JPH0727155U - 基板収納円板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 大きさ等の異なる基板を収納してあたかも一
つの基板のように扱うことのできる基板収納円板であっ
て、不定形の基板に対応することができるようにした基
板収納円板を提供する。 【構成】 この基板収納円板２２は、平面円形の凹部２
６を有する円板２４を備えている。凹部２６内の周辺部
には、ほぼ１２０度間隔で三つの支柱２９が設けられて
いる。凹部２６内には、各支柱２９によって回動自在に
支持されていて、内向きに湾曲した３本のアーム２８が
収納されている。凹部２６の底部の周辺には、小穴３４
が各アーム２８に対して複数個ずつ設けられている。凹
部２６の内壁２６ａと各アーム２８との間には、Ｖ字状
をした線ばね３０が着脱自在に設けられている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、例えばイオン注入装置、ドライエッチング装置、薄膜形成装置等 のように基板を処理する装置に用いられるものであって、大きさ等の異なる基板 を収納してあたかも一つの基板のように扱うことのできる基板収納円板に関し、 より具体的には、不定形の基板に対応可能な基板収納円板に関する。

【０００２】

【従来の技術】

イオン注入装置等において、大きさの異なる基板（例えばウェーハ）にイオン 注入する場合、通常は、注入室内で基板をイオン注入のために保持するホルダや 、真空予備室内で基板を一旦保持する基板受け等の部品を基板寸法に合ったもの に交換する必要があるが、この交換時間の浪費防止等のために、大きさ等の異な る基板を収納してあたかも一つの基板のように扱うことのできる基板収納円板が 使用される場合がある。

【０００３】 そのような基板収納円板の従来例を図５に示す。この基板収納円板２は、円板 ４の平面円形の凹部６の側部に、前後動可能な押し当て片８を設け、これをＶ字 状をした線ばね１０で弾性的に押し出し、この押し当て片８と凹部６の側壁６ａ との間に基板１２を挟んで保持する構造をしている。内壁６ａは、基板１２の浮 き上がり防止のために、下広がりに傾斜している（図２または図３の内壁２６ａ 参照）。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、上記基板収納円板は、大きさの異なる基板１２には一応対応できる ものの、図５の例では対応できる基板１２の形状は円形に限定されており、半円 、１／４円、矩形等を含む不定形（任意形状）の基板には対応できず、基板が不 定形の場合はそれに応じた基板収納円板を別々に作らなければならず、そのため コストや管理の手間等が増大するという問題があった。

【０００５】 そこでこの考案は、不定形の基板に対応することができるようにした基板収納 円板を提供することを主たる目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、この考案の基板収納円板は、平面円形の凹部を有し 、その内壁が下広がりに傾斜している円板と、この円板の凹部内の周辺部にほぼ １２０度間隔で設けられた三つの支柱と、前記円板の凹部内に収納されていて、 それぞれが、内向きに湾曲しており、一端部が前記支柱によって回廊自在に支持 されており、かつ内外の側壁が断面逆ハ字状に傾斜している３本のアームと、前 記円板の凹部の底部であって、前記各アームと凹部の内壁との間に、しかも各ア ームに対して複数個ずつ設けられた小穴と、前記円板の凹部の内壁と各アームと の間にそれぞれ設けられていて、Ｖ字状をしていてその一端部に下に折れ曲がっ た差し込み部を有し、その差し込み部を各アームに対する前記複数の小穴の内の 一つにそれぞれ着脱自在に差し込んでいる線ばねとを備えることを特徴とする。

【０００７】

【作用】

上記構成によれば、３本の各アームは、それに対応する線ばねによって、円板 の中心方向に向けて弾性的に付勢されており、この３本のアームの間に基板を収 納すると、当該基板は、３本のアームによって３方向から掴まれて保持される。 その場合、３本の内向きに湾曲したアームを用いているので、任意の形状の基板 、即ち不定形の基板を掴んで保持することができる。

【０００８】

【実施例】

図１は、この考案の一実施例に係る基板収納円板を示す平面図である。図２は 、図１の線Ａ−Ｏに概ね沿う拡大断面図であり、便宜上、アームが基板に当接す る辺りまで断面で示している。図３は、図１の線Ｏ−Ｂに概ね沿う拡大断面図で ある。

【０００９】 この実施例の基板収納円板２２は、平面形状が円形をした凹部２６を有する円 板２４を備えている。この凹部２６の内壁２６ａは、後述する線ばね３０の浮き 上がり防止のために、図２および図３に示すように、下広がりに（換言すれば断 面ハ字状に）傾斜している。

【００１０】 この円板２４の凹部２６内の周辺部には、ほぼ１２０度間隔で三つの支柱２９ が設けられている。

【００１１】 円板２４の凹部２６内には、一端部が前記各支柱２９によってそれぞれ回動自 在に支持された３本のアーム２８が収納されている。各アーム２８は、内向きに 湾曲している。また、各アーム２８の内外の側壁２８ａおよび２８ｂは、後述す る線ばね３０および基板３２の浮き上がり防止のために、図２および図３に示す ように、断面逆ハ字状に傾斜している。なお、各支柱２９の上部は、各アーム２ ８が上に抜けないように、例えばカシメられている。

【００１２】 円板２４の凹部２６の底部であって、各アーム２８と凹部２６の内壁２６ａと の間には、小穴３４が、各アーム２８に対し複数個ずつ設けられている。この各 アーム２８に対する小穴３４の数は、この実施例では２個であるが、それに限ら れるものではなく２個以上で任意である。

【００１３】 円板２４の凹部２６の内壁２６ａと各アーム２８との間には、線ばね３０がそ れぞれ設けられている。各線ばね３０は、図４にも示すように、Ｖ字状をしてい てその一端部に下に折れ曲がった差し込み部３０ａを有している。この差し込み 部３０ａを、図３にも示すように、各アーム２８に対する複数の小穴３４の内の 一つにそれぞれ着脱自在に差し込んでいる。

【００１４】 上記構成によって、各アーム２８は、支柱２９を中心にして矢印Ｃのように回 動可能であり、かつ対応する線ばね３０によって、円板２４の中心方向に向けて 弾性的に付勢されている。

【００１５】 この３本のアーム２８の間に基板３２を収納すると、当該基板３２は、３本の アーム２８によって３方向から掴まれて保持される。その場合、３本の内向きに 湾曲したアーム２８を用いているので、基板３２の形状が図１に示すような異形 であっても、それを確実に掴んで保持することができる。

【００１６】 このような異形の基板３２を保持することができるのであるから、当然、それ 以外の例えば円形、半円、１／４円、矩形等の任意の形状の基板、即ち不定形の 基板を保持することができる。従ってこの基板収納円板２２は、不定形の基板に 対応することができる。勿論、大きさの異なる基板にも対応することができる。

【００１７】 その場合、線ばね３０を差し込む位置が各アーム２８の支柱２９に近づくほど 線ばね３０からアーム２８に与えられる力が強くなるので、外形の小さい基板を 収納保持する場合は、線ばね３０を支柱２９に近い方の小穴３４に差し込むのが 好ましい。

【００１８】 また、長さやばね定数の異なる線ばね３０を何種類か用意しておいて、基板の 形状や大きさに応じて、用いる線ばね３０を変えたり、またはそれと差し込む小 穴３４を変えることとを組み合わせたりしても良く、そのようにすれば、対応可 能な基板の形状および大きさの範囲が一層拡大する。

【００１９】

【考案の効果】

以上のようにこの考案によれば、３本の内向きに湾曲したアームを用いていて 、各アームは線ばねによって内向きに弾性的に付勢されているので、基板がどの ような形状であっても、これらのアームによって基板を掴んで保持することがで きる。即ち、不定形の基板に対応することができる。また、大きさの異なる基板 にも対応することができる。

【００２０】 その結果、一つの基板収納円板で多くの基板に対応することができるので、従 来のように基板の形状に合わせた基板収納円板を幾つも作る場合に比べて、コス トおよび管理の手間等を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例に係る基板収納円板を示す
平面図である。

【図２】図１の線Ａ−Ｏに概ね沿う拡大断面図であり、
便宜上、アームが基板に当接する辺りまで断面で示して
いる。

【図３】図１の線Ｏ−Ｂに概ね沿う拡大断面図である。

【図４】図１中の線ばねの拡大斜視図である。

【図５】従来の基板収納円板の一例を示す平面図であ
る。

【符号の説明】

２２ 基板収納円板 ２４ 円板 ２６ 凹部 ２８ アーム ２９ 支柱 ３０ 線ばね ３２ 基板 ３４ 小穴

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｈ０１Ｌ 21/3065

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 平面円形の凹部を有し、その内壁が下広
   がりに傾斜している円板と、この円板の凹部内の周辺部
   にほぼ１２０度間隔で設けられた三つの支柱と、前記円
   板の凹部内に収納されていて、それぞれが、内向きに湾
   曲しており、一端部が前記支柱によって回廊自在に支持
   されており、かつ内外の側壁が断面逆ハ字状に傾斜して
   いる３本のアームと、前記円板の凹部の底部であって、
   前記各アームと凹部の内壁との間に、しかも各アームに
   対して複数個ずつ設けられた小穴と、前記円板の凹部の
   内壁と各アームとの間にそれぞれ設けられていて、Ｖ字
   状をしていてその一端部に下に折れ曲がった差し込み部
   を有し、その差し込み部を各アームに対する前記複数の
   小穴の内の一つにそれぞれ着脱自在に差し込んでいる線
   ばねとを備えることを特徴とする基板収納円板。