JPH07260602A - センサ - Google Patents

センサ

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JPH07260602A
JPH07260602A JP6056248A JP5624894A JPH07260602A JP H07260602 A JPH07260602 A JP H07260602A JP 6056248 A JP6056248 A JP 6056248A JP 5624894 A JP5624894 A JP 5624894A JP H07260602 A JPH07260602 A JP H07260602A
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JP
Japan
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sensor
terminals
movable member
load
pair
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JP6056248A
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Michikazu Miyamoto
道和 宮本
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SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/135—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by making use of contacts which are actuated by a movable inertial mass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M17/00—Testing of vehicles
    • G01M17/007—Wheeled or endless-tracked vehicles
    • G01M17/04—Suspension or damping

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Vibration Dampers (AREA)
  • Special Conveying (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】簡単な機構で廉価に製造することができるとと
もに、ショックアブソーバの緩衝機能の低下を確実に検
出することが可能なセンサを提供すること。 【構成】ショックアブソーバの緩衝機能が劣化して正常
に機能しなくなった場合、取付面１８に対して異常な衝
撃、すなわち、矢印Ｘ2 方向の過度の荷重Ｆが付加され
る。前記荷重Ｆが予め設定されたスプリング２６の弾発
力に勝ることによって、可動部材２８は矢印Ｘ2 方向に
変位して取付部材２０の着座面から離間するに至る。こ
の結果、一対の端子２２、２４間は導通状態から非導通
状態に変化し、前記非導通状態に基づく検出信号が導出
される。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、センサに関し、特に、
緩衝器における緩衝機能が正常に機能しているか否かを
検出することが可能なセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から機械、装置等において、ある物
体が他の物体に衝突する際の衝撃を吸収するために緩衝
器（以下、ショックアブソーバという）が用いられてい
る。このショックアブソーバは、例えば、コイルスプリ
ングの弾発力、空気の圧縮作用を介して機械、装置等を
構成する変位部材が他の部材に衝突する際に発生する衝
撃を吸収することにより、他の構成要素に前記衝撃が伝
達されることを阻止し、該機械、装置等の保護を図って
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、一般に製造
される機械、装置等は、ショックアブソーバが正常に機
能している状態を前提に、その機械、装置等を構成する
部材の強度、仕様が設定されている。このため、ショッ
クアブソーバの緩衝機能が低下した場合、物体に衝突す
る際に発生する衝撃が十分に吸収されず、その衝撃値が
機械、装置等に予め設定された強度、仕様を超えてしま
い、結局、該機械、装置自体が破壊され、あるいは故障
が発生して所望の機能を営むことができないという不都
合がある。
【０００４】また、前記ショックアブソーバの緩衝機能
が低下したことを検出するために、機械、装置等を構成
する変位部材に加速度センサを装着することが考えられ
るが、前記加速度センサは非常に高価であり、生産コス
トが増大するという不都合がある。
【０００５】本発明は、前記の不都合を克服するために
なされたものであり、簡単な機構で廉価に製造すること
ができるとともに、ショックアブソーバの緩衝機能の低
下を確実に検出することが可能なセンサを提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、機械、装置等に取着される取付面が設
けられたケーシングと、前記ケーシングに設けられる一
組の端子と、導体によって形成され、付加された荷重が
予め設定された設定値を超えた時、前記一組の端子間を
導通させ、あるいは非導通させるように変位する可動部
材と、を備え、前記一組の端子間の導通状態、あるいは
非導通状態に基づいて検出信号を得ることを特徴とす
る。
【０００７】さらに、本発明は、機械、装置等に装着さ
れる緩衝器が緩衝機能を正常に営んでいるか否かを検出
するために用いられる緩衝器用のセンサであって、機
械、装置等に取着される取付面が設けられたケーシング
と、前記ケーシングに設けられる一組の端子と、導体に
よって形成され、付加された荷重が予め設定された設定
値を超えた時、前記一組の端子間を導通させ、あるいは
非導通させるように変位する可動部材と、を備え、前記
一組の端子間の導通状態、あるいは非導通状態に基づい
て緩衝器の緩衝機能が正常であるか否かの検出信号を得
ることを特徴とする。
【０００８】
【作用】前記の本発明に係るセンサを、ケーシングに設
けられた取付面を介して機械、装置等に装着する。前記
機械、装置等の作動時において、例えば、緩衝器の緩衝
機能が低下し予め設定された値を超える振動、衝撃が発
生した場合、センサを構成する可動部材が一組の端子間
を導通させ、あるいは非導通させるように変位する。前
記一組の端子間の導通状態、あるいは非導通状態によっ
て得られる検出信号により、機械、装置等の動作が停止
される。これによって、前記緩衝器の緩衝機能が低下し
ていることが検出される。
【０００９】
【実施例】次に、本発明に係るセンサについて好適な実
施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明
する。
【００１０】図１は、本発明の第１実施例に係るセンサ
１０の縦断面図である。
【００１１】このセンサ１０は、一方側にねじ孔１２が
画成され、前記ねじ孔１２に対向する他方側に開口部１
４が画成されたセンサ本体１６と、前記センサ本体１６
に固着されて前記開口部１４を閉塞するとともに、前記
センサ本体１６と固着される面の反対側に他の装置等に
取着するための取付面１８を有する取付部材２０と、前
記取付部材２０に設けられ、所定間隔離間して非導通状
態にある一対の端子２２、２４とを含む。この場合、セ
ンサ本体１６および取付部材２０は、例えば、合成樹脂
等の絶縁材料で形成され、前記センサ本体１６および取
付部材２０によってケーシングが構成される。
【００１２】さらに、センサ１０は、前記センサ本体１
６内に画成された開口部１４に収納されたスプリング２
６と、前記スプリング２６の弾発力の作用下に、通常、
矢印Ｘ1 方向に押圧されて端子２２と端子２４とを導通
接続する可動部材２８と、前記スプリング２６に係合し
螺回作用下にスプリング２６の弾発力を調節する調節用
ねじ３０と、前記調節用ねじ３０に螺合してこれを保持
するロックナット３２とを有する。なお、前記可動部材
２８は、例えば、金属等の導電材料で形成される。
【００１３】前記取付部材２０が可動部材２８と接触す
る面には、所定間隔離間して一対の金属片３４ａ、３４
ｂが設けられ、前記一対の金属片３４ａ、３４ｂは夫々
導線３６ａ、３６ｂを介して一対の端子２２、２４に導
通接続される。
【００１４】第１実施例に係るセンサ１０は、基本的に
は以上のように構成されるものであり、次にその動作並
びに作用効果について説明する。
【００１５】先ず、ショックアブソーバが設けられた機
械、装置、例えば、図４に示すワーク搬送装置４０の一
方のエンドプレート４２ａに、接着剤またはビス等の取
付手段を介して本発明に係るセンサ１０を装着する。こ
の場合、第１実施例に係るセンサ１０は、矢印Ｘ2 方向
からの荷重Ｆ（物体に加えられる力学的エネルギをも含
む。以下、同じ）を検出するため、取付面１８をショッ
クアブソーバ４４によって衝撃が吸収されるスライドテ
ーブル４６の変位方向（Ｘ軸方向）と略直交する方向
（Ｙ軸方向）に沿って取り付ける。
【００１６】ここで、前記ワーク搬送装置４０について
説明する。
【００１７】このワーク搬送装置４０は、基本的には、
Ｘ軸方向に沿って移動するスライドテーブル４６を有す
る第１アクチュエータ４８と、前記Ｘ軸に略直交するＹ
軸方向に沿って移動するスライドテーブル５０を有する
第２アクチュエータ５２とを含み、前記スライドテーブ
ル４６の上面部に固定板６３を介して第２アクチュエー
タ５２が搭載されて構成される。前記スライドテーブル
５０の一端部には、互いに矢印方向に変位して図示しな
いワークを把持するハンド５２ａ、５２ｂを有するチャ
ック部材５４が設けられる。なお、前記第１、第２アク
チュエータ４８、５２は、ポートから圧力流体を供給す
ることによりスライドテーブル４６、５０を移動させる
シリンダの構成、またはモータの駆動作用下にスライド
テーブル４６、５０を移動させる構成のいずれであって
もよい。
【００１８】第１アクチュエータ４８は、本体部５５
と、前記本体部５５の長手方向（Ｘ軸方向）に沿って変
位するスライドテーブル４６と、前記スライドテーブル
４６をＸ軸方向に沿って案内する一対のロッド５６ａ、
５６ｂと、スライドテーブル４６に当接して該スライド
テーブル４６の移動範囲を規制する一対のストッパブロ
ク５８ａ、５８ｂとを含む。夫々のストッパブロック５
８ａ、５８ｂには、スライドテーブル４６が当接する際
の衝撃を吸収するショックアブソーバ４４、６０が設け
られる。
【００１９】第２アクチュエータ５２は、本体部６２
と、前記本体部６２の長手方向（Ｙ軸方向）に沿って変
位するスライドテーブル５０と、前記スライドテーブル
５０をＹ軸方向に沿って案内する一対のロッド６４ａ、
６４ｂと、前記一対のロッド６４ａ、６４ｂの一端部に
連結され、スライドテーブル５０のＹ1 方向に対する変
位を規制するストッパプレート６６とを含む。前記スラ
イドテーブル５０の一端部には、スライドテーブル５０
がストッパプレート６６に当接する際、Ｙ1 方向に対す
る荷重を吸収するショックアブソーバ６８が設けられ
る。
【００２０】前記ワーク搬送装置４０に対してセンサ１
０を装着した後、例えば、マイナスのドライバ等を用い
て調節用ねじ３０を所定方向に螺回させ、可動部材２８
を押圧するスプリング２６の弾発力を適度に調節する。
前記スプリング２６の弾発力を調節することにより、本
センサ１０によって検出される荷重Ｆを広範囲にわたっ
て選択することができる。なお、前記スプリング２６の
調節は、センサ１０をワーク搬送装置４０に装着する前
に行ってもよい。そして、一対の端子２２、２４間に図
示しない電流供給手段を介して通電しておく。
【００２１】ショックアブソーバ４４の緩衝機能が正常
に機能している時には、スライドテーブル４６がストッ
パブロック５８ａに当接する際に発生する荷重Ｆに対し
て前記スプリング２６の弾発力が勝ることから、可動部
材２８は端子２２、２４側に押圧されて取付部材２０に
着座して接触状態にある。
【００２２】すなわち、導電材料で形成される可動部材
２８と金属片３４ａ、３４ｂとが相互に接触することに
より、一対の端子２２、２４間は、可動部材２８を介し
て導通した状態にある。
【００２３】これに対して、ショックアブソーバ４４の
緩衝機能が劣化して正常に機能しなくなった場合には、
スライドテーブル４６がストッパブロック５８ａに当接
することにより発生する衝撃を十分に吸収することがで
きないため、取付面１８に対して異常な衝撃、すなわ
ち、矢印Ｘ2 方向の過度の荷重Ｆが付加される。前記荷
重Ｆが予め設定されたスプリング２６の弾発力に勝るこ
とによって、可動部材２８は矢印Ｘ2 方向に変位して取
付部材２０の着座面から離間するに至る。この結果、一
対の端子２２、２４間は非導通状態となり、リード線６
９を介して接続されるコントローラ（図示せず）に検出
信号が導入される。前記コントローラは、信号を導出し
てワーク搬送装置４０の動作を停止させるとともに、図
示しない警報手段、発光手段等に信号を導出することに
よってショックアブソーバ４４の異常を作業者に視認さ
せる。
【００２４】なお、前記コントローラは、前記検出信号
をカウントして、所定回数カウントした時にワーク搬送
装置４０の動作を停止させる信号を導出するようにして
もよい。 次に、本発明の第２実施例に係るセンサ７０
を図２に示す。
【００２５】このセンサ７０は、一側面部に取付面７２
が設けられ、絶縁材料で形成されるセンサ本体７４と、
前記センサ本体７４内に画成された室７６内に配設され
る第１、第２スプリング７８、７９と、前記第１スプリ
ング７８と第２スプリング７９との間に介装されるリン
グ状の可動部材８０と、先端部に第２スプリング７９に
係合する着座部が形成され、螺回作用下に第１、第２ス
プリング７８、７９の弾発力を調節する調節用ねじ８２
と、前記調節用ねじ８２を固定するロックナット８４と
から構成される。
【００２６】前記センサ本体７４の室７６には環状の段
差部８６が画成され、可動部材８０は、通常、第１、第
２スプリング７８、７９の弾発力によって前記段差部８
６に着座した状態にある。前記段差部８６には所定間隔
離間する一対の金属片８８ａ、８８ｂが設けられ、夫々
の金属片８８ａ、８８ｂは導線９０ａ、９０ｂを介して
外部に露出する一対の端子９２、９４に接続される。前
記可動部材８０に近接するセンサ本体７４の外周部に
は、前記可動部材８０の変位に追従して変位する環状部
材９６が設けられる。この場合、前記可動部材８０は導
電材料で形成され、前記環状部材９６、可動部材８０の
両方またはいずれか一方が磁性体で形成される。
【００２７】第２実施例に係るセンサ７０は、基本的に
は以上のように構成されるものであり、次にその動作並
びに作用効果について説明する。なお、以下の実施例に
おいて、図４に示すワーク搬送装置４０の構成および動
作は第１実施例と略同一であるのでその詳細な説明を省
略する。
【００２８】先ず、センサ７０をショックアブソーバ６
０に近接するエンドプレート４２ｂに装着する。この場
合、前記取付面７２をショックアブソーバ６０によって
衝撃が吸収されるスライドテーブル４６の変位方向（Ｘ
軸方向）と略直交する方向（Ｙ軸方向）に取り付ける点
は第１実施例と同様である。
【００２９】続いて、例えば、マイナスのドライバ等を
用いて調節用ねじ８２を所定方向に螺回させ、可動部材
８０を押圧する第１、第２スプリング７８、７９の弾発
力を適度に調節して、可動部材８０を段差部８６に着座
した状態とする。そして、一対の端子９２、９４間に図
示しない電流供給手段を介して通電しておく。
【００３０】ショックアブソーバ６０の緩衝機能が正常
に機能している時には、前記第１、第２スプリング７
８、７９によって支持される可動部材８０は段差部８６
に着座した状態にあり、また、可動部材８０と一対の金
属片８８ａ、８８ｂとが接触した状態にある。従って、
一対の端子９２、９４は、導電材料で形成される可動部
材８０を介して導通接続されている。
【００３１】これに対して、ショックアブソーバ６０の
緩衝機能が劣化して正常に機能しなくなった場合には、
スライドテーブル４６がストッパブロック５８ｂに当接
することにより発生する衝撃を吸収することができない
ため、取付面７２に対して異常な衝撃、すなわち、矢印
Ｘ1 方向における過度の荷重Ｆが付加される。前記荷重
Ｆが予め設定された第２スプリング７９の弾発力に打ち
勝つことにより、可動部材８０は矢印Ｘ1 方向に変位し
て段差部８６から離間するに至る。
【００３２】従って、一対の端子９２、９４間は非導通
状態となり、この非導通状態に係る検出信号を図示しな
いコントローラに導入する。前記コントローラは、信号
を導出してワーク搬送装置４０の動作を停止させるとと
もに、図示しない警報手段、発光手段等に信号を導出し
て作業者にショックアブソーバ６０の異常を知らせる。
【００３３】なお、本実施例では、可動部材８０が変位
する際、磁気作用下に前記可動部材８０の変位に追従し
て環状部材９６が変位する。従って、作業者は、環状部
材９６の変位を外部から視認することにより、簡単にシ
ョックアブソーバ６０の異常を知ることができる。ま
た、前記環状部材９６が所定位置から何ら変位しないに
もかかわらず、コントローラに非導通状態に係る検出信
号が導入される場合、作業者は、導線９０ａ、９０ｂが
断線し、あるいは可動部材８０と金属片８８ａ、８８ｂ
との接触不良等の何らかのトラブルが発生していること
を知ることができる。
【００３４】次に、本発明の第３実施例に係るセンサ１
００を図３に示す。
【００３５】このセンサ１００は、取付面１０２が設け
られた第１ブロック１０４とねじ孔１０６が画成された
第２ブロック１０８とからなり、絶縁材料で形成される
センサ本体１１０と、前記第１と第２のブロック１０
４、１０８間に介装されたガイドプレート１１２によっ
て支持される可動部材１１４とから構成される。なお、
前記第１と第２のブロック１０４、１０８を導電材料で
形成し、第１と第２のブロック１０４、１０８間に介装
されるガイドプレート１１２を絶縁材料で形成してもよ
い。
【００３６】前記可動部材１１４は、矢印方向に揺動自
在に変位する揺動部１１６と、前記揺動部１１６から延
在しガイドプレート１１２に支持される支持部１１８
と、さらに第２ブロック１０８のねじ孔１０６に嵌合す
るねじ部１２０とからなる。なお、前記可動部材１１４
は、例えば、ばね鋼等からなり、その全体が導電材料で
形成されるとともに、少なくとも支持部１１８が可撓性
の材料で形成される。前記ねじ部１２０は、ロックナッ
ト１２１によって保持され、前記ねじ部１２０の螺回作
用下に、揺動部１１６に対するガイドプレート１１２の
支持長Ａを調節することができる。
【００３７】一方、センサ本体１１０の外周部には、所
定間隔離間して一対の端子１２２、１２４が設けられ、
一方の端子１２２は、導線１２６を介してねじ孔１０６
に設けられた金属製のリング体１２８に導通接続され
る。他方の端子１２４は、導線１３０を介して第１ブロ
ック１０４の内壁面に接合される金属製のリング体１３
２に導通接続されている。
【００３８】第３実施例に係るセンサ１００は、基本的
には以上のように構成されるものあり、次にその動作並
びに作用効果について説明する。
【００３９】先ず、センサ１００をスライドテーブル５
０が当接するストッパプレート６６に装着する。この場
合、本実施例に係るセンサ１００は、スライドテーブル
５０が矢印Ｙ1 方向に向かって変位し、前記ストッパプ
レート６６に衝突する際の荷重Ｆを検出するため、取付
面１０２をスライドテーブル５０の変位方向（矢印Ｙ方
向）と略平行に取り付ける。
【００４０】続いて、例えば、マイナスのドライバ等を
用いてねじ部１２０を所定方向に螺回させ、ガイドプレ
ート１１２によって揺動部１１６の支持長Ａを適度に調
節する。そして、一対の端子１２２、１２４間に図示し
ない電流供給手段を介して通電しておく。
【００４１】ショックアブソーバ６８の緩衝機能が正常
に機能している時には、ガイドプレート１１２によって
支持される揺動部１１６は、該揺動部１１６の周囲に離
間して設けられたリング体１３２に接触していないた
め、一対の端子１２２、１２４間は非導通状態にある。
【００４２】これに対して、ショックアブソーバ６８の
緩衝機能が劣化して正常に機能しなくなった場合、前記
ショックアブソーバ６８は、ロッド６４ａ、６４ｂに沿
って矢印Ｙ1 方向に変位するスライドテーブル５０がス
トッパプレート６６に当接する際に発生する衝撃を吸収
することができなくなる。このため、取付面１０２に対
して略平行な方向から、異常な衝撃、すなわち、矢印Ｙ
1 方向の過度の荷重Ｆが付加される。従って、揺動部１
１６は、ガイドプレート１１２によって支持された部分
を支点として矢印Ｙ1 およびＹ2 方向に揺動変位する。
この結果、揺動部１１６がリング体１３２に接触するこ
とにより一対の端子１２２、１２４間が導通状態とな
る。この場合、前記導通状態に基づく検出信号を図示し
ないコントローラに導入することにより、該コントロー
ラは、ショックアブソーバ６８の緩衝機能が低下したと
判断し、ワーク搬送装置４０の動作を停止させる信号を
導出する。
【００４３】
【発明の効果】本発明に係るセンサによれば、以下の効
果が得られる。
【００４４】例えば、機械、装置等に装着される緩衝器
の緩衝機能が正常に機能しているか否かを検出すること
ができる。前記緩衝器の緩衝機能が低下して、異常な衝
撃、振動等が発生した場合、前記衝撃、振動等を検出す
ることができる。従って、前記衝撃によって機械、装置
自体が破壊され、あるいは故障の原因となる不都合がな
く、該機械、装置等の保護に役立つ。
【００４５】また、本発明に係るセンサは、簡単な機構
で構成されるため、加速度センサ等を用いることなく廉
価に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例に係るセンサの縦断面図で
ある。
【図２】本発明の第２実施例に係るセンサの縦断面図で
ある。
【図３】本発明の第３実施例に係るセンサの縦断面図で
ある。
【図４】図１、図２および図３のセンサをワーク搬送装
置に取り付けた状態を示す平面図である。
【符号の説明】 １０、７０、１００…センサ １６、７４、１１０
…センサ本体 １８、７２、１０２…取付面 ２０…取付部材 ２２、２４、９２、９４、１２２、１２４…端子 ２６、７８、７９…スプリング ２８、８０、１１４
…可動部材 ３０、８２…調節用ねじ ３４ａ、３４ｂ、８８ａ、８８ｂ…金属片 ４０…ワーク搬送装置 ４４、６０、６８…
ショックアブソーバ ４６、５０…スライドテーブル

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】機械、装置等に取着される取付面が設けら
    れたケーシングと、 前記ケーシングに設けられる一組の端子と、 導体によって形成され、付加された荷重が予め設定され
    た設定値を超えた時、前記一組の端子間を導通させ、あ
    るいは非導通させるように変位する可動部材と、 を備え、前記一組の端子間の導通状態、あるいは非導通
    状態に基づいて検出信号を得ることを特徴とするセン
    サ。
  2. 【請求項２】機械、装置等に装着される緩衝器が緩衝機
    能を正常に営んでいるか否かを検出するために用いられ
    る緩衝器用のセンサであって、 機械、装置等に取着される取付面が設けられたケーシン
    グと、 前記ケーシングに設けられる一組の端子と、 導体によって形成され、付加された荷重が予め設定され
    た設定値を超えた時、前記一組の端子間を導通させ、あ
    るいは非導通させるように変位する可動部材と、 を備え、前記一組の端子間の導通状態、あるいは非導通
    状態に基づいて緩衝器の緩衝機能が正常であるか否かの
    検出信号を得ることを特徴とするセンサ。
  3. 【請求項３】請求項１または２記載のセンサにおいて、
    可動部材は、ケーシング内に配設されたばね部材によっ
    て支持され、前記ばね部材の弾発力に打ち勝って変位す
    ることにより、一組の端子間の導通状態、あるいは非導
    通状態の検出信号を得ることを特徴とするセンサ。
  4. 【請求項４】請求項１乃至３のいずれかに記載のセンサ
    において、該センサは荷重設定手段を有し、前記荷重設
    定手段は、ばね部材の弾発作用下に可動部材を一組の端
    子側に押圧する力を調節する調節用ねじであることを特
    徴とするセンサ。
  5. 【請求項５】請求項１または２記載のセンサにおいて、
    該センサは荷重設定手段を有し、前記荷重設定手段は可
    動部材と一体的な可撓性の先端部の位置を調節する部材
    であり、前記荷重設定手段の位置調節により、前記先端
    部の変位範囲を規制することを特徴とするセンサ。
  6. 【請求項６】請求項１乃至５のいずれかに記載のセンサ
    において、取付面は、荷重が付加される方向と略直交す
    る方向、または前記荷重が付加される方向と略平行に設
    けられていることを特徴とするセンサ。
  7. 【請求項７】請求項１乃至４のいずれかに記載のセンサ
    において、該センサは、可動部材の変位に追従して変位
    する部材がケーシングの外部に設けられ、前記追従変位
    部材および／または可動部材を磁性体で形成することを
    特徴とするセンサ。
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