JPH07280687A - ピンホール検査装置 - Google Patents
ピンホール検査装置Info
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- JPH07280687A JPH07280687A JP6065926A JP6592694A JPH07280687A JP H07280687 A JPH07280687 A JP H07280687A JP 6065926 A JP6065926 A JP 6065926A JP 6592694 A JP6592694 A JP 6592694A JP H07280687 A JPH07280687 A JP H07280687A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 正確かつ迅速に密封容器のピンホールの有無
の検査を可能としたピンホール検査装置を提供する。 【構成】 ガスが封入された密閉容器11を出し入れ可
能に収容するとともに、吸気孔13を有し、この吸気孔
13を閉じると、内部が密閉状態になるパレット1と、
検査位置にて、吸気孔13に接続して、パレット1の内
部に連通し、この内部に上記ガスと同種のガスが存在す
る場合には、その単位時間当たりの漏れ量に対応した電
圧を有するアナログ信号を発生するガス漏れ量検出部2
と、このアナログ信号をディジタル信号に変換するA/
D変換器3と、このディジタル信号から、電圧と時間と
の関係を表す回帰直線の勾配を求め、この勾配と、空気
中の上記ガスと同種のガスの場合の回帰直線の、予め入
力した、勾配の最大値との差を算出し、この差が許容範
囲外にある場合は、異常信号を出力する第一演算部4と
を備えた構成とした。
の検査を可能としたピンホール検査装置を提供する。 【構成】 ガスが封入された密閉容器11を出し入れ可
能に収容するとともに、吸気孔13を有し、この吸気孔
13を閉じると、内部が密閉状態になるパレット1と、
検査位置にて、吸気孔13に接続して、パレット1の内
部に連通し、この内部に上記ガスと同種のガスが存在す
る場合には、その単位時間当たりの漏れ量に対応した電
圧を有するアナログ信号を発生するガス漏れ量検出部2
と、このアナログ信号をディジタル信号に変換するA/
D変換器3と、このディジタル信号から、電圧と時間と
の関係を表す回帰直線の勾配を求め、この勾配と、空気
中の上記ガスと同種のガスの場合の回帰直線の、予め入
力した、勾配の最大値との差を算出し、この差が許容範
囲外にある場合は、異常信号を出力する第一演算部4と
を備えた構成とした。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、柔軟性のある密封容器
のピンホールの有無を検査するピンホール検査装置に関
するものである。
のピンホールの有無を検査するピンホール検査装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】例えば、錠剤や粉末薬剤を収容し、密封
して使用するプラスチックバッグに、ピンホールが存在
すれば、重大な事態を招くことになる。したがって、斯
るプラスチックバッグの場合には、ピンホールの有無の
検査を厳重に行う必要がある。従来公知のピンホール検
査方法では、例えば酸素や湿気等により色調が変化する
物質を包装容器内に封入し、その色調の変化からピンホ
ール等の有無を判断する方法が知られている。一方、剛
性を有する容器のピンホール有無の検査方法として容器
内に検査用ガスを加圧封入し、漏れ出たガスをガス検知
装置で検知することによってピンホールの有無を知る方
法が知られている。ガス検知装置は漏れ出た検査用ガス
を、単位時間当たりの漏れ量としての電気信号に変換し
ている。本願発明者の一人はガス検知装置を用いて、プ
ラスチックバッグ等の可撓性のある容器のピンホールの
有無を検査する方法及び装置を発明して出願した(特願
平5−344297号、特願平5−339527号)。
このピンホール検査方法では、不活性ガスを封入した密
封プラスチックバッグからの不活性ガスの漏れの有無
が、電気的に調べられている。そして、この検査方法で
は、測定の都度、環境変化による電気的条件の変化に応
じたしきい値を予め決めておき、測定値がこのしきい値
を超えたか否かによってガス漏れの有無、ピンホールの
有無が判断されている。
して使用するプラスチックバッグに、ピンホールが存在
すれば、重大な事態を招くことになる。したがって、斯
るプラスチックバッグの場合には、ピンホールの有無の
検査を厳重に行う必要がある。従来公知のピンホール検
査方法では、例えば酸素や湿気等により色調が変化する
物質を包装容器内に封入し、その色調の変化からピンホ
ール等の有無を判断する方法が知られている。一方、剛
性を有する容器のピンホール有無の検査方法として容器
内に検査用ガスを加圧封入し、漏れ出たガスをガス検知
装置で検知することによってピンホールの有無を知る方
法が知られている。ガス検知装置は漏れ出た検査用ガス
を、単位時間当たりの漏れ量としての電気信号に変換し
ている。本願発明者の一人はガス検知装置を用いて、プ
ラスチックバッグ等の可撓性のある容器のピンホールの
有無を検査する方法及び装置を発明して出願した(特願
平5−344297号、特願平5−339527号)。
このピンホール検査方法では、不活性ガスを封入した密
封プラスチックバッグからの不活性ガスの漏れの有無
が、電気的に調べられている。そして、この検査方法で
は、測定の都度、環境変化による電気的条件の変化に応
じたしきい値を予め決めておき、測定値がこのしきい値
を超えたか否かによってガス漏れの有無、ピンホールの
有無が判断されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のピンホール
検査方法では、しきい値を超えたか否かの判断が行われ
ているため、ピンホールが存在する場合でも、測定値が
しきい値に到達する状態になるまでには長時間待機する
必要がある。したがって、容器の良否の判定にかなりの
時間を要し、結局、製造ライン全体の生産性に悪影響を
あたえることになるという問題がある。
検査方法では、しきい値を超えたか否かの判断が行われ
ているため、ピンホールが存在する場合でも、測定値が
しきい値に到達する状態になるまでには長時間待機する
必要がある。したがって、容器の良否の判定にかなりの
時間を要し、結局、製造ライン全体の生産性に悪影響を
あたえることになるという問題がある。
【0004】さらに、例えば、測定対象である容器の回
りの雰囲気中に、容器内のガスと同じガスが存在してい
た場合、ピンホールが存在しない場合にもガスが測定さ
れることとなり、正確かつ確実にピンホールの有無を検
査することが困難で、検査の信頼性の低下にもつながる
等の問題がある。本発明は、斯る従来の問題点を課題と
してなされたもので、厳しい品質性能と迅速性が問われ
る昨今において、正確かつ迅速に密封容器のピンホール
の有無の検査を可能としたピンホール検査装置を提供し
ようとするものである。
りの雰囲気中に、容器内のガスと同じガスが存在してい
た場合、ピンホールが存在しない場合にもガスが測定さ
れることとなり、正確かつ確実にピンホールの有無を検
査することが困難で、検査の信頼性の低下にもつながる
等の問題がある。本発明は、斯る従来の問題点を課題と
してなされたもので、厳しい品質性能と迅速性が問われ
る昨今において、正確かつ迅速に密封容器のピンホール
の有無の検査を可能としたピンホール検査装置を提供し
ようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、第一発明は、ガスが封入された密閉容器を出し入れ
可能に収容するとともに、吸気孔を有するパレットと、
検査位置にて、上記吸気孔に接続して、上記パレットの
内部に連通し、この内部に上記ガスと同種のガスが存在
する場合には、その単位時間当たりの漏れ量に対応した
電圧を有するアナログ信号を発生するガス漏れ量検出部
と、このアナログ信号をディジタル信号に変換するA/
D変換器と、このディジタル信号から、このディジタル
信号の大きさに対応する電圧と時間との関係を表す回帰
直線の勾配を求め、この勾配と、空気中の上記ガスと同
種のガスの場合の回帰直線の、予め入力しておいた、勾
配の最大値との差を算出し、この差が許容範囲外にある
場合は、異常信号を出力する第一演算部とを備えた構成
とした。
に、第一発明は、ガスが封入された密閉容器を出し入れ
可能に収容するとともに、吸気孔を有するパレットと、
検査位置にて、上記吸気孔に接続して、上記パレットの
内部に連通し、この内部に上記ガスと同種のガスが存在
する場合には、その単位時間当たりの漏れ量に対応した
電圧を有するアナログ信号を発生するガス漏れ量検出部
と、このアナログ信号をディジタル信号に変換するA/
D変換器と、このディジタル信号から、このディジタル
信号の大きさに対応する電圧と時間との関係を表す回帰
直線の勾配を求め、この勾配と、空気中の上記ガスと同
種のガスの場合の回帰直線の、予め入力しておいた、勾
配の最大値との差を算出し、この差が許容範囲外にある
場合は、異常信号を出力する第一演算部とを備えた構成
とした。
【0006】また、第二発明は、ガスが封入された密閉
容器を出し入れ可能に収容するとともに、吸気孔を有す
るパレットと、検査位置にて、上記吸気孔に接続して、
上記パレットの内部に連通し、この内部に上記ガスと同
種のガスが存在する場合には、その単位時間当たりの漏
れ量に対応した電圧を有するアナログ信号を発生するガ
ス漏れ量検出部と、このアナログ信号をディジタル信号
に変換するA/D変換器と、このディジタル信号と、こ
のディジタル信号の発生の基となったデータの検出時点
より、予め定めた時間だけさかのぼった時点でのディジ
タル信号との差を算出し、この差と、空気中の上記ガス
と同種のガスの場合の、上記時間と同じ時間だけ間隔を
置いた各時点での上記ディジタル信号と同様のディジタ
ル信号間の差の、予め入力しておいた最大値との差が許
容範囲外にある場合は、異常信号を出力する第二演算部
とを備えた構成とした。
容器を出し入れ可能に収容するとともに、吸気孔を有す
るパレットと、検査位置にて、上記吸気孔に接続して、
上記パレットの内部に連通し、この内部に上記ガスと同
種のガスが存在する場合には、その単位時間当たりの漏
れ量に対応した電圧を有するアナログ信号を発生するガ
ス漏れ量検出部と、このアナログ信号をディジタル信号
に変換するA/D変換器と、このディジタル信号と、こ
のディジタル信号の発生の基となったデータの検出時点
より、予め定めた時間だけさかのぼった時点でのディジ
タル信号との差を算出し、この差と、空気中の上記ガス
と同種のガスの場合の、上記時間と同じ時間だけ間隔を
置いた各時点での上記ディジタル信号と同様のディジタ
ル信号間の差の、予め入力しておいた最大値との差が許
容範囲外にある場合は、異常信号を出力する第二演算部
とを備えた構成とした。
【0007】さらに、第三発明は、ガスが封入された密
閉容器を出し入れ可能に収容するとともに、吸気孔を有
するパレットと、検査位置にて、上記吸気孔に接続し
て、上記パレットの内部に連通し、この内部に上記ガス
と同種のガスが存在する場合には、その単位時間当たり
の漏れ量に対応した電圧を有するアナログ信号を発生す
るガス漏れ量検出部と、このアナログ信号をディジタル
信号に変換するA/D変換器と、このディジタル信号か
ら、このディジタル信号の大きさに対応する電圧と時間
との関係を表す回帰直線の勾配を求め、この勾配と、空
気中の上記ガスと同種のガスの場合の回帰直線の、予め
入力しておいた、勾配の最大値との差を算出し、この差
が許容範囲外にある場合は、異常信号を出力する第一演
算部と、このディジタル信号と、このディジタル信号の
発生の基となったデータの検出時点より、予め定めた時
間だけさかのぼった時点でのディジタル信号との差を算
出し、この差と、空気中の上記ガスと同種のガスの場合
の、上記時間と同じ時間だけ間隔を置いた各時点での上
記ディジタル信号と同様のディジタル信号間の差の、予
め入力しておいた最大値との差が許容範囲外にある場合
は、異常信号を出力する第二演算部とを備えた構成とし
た。
閉容器を出し入れ可能に収容するとともに、吸気孔を有
するパレットと、検査位置にて、上記吸気孔に接続し
て、上記パレットの内部に連通し、この内部に上記ガス
と同種のガスが存在する場合には、その単位時間当たり
の漏れ量に対応した電圧を有するアナログ信号を発生す
るガス漏れ量検出部と、このアナログ信号をディジタル
信号に変換するA/D変換器と、このディジタル信号か
ら、このディジタル信号の大きさに対応する電圧と時間
との関係を表す回帰直線の勾配を求め、この勾配と、空
気中の上記ガスと同種のガスの場合の回帰直線の、予め
入力しておいた、勾配の最大値との差を算出し、この差
が許容範囲外にある場合は、異常信号を出力する第一演
算部と、このディジタル信号と、このディジタル信号の
発生の基となったデータの検出時点より、予め定めた時
間だけさかのぼった時点でのディジタル信号との差を算
出し、この差と、空気中の上記ガスと同種のガスの場合
の、上記時間と同じ時間だけ間隔を置いた各時点での上
記ディジタル信号と同様のディジタル信号間の差の、予
め入力しておいた最大値との差が許容範囲外にある場合
は、異常信号を出力する第二演算部とを備えた構成とし
た。
【0008】さらに、第四発明は、上記ガスを、ヘリウ
ムガスとした。
ムガスとした。
【0009】
【作用】上記各発明のように構成することにより、環境
の影響を受けることなく、ピンホールの有無の検査が行
えるようになる。
の影響を受けることなく、ピンホールの有無の検査が行
えるようになる。
【0010】
【実施例】次に、本発明の一実施例を図面にしたがって
説明する。図1は、第一,第四発明に係るピンホール検
査装置を示し、本実施例では、パレット1,ガス漏れ量
検出部2,A/D変換器3,第一演算部4、および排除
部5を設けて形成してある。パレット1は、内部にピン
ホールの有無の検査対象である密閉容器11を一個、或
は複数個、本実施例では、三個、取り出し可能に収容す
る小空間12を有している。また、図1においてパレッ
ト1の上面には、各小空間12毎に吸気孔13が形成し
てある。さらに、パレット1は、間欠的に一定のピッチ
ずつ動く搬送装置14により図示する検査位置まで搬送
される。
説明する。図1は、第一,第四発明に係るピンホール検
査装置を示し、本実施例では、パレット1,ガス漏れ量
検出部2,A/D変換器3,第一演算部4、および排除
部5を設けて形成してある。パレット1は、内部にピン
ホールの有無の検査対象である密閉容器11を一個、或
は複数個、本実施例では、三個、取り出し可能に収容す
る小空間12を有している。また、図1においてパレッ
ト1の上面には、各小空間12毎に吸気孔13が形成し
てある。さらに、パレット1は、間欠的に一定のピッチ
ずつ動く搬送装置14により図示する検査位置まで搬送
される。
【0011】ところで、検査対象である密閉容器11
は、固体,液体、例えば錠剤や粉末薬剤を入れて使用す
るもので、その材質,形状は何等問うものではない。具
体的には、例えばプラスチック製の各種袋状物、或は成
型物,金属製の各種容器等を挙げることができる。ま
た、密閉容器11には、ガスが封入されている。このガ
スとしては、例えばヘリウムガス,フロンガス,窒素ガ
ス,炭酸ガス,ネオンガス等を挙げることができるが、
より好ましいのはヘリウムガスである。
は、固体,液体、例えば錠剤や粉末薬剤を入れて使用す
るもので、その材質,形状は何等問うものではない。具
体的には、例えばプラスチック製の各種袋状物、或は成
型物,金属製の各種容器等を挙げることができる。ま
た、密閉容器11には、ガスが封入されている。このガ
スとしては、例えばヘリウムガス,フロンガス,窒素ガ
ス,炭酸ガス,ネオンガス等を挙げることができるが、
より好ましいのはヘリウムガスである。
【0012】ガス漏れ検出部2は、ガス検出手段15、
およびこれに結合するとともに、電磁式開閉弁16を設
けた導入管17を備えている。そして、導入管17が、
検査位置に来たパレット1の小空間12の吸気孔13に
係合して、ここに漏れ出たガスをガス検出手段15に導
くようになっている。ガス検出手段15自体は公知のも
ので、例えば空気と共に吸い込まれたヘリウムガスはイ
オン化され、磁界内を通過させることによってヘリウム
イオンのみ集めれれる。ヘリウムイオンの集合部では漏
れ出たヘリウムガス量に比例した電流が流れ、この電流
は抵抗部で電圧に変換され、この電圧のアナログ信号を
出力するように形成したものである。
およびこれに結合するとともに、電磁式開閉弁16を設
けた導入管17を備えている。そして、導入管17が、
検査位置に来たパレット1の小空間12の吸気孔13に
係合して、ここに漏れ出たガスをガス検出手段15に導
くようになっている。ガス検出手段15自体は公知のも
ので、例えば空気と共に吸い込まれたヘリウムガスはイ
オン化され、磁界内を通過させることによってヘリウム
イオンのみ集めれれる。ヘリウムイオンの集合部では漏
れ出たヘリウムガス量に比例した電流が流れ、この電流
は抵抗部で電圧に変換され、この電圧のアナログ信号を
出力するように形成したものである。
【0013】さらに、本実施例では、検査位置に来た吸
気孔13を有する小空間12の上方に伸縮手段18、例
えばエアシリンダが設けてある。そして、密閉容器11
が柔軟性である場合には、上方からこの小空間12およ
び密閉容器11を押圧することにより、密閉容器11に
ピンホールが有れば、ガスの漏出を促進させ得るように
形成してある。密閉容器11が剛性容器である場合に
は、小空間12を負圧にすることにより、ピンホールが
有れば、ガスの漏出を促進させ得るようにすることが出
来る。
気孔13を有する小空間12の上方に伸縮手段18、例
えばエアシリンダが設けてある。そして、密閉容器11
が柔軟性である場合には、上方からこの小空間12およ
び密閉容器11を押圧することにより、密閉容器11に
ピンホールが有れば、ガスの漏出を促進させ得るように
形成してある。密閉容器11が剛性容器である場合に
は、小空間12を負圧にすることにより、ピンホールが
有れば、ガスの漏出を促進させ得るようにすることが出
来る。
【0014】A/D変換器3にて、上記アナログ信号は
ディジタル信号に変換される。第一演算部4にて、上記
ディジタル信号を受け、この信号の大きさ、即ち電圧と
時間との関係を表す回帰直線の勾配、即ちy=a+b・
Xの式の勾配bを、最小二乗法により求めさせている。
一方、第一演算部4には、予め空気中の上記ガスと同種
のガスの場合の回帰直線の勾配の最大値が入力してあ
る。そして、この第一演算部4にて、上記勾配bの値と
上記最大値との差が許容範囲内にあるが否かを判断さ
せ、許容範囲外の場合には、異常信号を出力するように
なっている。即ち、検査した密閉容器11にはピンホー
ルが存在するとして異常信号を出力させるように形成し
てある。
ディジタル信号に変換される。第一演算部4にて、上記
ディジタル信号を受け、この信号の大きさ、即ち電圧と
時間との関係を表す回帰直線の勾配、即ちy=a+b・
Xの式の勾配bを、最小二乗法により求めさせている。
一方、第一演算部4には、予め空気中の上記ガスと同種
のガスの場合の回帰直線の勾配の最大値が入力してあ
る。そして、この第一演算部4にて、上記勾配bの値と
上記最大値との差が許容範囲内にあるが否かを判断さ
せ、許容範囲外の場合には、異常信号を出力するように
なっている。即ち、検査した密閉容器11にはピンホー
ルが存在するとして異常信号を出力させるように形成し
てある。
【0015】排除部5は、制御盤21と押出し手段2
2、例えばエアシリンダを有している。そして、第一演
算部4から異常信号を制御盤21にて受けると、ここか
らの信号により押出し手段22が作動して、対応する異
常な密閉容器11を収容したパレット1をラインから排
除するようになっている。
2、例えばエアシリンダを有している。そして、第一演
算部4から異常信号を制御盤21にて受けると、ここか
らの信号により押出し手段22が作動して、対応する異
常な密閉容器11を収容したパレット1をラインから排
除するようになっている。
【0016】このように、パレット1内のガスに関する
検出データに基づき回帰直線の勾配を上記最大値との差
をとるようにしてある故、環境の変化、例えば空気中
に、密閉容器11内の封入ガスと同種のガスが空気中に
存在しているか否かに影響されず、密閉容器のピンホー
ルの有無を正確かつ確実に検査できるようになり、さら
にラインからも排除されるようになる。なお、第四発明
は、上記ガスをヘリウムガスとするものであるが、第一
発明は、これに限定するものではない。
検出データに基づき回帰直線の勾配を上記最大値との差
をとるようにしてある故、環境の変化、例えば空気中
に、密閉容器11内の封入ガスと同種のガスが空気中に
存在しているか否かに影響されず、密閉容器のピンホー
ルの有無を正確かつ確実に検査できるようになり、さら
にラインからも排除されるようになる。なお、第四発明
は、上記ガスをヘリウムガスとするものであるが、第一
発明は、これに限定するものではない。
【0017】図2は、第二,第四発明に係るピンホール
検査装置を示し、図1に示した装置とは、第一演算部4
に代えて第二演算部6を採用した点を除き、他は実質的
に同一であり、互いに共通する部分については同一番号
を付して説明を省略する。本実施例では、この第二演算
部6にて、A/D変換器3からのディジタル信号を受
け、このディジタル信号の発生の基となったデータの検
出時点より、予め定めた時間だけさかのぼった時点での
ディジタル信号との差を算出させている。
検査装置を示し、図1に示した装置とは、第一演算部4
に代えて第二演算部6を採用した点を除き、他は実質的
に同一であり、互いに共通する部分については同一番号
を付して説明を省略する。本実施例では、この第二演算
部6にて、A/D変換器3からのディジタル信号を受
け、このディジタル信号の発生の基となったデータの検
出時点より、予め定めた時間だけさかのぼった時点での
ディジタル信号との差を算出させている。
【0018】一方、第二演算部6には、空気中の上記ガ
スと同種のガスの場合の、上記時間と同じ時間だけ間隔
を置いた各時点での上記ディジタル信号と同様のディジ
タル信号間の差の最大値が、予め入力してある。そし
て、第二演算部6にて、上記パレット1内のガスのデー
タに基づく上記差と上記最大値との差が許容範囲内にあ
るか否かを判断させ、許容範囲外にある場合は、異常信
号を出力させるように形成してある。
スと同種のガスの場合の、上記時間と同じ時間だけ間隔
を置いた各時点での上記ディジタル信号と同様のディジ
タル信号間の差の最大値が、予め入力してある。そし
て、第二演算部6にて、上記パレット1内のガスのデー
タに基づく上記差と上記最大値との差が許容範囲内にあ
るか否かを判断させ、許容範囲外にある場合は、異常信
号を出力させるように形成してある。
【0019】上記同様に、パレット1内のガスに関する
検出データに基づき二時点間での上記ディジタル信号の
差と上記最大値との差をとるようにしてある故、環境の
変化、例えば空気中に、密閉容器11内の封入ガスと同
種のガスが空気中に存在しているか否かに影響されず、
密閉容器のピンホールの有無を正確かつ確実に検査でき
るようになり、さらにラインからも排除されるようにな
る。なお、第四発明は、上記ガスをヘリウムガスとする
ものであるが、第二発明は、これに限定するものではな
い。
検出データに基づき二時点間での上記ディジタル信号の
差と上記最大値との差をとるようにしてある故、環境の
変化、例えば空気中に、密閉容器11内の封入ガスと同
種のガスが空気中に存在しているか否かに影響されず、
密閉容器のピンホールの有無を正確かつ確実に検査でき
るようになり、さらにラインからも排除されるようにな
る。なお、第四発明は、上記ガスをヘリウムガスとする
ものであるが、第二発明は、これに限定するものではな
い。
【0020】図3は、第三,第四発明に係るピンホール
検査装置を示し図1に示した装置とは、第一演算部4に
加えて、さらに第二演算部6を採用した点を除き、他は
実質的に同一であり、互いに共通する部分については同
一番号を付して説明を省略する。そして、本実施例で
は、図1に示す装置において異常信号を出す場合と、図
2に示す装置において異常信号を出す場合のいずれにお
いても異常信号を出力し、対応するパレットをラインか
ら排除するようなっている。
検査装置を示し図1に示した装置とは、第一演算部4に
加えて、さらに第二演算部6を採用した点を除き、他は
実質的に同一であり、互いに共通する部分については同
一番号を付して説明を省略する。そして、本実施例で
は、図1に示す装置において異常信号を出す場合と、図
2に示す装置において異常信号を出す場合のいずれにお
いても異常信号を出力し、対応するパレットをラインか
ら排除するようなっている。
【0021】そして、斯る構成により、環境の変化、例
えば空気中に、密閉容器11内の封入ガスと同種のガス
が空気中に存在しているか否かに影響されず、密閉容器
のピンホールの有無を図1,2に示す装置よりもさらに
正確かつ確実に検査できるようになり、さらにラインか
らも排除されるようになる。なお、第四発明は、上記ガ
スをヘリウムガスとするものであるが、第三発明は、こ
れに限定するものではない。
えば空気中に、密閉容器11内の封入ガスと同種のガス
が空気中に存在しているか否かに影響されず、密閉容器
のピンホールの有無を図1,2に示す装置よりもさらに
正確かつ確実に検査できるようになり、さらにラインか
らも排除されるようになる。なお、第四発明は、上記ガ
スをヘリウムガスとするものであるが、第三発明は、こ
れに限定するものではない。
【0022】
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、第一,
第四発明によれば、パレット内のガスに関する検出デー
タに基づき回帰直線の勾配を上記最大値との差をとるよ
うにしてある。また、第二,第四発明によれば、パレッ
ト1内のガスに関する検出データに基づき二時点間での
上記ディジタル信号の差と上記最大値との差をとるよう
にしてある。さらに、第三,第四発明によれば、上記各
発明の両者合わせたものとなっている。このため、環境
の変化、例えば空気中に、密閉容器11内の封入ガスと
同種のガスが存在しているか否かに影響されず、密閉容
器のピンホールの有無を正確かつ確実に検査できるよう
になるという効果を奏する。
第四発明によれば、パレット内のガスに関する検出デー
タに基づき回帰直線の勾配を上記最大値との差をとるよ
うにしてある。また、第二,第四発明によれば、パレッ
ト1内のガスに関する検出データに基づき二時点間での
上記ディジタル信号の差と上記最大値との差をとるよう
にしてある。さらに、第三,第四発明によれば、上記各
発明の両者合わせたものとなっている。このため、環境
の変化、例えば空気中に、密閉容器11内の封入ガスと
同種のガスが存在しているか否かに影響されず、密閉容
器のピンホールの有無を正確かつ確実に検査できるよう
になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第一,第四発明に係るピンホール検査装置の
全体構成を示す図である。
全体構成を示す図である。
【図2】 第二,第四発明に係るピンホール検査装置の
全体構成を示す図である。
全体構成を示す図である。
【図3】 第三,第四発明に係るピンホール検査装置の
全体構成を示す図である。
全体構成を示す図である。
1 パレット 2 ガス漏れ量検出部 3 A/D変換器 4 第一演算部 6 第二演算部 11 密閉容器 13 吸気孔 15 ガス検出手段 17 導入管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村川 善浩 滋賀県栗太郡栗東町下鈎1101−1 宮ノ東 ハイツ401 (72)発明者 山本 晃 大阪府摂津市昭和園7−12−609
Claims (4)
- 【請求項1】 ガスが封入された密閉容器を出し入れ可
能に収容するとともに、吸気孔を有するパレットと、 検査位置にて、上記吸気孔に接続して、上記パレットの
内部に連通し、この内部に上記ガスと同種のガスが存在
する場合には、その単位時間当たりの漏れ量に対応した
電圧を有するアナログ信号を発生するガス漏れ量検出部
と、 このアナログ信号をディジタル信号に変換するA/D変
換器と、 このディジタル信号から、このディジタル信号の大きさ
に対応する電圧と時間との関係を表す回帰直線の勾配を
求め、この勾配と、空気中の上記ガスと同種のガスの場
合の回帰直線の、予め入力しておいた、勾配の最大値と
の差を算出し、この差が許容範囲外にある場合は、異常
信号を出力する第一演算部とを備えたことを特徴とする
ピンホール検査装置。 - 【請求項2】 ガスが封入された密閉容器を出し入れ可
能に収容するとともに、吸気孔を有するパレットと、 検査位置にて、上記吸気孔に接続して、上記パレットの
内部に連通し、この内部に上記ガスと同種のガスが存在
する場合には、その単位時間当たりの漏れ量に対応した
電圧を有するアナログ信号を発生するガス漏れ量検出部
と、 このアナログ信号をディジタル信号に変換するA/D変
換器と、 このディジタル信号と、このディジタル信号の発生の基
となったデータの検出時点より、予め定めた時間だけさ
かのぼった時点でのディジタル信号との差を算出し、こ
の差と、空気中の上記ガスと同種のガスの場合の、上記
時間と同じ時間だけ間隔を置いた各時点での上記ディジ
タル信号と同様のディジタル信号間の差の、予め入力し
ておいた最大値との差が許容範囲外にある場合は、異常
信号を出力する第二演算部とを備えたことを特徴とする
ピンホール検査装置。 - 【請求項3】 ガスが封入された密閉容器を出し入れ可
能に収容するとともに、吸気孔を有するパレットと、 検査位置にて、上記吸気孔に接続して、上記パレットの
内部に連通し、この内部に上記ガスと同種のガスが存在
する場合には、その単位時間当たりの漏れ量に対応した
電圧を有するアナログ信号を発生するガス漏れ量検出部
と、 このアナログ信号をディジタル信号に変換するA/D変
換器と、 このディジタル信号から、このディジタル信号の大きさ
に対応する電圧と時間との関係を表す回帰直線の勾配を
求め、この勾配と、空気中の上記ガスと同種のガスの場
合の回帰直線の、予め入力しておいた、勾配の最大値と
の差を算出し、この差が許容範囲外にある場合は、異常
信号を出力する第一演算部と、 このディジタル信号と、このディジタル信号の発生の基
となったデータの検出時点より、予め定めた時間だけさ
かのぼった時点でのディジタル信号との差を算出し、こ
の差と、空気中の上記ガスと同種のガスの場合の、上記
時間と同じ時間だけ間隔を置いた各時点での上記ディジ
タル信号と同様のディジタル信号間の差の、予め入力し
ておいた最大値との差が許容範囲外にある場合は、異常
信号を出力する第二演算部とを備えたことを特徴とする
ピンホール検査装置。 - 【請求項4】 上記ガスを、ヘリウムガスとしたことを
特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のピンホー
ル検査装置。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06065926A JP3105390B2 (ja) | 1994-04-04 | 1994-04-04 | ピンホール検査装置 |
| DE69523847T DE69523847T2 (de) | 1994-04-04 | 1995-03-30 | Vorrichtung zur erkennung von kleinen löchern |
| AU20842/95A AU688483B2 (en) | 1994-04-04 | 1995-03-30 | Pinhole detector |
| PCT/JP1995/000603 WO1995027193A1 (fr) | 1994-04-04 | 1995-03-30 | Detecteur de piqures |
| EP95913381A EP0702222B1 (en) | 1994-04-04 | 1995-03-30 | Pinhole detector |
| CA002163085A CA2163085A1 (en) | 1994-04-04 | 1995-03-30 | Pinhole inspecting apparatus |
| AT95913381T ATE208893T1 (de) | 1994-04-04 | 1995-03-30 | Vorrichtung zur erkennung von kleinen löchern |
| US08/537,916 US5633454A (en) | 1994-04-04 | 1995-03-30 | Pinhole inspecting apparatus |
| ES95913381T ES2167422T3 (es) | 1994-04-04 | 1995-03-30 | Detector de picaduras. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06065926A JP3105390B2 (ja) | 1994-04-04 | 1994-04-04 | ピンホール検査装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9871999A Division JPH11316169A (ja) | 1999-04-06 | 1999-04-06 | ピンホール検査装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07280687A true JPH07280687A (ja) | 1995-10-27 |
| JP3105390B2 JP3105390B2 (ja) | 2000-10-30 |
Family
ID=13301071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06065926A Expired - Lifetime JP3105390B2 (ja) | 1994-04-04 | 1994-04-04 | ピンホール検査装置 |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5633454A (ja) |
| EP (1) | EP0702222B1 (ja) |
| JP (1) | JP3105390B2 (ja) |
| AT (1) | ATE208893T1 (ja) |
| AU (1) | AU688483B2 (ja) |
| CA (1) | CA2163085A1 (ja) |
| DE (1) | DE69523847T2 (ja) |
| ES (1) | ES2167422T3 (ja) |
| WO (1) | WO1995027193A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014511995A (ja) * | 2011-03-16 | 2014-05-19 | ノルデン・マシーナリー・アーベー | 漏れ検出方法および装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6351984B1 (en) * | 2000-02-23 | 2002-03-05 | Aradigm Corporation | Inspection method and device for non-destructive analysis of a container material |
| US6763702B2 (en) * | 2002-12-19 | 2004-07-20 | Agilent Technologies, Inc. | Method and apparatus for hermeticity determination and leak detection in semiconductor packaging |
| DE102004050762A1 (de) * | 2004-10-16 | 2006-04-20 | Inficon Gmbh | Verfahren zur Lecksuche |
| US7557482B2 (en) * | 2006-07-31 | 2009-07-07 | Caterpillar Inc. | Axial-flux electric machine |
| US20080024035A1 (en) * | 2006-07-31 | 2008-01-31 | Caterpillar Inc. | Power system |
| US8823294B2 (en) * | 2007-06-27 | 2014-09-02 | Brooks Automation, Inc. | Commutation of an electromagnetic propulsion and guidance system |
| US8582105B1 (en) * | 2012-06-14 | 2013-11-12 | Intermolecular, Inc. | Method and apparatus for leak detection in H2Se furnace |
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| US3744210A (en) * | 1971-06-28 | 1973-07-10 | Standard Packaging Corp | Packaging machine and method |
| JPS53113351A (en) * | 1977-03-15 | 1978-10-03 | Toshiba Corp | Auomatic leak inspecting device |
| JPS5459191A (en) * | 1977-10-19 | 1979-05-12 | Toshiba Corp | Method and apparatus for detection of minute leakage |
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| JPS5983118A (ja) * | 1982-11-05 | 1984-05-14 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | 光海底中継器用ジヨイントチヤンバ |
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| US5029463A (en) * | 1990-03-01 | 1991-07-09 | American Air Liquide | Leak detection device for in-line measurement of package integrity |
| US7697634B2 (en) | 2006-08-25 | 2010-04-13 | Tektronix, Inc. | Interpolation of complex signals |
-
1994
- 1994-04-04 JP JP06065926A patent/JP3105390B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-03-30 EP EP95913381A patent/EP0702222B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-03-30 AU AU20842/95A patent/AU688483B2/en not_active Ceased
- 1995-03-30 US US08/537,916 patent/US5633454A/en not_active Expired - Fee Related
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- 1995-03-30 CA CA002163085A patent/CA2163085A1/en not_active Abandoned
- 1995-03-30 DE DE69523847T patent/DE69523847T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-03-30 ES ES95913381T patent/ES2167422T3/es not_active Expired - Lifetime
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| DE69523847D1 (de) | 2001-12-20 |
| AU2084295A (en) | 1995-10-23 |
| EP0702222A1 (en) | 1996-03-20 |
| WO1995027193A1 (fr) | 1995-10-12 |
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| ATE208893T1 (de) | 2001-11-15 |
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| US5633454A (en) | 1997-05-27 |
| DE69523847T2 (de) | 2002-06-27 |
| EP0702222A4 (en) | 1998-09-16 |
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