JPH07258829A - 蒸着用Ａｇ材及びその製造方法 - Google Patents
蒸着用Ａｇ材及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH07258829A JPH07258829A JP7393294A JP7393294A JPH07258829A JP H07258829 A JPH07258829 A JP H07258829A JP 7393294 A JP7393294 A JP 7393294A JP 7393294 A JP7393294 A JP 7393294A JP H07258829 A JPH07258829 A JP H07258829A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- wire
- producing
- diameter
- atmosphere
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 蒸着ボートへの濡れを阻害し、成膜スピード
を安定させることのできる蒸着用Ａｇ材及びその製造方
法を提供する。 【構成】 Ａｇ中の酸素濃度を10〜70ppm となしたこと
を特徴とする蒸着用Ａｇ材。Ａｇを溶解して脱酸し、鋳
造後所要形状に塑性加工する過程で大気中で熱処理する
ことを特徴とする蒸着用Ａｇ材の製造方法。
を安定させることのできる蒸着用Ａｇ材及びその製造方
法を提供する。 【構成】 Ａｇ中の酸素濃度を10〜70ppm となしたこと
を特徴とする蒸着用Ａｇ材。Ａｇを溶解して脱酸し、鋳
造後所要形状に塑性加工する過程で大気中で熱処理する
ことを特徴とする蒸着用Ａｇ材の製造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、成膜蒸着源として用い
られるＡｇ材、特に安定した成膜スピードを得るのに好
適なＡｇ材とその製造方法に関する。
られるＡｇ材、特に安定した成膜スピードを得るのに好
適なＡｇ材とその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、Ｍｏ又はＷよりなる蒸着ボートに
Ａｇ材を載せ、抵抗加熱によりＡｇ材を溶融、ベーパー
させた場合、Ａｇがボートに濡れたり、濡れなかったり
して、成膜スピードが変化する為、膜厚コントロールが
困難であった。このようにＡｇ材は蒸着ボートへの濡れ
性が変化する為、成膜条件の調整が難しく、安定した成
膜スピードが得られないものである。
Ａｇ材を載せ、抵抗加熱によりＡｇ材を溶融、ベーパー
させた場合、Ａｇがボートに濡れたり、濡れなかったり
して、成膜スピードが変化する為、膜厚コントロールが
困難であった。このようにＡｇ材は蒸着ボートへの濡れ
性が変化する為、成膜条件の調整が難しく、安定した成
膜スピードが得られないものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、蒸着
ボートへの濡れを阻害し、成膜スピードを安定させるこ
とのできる蒸着用Ａｇ材及びその製造方法を提供しよう
とするものである。
ボートへの濡れを阻害し、成膜スピードを安定させるこ
とのできる蒸着用Ａｇ材及びその製造方法を提供しよう
とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の蒸着用Ａｇ材は、Ａｇ中の酸素濃度を10〜70
ppm となしたことを特徴とするものである。この蒸着用
Ａｇ材を製造する本発明の製造方法は、Ａｇを溶解して
脱酸し、鋳造後所要形状に塑性加工する過程で大気中で
熱処理することを特徴とするものである。この製造方法
に於けるＡｇの溶解は、真空溶解又は脱酸剤を用いての
大気中での溶解が好ましい。脱酸剤としては、木炭、ホ
ウ砂、銅リンが好ましい。また上記製造方法に於ける大
気中の熱処理の温度は、 300〜 700℃が好ましい。前記
本発明の蒸着用Ａｇ材に於いて、Ａｇ中の酸素濃度を10
〜70ppm とした理由は、蒸着ボートへの濡れを阻害し、
成膜スピードを安定させる為で、10ppm 未満では蒸着ボ
ートの濡れ性が良くなり、横に広がってしまい、抵抗が
小さくなり、多くの電力が必要となり、不経済となり、
70ppm を超えると、蒸着ボートとの濡れを阻害して玉状
となるが、溶融時突沸が発生してしまうからである。前
記本発明の蒸着用Ａｇ材の製造方法に於ける大気中の熱
処理の温度が、 300〜 700℃が好ましい理由は、 300℃
未満ではＡｇ中の酸素濃度が増えにくく、濡れ性の良い
Ａｇ材が得られ、 700℃を超えると材料が治具に付着し
てしまうからである。
の本発明の蒸着用Ａｇ材は、Ａｇ中の酸素濃度を10〜70
ppm となしたことを特徴とするものである。この蒸着用
Ａｇ材を製造する本発明の製造方法は、Ａｇを溶解して
脱酸し、鋳造後所要形状に塑性加工する過程で大気中で
熱処理することを特徴とするものである。この製造方法
に於けるＡｇの溶解は、真空溶解又は脱酸剤を用いての
大気中での溶解が好ましい。脱酸剤としては、木炭、ホ
ウ砂、銅リンが好ましい。また上記製造方法に於ける大
気中の熱処理の温度は、 300〜 700℃が好ましい。前記
本発明の蒸着用Ａｇ材に於いて、Ａｇ中の酸素濃度を10
〜70ppm とした理由は、蒸着ボートへの濡れを阻害し、
成膜スピードを安定させる為で、10ppm 未満では蒸着ボ
ートの濡れ性が良くなり、横に広がってしまい、抵抗が
小さくなり、多くの電力が必要となり、不経済となり、
70ppm を超えると、蒸着ボートとの濡れを阻害して玉状
となるが、溶融時突沸が発生してしまうからである。前
記本発明の蒸着用Ａｇ材の製造方法に於ける大気中の熱
処理の温度が、 300〜 700℃が好ましい理由は、 300℃
未満ではＡｇ中の酸素濃度が増えにくく、濡れ性の良い
Ａｇ材が得られ、 700℃を超えると材料が治具に付着し
てしまうからである。
【０００５】
【作用】上記のように本発明の蒸着用Ａｇ材は、Ａｇ中
の酸素濃度が10〜70ppm となっているので、蒸着ボート
での溶融時に酸素が放出され、その酸素がＭｏ又はＷよ
りなる蒸着ボート表面に酸化膜を生成し、Ａｇとの濡れ
を阻害する結果、Ａｇが玉状となり、より少ない電力で
安定した成膜スピードが得られる。また、本発明の蒸着
用Ａｇ材の製造方法は、Ａｇを溶解で脱酸し、鋳造後所
要形状に塑性加工する過程で大気中で熱処理するので、
Ａｇ中の酸素濃度を的確に設定でき、特に熱処理温度を
300〜 700℃とすることにより、酸素濃度を所要の10〜
70ppm とすることができて上記の優れた蒸着用Ａｇ材を
容易且つ安定して製造できる。
の酸素濃度が10〜70ppm となっているので、蒸着ボート
での溶融時に酸素が放出され、その酸素がＭｏ又はＷよ
りなる蒸着ボート表面に酸化膜を生成し、Ａｇとの濡れ
を阻害する結果、Ａｇが玉状となり、より少ない電力で
安定した成膜スピードが得られる。また、本発明の蒸着
用Ａｇ材の製造方法は、Ａｇを溶解で脱酸し、鋳造後所
要形状に塑性加工する過程で大気中で熱処理するので、
Ａｇ中の酸素濃度を的確に設定でき、特に熱処理温度を
300〜 700℃とすることにより、酸素濃度を所要の10〜
70ppm とすることができて上記の優れた蒸着用Ａｇ材を
容易且つ安定して製造できる。
【０００６】
【実施例】本発明の蒸着用Ａｇ材及びその製造方法の実
施例と比較例について説明する。先ず製造方法について
説明する。実施例１は、Ａｇ50kgを真空溶解して脱酸
し、直径11cm、長さ50cmのインゴットを鋳造した後、押
出加工、伸線加工を行って線径 3.0mmのＡｇ線材を作
り、次いでこのＡｇ線材を大気中 500℃で30分間熱処理
し、然る後伸線加工を行って線径 2.4mmのＡｇ線材を得
た。実施例２は、Ａｇ50kgに木炭 100ｇを添加して大気
中で溶解して脱酸し、直径11cm、長さ50cmのインゴット
を鋳造した後、押出加工、伸線加工を行って線径3.0mm
のＡｇ線材を作り、次いでこのＡｇ線材を大気中 350℃
で 240分間熱処理し、然る後伸線加工を行って線径 2.4
mmのＡｇ線材を得た。実施例３は、Ａｇ50kgにホウ砂 1
00ｇを添加して大気中で溶解して脱酸し、直径11cm、長
さ50cmインゴットを鋳造した後、押出加工、伸線加工行
って線径 3.0mmのＡｇ線材を作り、次いでこのＡｇ線材
を大気中 650℃で90分間熱処理し、然る後伸線加工を行
って線径 2.4mmのＡｇ線材を得た。比較例１は、Ａｇ50
kgを真空溶解して脱酸し、直径11cm、長さ50cmのインゴ
ットを鋳造した後、押出加工、伸線加工を行って線径
2.4mmのＡｇ線材を得た。比較例２は、Ａｇ50kgに木炭
100ｇを添加して大気中で溶解して脱酸し、直径11cm、
長さ50cmのインゴットを鋳造した後、押出加工、伸線加
工を行って線径2.4mmのＡｇ線材を得た。比較例３は、
Ａｇ50kgを真空溶解して脱酸し、直径11cm、長さ50cmの
インゴットを鋳造した後、押出加工、伸線加工を行って
線径 3.0mmＡｇ線材を作り、次いでこのＡｇ線材を大気
中 250℃で 120分間熱処理し、然る後伸線加工を行って
線径 2.4mmのＡｇ線材を得た。然してこれら実施例１〜
３及び比較例１〜３のＡｇ線材の酸素濃度を測定した
処、下記の表１の左欄に示すような結果を得た。そして
これら実施例１〜３及び比較例１〜３のＡｇ線材を夫々
長さ15mmに切断し、これらをＭｏよりなり蒸着ボート上
で溶融、ベーパーさせた処、下記の表１の中央欄及び右
欄に示すような結果を得た。
施例と比較例について説明する。先ず製造方法について
説明する。実施例１は、Ａｇ50kgを真空溶解して脱酸
し、直径11cm、長さ50cmのインゴットを鋳造した後、押
出加工、伸線加工を行って線径 3.0mmのＡｇ線材を作
り、次いでこのＡｇ線材を大気中 500℃で30分間熱処理
し、然る後伸線加工を行って線径 2.4mmのＡｇ線材を得
た。実施例２は、Ａｇ50kgに木炭 100ｇを添加して大気
中で溶解して脱酸し、直径11cm、長さ50cmのインゴット
を鋳造した後、押出加工、伸線加工を行って線径3.0mm
のＡｇ線材を作り、次いでこのＡｇ線材を大気中 350℃
で 240分間熱処理し、然る後伸線加工を行って線径 2.4
mmのＡｇ線材を得た。実施例３は、Ａｇ50kgにホウ砂 1
00ｇを添加して大気中で溶解して脱酸し、直径11cm、長
さ50cmインゴットを鋳造した後、押出加工、伸線加工行
って線径 3.0mmのＡｇ線材を作り、次いでこのＡｇ線材
を大気中 650℃で90分間熱処理し、然る後伸線加工を行
って線径 2.4mmのＡｇ線材を得た。比較例１は、Ａｇ50
kgを真空溶解して脱酸し、直径11cm、長さ50cmのインゴ
ットを鋳造した後、押出加工、伸線加工を行って線径
2.4mmのＡｇ線材を得た。比較例２は、Ａｇ50kgに木炭
100ｇを添加して大気中で溶解して脱酸し、直径11cm、
長さ50cmのインゴットを鋳造した後、押出加工、伸線加
工を行って線径2.4mmのＡｇ線材を得た。比較例３は、
Ａｇ50kgを真空溶解して脱酸し、直径11cm、長さ50cmの
インゴットを鋳造した後、押出加工、伸線加工を行って
線径 3.0mmＡｇ線材を作り、次いでこのＡｇ線材を大気
中 250℃で 120分間熱処理し、然る後伸線加工を行って
線径 2.4mmのＡｇ線材を得た。然してこれら実施例１〜
３及び比較例１〜３のＡｇ線材の酸素濃度を測定した
処、下記の表１の左欄に示すような結果を得た。そして
これら実施例１〜３及び比較例１〜３のＡｇ線材を夫々
長さ15mmに切断し、これらをＭｏよりなり蒸着ボート上
で溶融、ベーパーさせた処、下記の表１の中央欄及び右
欄に示すような結果を得た。
【０００７】
【表１】
【０００８】上記の表１で明らかなように酸素濃度10〜
70ppm の実施例１〜３のＡｇ線材は、蒸着ボートの濡れ
ず、溶融Ａｇが玉状となり、安定した成膜スピードが得
られたが、比較例１、２のＡｇ線材は蒸着ボートと濡れ
て、横に広がり、成膜スピードが不安定となり、比較例
３のＡｇ線材は、蒸着ボートと濡れず、溶融Ａｇが玉状
となったが、Ａｇが突沸し、Ａｇの飛散が生じた。
70ppm の実施例１〜３のＡｇ線材は、蒸着ボートの濡れ
ず、溶融Ａｇが玉状となり、安定した成膜スピードが得
られたが、比較例１、２のＡｇ線材は蒸着ボートと濡れ
て、横に広がり、成膜スピードが不安定となり、比較例
３のＡｇ線材は、蒸着ボートと濡れず、溶融Ａｇが玉状
となったが、Ａｇが突沸し、Ａｇの飛散が生じた。
【０００９】
【発明の効果】以上の通り本発明の蒸着用Ａｇ材は、Ａ
ｇ中に適量の酸素を有するので、蒸着ボートでの溶解
時、蒸着ボートの表面に酸化膜を生成して、濡れを阻害
するので、安定した成膜スピードが得られる。また、本
発明の蒸着用Ａｇ材の製造方法によれば、上記の優れた
蒸着用Ａｇ材を、容易に且つ安定して得ることができ
る。
ｇ中に適量の酸素を有するので、蒸着ボートでの溶解
時、蒸着ボートの表面に酸化膜を生成して、濡れを阻害
するので、安定した成膜スピードが得られる。また、本
発明の蒸着用Ａｇ材の製造方法によれば、上記の優れた
蒸着用Ａｇ材を、容易に且つ安定して得ることができ
る。
Claims (6)
- 【請求項１】 Ａｇ中の酸素濃度を10〜70ppm となした
ことを特徴とする蒸着用Ａｇ材。 - 【請求項２】 Ａｇを溶解して脱酸し、鋳造後所要形状
に塑性加工する過程で大気中で熱処理することを特徴と
する蒸着用Ａｇ材の製造方法。 - 【請求項３】 Ａｇの溶解が、真空溶解であることを特
徴とする請求項２記載の蒸着用Ａｇ材の製造方法。 - 【請求項４】 Ａｇの溶解が、脱酸剤を用いての大気中
での溶解であることを特徴とする請求項２記載の蒸着用
Ａｇ材の製造方法。 - 【請求項５】 脱酸剤が、木炭、ホウ砂、銅リンである
ことを特徴とする請求項４記載の蒸着用Ａｇ材の製造方
法。 - 【請求項６】 大気中での熱処理温度が、 300〜 700℃
であることを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載
の蒸着用Ａｇ材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7393294A JPH07258829A (ja) | 1994-03-18 | 1994-03-18 | 蒸着用Ａｇ材及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7393294A JPH07258829A (ja) | 1994-03-18 | 1994-03-18 | 蒸着用Ａｇ材及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07258829A true JPH07258829A (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=13532401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7393294A Pending JPH07258829A (ja) | 1994-03-18 | 1994-03-18 | 蒸着用Ａｇ材及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07258829A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110629063A (zh) * | 2019-10-15 | 2019-12-31 | 深圳市华乐珠宝首饰有限公司 | 一种抗氧化耐磨贵金属首饰的制备工艺 |
| JP2021091922A (ja) * | 2019-12-06 | 2021-06-17 | 松田産業株式会社 | 蒸着材料及びその製造方法 |
-
1994
- 1994-03-18 JP JP7393294A patent/JPH07258829A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110629063A (zh) * | 2019-10-15 | 2019-12-31 | 深圳市华乐珠宝首饰有限公司 | 一种抗氧化耐磨贵金属首饰的制备工艺 |
| JP2021091922A (ja) * | 2019-12-06 | 2021-06-17 | 松田産業株式会社 | 蒸着材料及びその製造方法 |
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