JPH07280728A

JPH07280728A - 洗浄液の水分濃度制御装置

Info

Publication number: JPH07280728A
Application number: JP9391694A
Authority: JP
Inventors: Manabu Harada; 学原田; Shugo Watanabe; 修五渡辺; Etsuro Akimoto; 悦郎秋本
Original assignee: Malcom Co Ltd
Current assignee: Malcom Co Ltd
Priority date: 1994-04-08
Filing date: 1994-04-08
Publication date: 1995-10-27

Abstract

(57)【要約】【目的】洗浄処理槽内におけるフロン代替洗浄液中の
水分濃度を常時監視し、当該水分濃度が一定範囲内に制
御されるよう管理することができ、安全性を十分に確保
することができる洗浄液の水分濃度制御装置を提供する
こと。フロン代替洗浄液中の混濁物質に起因する水分濃
度の測定誤差を簡単な補正手段によって消去することが
でき、一層正確な濃度測定および濃度監視が可能である
洗浄液の水分濃度制御装置を提供すること。洗浄性およ
び安全性の両方の面から、フロン代替洗浄液を良好な状
態に維持することができる洗浄液の水分濃度制御装置を
提供すること。【構成】本発明の洗浄液の水分濃度制御装置は、赤外
線吸収センサ部１０、循環ポンプ２０、水分濃度演算手
段４０、表示手段５０、水分補給手段９４，９５、およ
び制御手段６０を備えてなることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、洗浄液の水分濃度制御
装置に関する。ここで、洗浄液とは、はんだ付け等の作
業の際において接合すべき部品に塗布されたフラックス
およびその残渣固形分（以下、単に「フラックス」とい
う）を洗浄除去するための洗浄液をいう。

【０００２】

【従来の技術】例えばプリント回路基板を製造する際の
はんだ付け工程において、酸化物の生成を防止する等の
理由から、接合すべき部品にフラックスを塗布すること
が行われている。そして、はんだ付け作業終了後におい
ては、このフラックスを洗浄除去することが必要とな
る。

【０００３】フラックスを洗浄除去するための洗浄液と
しては、従来、フロンやトリハロメタン等が用いられて
きたが、これらによって及ぼされる環境への影響を考慮
して最近では、フロン等に代わる洗浄液（以下「フロン
代替洗浄液」という）が使用され始めている。ここに、
基板の洗浄用に採用されているフロン代替洗浄液として
は、炭化水素系溶剤（例えば「ソルファイン」）、準水
系溶剤（例えば「クリンスル」、「パインアルフ
ァ」）、アルコール系溶剤（例えばメタノール、エタノ
ール、イソプロピルアルコール）、代替フロン溶剤（例
えば「ＨＣＦＣ２２５」）、テルペン系溶剤（例えば
「ＥＣ７」）、シリコン系溶剤（例えば「テクノケア
ー」）など溶剤系の洗浄液；アルカリ鹸化型水系洗浄液
（例えば「アクアクリーナー」、「ソルトール」）、純
水など水系の洗浄液が知られている。

【０００４】上記のフロン代替洗浄液のうち溶剤系の洗
浄液は引火性を有するものである。そのため、当該洗浄
液に、一定の割合の水分を添加することにより、当該洗
浄液の引火性を抑制することが行われている。ここに、
引火性を抑制できる水分濃度の下限値は洗浄液の種類に
よって異なる。

【０００５】しかして、フラックスの洗浄除去処理は、
通常６０℃程度の加温下で実施されることから、洗浄処
理時における水分の蒸発によって水分濃度が低下し、前
記下限値未満となると引火の危険性が生じることにな
る。一方、水分濃度が高くなりすぎると洗浄能力の低下
を招くことになる。従って、溶剤系のフロン代替洗浄液
においては、当該洗浄液中の水分濃度を常時監視し、こ
の水分濃度が一定範囲内に制御されるよう管理する必要
がある。このため、フロン代替洗浄液を、安全性および
洗浄性の両方の面から良好な状態に維持することができ
る水分濃度制御装置の提供が望まれている。

【０００６】一方、従来において、洗浄液中の水分濃度
の測定方法としては、カールフィッシャー法および２波
長法による赤外線吸収法が知られている。これらのう
ち、カールフィッシャー法にあっては、測定操作に熟練
技能が要求され、現場のオペレータによる測定法として
適当な方法ではない。

【０００７】一方、２波長法による赤外線吸収法は、赤
外領域における異なる極大吸収波長（λ_A，λ_B）につ
いての入射光データ（Ｉ_A0，Ｉ_B0）および透過光データ
（Ｉ_A，Ｉ_B）を検出し、式） ΔＡ＝ｌｏｇ（Ｉ_A0／Ｉ_A）−ｌｏｇ（Ｉ_B0／Ｉ
_B）により差吸光度ΔＡを求める方法である。この差吸光度
ΔＡと水分濃度Ｃは、式）ΔＡ＝（Ｋ_A−Ｋ_B）Ｃ（Ｋ_A，Ｋ_Bは、λ_A，λ_Bにおける吸光係数であ
る。）で示されるように比例関係がある。

【０００８】なお、洗浄液中に混濁物質が存在している
場合には、差吸光度ΔＡと水分濃度Ｃとの関係は、式）ΔＡ＝〔（Ｋ_A−ｋ_A）−（Ｋ_B−ｋ_B）〕Ｃで示される。ここに、ｋ_A，ｋ_Bは、極大吸収波長
λ_A，λ_Bにおける混濁物質の吸光係数であるが、
λ_A，λ_Bが近接している場合には、混濁物質の吸光係
数ｋ_A，ｋ_Bはほぼ同じ大きさである。従って、２波長
法による赤外線吸収法によれば、洗浄液中に混濁物質が
存在している場合であっても、当該混濁物質に起因する
誤差を含まない吸光度データを検出することができる。

【０００９】しかしながら、２波長法による赤外線吸収
法にあっては、高価な光学フィルターを２つ使用する必
要があり、また、光学フィルターの切り換え機構を設け
る必要があるなど構造的にも回路的にも構成が複雑とな
り、スペース効率やコストの観点からも好ましいもので
はない。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な事情に基いてなされたものである。本発明の第１の目
的は、洗浄処理槽内におけるフロン代替洗浄液中の水分
濃度を常時監視し、当該水分濃度が一定範囲内に制御さ
れるよう管理することができ、安全性を十分に確保する
ことができる洗浄液の水分濃度制御装置を提供すること
にある。本発明の第２の目的は、フロン代替洗浄液中の
混濁物質に起因する水分濃度の測定誤差を簡単な補正手
段によって消去することができ、一層正確な濃度測定お
よび濃度監視が可能である洗浄液の水分濃度制御装置を
提供することにある。本発明の第３の目的は、洗浄性お
よび安全性の両方の面から、洗浄処理槽内のフロン代替
洗浄液を良好な状態に維持することができる洗浄液の水
分濃度制御装置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の洗浄液の水分濃
度制御装置は、洗浄液に赤外光を投射する光源、およ
び、前記洗浄液を透過した赤外光を受光する検出器を備
えた、前記洗浄液の赤外線吸収データを検出するための
赤外線吸収センサ部と、洗浄処理槽内の洗浄液を赤外線
吸収センサ部に導入し、当該赤外線吸収センサ部による
赤外線吸収データの検出後に当該洗浄液を洗浄処理槽に
戻す循環ポンプと、前記赤外線吸収センサ部により検出
された赤外線吸収データを演算処理して洗浄液中の水分
濃度の値を算出する水分濃度演算手段と、この水分濃度
演算手段により算出された水分濃度の値を表示する表示
手段と、補給用の純水が収容されている水分補給手段
と、前記水分濃度演算手段により算出された水分濃度の
値が、予め設定された許容水分濃度未満となったとき
に、前記洗浄処理槽内に純水を補給するよう前記水分補
給手段に指示信号を出力する制御手段とを備えてなるこ
とを特徴とする。

【００１２】本発明の洗浄液の水分濃度制御装置におい
ては、洗浄液に光を投射する発光ダイオードと、前記洗
浄液を透過した光を受光する受光検出器とからなり、水
分濃度が測定されるべき洗浄液についての濁度を測定す
る濁度センサと、この濁度センサによって測定された濁
度に応じて、洗浄液中の混濁物質に起因する水分濃度の
測定誤差を消去するよう、水分濃度演算手段により算出
された水分濃度の値を補正する濁度補正手段とを備えて
なることが好ましい。

【００１３】本発明の洗浄液の水分濃度制御装置におい
ては、水分濃度が測定されるべき洗浄液の吸光度データ
を検出する吸光光度センサ部と、この吸光光度センサ部
により検出された吸光度データを演算処理して洗浄液中
のフラックス濃度を算出するフラックス濃度演算手段
と、このフラックス濃度演算手段により算出されたフラ
ックス濃度に応じて、洗浄液中のフラックスに起因する
水分濃度の測定誤差を消去するよう、水分濃度演算手段
により算出された水分濃度の値を補正するフラックス補
正手段とを備えてなることが好ましい。

【００１４】

【作用】

（１）洗浄処理槽内におけるフロン代替洗浄液中の水分
濃度が、表示手段および制御手段によって常時監視さ
れ、更に、測定された水分濃度の値が許容濃度未満とな
ったときには、前記制御手段からの指示信号により、洗
浄処理槽内へ水分が補給される。このように、洗浄処理
槽内におけるフロン代替洗浄液の水分濃度が常に一定以
上となるよう制御されるため、安全性が十分に確保され
る。

【００１５】（２）簡単な構成の濁度センサによってフ
ロン代替洗浄液の濁度が測定され、この濁度に応じて水
分濃度の値が補正されることにより、混濁物質が赤外線
吸収センサ部に導入された場合であっても、当該混濁物
質に起因する水分濃度の測定誤差が消去される。これに
より、赤外線吸収センサ部による測定法として１波長法
による赤外線吸収法を適用しても、水分濃度の値を十分
正確に測定ることができる。従って、従来における２波
長法による赤外線吸収法の場合に比べ、赤外線吸収セン
サ部の構成が極めて簡単なものとなり、スペース効率や
コストの観点からも有利となる。

【００１６】（３）吸光光度センサ部およびフラックス
濃度演算手段によってフロン代替洗浄液のフラックス濃
度が測定され、このフラックス濃度に応じて水分濃度の
値が補正されることにより、フラックスに起因する水分
濃度の測定誤差が消去される。これにより、安全性の確
保を更に確実なものとすることができる。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の実施例について詳細に説明す
る。図１は、本発明の水分濃度制御装置の一例を示す概
略説明図である。

【００１８】この水分濃度制御装置は、赤外線吸収セン
サ部１０と、循環ポンプ２０と、混濁物質除去フィルタ
ー３０と、水分濃度演算手段４０と、水分濃度表示手段
５０と、水分濃度制御手段６０と、濁度センサ７０と、
濁度補正手段７１とを備えている。同図において、９０
は基板の洗浄処理が行われる洗浄処理槽、９１は未使用
の洗浄液が収容されている洗浄液貯槽、９２は洗浄液補
給ポンプ、９３は切替バルブ、９４は純水タンク、９５
は純水補給ポンプである。

【００１９】赤外線吸収センサ部１０において、１１は
白熱電球またはハロゲンランプよりなる赤外線放射光
源、１２は赤外線放射光源１１からの光のうち１．９４
μｍ±０．１μｍの赤外線のみを透過させる赤外線干渉
フィルター、１３はレンズ、１４は光導電性素子よりな
る入射光強度検出器、１５は光導電性素子よりなる透過
光強度検出器、１６は石英製のフローセル、１７は赤外
線放射光源１１からの光をチョッピングするための回転
板、１８は回転板１７の駆動モータである。この赤外線
吸収センサ部１０により赤外線吸収データ（入射光強度
Ｉ₀および透過光強度Ｉ）が検出される。ここに、赤外
線吸収データの検出は連続的に行うこともできるし、一
定の間隔をおいて間欠的に行うこともできる。赤外線吸
収データの検出が間欠的に行われる場合には、循環ポン
プ２０にかかる負荷が小さくなり循環ポンプ２０の長寿
命化を図ることができるので好ましい。

【００２０】循環ポンプ２０は、洗浄処理槽９０内のフ
ロン代替洗浄液を赤外線吸収センサ部１０に導入し、赤
外線吸収データの検出後において当該洗浄液を洗浄処理
槽９０に戻すためのポンプである。

【００２１】混濁物質除去フィルター３０は、洗浄処理
槽９０から赤外線吸収センサ部１０へ向かう流路に設け
られている。この混濁物質除去フィルター３０は、赤外
線吸収センサ部１０に導入されるフロン代替洗浄液中に
存在して水分濃度の測定誤差の原因となる混濁物質を予
め除去するための手段であって、開口１００μｍのメッ
シュ材により構成されている。混濁物質除去フィルター
３０によって混濁物質の除去処理が行われることによ
り、赤外線吸収センサ部１０内への混濁物質の混入が抑
制される。

【００２２】水分濃度演算手段４０は、赤外線吸収セン
サ部１０により検出された赤外線吸収データを演算処理
してフロン代替洗浄液中の水分濃度の値を算出する手段
である。この水分濃度演算手段４０において、赤外線吸
収センサ部１０によって検出された赤外線吸収データ
（入射光強度Ｉ₀および透過光強度Ｉ）から、式）Ａ＝ｌｏｇ（Ｉ₀／Ｉ）により吸光度Ａが算出され、更に、予め測定された検量
線から求められた吸光係数Ｋ（この吸光係数Ｋは、フロ
ン代替洗浄液の種類と測定波長との組合せにより特定さ
れる値）から、水分濃度Ｃが下記式によって与えられ
る。式）Ｃ＝Ａ／Ｋ

【００２３】水分濃度表示手段５０は、水分濃度演算手
段４０により算出された水分濃度の値をアナログ表示ま
たはデジタル表示する手段である。

【００２４】水分濃度制御手段６０は、水分濃度演算手
段４０により算出された水分濃度の値が、許容値入力手
段６１により予め入力された許容水分濃度未満となった
ときに、洗浄処理槽９０内のフロン代替洗浄液に純水タ
ンク９４内の純水を添加するよう、純水補給ポンプ９５
を作動させるための指示信号を出力する。なお、フロン
代替洗浄液中の水分濃度が高くなりすぎると、当該洗浄
液の洗浄能力が低下する。このため、純水の添加によっ
て、水分濃度演算手段４０により算出された水分濃度の
値が一定の設定値を超えた場合には、水分濃度制御手段
６０は、純水補給ポンプ９５の作動を停止させるための
指示信号を出力する。

【００２５】このように、赤外線吸収データに基いて算
出された水分濃度の値が、水分濃度表示手段５０および
水分濃度制御手段６０によって常時監視され、更に、水
分濃度の値が許容濃度未満となったときには、水分濃度
制御手段６０からの指示を受けて洗浄処理槽９０内へ一
定量の水分が補給される。従って、洗浄処理槽９０内の
フロン代替洗浄液中の水分濃度は常に一定の範囲内に制
御され、これにより、安全性および洗浄性が十分に確保
される。

【００２６】濁度センサ７０は、赤外線吸収センサ部１
０から洗浄処理槽９０へ向かう流路に設けられ、赤色発
光ダイオード７２（投光光源）と、受光ダイオード７３
（検出器）と、石英製のフローセル７４とからなり、水
分濃度が測定されるべきフロン代替洗浄液についての濁
度を測定する手段である。

【００２７】濁度補正手段７１は、濁度センサ７０によ
って測定された濁度に応じて、水分濃度演算手段４０に
より算出された水分濃度の値を補正する手段である。こ
のように、簡単な構成の濁度センサ７０によってフロン
代替洗浄液の濁度が測定され、この濁度に応じて水分濃
度の値が補正されるので、混濁物質除去フィルター３０
によっても除去されなかった混濁物質が赤外線吸収セン
サ部１０内に混入されたとしても、当該混濁物質に起因
する水分濃度の測定誤差が消去される。これにより、赤
外線吸収センサ部による測定法として、１波長法（１つ
の干渉フィルターを備えたセンサによって吸収データを
検出する方法）による赤外線吸収法を適用することがで
き、従来における２波長法（２つの干渉フィルターおよ
びその切替機構を備えたセンサによって吸収データを検
出する方法）による赤外線吸収法の場合に比べ、赤外線
吸収センサ部の構成が極めて簡単なものとなり、スペー
ス効率の観点やコストの観点（干渉フィルターは極めて
高価な部材である）からも有利となる。

【００２８】本実施例の水分濃度制御装置にあっては、
水分濃度の測定（赤外線吸収データの検出）を行わない
時において、フローセル１６、フローセル７４および赤
外線吸収センサ部１０の流路管内は、フラックスを含ま
ない未使用洗浄液によって充たされている。未使用洗浄
液は、切替えバルブ９３を切替えた後、循環ポンプ２０
を作動させることによって、洗浄液貯槽９１内から導入
することができる。これにより、フラックスを含む洗浄
液が残留することによるセル内や管内の汚染が防止され
る。

【００２９】本実施例の水分濃度制御装置によれば以下
のような効果が奏される。洗浄処理槽９０内におけるフロン代替洗浄液中の水
分濃度が常時監視され、当該水分濃度が許容濃度未満と
なったときには、水分濃度制御手段６０からの指示を受
けて一定量の水分が補給されるので、洗浄処理槽９０内
のフロン代替洗浄液中の水分濃度が常に一定の範囲内に
制御されることになる。これにより、洗浄処理槽内のフ
ロン代替洗浄液は、洗浄性および安全性の両方の面から
良好な状態に維持される。赤外線吸収センサ部１０に導入されるフロン代替洗
浄液について、混濁物質除去フィルター３０による混濁
物質の除去処理が行われることにより、赤外線吸収セン
サ部１０内への混濁物質の混入が抑制される。フロン代替洗浄液の濁度に応じて水分濃度の値が補
正されることにより、混濁物質除去フィルター３０を透
過した混濁物質が赤外線吸収センサ部１０に導入された
場合であっても、当該混濁物質に起因する水分濃度の測
定誤差が消去されることになる。これにより、水分濃度
の測定法として１波長法による赤外線吸収法を適用する
ことができ、従来における水分濃度制御装置に比べてス
ペース効率やコストの観点からも有利となる。

【００３０】図２は、本発明の水分濃度制御装置の他の
例を示す概略説明図である。この水分濃度制御装置は、
洗浄液の吸光度データを検出する吸光光度センサ部８０
と、検出された吸光度データを演算処理して洗浄液中の
フラックス濃度を算出するフラックス濃度演算手段４５
と、算出されたフラックス濃度に応じて、水分濃度演算
手段４０により算出された水分濃度の値を補正して、フ
ラックスに起因する水分濃度の測定誤差を消去するフラ
ックス補正手段７７とを備えている。図２において、５
５はフラックス濃度表示手段、６５はフラックス濃度制
御手段、７６は濁度補正手段である。なお、図１で用い
た符号と同じ符号で示されている構成要素は、同図にお
けるものと同様の構成要素である。

【００３１】この水分濃度制御装置においては、赤外線
吸収センサ部１０によって赤外線吸収データ（入射光強
度Ｉ₀および透過光強度Ｉ）が検出されると共に、吸光
光度センサ部８０によって吸光度データ（入射光強度Ｉ
₀' および透過光強度Ｉ' ）が検出される。吸光度デー
タの検出は、連続的または間欠的に行われる。

【００３２】フラックス濃度演算手段４５は、吸光光度
センサ部８０により検出された吸光度データを演算処理
してフロン代替洗浄液中のフラックス濃度の値を算出す
る手段である。このフラックス濃度演算手段４５におい
て、吸光光度センサ部８０により検出された吸光度デー
タ（入射光強度Ｉ₀' および透過光強度Ｉ' ）および予
め測定された検量線より求めた吸光係数Ｋ' から、フラ
ックス濃度Ｃ' が下記式によって算出される。式）Ｃ' ＝ｌｏｇ（Ｉ₀' ／Ｉ' ）／Ｋ'

【００３３】フラックス濃度表示手段５５は、フラック
ス濃度演算手段４５により算出されたフラックス濃度の
値をアナログ表示またはデジタル表示する手段である。

【００３４】フラックス濃度制御手段６５は、フラック
ス濃度演算手段４５により算出されたフラックス濃度の
値が、許容値入力手段６６により予め入力された許容値
を超えたときに、ランプやブザーなどの警報手段６７に
警報信号を出力すると共に、洗浄処理槽９０内における
フロン代替洗浄液の全部または一部を洗浄液貯槽９１内
に収容されている未使用洗浄液に交換するよう、洗浄液
補給ポンプ９２を作動させるための指示信号を出力す
る。

【００３５】濁度補正手段７６は、濁度センサ７０によ
って測定された濁度に応じて、フラックス濃度演算手段
４５により算出されるフラックス濃度の値を補正する手
段である。このように、簡単な構成の濁度センサ７０に
よってフロン代替洗浄液の濁度が測定され、濁度補正手
段７６によって濁度に応じてフラックス濃度の値が補正
されるので、混濁物質除去フィルター３０によっても除
去されなかった混濁物質が吸光光度センサ部８０内に混
入されたとしても、当該混濁物質に起因する測定誤差が
消去される。従って、フラックス濃度の測定が一層正確
なものとなる。

【００３６】フラックス補正手段７７は、水分濃度演算
手段４０によって算出された水分濃度の値をフラックス
濃度に応じて補正して、フラックスに起因する水分濃度
の測定誤差を消去する手段である。フラックス濃度演算
手段４５により算出されたフラックス濃度の値は、濁度
補正手段７６を経て、フラックス濃度表示手段５５、フ
ラックス濃度制御手段６５に入力されるほか、フラック
ス補正手段７７にも入力される。そして、このフラック
ス補正手段７７において、フロン代替洗浄液中のフラッ
クスに起因する水分濃度の測定誤差が消去される。

【００３７】本実施例の水分濃度制御装置によれば、吸
光光度センサ部８０、フラックス濃度演算手段４５およ
びフラックス補正手段７７を備えているので、フロン代
替洗浄液中のフラックスに起因する水分濃度の測定誤差
が消去され、安全性の確保を更に確実なものとすること
ができる。

【００３８】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、フロン代替洗
浄液中における水分濃度を常時一定範囲内に制御するこ
とができ、安全性を十分に確保することができる。これ
により、洗浄処理槽内のフロン代替洗浄液を、洗浄能力
および安全性の両方の面から良好な状態に維持すること
ができる。請求項２の発明によれば、フロン代替洗浄液
中における水分濃度の測定を一層正確に行うことがで
き、濃度管理の信頼性を更に向上させることができる。
そして、１波長法による赤外線吸収法を適用することが
できるので、赤外線吸収センサ部の構成が極めて簡単な
ものとなり、スペース効率やコストの観点からも有利と
なる。請求項３の発明によれば、フロン代替洗浄液中の
フラックスに起因する水分濃度の測定誤差が消去される
ので、安全性の確保を更に確実なものとすることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の水分濃度制御装置の一例を示す概略説
明図である。

【図２】本発明の水分濃度制御装置の他の例を示す概略
説明図である。

【符号の説明】

１０赤外線吸収センサ部１１赤外線放射光
源１２赤外線干渉フィルター１３レンズ１４入射光強度検出器１５透過光強度検
出器１６フローセル１７回転板１８駆動モータ２０循環ポンプ３０混濁物質除去
フィルター４０水分濃度演算手段４５フラックス濃
度演算手段５０水分濃度表示手段５５フラックス濃
度表示手段６０水分濃度制御手段６１許容値入力手
段６５フラックス濃度制御手段６６許容値入力手
段６７警報手段７０濁度センサ７１濁度補正手段７２赤色発光ダイオード７３受光ダイオー
ド７４フローセル７６濁度補正手段７７フラックス補正手段８０吸光光度センサ部９０洗浄処理槽９１洗浄液貯槽９２洗浄液補給ポンプ９３切替バルブ９４純水タンク９５純水補給ポン
プ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】洗浄液に赤外光を投射する光源、およ
び、前記洗浄液を透過した赤外光を受光する検出器を備
えた、前記洗浄液の赤外線吸収データを検出するための
赤外線吸収センサ部と、洗浄処理槽内の洗浄液を赤外線吸収センサ部に導入し、
当該赤外線吸収センサ部による赤外線吸収データの検出
後に当該洗浄液を洗浄処理槽に戻す循環ポンプと、前記赤外線吸収センサ部により検出された赤外線吸収デ
ータを演算処理して洗浄液中の水分濃度の値を算出する
水分濃度演算手段と、この水分濃度演算手段により算出された水分濃度の値を
表示する表示手段と、補給用の純水が収容されている水分補給手段と、前記水分濃度演算手段により算出された水分濃度の値
が、予め設定された許容水分濃度未満となったときに、
前記洗浄処理槽内に純水を補給するよう前記水分補給手
段に指示信号を出力する制御手段とを備えてなることを
特徴とする洗浄液の水分濃度制御装置。
【請求項２】請求項１に記載の洗浄液の水分濃度制御
装置であって、洗浄液に光を投射する発光ダイオードと、前記洗浄液を
透過した光を受光する受光検出器とからなり、水分濃度
が測定されるべき洗浄液についての濁度を測定する濁度
センサと、この濁度センサによって測定された濁度に応じて、洗浄
液中の混濁物質に起因する水分濃度の測定誤差を消去す
るよう、水分濃度演算手段により算出された水分濃度の
値を補正する濁度補正手段とを備えてなることを特徴と
する洗浄液の水分濃度制御装置。
【請求項３】請求項１または請求項２に記載の洗浄液
の水分濃度制御装置であって、水分濃度が測定されるべき洗浄液の吸光度データを検出
する吸光光度センサ部と、この吸光光度センサ部により検出された吸光度データを
演算処理して洗浄液中のフラックス濃度を算出するフラ
ックス濃度演算手段と、このフラックス濃度演算手段により算出されたフラック
ス濃度に応じて、洗浄液中のフラックスに起因する水分
濃度の測定誤差を消去するよう、水分濃度演算手段によ
り算出された水分濃度の値を補正するフラックス補正手
段とを備えてなることを特徴とする洗浄液の水分濃度制
御装置。