このとき、電極3a,3b,3cの電
荷は速やかに移動できるが、移動子2側では電気抵抗が
大きいため、速やかに移動することができない。このた
め、固定子1と移動子2との間で同符号の電荷が向き合
うことになり、固定子1と移動子2との間に反発力が生
じ、この反発力により移動子2と固定子1との間の摩擦
力が減少する。また、電極3cの電荷のために、移動子
2には図中矢印(ロ)方向の吸引力fが生じ、移動子2
は図14(c) に示すように、電極3の1ピッチ分、つま
り距離Δxだけ矢印(ロ)方向に搬送される。以上の充
電操作と移動操作とを電極3を1つずつずらしながら行
うことにより、移動子2を任意のステップ数だけ移動さ
せるようにしている。
【0010】しかしながら、上記のように構成された搬
送装置にあっては、固定子1と移動子2との間に静電反
発力を与えると同時に固定子1と移動子1との間に斜め
の静電吸引力を与えて移動子2を歩進(搬送)させてい
るので、歩進の精度が固定子1と移動子2との接触面の
状態や電気抵抗によって大きく左右される。接触面の状
態は、湿度や温度などの外的環境によって大きく変化す
る。また、電気抵抗も湿度や温度などの外的環境によっ
て大きく変化する。このため、条件によっては搬送でき
ないことがあり、安定性を確保することが困難であっ
た。
【0011】また、他の例として、特開平4−1599
20号公報に示されているものでは、固定子に印加する
電圧を順次切替えることにより、静電気力で専用の移動
子を移動させ、この移動子上に被搬送物を載置すること
によって被搬送物を搬送または回転させるようにしてい
る。この搬送装置では、被搬送物の自重を利用して移動
子上に被搬送物を保持させるようにしている。
【0012】しかしながら、この搬送装置にあっても被
搬送物が、たとえば紙類などのように軽量なものの場合
には、移動子上への被搬送物の保持が困難で、やはり搬
送の安定性を確保することが困難で、自ずと被搬送物が
限定される。
【0013】また、たとえば特開平3−152035号
公報に示されているように、静電吸着ベルトを使って被
搬送物を保持し、静電吸着ベルトをモータを用いて駆動
する方式も考えられているが、駆動源の小型化および薄
型化に限界がある上、静電吸着ベルトの薄型化にも限界
がある。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】上述の如く、静電気力
を利用した従来の搬送装置にあっては、搬送の安定性を
確保することが困難であったり、被搬送物が特定された
り、全体の小型・薄型化を図ることが困難であったりす
るなどの問題があった。そこで本発明は、上述した不具
合を解消でき静電気力式の搬送装置を提供することを目
的としている。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1の搬送装置では、絶縁材で形成された固定
子と、この固定子内に所定ピッチで複数配設された固定
子電極と、前記固定子に沿って前記固定子電極の配設方
向へ移動自在に設けられ、上記固定子に対向している面
とは反対側に位置する面を被搬送物保持面とする絶縁材
で形成された移動子と、この移動子内に該移動子の移動
方向へ所定ピッチで複数設けられた移動子電極と、これ
ら移動子電極に電圧を印加して前記被搬送物保持面に被
搬送物を静電吸着させるとともに前記固定子電極への印
加電圧の極性を順次組合せ変化させて上記固定子電極と
上記移動子電極との間に生じる静電気力で上記移動子を
移動させる駆動制御回路とを備えている。
【0016】なお、前記移動子の厚みをTとしたとき、
前記被搬送物保持面と前記移動子電極との間の距離をT
/2以内、つまり移動子電極を被搬送物保持面寄りに設
けることが好ましい。
【0017】また、移動子電極に印加する電圧の絶対値
を固定子電極に印加する電圧の絶対値より大に設定する
ことも有効である。さらに、移動子と固定子との対向面
の少なくとも一方に低摩擦処置を施すことも有効であ
る。
【0018】
【作用】請求項1の搬送装置では、固定子電極に印加さ
れた電圧と移動子電極に印加された電圧との間に生じる
静電気力で専用の移動子を移動させ、かつ移動子電極に
印加された電圧を使って移動子に設けられた被搬送物保
持面に被搬送物を静電吸着させるようにしている。した
がって、被搬送物を移動させるための系と、移動中の被
搬送物を保持する系とを完全に独立させることができ
る。このため、固定や移動子を構成する材料や印加電圧
の選択等によって外部環境に左右され難い移動特性を実
現でき、また移動子電極に印加する電圧の選択等によっ
て、やはり外部環境に左右され難い保持特性を実現でき
る。そして、移動力および保持力の両方を静電気力で得
るようにしているので、装置全体を小型化・薄型化する
ことが可能となる。
【0019】なお、移動子の厚みをTとしたとき、被搬
送物保持面と移動子電極との間の距離をT/2以内に設
定すると、被搬送物を静電吸着する力を大きくでき、さ
らには固定子電極からの電気干渉を少なくできるので、
被搬送物の材質や温度・湿度の影響が少なくでき、安定
・確実に保持することができる。
【0020】また、固定子電極に印加する電圧をVとし
たとき、移動子電極に印加する電圧をV以上にすること
により、被搬送物保持面に被搬送物を静電吸着させる力
を大きくできるばかりか、静電吸着の際に固定子側から
の電気干渉を少なくでき、安定・確実に被搬送物を静電
吸着させることができる。
【0021】さらに、移動子と固定子との対向面の少な
くとも一方に低摩擦処置を施すこと、たとえば低摩擦層
を設けたり、潤滑層を設けたり、あるいはこれらに準ず
る処置を表面に施すことにより、移動子を円滑に移動さ
せることができる。このような搬送装置は、薄型化・小
型化が望まれているパーソナルユースなどの情報機器に
おける紙類などの搬送に用いることができる。
【0022】
【実施例】以下、図面を参照しながら実施例を説明す
る。図1には本発明の一実施例に係る搬送装置の模式図
が示されている。この搬送装置は、絶縁材で形成されて
図中左右方向に薄い板状に配設された固定子11と、こ
の固定子11内に固定子の延びる方向に所定ピッチで複
数配設された固定子電極12と、固定子11に沿って固
定子電極12の配設方向へ移動自在に設けられ、固定子
11に対向している面とは反対側に位置する面を被搬送
物保持面Pとする絶縁材で形成された移動子13と、こ
の移動子13内に移動子の移動方向へ所定ピッチで複数
設けられた移動子電極14と、これら移動子電極14に
電圧を印加して被搬送物保持面Pに紙類などの被搬送物
Xを静電吸着させるととともに固定子電極12への印加
電圧の極性を順次組合せ変化させて固定子電極12と移
動子電極14との間に生じる静電気力で移動子13を図
中左右方向に移動させる駆動制御回路15とで構成され
ている。
【0023】固定子11は、図13に示したものと同様
に、ガラスエポキシ樹脂や塩化ビニル樹脂などの絶縁樹
脂を芯材とし、この芯材の両面をPETフイルム等で覆
ったものとなっている。また、固定子電極12はITO
やCuで帯状に形成されており、それぞれが紙面と直交
する方向に延び、かつ図中左右方向に同じピッチで固定
子11の芯材中にエポキシ系などの接着剤を使って埋め
込固定されている。なお、図1においては、固定子11
の寸法や、電極の個数、寸法、配置間隔などが誇張して
示してある。
【0024】移動子13は、たとえばポリイミドフィル
ムなどの絶縁体で構成されている。移動子電極14は、
ITOやCuで帯状に形成されており、それぞれが紙面
と直交する方向に延び、かつ図中左右方向に固定子電極
12と同じピッチで移動子13中に埋め込まれている。
移動子13中における移動子電極14は、移動子12の
厚みをTとしたとき、固定子11側の面を基準位置とし
て、基準位置からT/2以上離れた位置Sに中心位置が
くるように埋め込まれている。
【0025】固定子電極12は、配列方向に2つおきに
共通に接続されて3つの電極グループa,b,cに区分
けされている。同様に、移動子電極14も配列方向に2
つおきに共通に接続されて3つの電極グループd,e,
fに区分けされている。そして、これら各電極グループ
a〜fは、駆動制御回路15に接続されている。
【0026】駆動制御回路15は、後述するように、移
動子13側の電極グループd,e,fに極性が変化しな
い一定の電圧を印加し、この印加電圧によって被搬送物
Xを移動子13の被搬送物保持面Pに静電吸着させると
ともに、固定子11側の電極グループa,b,cに極性
が変化する電圧を組合せながら順次印加することにより
固定子11と移動子13との間に静電気力を発生させて
移動子13を移動させるように構成されている。
【0027】このように構成された搬送装置は次のよう
にして被搬送物Xを搬送する。図2には移動子13の被
搬送物保持面Pに被搬送物Xを静電吸着させ、この状態
で移動子13の移動を実行するときの各電極グループa
〜fへの電圧印加関係の一例が示されている。
【0028】この装置では、移動子13側の電極グルー
プd、e、fへの印加電圧を固定し、固定子11側の電
極グループa、b、cへの印加電圧を駆動制御回路15
によって切替えるようにしている。
【0029】すなわち、まず、時点t0 において、駆動
制御回路15は、図2(a) に示すように、移動子13の
電極グループd,e,fのうち、電極グループdを+V
2 、電極グループeをゼロ、電極グループfを−V2
電位に固定する。また、固定子11の電極グループa,
b,cのうち、電極グループaを−V1 、電極グループ
bをゼロ、電極グループcを+V1 にする。
【0030】このとき、移動子電極14の電位により被
搬送物Xに静電誘導が起こり、被搬送物Xの移動子13
側に位置している表面とは反対側に位置している表面に
移動子電極14の電位極性とは逆極性の電荷が現れる。
この結果、被搬送物Xは静電吸着力により移動子13の
被搬送物保持面Pに吸着保持される。
【0031】一方、固定子電極12および移動子電極1
4への電圧印加によって移動子13と固定子12との間
にも静電吸着力が作用し、この静電吸着力によって移動
子13は一定位置に停止する。なお、本実施例では、V
1 ≦V2 の関係に電圧を印加している。このように、移
動子電極14への印加電圧を固定子電極12への印加電
圧と等しいか、あるいはより大きく設定することによっ
て移動子13が被搬送物Xを静電吸着する際に固定子1
1側からの電気干渉を少なくしている。
【0032】次に、ある一定期間経過した時点t1 にお
いて、駆動制御回路15は、図2(b) に示すように、固
定子11側の電極グループa,b,cのうち、電極グル
ープaを+V1 、電極グループbを+V1 、電極グルー
プcを−V1 に切替える。
【0033】こうなると、移動子13の向かい合う電極
電圧と反発しあう。すなわち、たとえば、電極グループ
aと電極グループdは、図中上下方向に反発するので移
動子13と固定子11の間の摩擦力が軽減される。ま
た、たとえば電極グループbと電極グループf、電極グ
ループcと電極グループdは異符号なので吸引しあう。
この結果、移動子13は図2(c) 中に矢印(ロ)で示す
方向に電極の配設ピッチの1ピッチ分Δx移動する。
【0034】このように順次、固定子11側の電極グル
ープa,b,cの電圧極性を切替えることにより、移動
子13を電極の配設ピッチの1ピッチ分Δxずつ移動さ
せることができる。したがって、移動子13に吸着され
ている被搬送物Xも1ピッチ分Δxずつ移動することに
なる。
【0035】このように、固定子電極12に印加した電
圧と移動子電極14に印加した電圧との間に生じる静電
気力で専用の移動子13を移動させ、かつ移動子電極1
4に印加した電圧を使って移動子13に設けられた被搬
送物保持面Pに被搬送物Xを静電吸着させるようにして
いる。したがって、被搬送物Xを移動させるために必要
な力と、移動中の被搬送物Xを保持するために必要な力
とを完全に独立して与えることができる。このため、固
定子11や移動子13を構成する材料や印加電圧の選択
等によって外部環境に左右され難い移動特性を発揮させ
ることができ、また移動子電極14に印加する電圧の選
択等によって外部環境に左右され難い保持特性を発揮さ
せることができる。そして、移動力および保持力の両方
を静電気力で得るようにしているので、装置全体を小型
化・薄型化することができる。
【0036】なお、図3、図4、図5には電圧印加形態
を異にした駆動方式が示されている。いずれも駆動原理
は同じであり、詳しい説明は省略する。また、移動子1
3の各電極グループd、e、fに与える印加電圧の極性
が隣合う電極同士では極性(正、負、0)が異なるよう
にすると、移動子13側への電圧印加を停止した際に被
搬送物Xの表面上の正負電荷を速やかに打ち消し合わせ
ることができ、被搬送物Xを移動子13から速やかに解
放できると考えられる。
【0037】また、移動子13と固定子12の対向面の
少なくとも一方に、たとえば四弗化エチレンなどをコー
ティングした低摩擦層を設けたり、あるいは潤滑剤を塗
布したり、あるいはそれらに準ずる処置(たとえば、単
に表面の平滑度を調整する)を講ずることにより、移動
子13を固定子11に沿わせて円滑に移動させることが
できる。たとえば、四弗化エチレンのコーティングを施
した場合には、四弗化エチレンそのものが絶縁体で、摩
擦係数が0.01から0.04程度と非常に小さいので、固定子
11と移動子13の両方にコーティングすることが望ま
しい。
【0038】図6には本発明の別の実施例に係る搬送装
置の概略構成が示されている。この図では図1と同一機
能部分が同一符号で示してある。この実施例に係る搬送
装置では、移動子13を無端ベルト状に形成し、これを
低摩擦材(たとえば、四弗化エチレン)で半円弧状に形
成されたガイド21a,21bで支え、上下方向回りに
レーストラック状経路で移動できるようにしている。そ
して、移動子13で囲まれた空間に固定子11a,11
bを上下2層構造に配置し、固定子11a,11b間に
シールド電極22を配置して上下固定子間での電気干渉
を抑制している。勿論、上下固定子の間隔を一定距離以
上離すことによって電気干渉の発生を防止するようにし
てもよい。
【0039】図7には本発明のさらに別の実施例に係る
搬送装置の概略構成が示されている。この図においても
図1と同一機能部分が同一符号で示してある。この実施
例は、プリンタの用紙送りに応用した例である。
【0040】この実施例に係る搬送装置も移動子13を
無端ベルト状に形成し、これを低摩擦材(たとえば、四
弗化エチレン)で半円弧状に形成されたガイド21と小
径のアイドルローラ23とで支え、上下方向回りにレー
ストラック状経路で移動できるようにしている。そし
て、移動子13の直線部分の内側に沿わせ、かつ互いの
間に上下方向に一定の間隔をあけて固定子11a,11
bを配置している。各固定子11a,11bの移動子1
3との接触面には四弗化エチレン等の低摩擦材24がそ
れぞれコーティングされている。
【0041】ガイド21の外周面には、移動子電極14
に電圧を印加するための給電機構25が設けられてい
る。すなわち、この例では図8に示すように、移動子1
3内に配設された移動子電極14が配設方向に2つおき
に共通接続されて3つの電極グループd,e,fに区分
けされており、共通接続するための接続導体26d,2
6e,26fが移動子13の内面に帯状に露出してい
る。そして、給電機構25は、露出している接続導体2
6d,26e,26fにそれぞれ摺動接触する接触子2
7d,27e,27fを設けたものとなっている。接触
子27d,27e,27fの搬送方向の長さは、移動子
13を製作する際のつなぎ目を考慮して移動子電極14
の配設ピッチの6倍以上に設定されている。勿論、接触
子27d,27e,27fを金属製の小ローラ群で構成
することもできる。
【0042】搬送装置の上方には搬送装置との間に僅か
の隙間をあけて印字部28が配設されている。また、搬
送装置の出入口には被搬送物Xの出入を容易にするため
にガイド機構29a,29b,29c,29dが設けら
れている。ガイド機構29dは必要に応じて移動子13
までの距離Sを調整できるように構成されており、これ
によって被搬送物Xを移動子ループに沿わせて搬送した
り、装置から排出させたりできるようになっている。
【0043】図9(a) にはガイド機構29dの構成例が
示されている。この例では、引っ張りバネ30と薄型で
引っ張り力を発生する手段、たとえばソレノイド31を
用いて軸32を支点にガイド体33を図中矢印方向に移
動させることによって、被搬送物Xを移動子ループに沿
わせて搬送したり、装置から排出させたりすることを実
現している。
【0044】なお、ガイド機構29dの構成は図9(a)
に限られるものではなく、図9(b)に示すように、引っ
張りバネ30とソレノイド31の配設位置を逆関係にし
てもよい。また、図9(c) に示すように、引っ張りバネ
30の引っ張り力と、ガイド体33に付設された鉄片3
4と電磁石35との間に生じる引っ張り力との関係を利
用してを図中矢印方向にガイド体33を回動移動させる
ようにしてもよい。なお、鉄片34が電磁石35に接触
しないように非磁性体のスペーサ36(たとえばゴム
材)を挿入することが好ましい。また、移動子13から
被搬送物Xを解放させるときに、移動子13の移動子電
極14に印加されている電圧の極性をそれぞれ一瞬逆極
性にすると、被搬送物Xを移動子13から円滑に解放さ
せることができるので、この手法をガイド機構29dの
動作と組合せてもよい。
【0045】図10には本発明をさらに別の実施例に係
る搬送装置の概略構成が示されている。この図において
は図7と同一機能部分が同一符号で示してある。この実
施例は、スキャナーの原稿送りに応用した例である。
【0046】スキャナーに応用する場合は読取り部41
の下方を原稿である被搬送物Xが移動すればよいので、
移動子ループの下方まで被搬送物Xを回り込ませる必要
はない。
【0047】図10では移動子13を挟んで読取り部4
1に対向する位置だけに固定子11を設置し、給電機構
25を移動子13の下方に設置している。また、ガイド
機構29dをループカーブがきつくなる部分、すなわち
被搬送物Xの搬送面よりも下がった部分に配置し、被搬
送物Xが移動子13から放れ易いようにしている。
【0048】また、この実施例に係る搬送装置には、図
11に示すように、移動子13および被搬送物Xが搬送
中に傾斜しないように搬送方向と直交する方向を規定す
る低摩擦材の側面ガイドを設けている。すなわち、固定
子11の両側面または基準側面Zに絶縁体で低摩擦であ
る材料(たとえば、四弗化エチレン)で形成された側面
ガイド42を配設している。
【0049】この場合には、移動子13および被搬送物
Xの搬送中の傾斜をなくす効果が得られることは勿論の
こと、固定子11および移動子13の側面方向の絶縁を
確実にできる効果もある。
【0050】また、この実施例におけるガイド機構29
bは、被搬送物Xの搬送方向を規定するために装置の入
り口部の両側面に設置されており、一方を基準側面Zに
あわせ、他方は被搬送物Xの幅に応じて調整できるよう
になっている。図6、図7に示す搬送装置においても、
同様の側面ガイド42やガイド機構29bを設けること
が有効である。
【0051】なお、搬送部の薄型化に伴い、OA機器製
品への応用に際しては、駆動制御回路15の小型・薄型
化も当然必要になってくる。たとえば、プリンタ、スキ
ャナー、ファクシミリなどに応用する場合は、駆動制御
回路15の大きさは高さ10〔mm〕以下が望まれる。本
発明の搬送装置では、固定子電極12および移動子電極
14に印加する電圧のレベルは1キロボルト以下、駆動
周波数は1キロヘルツ以下である。したがって、上記要
望を既存のチップを用いることによって満足させること
ができる。また、トランスは、たとえばプレーナー型ト
ランスでは高さ8mm程度である。したがって、電源部を
薄型にする際に特に問題はない。
【0052】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
全体の小型化・薄型化を図った状態で、かつ外的環境に
左右されずに被搬送物を高い搬送精度で搬送できるの
で、プリンタ、ファクシミリ、複写機などの事務用機器
や自動現金支払機に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係る搬送装置の概略構成図
【図2】同装置の搬送動作を説明するための図
【図3】同装置において電圧印加形態を変えた場合の搬
送動作を説明するための図
【図4】同装置において電圧印加形態をさらに変えた場
合の搬送動作を説明するための図
【図5】同装置において電圧印加形態を変えた場合の搬
送動作を説明するための図
【図6】本発明の別の実施例に係る搬送装置の概略構成
【図7】本発明のさらに別の実施例に係る搬送装置の概
略構成図
【図8】同装置において移動子への給電機構を説明する
ための図
【図9】同装置において出口のガイド機構およびその変
形例をそれぞれ示す図
【図10】本発明のさらに異なる実施例に係る搬送装置
の概略構成図
【図11】同装置に設けられた側面ガイドを説明すため
の図
【図12】従来の搬送装置の基本構成を示す概略図
【図13】同装置における固定子の一部を示す断面図
【図14】同装置の搬送原理を説明するための図
【符号の説明】
11,11a,11b…固定子 12…固定子電極 13…移動子 14…移動子電極 15…駆動制御回路 21,21a,2
1b…ガイド 25…給電機構 26d〜26f…
接続導体 27d〜29f…接触子 28…印字部 29a〜29d…ガイド機構 41…読取り部 42…側面ガイド P…被搬送物保持
面 X…被搬送物

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】絶縁材で形成された固定子と、この固定子
    内に所定ピッチで複数配設された固定子電極と、前記固
    定子に沿って前記固定子電極の配設方向へ移動自在に設
    けられ、上記固定子に対向している面とは反対側に位置
    する面を被搬送物保持面とした移動子と、この移動子内
    に該移動子の移動方向へ所定ピッチで複数設けられた移
    動子電極と、これら移動子電極に電圧を印加して前記被
    搬送物保持面に被搬送物を静電吸着させるとともに前記
    固定子電極への印加電圧の極性を順次組合せ変化させて
    上記固定子電極と上記移動子電極との間に生じる静電気
    力で上記移動子を移動させる駆動制御回路とを具備して
    なることを特徴とする搬送装置。
  2. 【請求項2】前記移動子の厚みをTとしたとき、前記被
    搬送物保持面と前記移動子電極との間の距離はT/2以
    内に設定されていることを特徴とする請求項1に記載の
    搬送装置。
  3. 【請求項3】前記移動子電極に印加される電圧の絶対値
    は、前記固定子電極に印加される電圧の絶対値より大に
    設定されていることを特徴とする請求項1に記載の搬送
    装置。
  4. 【請求項4】前記移動子と前記固定子との対向面の少な
    くとも一方には、低摩擦処置が施されていることを特徴
    とする請求項1に記載の搬送装置。
JP6047379A 1994-03-17 1994-03-17 搬送装置 Pending JPH07257773A (ja)

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