JPH0727657A - クリーンルーム用気密試験器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 設備機器を取り外すことなく、設備機器の気
密試験を個々に行うことができるようにし、高品質なク
リーンルーム製作のための技術を向上させる。 【構成】 クリーンルーム内面に露出した設備機器１９
の気密性を確認するクリーンルーム用気密試験器１７で
あって、設備機器１９に被せる開口部３を箱体１に形成
し、壁面７とこの箱体１との間をシールする密接部材５
を開口部３の縁部に取り付ける。箱体１内の空気圧力を
表示する圧力計１１を箱体１に設ける。空気を移送する
ことで箱体１内に外気との差圧を生じさせるエアーポン
プ１３を箱体１に設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム用気密
試験器に関し、詳しくは、クリーンルーム内に設けられ
た設備機器の気密性を個々に試験可能とするものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】クリーンルームは、塵埃の侵入を防止す
るため、高い気密性を必要とする。このため、床、壁、
及び天井を貫通する設備機器（コンセント、自動火災感
知器、サーモスタット、ヒューミディスタット、電話ア
ウトレット等）は、外部との連通を遮断するため、パッ
キン、シールを用いた気密構造となっている。例えば、
コンセントの場合、壁内に配電箱が設けられ、配電箱は
配電管と接続されている。この配電箱と配電管との間
は、シールにより気密性が確保されている。一方、配電
箱にはコンセントが取り付けられるようになっており、
コンセントは取り付けられた際、クリーンルーム内に露
出する化粧板が内壁面に当接した状態となる。通常の場
合、コンセントの取り付けはこれで終了するが、気密性
が要求されるクリーンルームの場合には、化粧板と内壁
面との間にパッキンが設けられ、パッキンは化粧板と内
壁面との間をシールするようになっている。このよう
に、クリーンルーム内に取り付けられた個々の設備機器
が気密構造となることで、クリーンルーム全体において
気密性の確保が達成されることになる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、施工が完了
したクリーンルームでは、その気密性を検証する必要が
あるが、例えば、クリーンルーム全体を一つの対象とし
て気密性を試験することは比較的容易に行い得るもので
あるが、この気密試験結果が良好でない場合には、次の
段階として、個々の設備機器の気密性を確認する必要が
生じる。しかしながら、従来では、上述した個々の貫通
部分の施工完了後、実際に気密が確保されているか検証
する手段が確立されていないため、全ての設備機器を個
々に取り外して気密状態を確認しなければならず、多大
な労力を費やすことになり、高品質な製品製作の障害と
なっていた。本発明は上記状況に鑑みてなされたもの
で、設備機器を取り外すことなく、設備機器の気密試験
を個々に行うことができるクリーンルーム用気密試験器
を提供し、もって、高品質製作技術の向上を図ることを
目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係るクリーンルーム用気密試験器の構成は、
クリーンルーム内面に露出した設備機器を気密状態で覆
い、この設備機器に外気との差圧を加え、差圧の圧力変
動を測定することでこの設備機器の気密性を確認するク
リーンルーム用気密試験器であって、設備機器に被せる
開口部を箱体に形成し、壁面とこの箱体との間をシール
する密接部材を開口部の縁部全周にわたって取り付け、
箱体内の空気圧力を表示する圧力計を箱体に設け、空気
を移送することで箱体内に外気との差圧を生じさせるエ
アーポンプを箱体に設けたことを特徴とするものであ
る。

【０００５】

【作用】箱体が設備機器に被せられ、壁面に押圧される
と、密接部材が変形し、箱体と壁面とが密接部材により
シールされ、箱体内が気密状態となる。エアーポンプに
より箱体内の空気に外気との差圧を生じさせると、設備
機器にシール不良部分がある場合、空気がこのシール不
良部分を通過し、箱内の空気圧が外気と同等となり、圧
力計に差圧が表示されない。一方、設備機器の気密が確
保されていれば、箱内の空気圧に差圧が生じたままとな
り、圧力計にその差圧が表示される。

【０００６】

【実施例】以下、本発明に係るクリーンルーム用気密試
験器の好適な実施例を図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明クリーンルーム用気密試験器の側面図、図
２は図１の正面図である。箱体である気密試験器箱１の
一側面には開口部３が形成され、開口部３は一平面状で
開口している。開口部３の開口縁部には硬質ゴム材等か
らなる密接部材５が全周にわたって取り付けられ、密接
部材５は当接した相手部材の凹凸を弾性変形により吸収
し、開口部３と相手部材との間をシールするようになっ
ている。つまり、気密試験器箱１は開口部３が壁面７に
当接されると、密接部材５により壁面７との間がシール
され、内部１ａが気密状態になるのである。気密試験器
箱１の開口部３の反対側の他側面には把手９が設けら
れ、把手９は開口部３を壁面７に押圧する際に使用され
る。

【０００７】気密試験器箱１には圧力計１１が取り付け
られ、圧力計１１は気密試験器箱１内の空気圧力を表示
するようになっている。また、気密試験器箱１には手動
式のエアーポンプ１３が取り付けられ、エアーポンプ１
３は送気部１３ａを圧縮することでチューブ１５を介し
て気密試験器箱１内に空気を圧送するようになってい
る。なお、エアーポンプ１３は、手動式の他に、乾電池
で駆動される周知技術による小型電動式のエアーポンプ
であっても勿論よい。気密試験器箱１、密接部材５、圧
力計１１、エアーポンプ１３を主な部材としてクリーン
ルーム用気密試験器１７が構成されている。

【０００８】このように構成されるクリーンルーム用気
密試験器１７の使用手順は、先ず、把手９を持ち、気密
試験器箱１をコンセント１９に被せる。次に、把手９を
壁面７に強く押し、密接部材５を変形させることで、気
密試験器箱１と壁面７の気密を確保する。箱内の気密を
確保した後、エアーポンプ１３の送気部１３ａを手で握
り、気密試験器箱１内に空気を圧送する。このとき、コ
ンセント取付部のシールが不完全であると、圧送された
空気がシール不良部分から外部へ逃げ、箱内の空気圧が
上昇せず、圧力計１１の目盛りは上昇しない。これによ
り、当該コンセント１９は、気密性が確保されていない
ことが検証される。一方、コンセント１９の気密が確保
されていれば、箱内の空気圧が上昇し、圧力計１１の目
盛りが高圧を表示することになる。そして、気密試験器
箱１を押圧した状態で、圧力計１１の目盛りが高圧状態
を持続すれば、当該コンセント１９は、気密性が確保さ
れていることが検証されるのである。

【０００９】なお、上述の実施例におけるクリーンルー
ム用気密試験器１７は、気密試験器箱１を壁面７に押圧
するとともに、気密試験器箱１内にエアーポンプ１３で
空気を圧送し、高圧空気の洩れによる空気圧の変動を圧
力計１１で確認するものとしたが、これとは逆に、気密
試験器箱１内を負圧にし、圧力計１１で負圧力の変動を
確認することで、気密性を検証するものであっても良
い。この場合の構成としては、電動式、又は手動シリン
ダー式等のポンプ吸気側を逆止弁を介して気密試験器箱
１内に連通し、箱内の空気を外部へ排出するようにすれ
ば良い。このような負圧圧力で気密性を検証する方式と
すれば、圧力変動を確認する間、気密試験器箱１の壁面
７に対する押圧力が小さな力で済み、壁面への押圧不足
による測定不良が生じにくくなる。

【００１０】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
るクリーンルーム用気密試験器によれば、箱体内に差圧
を生じさせるエアーポンプを箱体に設け、この差圧を表
示する圧力計を箱体に設けたので、箱体を設備機器に被
せて差圧を生じさせれば、設備機器にシール不良部分が
ある場合、圧力計に差圧が表示されず、設備機器の気密
が確保されていれば、圧力計に差圧が表示されることに
なり、設備機器の気密性を極めて容易に検証することが
できる。この結果、設備機器を取り外すことなく、気密
試験を個々に行うことができ、高品質な製品を作るため
の技術を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明クリーンルーム用気密試験器の側面図で
ある。

【図２】図１の正面図である。

【符号の説明】

１ 気密試験器箱（箱体） ３ 開口部 ５ 密接部材 １１ 圧力計 １３ エアーポンプ １７ クリーンルーム用気密試験器 １９ コンセント（設備機器）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンルーム内面に露出した設備機器
   を気密状態で覆い、該設備機器に外気との差圧を加え、
   該差圧の圧力変動を測定することで該設備機器の気密性
   を確認するクリーンルーム用気密試験器であって、 前記設備機器に被せる開口部を箱体に形成し、 壁面と該箱体との間をシールする密接部材を前記開口部
   の縁部全周にわたって取り付け、 箱体内の空気圧力を表示する圧力計を該箱体に設け、 空気を移送することで前記箱体内に外気との差圧を生じ
   させるエアーポンプを前記箱体に設けたことを特徴とす
   るクリーンルーム用気密試験器。